JP6181878B2 - 厚さ測定装置およびこれを用いた厚さ測定方法 - Google Patents
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- 反射光度計(Reflectometer)を用いる厚さ測定装置において、
光を放出する光源、
前記光源から放出される光の提供を受けて、互いに異なる複数の周波数に対して選択的に透過させて強度分布を有する光に変調し、前記強度分布を有する光の波長幅を調節することができる光フィルタ部、
前記光フィルタ部から変調された光を測定対象物側に照射し、前記測定対象物側から反射される光が入射される光学系、
前記光学系を通過した光の提供を受けて反射率情報を獲得する光検出部、および
前記光フィルタ部を透過することができる複数の周波数を設定して、前記光フィルタ部によって変調される光の波長幅を調節し、数式によってモデリングされて、あらかじめ−記憶された理論反射率情報と前記光検出部により獲得された反射率情報を比較することによって測定対象物の厚さを測定する制御部を含み、
前記制御部は、
前記光フィルタ部を透過することができる複数の周波数を設定する周波数設定モジュール、
数式によってモデリングされて、それぞれの厚さごとに対応する複数の理論反射率情報を記憶する記憶モジュール、
前記光検出部から測定された反射率情報と前記記憶モジュールに記憶された理論反射率情報を比較することによって測定対象物の厚さを判断する比較判断モジュール、および
前記周波数設定モジュールによって調節された周波数に対応して前記光検出部から測定された反射率情報および前記記憶モジュールに記憶された理論反射率情報のうちの少なくともいずれか1つを変換する変換モジュールをさらに含み、
前記比較判断モジュールは、前記反射率情報および前記理論反射率情報のうちの少なくともいずれか1つの変換された情報を用いて測定対象物の厚さを測定する
ことを特徴とする厚さ測定装置。 - 前記光フィルタ部は、光源から放出される光の進行方向に沿って、互いに離隔されて配置される複数の音響光学変調フィルタ(Acousto−Optical Tunable Filter)であることを特徴とする請求項1に記載の厚さ測定装置。
- 前記光フィルタ部は、前記あらかじめ−設定された複数の周波数のそれぞれを透過した光の波長を維持した状態で光を結合することによって、前記光フィルタ部から透過した光が強度分布を有するように変調することを特徴とする請求項2に記載の厚さ測定装置。
- 前記光学系は、前記光フィルタ部によって変調された光を反射するか、測定対象物から反射した光を透過させる第1光分割器、および前記第1光分割器と測定対象物との間に設けられて、前記第1光分割器から反射した光を測定対象物側に集束させるレンズ部を含み、
前記測定対象物で反射した光を前記光学系から提供を受けて、測定対象物の映像情報を獲得するカメラ部をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の厚さ測定装置。 - 光源から放出される光を変調する光フィルタ部を透過することができる複数の周波数を設定して、前記光フィルタ部によって変調される光の強度分布の波長幅を調節する変調段階、
数式によってそれぞれの厚さに対応する理論反射率情報を提供する理論反射率情報提供段階、
測定対象物側に前記光フィルタ部によって変調された光を照射して測定対象物の反射率情報を獲得する反射率情報獲得段階、
前記理論反射率情報と前記反射率情報を比較して前記理論反射率情報のうちから、前記反射率情報と最も類似した理論反射率情報を選択するマッチング段階、および
前記マッチング段階から選択された理論反射率情報に対応する厚さを測定対象物の厚さと決定する厚さ決定段階を含み、
前記理論反射率情報提供段階は、前記変調段階によって設定された複数の周波数を考慮して、前記理論反射率情報提供段階によって提供された理論反射率情報を変換する変換段階を含むことを特徴とする厚さ測定方法。 - 前記マッチング段階において、前記反射率情報と最も類似した理論反射率情報を選択できない場合、前記変調段階を再遂行することを特徴とする請求項5に記載の厚さ測定方法。
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