JP6033935B2 - 流量測定装置 - Google Patents
流量測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6033935B2 JP6033935B2 JP2015182416A JP2015182416A JP6033935B2 JP 6033935 B2 JP6033935 B2 JP 6033935B2 JP 2015182416 A JP2015182416 A JP 2015182416A JP 2015182416 A JP2015182416 A JP 2015182416A JP 6033935 B2 JP6033935 B2 JP 6033935B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective film
- pad
- heating resistor
- organic protective
- flow rate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
102…実装基板上配線
104…制御回路素子
105a,b…金ワイヤ
106…ダイアフラム
107…窪み
108…流量検出素子
109、109a、109b…撥水性有機膜
201…発熱抵抗体
202…引き出し線
203…アルミパッド
Claims (4)
- ダイアフラムに設けられた発熱抵抗体とパッドと該パッドと該発熱抵抗体とを電気的に接続する配線とを有する半導体センサ素子と、
前記パッドと一端側で電気的に接続され、他端側で半導体センサ素子外部と電気的に接続される金属製のワイヤと、
前記パッドおよび前記ワイヤを保護するシール材と、を有し、
前記シール材は、前記半導体センサ素子上であって、前記パッドよりも発熱抵抗体側にある発熱抵抗体側端部と、前記半導体センサ素子外であって、前記パッドよりも前記他端側にある他端側端部と、を有するように設けられる流量測定装置であって、
前記半導体センサ素子は、
前記発熱抵抗体が形成される側の表面に、有機保護膜を有しており、
前記有機保護膜は、
前記ダイアフラムと前記パッドとの間に、前記有機保護膜を形成しない領域を設けることにより、前記ダイアフラム側に形成される第一の有機保護膜と、前記パッド側に形成される第二の有機保護膜とに分離されており、
前記第一の有機保護膜の前記パッド側の端部は、前記発熱抵抗体から所定の距離離れており、
前記シール材の発熱抵抗体側の端部は、前記第一の有機保護膜の前記パッド側の端部から、前記第二の有機保護膜の前記パッド側の端部の間にある流量測定装置。
- 前記有機保護膜は、前記発熱抵抗体にかからない請求項1に記載の流量測定装置。
- 前記第一の有機保護膜は、前記ダイアフラムの端部を覆う請求項2に記載の流量測定装置。
- 前記有機保護膜は、ポリイミドシリコーンである請求項2または3に記載の流量測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015182416A JP6033935B2 (ja) | 2015-09-16 | 2015-09-16 | 流量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015182416A JP6033935B2 (ja) | 2015-09-16 | 2015-09-16 | 流量測定装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012144905A Division JP5814192B2 (ja) | 2012-06-28 | 2012-06-28 | 流量測定装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016207465A Division JP6182657B2 (ja) | 2016-10-24 | 2016-10-24 | 流量測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015227892A JP2015227892A (ja) | 2015-12-17 |
JP6033935B2 true JP6033935B2 (ja) | 2016-11-30 |
Family
ID=54885413
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015182416A Active JP6033935B2 (ja) | 2015-09-16 | 2015-09-16 | 流量測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6033935B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017037091A (ja) * | 2016-10-24 | 2017-02-16 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量測定装置 |
JP2017187512A (ja) * | 2017-07-20 | 2017-10-12 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量測定装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2784286B2 (ja) * | 1991-12-09 | 1998-08-06 | 三菱電機株式会社 | 半導体センサー装置の製造方法 |
DE19744997A1 (de) * | 1997-10-11 | 1999-04-15 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums |
JP2000040773A (ja) * | 1998-07-23 | 2000-02-08 | Sony Corp | 樹脂封止型半導体装置とその製造方法 |
JP3587734B2 (ja) * | 1999-06-30 | 2004-11-10 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量センサ |
JP3610484B2 (ja) * | 1999-08-10 | 2005-01-12 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量計 |
JP2004235547A (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-19 | Kyocera Corp | カメラモジュールおよび該カメラモジュール製造方法 |
JP2009270930A (ja) * | 2008-05-07 | 2009-11-19 | Denso Corp | 熱式流量センサ |
JP5814192B2 (ja) * | 2012-06-28 | 2015-11-17 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量測定装置 |
-
2015
- 2015-09-16 JP JP2015182416A patent/JP6033935B2/ja active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017037091A (ja) * | 2016-10-24 | 2017-02-16 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量測定装置 |
JP2017187512A (ja) * | 2017-07-20 | 2017-10-12 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015227892A (ja) | 2015-12-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5271997B2 (ja) | 吸気温度センサ | |
JP6357535B2 (ja) | センサおよびその製造方法 | |
KR20120053022A (ko) | 유량 센서 및 그 제조 방법 그리고 유량 센서 모듈 및 그 제조 방법 | |
JP5916637B2 (ja) | 流量センサおよびその製造方法 | |
JP5675716B2 (ja) | 熱式空気流量センサ | |
JP5814192B2 (ja) | 流量測定装置 | |
JP5763575B2 (ja) | 流量センサおよびその製造方法 | |
WO2016072166A1 (ja) | 熱式空気流量計 | |
JP6033935B2 (ja) | 流量測定装置 | |
JP2006010426A (ja) | センサ装置およびその製造方法 | |
JP6182657B2 (ja) | 流量測定装置 | |
JP2009192424A (ja) | 温度センサおよび温度センサ一体型圧力センサ | |
JP6231241B2 (ja) | 流量測定装置 | |
JP6520636B2 (ja) | 物理量センササブアセンブリおよび物理量測定装置 | |
JP5936475B2 (ja) | 流量測定装置 | |
JP6200962B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP6045644B2 (ja) | 流量センサおよびその製造方法 | |
JP6406396B2 (ja) | 流量センサ | |
JP6012833B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法並びに流量センサおよび湿度センサ | |
JP5768179B2 (ja) | 熱式空気流量センサ | |
JP6602744B2 (ja) | センサ装置及びその製造方法 | |
JP6156523B2 (ja) | 流量センサ | |
JP6528732B2 (ja) | 流量センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150916 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150918 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160623 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160705 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160905 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160927 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161026 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6033935 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |