JP6906292B2 - パターン援用補正を用いる局所的位相アンラッピングの方法とシステム - Google Patents
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Description
本願は、米国特許法第119条(e)に基づき、2015年10月30日に出願された、“METHOD AND SYSTEM FOR REGIONAL PHASE UNWRAPPING WITH PATTERN−ASSISTED CORRECTION”と題する、Helen Liu、Xuan Zhau、およびXiaowei Liを発明者とする米国仮特許出願第62/248,779号の利益を主張するものであり、同仮出願の全体を参照によって本願に援用するものとする。
Claims (34)
- パターン援用補正を用いる局所的位相アンラッピングを実行する方法において、
ウェハ表面を代表する干渉画像のラップト(畳み込み)位相マップを得るステップと、
位相アンラッピング手順をラップト位相マップに適用して、アンラップト位相マップを生成するステップであって、アンラップト位相マップは、位相アンラッピングエラーに関連する1つまたは複数の位相不連続性を含むようなステップと、
アンラップト位相マップ中の1つまたは複数のパターンを定義するステップであって、1つまたは複数のパターンは2つまたはそれ以上の構造を含み、同じ種類の2つまたはそれ以上の構造を分離する1つまたは複数の境界をまたぐアンラップト位相マップの連続性条件を決定することを含む、ステップと、
1つまたは複数のパターンの連続性条件に基づいて、アンラップト位相マップ内の位相不連続性を補正するステップと、
を含む方法。 - 請求項1に記載の方法において、
アンラップト位相マップの位相不連続性を、1つまたは複数のパターンの連続性条件に基づいて補正するステップは、
1つまたは複数の構造内の位相不連続性を補正するステップを含む方法。 - 請求項2に記載の方法において、
1つまたは複数の構造内の位相不連続性を補正するステップは、ウェハ上の1つまたは複数のライン欠陥に関連する1つまたは複数の位相不連続性を補正するステップを含む方法。 - 請求項1に記載の方法において、
アンラップト位相マップの位相不連続性を、1つまたは複数のパターンの連続性条件に基づいて補正するステップは、
1つまたは複数の構造間の位相不連続性を補正するステップを含む方法。 - 請求項1に記載の方法において、
1つまたは複数のバターンはさらに、
1つまたは複数の構造を含む1つまたは複数のセグメントを含む方法。 - 請求項5に記載の方法において、
アンラップト位相マップの位相不連続性を、1つまたは複数のパターンの連続性条件に基づいて補正するステップは、
1つまたは複数のセグメント間の位相不連続性を補正するステップを含む方法。 - 請求項1に記載の方法において、
アンラップト位相マップの位相不連続性を、1つまたは複数のパターンの連続性条件に基づいて補正するステップの前に、アンラップト位相マップを1つまたは複数のブロックに分割して、アンラップト位相マップの位相不連続性を、1つまたは複数のパターンに基づいて補正するステップが1つまたは複数のブロックについて別々に実行され、隣接するブロックが1つまたは複数の重複領域を有するようにするステップと、
1つまたは複数のブロック間の相対的位相を、重複領域に基づいて調整するステップと、
をさらに含む方法。 - 請求項1に記載の方法において、
ウェハ表面の表面高さマップを、アンラップト位相マップに基づいて生成するステップをさらに含む方法。 - 請求項1に記載の方法において、
1つまたは複数のバターンが、
異なる種類の隣接する構造間の1つまたは複数の相対的位相差をさらに含む方法。 - 請求項1に記載の方法において、
アンラップト位相マップの位相不連続性を、1つまたは複数のパターンの連続性条件に基づいて補正するステップの前に、アンラップト位相マップを1つまたは複数のパターンに位置合わせするステップをさらに含み、位置合わせするステップは、アンラップト位相マップの中心位置、回転、または拡大のうちの少なくとも1つを調整することを含む方法。 - 請求項1に記載の方法において、
位相アンラッピング手順を適用して、アンラップト位相マップを生成するステップは、Minimum Norm手順、経路追従手順、Flynn Minimum Discontinuity手順、Quality Guided Phase Unwrapping手順、またはPhase Unwrapping via Max Flows手順のうちの少なくとも1つを適用するステップを含む方法。 - パターン援用補正を用いる局所的位相アンラッピングを行うウェハ計測システムにおいて、
