JP2009264849A - 波形解析装置、コンピュータ実行可能な波形解析プログラム、干渉計装置、パターン投影形状測定装置、及び波形解析方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の波形解析方法は、フーリエ変換法を利用した解析処理を入力波形へ施すことにより、その入力波形の各成分を算出する本解析手順(S11)と、本解析手順で算出された各成分を基礎データとした関数フィッティングにより、各成分が既知のモデル波形を作成するモデル作成手順(S14、S15)と、モデル作成手順で作成されたモデル波形へ本解析手順と同じ解析処理を施すことにより、そのモデル波形の特定成分を算出するテスト解析手順(S16)と、テスト解析手順で算出された特定成分とモデル波形の実際の特定成分との差異を、テスト解析手順の特定成分に関する解析誤差として算出する誤差算出手順(S17)と、誤差算出手順で算出された解析誤差に基づき本解析手順で算出された特定成分を補正する補正手順(S21)とを含むことを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
Mitsuo Takeda et al. "Fourier-transform method of fringe-pattern analysis for computer-based topography and interferometry", Journal of the Optical Society of America.Vol. 72, No. 1, January 1982
本発明の波形解析方法の一態様は、フーリエ変換法を利用した解析処理を入力波形へ施すことにより、その入力波形の各成分を算出する本解析手順と、前記本解析手順で算出された各成分を基礎データとした関数フィッティングにより、各成分が既知のモデル波形を作成するモデル作成手順と、前記モデル作成手順で作成されたモデル波形へ前記本解析手順と同じ解析処理を施すことにより、そのモデル波形の特定成分を算出するテスト解析手順と、前記テスト解析手順で算出された特定成分と前記モデル波形の実際の特定成分との差異を、前記テスト解析手順の特定成分に関する解析誤差として算出する誤差算出手順と、前記誤差算出手順で算出された解析誤差に基づき前記本解析手順で算出された特定成分を補正する補正手順とを含むことを特徴とする。
以下、本発明の第1実施形態を説明する。本実施形態は、干渉計装置の実施形態である。
以下、本発明の第2実施形態を説明する。本実施形態は、パターン投影形状測定装置の実施形態である。
なお、本発明の波形解析装置の一態様は、前記誤差算出手段が算出した解析誤差に基づき前記基礎データの特定成分を更新しながら、前記モデル作成手段、前記テスト解析手段、前記誤差算出手段を繰り返し動作させる繰り返し手段を更に備え、前記補正手段は、前記繰り返しの最後の回に前記誤差算出手段が算出した解析誤差に基づき前記補正を行ってもよい。
Claims (13)
- フーリエ変換法を利用した解析処理を入力波形へ施すことにより、その入力波形の各成分を算出する本解析手段と、
前記本解析手段が算出した各成分を基礎データとした関数フィッティングにより、各成分が既知のモデル波形を作成するモデル作成手段と、
前記モデル作成手段が作成したモデル波形へ前記本解析手段と同じ解析処理を施すことにより、そのモデル波形の特定成分を算出するテスト解析手段と、
前記テスト解析手段が算出した特定成分と前記モデル波形の実際の特定成分との差異を、前記テスト解析手段の特定成分に関する解析誤差として算出する誤差算出手段と、
前記誤差算出手段が算出した解析誤差に基づき前記本解析手段が算出した特定成分を補正する補正手段と
を備えたことを特徴とする波形解析装置。 - 請求項1に記載の波形解析装置において、
前記誤差算出手段が算出した解析誤差に基づき前記基礎データの特定成分を更新しながら、前記モデル作成手段、前記テスト解析手段、前記誤差算出手段を繰り返し動作させる繰り返し手段を更に備え、
前記補正手段は、前記繰り返しの最後の回に前記誤差算出手段が算出した解析誤差に基づき前記補正を行う
