JP6169856B2 - 裏面入射型エネルギー線検出素子 - Google Patents
裏面入射型エネルギー線検出素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6169856B2 JP6169856B2 JP2013025798A JP2013025798A JP6169856B2 JP 6169856 B2 JP6169856 B2 JP 6169856B2 JP 2013025798 A JP2013025798 A JP 2013025798A JP 2013025798 A JP2013025798 A JP 2013025798A JP 6169856 B2 JP6169856 B2 JP 6169856B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective film
- region
- energy ray
- detection element
- charge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 158
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 63
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 14
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 30
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 13
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 241000519995 Stachys sylvatica Species 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/0352—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their shape or by the shapes, relative sizes or disposition of the semiconductor regions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1464—Back illuminated imager structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/148—Charge coupled imagers
- H01L27/14806—Structural or functional details thereof
- H01L27/14812—Special geometry or disposition of pixel-elements, address lines or gate-electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/148—Charge coupled imagers
- H01L27/14831—Area CCD imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/08—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
- H01L31/10—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by potential barriers, e.g. phototransistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1463—Pixel isolation structures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
まず、図1〜図6を参照して、第1実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子1の構成を説明する。図1は、第1実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子を第一主面側から見た図である。図2は、第1実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子を第二主面側から見た図である。図3は、図1及び図2のIII―III線に沿った断面構成を説明するための図である。図4は、第1実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子の構成を模式的に示す図である。図5は、補助配線及び電荷排出用配線の配置の一例を示す構成図である。図6は、オーバーフロードレイン及び画素分離部の配置の一例を示す構成図である。
図8及び図9を参照して、第2実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子について説明する。第2実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子1は、保護膜21を除いて第1実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子1と同様である。以下、第1実施形態との重複説明は省略し、相違点を中心に説明する。
図10を参照して、第3実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子について説明する。第3実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子1は、保護膜21を除いて第1実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子1と同様である。以下、第1実施形態との重複説明は省略し、相違点を中心に説明する。
図11を参照して、第4実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子について説明する。第4実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子1は、保護膜21を除いて第1実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子1と同様である。以下、第1実施形態との重複説明は省略し、相違点を中心に説明する。
図12を参照して、第5実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子について説明する。第5実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子1では、保護膜21を除いて第1実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子と同様である。以下、第1実施形態との重複説明は省略し、相違点を中心に説明する。
図13を参照して、第6実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子について説明する。第6実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子1では、保護膜21を除いて第1実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子と同様である。以下、第1実施形態との重複説明は省略し、相違点を中心に説明する。
図14を参照して、第7実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子について説明する。第7実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子1では、保護膜21を除いて第1実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子1と同様である。以下、第1実施形態との重複説明は省略し、相違点を中心に説明する。
