JP6182833B2 - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
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Landscapes
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- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
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Description
G(2//4)<G(2//3) …式1
1.非磁性下地層中の非磁性結晶粒上に成長しようとする場合
2.非磁性下地層中の非磁性非晶質材料上に成長しようとする場合
G(1//3)<G(1//4)かつG(1//3)<G(2//3) …式2
G(1//4)<G(1//3) …式3
FePtの表面エネルギーは、非特許文献11を参考にし、以下の式を用いて計算する。なお、本提案におけるFePtはFeとPtが等量含まれたFe50Pt50組成について考える。
γFePt=(Etot(NFe,NPt)−NFe・μFePt (bulk)−ΔNμPt(bulk)−ΔN [μPt−μPt(bulk)])/2A …式4
Etot(NFe,NPt):FePt表面モデルの全エネルギー
NFe ,NPt:表面モデルに含まれているFeやPtの個数
μFePt (bulk):FePtの化学ポテンシャル
μPt(bulk):バルクPtの化学ポテンシャル
μPt:FePt内のPtの化学ポテンシャル
ΔN:NPt-NFe(本検討ではΔN=0の場合のみ実施)
A:界面の面積
例えば、MgO上に成長したFePtを想定すると、FePtとMgOの界面エネルギーは次式により計算できる。
γFePt/MgO=(Etot_FePt/MgO−NFe・μFePt (bulk)−NMg・μMgO(bulk))/A−γFePt−γMgO …式6
G(5//1)<G(5//2)が成立するときは、G(6//2)あるいはG(5//1)のいずれかがG(5//1),G(5//2),G(6//1),G(6//2)の中で最低となり、G(5//1)<G(5//2)が成立しないときは、G(6//2)がG(5//1),G(5//2),G(6//1),G(6//2)の中で最低となる。
[実施例1]
超高真空(UHV)DC/RFマグネトロンスパッタ装置(ANELVA,E8001)を用いて試料を作成した。成膜を始める前の到達真空度は7.0x10-7Pa以下である。プロセスガスには、不純物濃度が2〜3ppbの超高純度Arガスを用いた。ガラス基板上に薄膜の付着強度を強めるため、Taを5nm付与し、その上にMgOを1nm付与した。その後非磁性シード層としてCr20nmをMgO上に付与した。その上に非磁性下地層としてTiNを添加したMgO20nmを300℃で形成した。TiNの添加量はMgOの周りをTiNが取り囲む構造を実現できるよう、体積率で30%程度に調節している。なお、以下の実施例および比較例において「添加」という場合は、添加される材料が体積率で全体積中30%程度に調節されていることを意味する。各層を成膜する際のArガス圧は0.3Pa一定とした。MgO源としてMgとOを1:1で含むMgOから成るターゲットを用いており、成膜時に用いたガスは酸素を添加しないArとした。形成された膜組成はターゲット組成と同じ、すなわち、MgとOを1:1で含む組成となることをEDX(Energy Dispersive X-ray Spectrometer)による組成分析から確認している。同様に、TiN源としてTiとNを1:1で含むTiNから成るターゲットを用いており、成膜時に用いたガスは窒素を添加しないArとした。EDXによる組成分析から、膜組成はTiNであることを確認している。非磁性下地層成膜時の基板温度については作成装置および条件に応じて変化させるべき値であり、この温度が本実施例の効果を限定するものではない。
非磁性下地層としてVNを添加したMgOを用いた。VNの添加量はMgOの周りをVNが取り囲む構造を実現できるよう、体積率で30%程度に調節した。なお、成膜に用いたVNは、VとNを1:1で含む組成のものを用いており、作成した薄膜の組成もターゲットと同組成になっていることをEDXにより確認している。上記以外は実施例1と同様な条件で垂直磁気記録媒体を作製した。
非磁性下地層としてMgOを添加したTiNを用いた。MgOの添加量はTiNの周りをMgOが取り囲む構造を実現できるよう、体積率で30%程度に調節した。上記以外は実施例1と同様な条件で垂直磁気記録媒体を作製した。
非磁性下地層および磁性層のうち少なくともいずれかの層が2層以上になり、結果として3層以上のグラニュラ層が隣接する場合には、隣接する2層間で式1〜3を満たすか否かに関して下記4つのパターンが考えられる。ここで、層を下から順にX〜Zと決め、X層が良好なグラニュラ組織を有していることとする。X層が良好なグラニュラ構造を有していない場合には、いかなる条件においても上に成長させる層は良好なグラニュラ構造を持たず、媒体としての特性が劣化するためである。
1.X//Y,Y//Zともに式1を満たす場合