ことを特徴とする波形解析装置。 - 請求項2に記載の波形解析装置において、
前記テスト解析手段は、前記モデル波形の各成分を算出し、
前記誤差算出手段は、前記テスト解析手段が算出した各成分と前記モデル波形の実際の各成分との差異を、前記テスト解析手段の各成分に関する解析誤差として算出し、
前記繰り返し手段は、前記誤差算出手段が算出した各成分の解析誤差に基づき前記基礎データの各成分を更新する
ことを特徴とする波形解析装置。 - 請求項1〜請求項3の何れか一項に記載の波形解析装置において、
前記入力波形は、
空間方向に変調された波形である
ことを特徴とする波形解析装置。 - 請求項1〜請求項4の何れか一項に記載の波形解析装置において、
前記入力波形は、
時間方向に変調された波形である
ことを特徴とする波形解析装置。 - フーリエ変換法を利用した解析処理を入力波形へ施すことにより、その入力波形の各成分を算出する本解析手順と、
前記本解析手順で算出された各成分を基礎データとした関数フィッティングにより、各成分が既知のモデル波形を作成するモデル作成手順と、
前記モデル作成手順で作成されたモデル波形へ前記本解析手順と同じ解析処理を施すことにより、そのモデル波形の特定成分を算出するテスト解析手順と、
前記テスト解析手順で算出された特定成分と前記モデル波形の実際の特定成分との差異を、前記テスト解析手順の特定成分に関する解析誤差として算出する誤差算出手順と、
前記誤差算出手順で算出された解析誤差に基づき前記本解析手順で算出された特定成分を補正する補正手順と
を含むことを特徴とするコンピュータ実行可能な波形解析プログラム。 - 請求項6に記載のコンピュータ実行可能な波形解析プログラムにおいて、
前記誤差算出手順で算出された解析誤差に基づき前記基礎データの特定成分を更新しながら、前記モデル作成手順、前記テスト解析手順、前記誤差算出手順を繰り返し実行する繰り返し手順を更に含み、
前記補正手順は、前記繰り返しの最後の回に前記誤差算出手順で算出された解析誤差に基づき前記補正を行う
ことを特徴とするコンピュータ実行可能な波形解析プログラム。 - 請求項6に記載のコンピュータ実行可能な波形解析プログラムにおいて、
前記テスト解析手順では、前記モデル波形の各成分を算出し、
前記誤差算出手順では、前記テスト解析手順で算出された各成分と前記モデル波形の実際の各成分との差異を、前記テスト解析手順の各成分に関する解析誤差として算出し、
前記繰り返し手順では、前記誤差算出手順で算出された各成分の解析誤差に基づき前記基礎データの各成分を更新する
ことを特徴とするコンピュータ実行可能な波形解析プログラム。 - 請求項6〜請求項8の何れか一項に記載のコンピュータ実行可能な波形解析プログラムにおいて、
前記入力波形は、
空間方向に変調された波形である
ことを特徴とするコンピュータ実行可能な波形解析プログラム。 - 請求項6〜請求項9の何れか一項に記載のコンピュータ実行可能な波形解析プログラムにおいて、
前記入力波形は、
時間方向に変調された波形である
ことを特徴とするコンピュータ実行可能な波形解析プログラム。 - 請求項1〜請求項5の何れか一項に記載の波形解析装置を備えたことを特徴とする干渉計装置。
- 請求項1〜請求項5の何れか一項に記載の波形解析装置を備えたことを特徴とするパターン投影形状測定装置。
- フーリエ変換法を利用した解析処理を入力波形へ施すことにより、その入力波形の各成分を算出する本解析手順と、
前記本解析手順で算出された各成分を基礎データとした関数フィッティングにより、各成分が既知のモデル波形を作成するモデル作成手順と、
前記モデル作成手順で作成されたモデル波形へ前記本解析手順と同じ解析処理を施すことにより、そのモデル波形の特定成分を算出するテスト解析手順と、
前記テスト解析手順で算出された特定成分と前記モデル波形の実際の特定成分との差異を、前記テスト解析手順の特定成分に関する解析誤差として算出する誤差算出手順と、
前記誤差算出手順で算出された解析誤差に基づき前記本解析手順で算出された特定成分を補正する補正手順と
を含むことを特徴とする波形解析方法。
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