JP6185493B2 - X線管 - Google Patents
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前記基板に取り付けられて内部が真空状態とされた箱型の容器部と、
前記容器部の内部において内側にある前記基板の前記開口部に設けられるX線ターゲットと、
前記容器部の内部に設けられ前記基板の開口部に対応して延在する線状の陰極及び前記陰極と前記X線ターゲットとの間に設けられ前記陰極の長手方向に対応する開口を有する複数の制御電極を有し、前記陰極から放出された電子を前記複数の制御電極によって引き出して前記X線ターゲットに電子を供給する電極部と、
を備えるX線管において、
前記X線透過窓は、前記X線透過窓は、前記チタン箔を複数枚積層させた状態で熱拡散接合したチタン単層であり、その箔厚が10μm以下であることを特徴とする。
<1−1. 管構造について>
まず、本発明のX線管1の構成について説明する。
図1に示すように、本例のX線管1は、箱型形状のパッケージ2を本体とする平型管である。パッケージ2は、シールガラス(鉛ガラス)を介在させてガラス製(例えば、ソーダライムガラス)の背面板3aと枠状の側面板3bとを箱型に組み立てた容器部3を大気焼成によってドライシール化し、さらに側面板3bの開放側周縁部にシールガラスを形成した状態で第1基板4aと第2基板4bとでチタン箔のX線透過窓5を挟んだ構成の基板4を取り付けて閉止される。また、パッケージ2の内部は、背面板3aに形成した不図示の排気孔から高真空状態に排気されている。
次に、X線管1のパッケージ2内部における電極構成について説明する。
図1及び図3に示すように、パッケージ2の内部には、X線透過窓5と反対側の容器部3の内面に、ガラスへの帯電を防止するための背面電極8が設けられている。
次に、上述した構成を備えるX線管1の性能評価について説明する。
なお、下記工程は本発明を限定するものではなく、前・後記の趣旨に照らし合わせて適宜設計変更することは何れも本発明の技術的範囲に含まれるものとする。
2…パッケージ
3…容器部
4…基板(4a…第1基板、4b…第2基板)
5…X線透過窓
6…開口部
7…X線ターゲット
12…電極部
Claims (1)
- 開口部が形成された金属材料からなるX線不透過性の第1基板及び第2基板と、前記開口部を閉止するチタン箔からなるX線透過窓とを有し、前記第1基板と前記第2基板の間に前記X線透過窓を挟んで加熱しながら圧着することにより、前記第1基板と前記第2基板と前記X線透過窓とが熱拡散接合されて形成される基板と、
前記基板に取り付けられて内部が真空状態とされた箱型の容器部と、
前記容器部の内部において内側にある前記基板の前記開口部に設けられるX線ターゲットと、
前記容器部の内部に設けられ前記基板の開口部に対応して延在する線状の陰極及び前記陰極と前記X線ターゲットとの間に設けられ前記陰極の長手方向に対応する開口を有する複数の制御電極を有し、前記陰極から放出された電子を前記複数の制御電極によって引き出して前記X線ターゲットに電子を供給する電極部と、
を備えるX線管において、
前記X線透過窓は、前記チタン箔を複数枚積層させた状態で熱拡散接合したチタン単層であり、その箔厚が10μm以下であることを特徴とするX線管。
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