2.X//Yでは式1〜3を満たすが、Y//Zでは満たされない場合
3.X//Yでは式1〜3を満たさず、Y//Zにおいて式1〜3を満たす場合
4.X//Y,Y//Zのいずれも式1〜3を満たさない場合
非磁性下地層としてTiNを添加したMgO20nmを形成し、その上に磁性層としてCを添加したFePt合金を4nm形成した。さらに、磁性層としてFeおよびPdおよびCを同時スパッタさせることでCを添加したFePd合金を4nm形成した。FePdの組成はFe50at.%、Pd50at.%とし、EDXからもほぼ同じ組成比となっていることを確認した。Cの添加量はFePd磁性結晶粒の回りをCが取り囲む構造を実現できるように体積率で30%程度に調節した。この添加量は非磁性下地層に用いたMgO-TiNにおけるTiNの添加量と同量である。上記以外は実施例1と同様な条件で垂直磁気記録媒体を作製した。
非磁性下地層としてMgOを添加したTiN20nmを形成し、その上に磁性層としてCを添加したFePt合金を4nm形成した。さらにその上に磁性層としてTiNを添加したFePd合金を4nm形成した。上記以外は実施例3と同様な条件で垂直磁気記録媒体を作製した。
非磁性下地層としてTiNを添加したMgO20nmを形成し、その上に磁性層としてCを添加したFePt合金を4nm形成した。さらにその上に磁性層としてMgOを添加したFePd合金を4nm形成した。上記以外は実施例3と同様な条件で垂直磁気記録媒体を作製した。
非磁性下地層としてMgOを添加したTiN20nmを形成し、その上に磁性層としてCを添加したFePt合金を4nm形成した。さらにその上に磁性層としてMgOを添加したFePd合金を4nm形成した。上記以外は実施例3と同様な条件で垂直磁気記録媒体を作製した。
2、4、6 非磁性非晶質材料
3 非磁性結晶粒
10 垂直磁気記録媒体
12 非磁性基体
14 軟磁性裏打ち層
16 非磁性シード層
18 非磁性下地層
20、26 磁性層
22 保護層
24 液体潤滑層
Claims (5)
- 第1層(20)および前記第1層(20)の直下に位置する第2層(18)を、非磁性基体(12)上に含む垂直磁気記録媒体であって、
前記第1層(20)は、第1磁性結晶材料または第1非磁性結晶材料(1)の周りを第1非磁性非晶質材料(2)が取り囲むグラニュラ構造を有し、
前記第2層(18)は、第2非磁性結晶材料(3)の周りを第2非磁性非晶質材料(4)が取り囲むグラニュラ構造を有するとともに、前記第2非磁性結晶材料(3)として、MgO、TiN、CrN、Ru、およびPtからなる群から選択された1つが用いられており、
前記第1磁性結晶材料または第1非磁性結晶材料(1)を材料1、前記第1非磁性非晶質材料(2)を材料2、前記第2非磁性結晶材料(3)を材料3、前記第2非磁性非晶質材料(4)を材料4とし、異なる材料a,bが接した際の界面エネルギーをEi(a//b)、材料aが単独で存在する際の表面エネルギーをEs(a)、界面エネルギーから表面エネルギーの総和(ΣEs)を差し引いたエネルギーをG(a//b)と定義したとき、少なくとも下記の条件を満足することを特徴とする垂直磁気記録媒体:
G(1//3)<G(1//4)が成立するときは、G(2//4)あるいはG(1//3)のいずれかがG(1//3),G(1//4),G(2//3),G(2//4)の中で最低となり、G(1//3)<G(1//4)が成立しないときは、G(2//4)がG(1//3),G(1//4),G(2//3),G(2//4)の中で最低となる。 - 請求項1に記載の垂直磁気記録媒体であって、
前記第1層(20)の直上に位置する第3層(26)を更に含み、
前記第3層(26)は、第3磁性結晶材料または第3非磁性結晶材料(5)の周りを第3非磁性非晶質材料(6)が取り囲むグラニュラ構造を有し、
前記第3磁性結晶材料または第3非磁性結晶材料(5)を材料5、前記第3非磁性非晶質材料(6)を材料6としたとき、少なくとも下記の条件を満足することを特徴とする垂直磁気記録媒体:
G(5//1)<G(5//2)が成立するときは、G(6//2)あるいはG(5//1)のいずれかがG(5//1),G(5//2),G(6//1),G(6//2)の中で最低となり、G(5//1)<G(5//2)が成立しないときは、G(6//2)がG(5//1),G(5//2),G(6//1),G(6//2)の中で最低となる。 - 請求項2に記載の垂直磁気記録媒体であって、前記第3層(26)が磁性層であることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体であって、前記第2非磁性結晶材料(3)は、前記第1磁性結晶材料または第1非磁性結晶材料(1)の直下に位置していて前記第2非磁性非晶質材料(4)とは異なる材料によって形成されていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体であって、前記第1層(20)が磁性層であり、前記第2層(18)が非磁性下地層であることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
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