JP6182657B2 - 流量測定装置 - Google Patents
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、当然ながら、シール材110が発熱抵抗体106に近いほど大きくなる。従って、シール材110とダイアフラム106上に設けられた発熱抵抗体201は一定の距離を保つ必要がある。
102…実装基板上配線
104…制御回路素子
105a,b…金ワイヤ
106…ダイアフラム
107…窪み
108…流量検出素子
109、109a、109b…撥水性有機膜
201…発熱抵抗体
202…引き出し線
203…アルミパッド
Claims (4)
- ダイアフラムに設けられた発熱抵抗体とパッドと該パッドと該発熱抵抗体とを電気的に接続する配線とを有する半導体センサ素子と、
前記パッドと電気的に接続される金属製のワイヤと、
前記パッドおよび前記ワイヤを保護するシール材と、を有する流量測定装置であって、
前記半導体センサ素子は、
前記発熱抵抗体が形成される側の表面であって、前記ダイアフラムと前記パッドとの間に、少なくとも第一の有機保護膜と第二の有機保護膜とを有しており、
前記第一の有機保護膜と前記第二の有機保護膜は、有機保護膜が形成されない領域によって分離されており、
前記第一の有機保護膜は、前記有機保護膜が形成されない領域より前記ダイアフラム側に形成され、
前記第二の有機保護膜は、前記有機保護膜が形成されない領域より前記パッド側に形成され、
前記第一の有機保護膜の前記パッド側の端部は、前記発熱抵抗体から所定の距離離れており、
前記シール材の端部は、前記第一の有機保護膜の前記パッド側の端部から、前記第二の有機保護膜の前記パッド側の端部の間にある流量測定装置。 - 前記第一の有機保護膜は、前記発熱抵抗体にかからない請求項1に記載の流量測定装置。
- 前記第一の有機保護膜は、前記ダイアフラムの端部を覆う請求項2に記載の流量測定装置。
- 前記第一の有機保護膜または前記第二の有機保護膜は、ポリイミドシリコーンである請求項2または3に記載の流量測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016207465A JP6182657B2 (ja) | 2016-10-24 | 2016-10-24 | 流量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015182416A Division JP6033935B2 (ja) | 2015-09-16 | 2015-09-16 | 流量測定装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017140538A Division JP6231241B2 (ja) | 2017-07-20 | 2017-07-20 | 流量測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017037091A JP2017037091A (ja) | 2017-02-16 |
JP6182657B2 true JP6182657B2 (ja) | 2017-08-16 |
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ID=58049476
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JP2016207465A Active JP6182657B2 (ja) | 2016-10-24 | 2016-10-24 | 流量測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6182657B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017187512A (ja) * | 2017-07-20 | 2017-10-12 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量測定装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2784286B2 (ja) * | 1991-12-09 | 1998-08-06 | 三菱電機株式会社 | 半導体センサー装置の製造方法 |
JP2000040773A (ja) * | 1998-07-23 | 2000-02-08 | Sony Corp | 樹脂封止型半導体装置とその製造方法 |
JP3610484B2 (ja) * | 1999-08-10 | 2005-01-12 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量計 |
JP2004518119A (ja) * | 2001-01-10 | 2004-06-17 | ゼンジリオン アクチエンゲゼルシャフト | 伸張性コーティングを有するマイクロメカニカルフローセンサ |
JP2009270930A (ja) * | 2008-05-07 | 2009-11-19 | Denso Corp | 熱式流量センサ |
JP5814192B2 (ja) * | 2012-06-28 | 2015-11-17 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量測定装置 |
JP6033935B2 (ja) * | 2015-09-16 | 2016-11-30 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量測定装置 |
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2016
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2017187512A (ja) * | 2017-07-20 | 2017-10-12 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量測定装置 |
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Publication number | Publication date |
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JP2017037091A (ja) | 2017-02-16 |
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A521 | Written amendment |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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