ウェハ表面を代表する干渉画像を生成するように構成された干渉計サブシステムであって、干渉画像を撮影するように構成された検出器を含む、干渉計サブシステムと、
検出器に通信可能に連結されたコントローラであって、パターン援用補正を用いたアンラップト位相マップを生成するように構成された1つまたは複数のプロセッサを含むコントローラと、を含み、1つまたは複数のプロセッサは、
1つまたは複数のプロセッサに、
干渉画像のラップト位相マップを生成し、
ラップト位相マップに位相アンラッピング手順を適用して、アンラップト位相マップを生成し、アンラップト位相マップは、位相アンラッピングエラーに関連する1つまたは複数の位相不連続性を含み、
アンラップト位相マップ上に、ウェハ上の1つまたは複数の特徴物に関連する1つまたは複数のパターンを定義し、1つまたは複数のパターンは2つまたはそれ以上の構造を含み、1つまたは複数のパターンを定義することは、同じ種類の2つまたはそれ以上の構造を分離する1つまたは複数の境界をまたぐアンラップト位相マップの連続性条件を決定することを含み、
アンラップト位相マップの位相不連続性を1つまたは複数のパターンの連続性条件に基づいて補正する
ことをさせるように構成された1つまたは複数の命令を実行するように構成されるシステム。 - 請求項12に記載のシステムにおいて、
1つまたは複数のパターンの連続性条件に基づいてアンラップト位相マップ内の位相不連続性を補正することは、
1つまたは複数の構造内の位相不連続性を補正することを含むシステム。 - 請求項13に記載のシステムにおいて、
1つまたは複数の構造内の位相不連続性を補正することは、ウェハ内の1つまたは複数のライン欠陥に関連する1つまたは複数の位相不連続性を補正することを含むシステム。 - 請求項12に記載のシステムにおいて、
アンラップト位相マップ内の位相不連続性の1つまたは複数のパターンの連続性条件に基づき補正することは、
1つまたは複数の構造間の位相を補正することを含むシステム。 - 請求項12に記載のシステムにおいて、
1つまたは複数のパターンは、
1つまたは複数の構造を含む1つまたは複数のセグメントをさらに含むシステム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、
1つまたは複数のセグメントは、主要セグメント、1つまたは複数の周縁バンド、または1つまたは複数の部分ダイ領域のうちの少なくとも1つを含むシステム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、
アンラップト位相マップ内の位相不連続性の1つまたは複数のパターンの連続性条件に基づき補正することは、
1つまたは複数のセグメント間の位相を補正することを含むシステム。 - 請求項12に記載のシステムにおいて、
追加の干渉画像を生成するように構成された追加の干渉計サブシステムをさらに含み、追加の干渉画像の追加の強度マップは、追加のウェハ表面の変調表現に対応し、コントローラの1つまたは複数のプロセッサは、追加のウェハ表面の追加のアンラップト位相マップを生成するようにさらに構成されるシステム。 - 請求項12に記載のシステムにおいて、
アンラップト位相マップは、
1つまたは複数のブロックを含み、1つまたは複数のプロセッサが、
1つまたは複数のプロセッサに、アンラップト位相マップ内の位相不連続を1つまたは複数のパターンに基づいて、1つまたは複数のブロックについて別々に補正し、隣接するブロックが1つまたは複数の重複領域を含むようにし、
1つまたは複数のブロック間の相対的位相を、重複領域に基づいて調整する
ことをさせるように構成された1つまたは複数の命令を実行するようにさらに構成されるシステム。 - 請求項12に記載のシステムにおいて、
1つまたは複数のパターンはさらに、
異なる種類の隣接する構造間の1つまたは複数の相対的位相差を含むシステム。 - 請求項12に記載のシステムにおいて、
1つまたは複数のバターンが、
ゴールデンダイ画像をさらに含み、ゴールデンダイ画像は、ウェハ上で周期的に繰り返される1つまたは複数の構造のユニットセルを表すシステム。 - 請求項22に記載のシステムにおいて、
ゴールデンダイ画像は、ウェハパターンマスクに基づくシステム。 - 請求項22に記載のシステムにおいて、
ゴールデンダイ画像は、ユニットセルを定義する1つまたは複数の構造の周期的な配置を特定することによって生成されるシステム。 - 請求項12に記載のシステムにおいて、
1つまたは複数の表示装置をさらに含み、1つまたは複数のプロセッサはさらに、アンラップト位相マップ、ゴールデンダイ、構造マップ、または1つまたは複数の構造種類の1つまたは複数のラベルのうちの少なくとも1つを1つまたは複数の表示装置上に表示するように構成されているシステム。 - 請求項12に記載のシステムにおいて、
1つまたは複数のユーザ入力装置をさらに含み、1つまたは複数のプロセッサはさらに、ユーザ入力を表す信号を受け取るようにさらに構成され、ユーザ入力は、ラベルを構造種類に割り当てること、またはアンラップト位相マップの1つまたは複数の領域を1つまたは複数の構造に関連付けること、の少なくとも1つを含むシステム。 - 請求項12に記載のシステムにおいて、
アンラップ位相マップの位相不連続性を、1つまたは複数のパターンの連続性条件に基づいて補正する前に、アンラップト位相マップを1つまたは複数のパターンに位置合わせするステップをさらに含み、位置合わせするステップは、アンラップト位相マップの中心位置、回転、または拡大のうちの少なくとも1つを調整することを含むシステム。 - 請求項12に記載のシステムにおいて、
位相アンラッピング手順を適用して、アンラップト位相マップを生成するステップは、Minimum Norm手順、経路追従手順、Flynn Minimum Discontinuity手順、Quality Guided Phase Unwrapping手順、またはPhase Unwrapping via Max Flows手順のうちの少なくとも1つを適用するステップを含むシステム。 - パターン援用位相アンラッピングを用いるウェハ計測システムにおいて、
ウェハを代表する干渉画像を生成するように構成された干渉計サブシステムであって、干渉画像を撮影するように構成された検出器を含む、干渉計サブシステムと、
検出器に通信可能に連結されたコントローラであって、アンラップト位相マップを生成するように構成された1つまたは複数のプロセッサを含むコントローラと、を含み、
1つまたは複数のプロセッサは、
1つまたは複数のプロセッサに、
干渉画像のラップト位相マップを生成し、
アンラップト位相マップ上に、ウェハ上の1つまたは複数の特徴物に関連する1つまたは複数のパターンを定義し、1つまたは複数のパターンは2つまたはそれ以上の構造を含み、1つまたは複数のパターンを定義することは、同じ種類の2つまたはそれ以上の構造を分離する1つまたは複数の境界をまたぐアンラップト位相マップの連続性条件を決定することを含み、
アンラップト位相マップの位相不連続性を1つまたは複数のパターンの連続性条件に基づいて補正する
ことをさせるように構成された1つまたは複数の命令を実行するように構成されるシステム。 - 請求項29に記載のシステムにおいて、
1つまたは複数のプロセッサはさらに、
ラップト位相マップの位相不連続性を1つまたは複数のパターンの連続性条件に基づいて補正する前に、1つまたは複数の構造の少なくとも1つに位相アンラッピング手順を適用するように構成されているシステム。 - 請求項12に記載のシステムにおいて、
アンラップト位相マップの位相不連続性を1つまたは複数のパターンの連続性条件に基づいて補正することは、
連続性条件に基づいて1つまたは複数の境界をまたぐ同じ種類の2つまたはそれ以上の構造間の位相差を記述する方程式系を生成し、
方程式系を解いて位相補正を決定し、アンラップト位相マップの位相不連続性を補正することを含む、システム。 - 請求項31に記載のシステムにおいて、
方程式系は、線形方程式系を含む、システム。 - 請求項12に記載のシステムにおいて、
アンラップト位相マップの位相不連続性を1つまたは複数のパターンの連続性条件に基づいて補正することは、
1つまたは複数の境界をまたぐ同じ種類の2つまたはそれ以上の構造間の位相差を同時に最小化して選択された許容範囲内として、アンラップト位相マップの位相不連続性を補正することを含む、システム。 - 請求項12に記載のシステムにおいて、
アンラップト位相マップの位相不連続性を1つまたは複数のパターンの連続性条件に基づいて補正することは、
経路追従方式を用いて位相補正を決定してアンラップト位相マップの位相不連続性を補正することを含む、システム。
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