図15を参照して、第8実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子について説明する。第8実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子1では、保護膜21を除いて第1実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子1と同様である。以下、第1実施形態との重複説明は省略し、相違点を中心に説明する。
図16を参照して、第9実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子について説明する。第9実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子1では、保護膜21を除いて第1実施形態に係る裏面入射型エネルギー線検出素子と同様である。以下、第1実施形態との重複説明は省略し、相違点を中心に説明する。
Claims (10)
- エネルギー線入射面としての第一主面と前記第一主面に対向する第二主面とを有し、エネルギー線の入射に応じて電荷を発生する電荷発生領域が前記第二主面側に設けられている半導体基板と、
前記電荷発生領域を少なくとも覆うように前記第二主面側に設けられ、シリコン窒化物又はシリコン窒化酸化物を含む保護膜と、を備え、
前記電荷発生領域では、画素が二次元配列されており、
前記保護膜は、前記保護膜に発生する応力を緩和させる応力緩和部を有し、
前記応力緩和部は、前記保護膜の厚み方向に窪んだ有底状又は無底状の凹部であることを特徴とする裏面入射型エネルギー線検出素子。 - 前記凹部は、前記第二主面に平行な方向に延びる溝部であることを特徴とする請求項1に記載の裏面入射型エネルギー線検出素子。
- 前記応力緩和部として、同一の方向に延びる複数の前記溝部を有することを特徴とする請求項2に記載の裏面入射型エネルギー線検出素子。
- 前記電荷発生領域は、第一方向に併置された複数のエネルギー線感応領域を有し、
前記電荷発生領域に対向するように配置され、各前記エネルギー線感応領域にて発生した電荷を前記第一方向に直交する第二方向にそれぞれ転送する電荷転送部を、更に備え、
前記複数の溝部が、前記第一方向に沿う方向に延びていることを特徴とする請求項3に記載の裏面入射型エネルギー線検出素子。 - 前記電荷発生領域は、第一方向に併置された複数のエネルギー線感応領域を有し、
前記電荷発生領域に対向するように配置され、各前記エネルギー線感応領域にて発生した電荷を前記第一方向に直交する第二方向にそれぞれ転送する電荷転送部を、更に備え、
前記複数の溝部が、前記第二方向に沿う方向に延びていることを特徴とする請求項3に記載の裏面入射型エネルギー線検出素子。 - 前記複数の溝部は、隣り合う二つの前記エネルギー線感応領域の間の領域に対応するように配置されていることを特徴とする請求項5に記載の裏面入射型エネルギー線検出素子。
- 前記凹部は、格子状の溝部であることを特徴とする請求項1に記載の裏面入射型エネルギー線検出素子。
- 前記応力緩和部として、二次元配列された複数の前記凹部を有することを特徴とする請求項1に記載の裏面入射型エネルギー線検出素子。
- 前記電荷発生領域は、第一方向に併置された複数のエネルギー線感応領域を有し、
前記電荷発生領域に対向するように配置され、各前記エネルギー線感応領域にて発生した電荷を前記第一方向に直交する第二方向にそれぞれ転送する電荷転送部を、更に備え、
前記電荷転送部は、前記第一方向と前記第二方向とに交差する方向に延び且つ互いに間隔をおいて配置された複数の配線を有し、
前記複数の溝部が、前記複数の配線上に位置していることを特徴とする請求項3に記載の裏面入射型エネルギー線検出素子。 - 前記電荷発生領域は、第一方向に併置された複数のエネルギー線感応領域を有し、
前記電荷発生領域に対向するように配置され、各前記エネルギー線感応領域にて発生した電荷を前記第一方向に直交する第二方向にそれぞれ転送する電荷転送部を、更に備え、
前記電荷転送部は、前記第一方向と前記第二方向とに交差する方向に延び且つ互いに間隔をおいて配置された複数の配線を有し、
前記複数の溝部が、隣り合う二つの前記配線の間の領域上に位置していることを特徴とする請求項3に記載の裏面入射型エネルギー線検出素子。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013025798A JP6169856B2 (ja) | 2013-02-13 | 2013-02-13 | 裏面入射型エネルギー線検出素子 |
KR1020157020858A KR102239290B1 (ko) | 2013-02-13 | 2014-01-24 | 이면 입사형 에너지선 검출 소자 |
US14/766,778 US10573769B2 (en) | 2013-02-13 | 2014-01-24 | Backside-illuminated energy ray detection element |
PCT/JP2014/051533 WO2014125904A1 (ja) | 2013-02-13 | 2014-01-24 | 裏面入射型エネルギー線検出素子 |
EP14751872.4A EP2958145B1 (en) | 2013-02-13 | 2014-01-24 | Backside-illuminated energy ray detection element |
CN201480008286.6A CN105009287B (zh) | 2013-02-13 | 2014-01-24 | 背面入射型能量线检测元件 |
TW103104298A TWI652807B (zh) | 2013-02-13 | 2014-02-10 | 背面射入型能量線檢測元件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013025798A JP6169856B2 (ja) | 2013-02-13 | 2013-02-13 | 裏面入射型エネルギー線検出素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014154833A JP2014154833A (ja) | 2014-08-25 |
JP6169856B2 true JP6169856B2 (ja) | 2017-07-26 |
Family
ID=51353914
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013025798A Active JP6169856B2 (ja) | 2013-02-13 | 2013-02-13 | 裏面入射型エネルギー線検出素子 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10573769B2 (ja) |
EP (1) | EP2958145B1 (ja) |
JP (1) | JP6169856B2 (ja) |
KR (1) | KR102239290B1 (ja) |
CN (1) | CN105009287B (ja) |
TW (1) | TWI652807B (ja) |
WO (1) | WO2014125904A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11522098B2 (en) * | 2016-04-01 | 2022-12-06 | Trustees Of Dartmouth College | UV/VIS/IR backside-illuminated photon-counting sensor |
JP7204319B2 (ja) | 2017-11-07 | 2023-01-16 | キヤノン株式会社 | エネルギー線の検出器、検出装置、機器 |
EP3664162A1 (en) * | 2017-11-15 | 2020-06-10 | Kaneka Corporation | Photoelectric conversion element and photoelectric conversion device |
JP2019220499A (ja) * | 2018-06-15 | 2019-12-26 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置 |
CN110137133A (zh) * | 2019-03-07 | 2019-08-16 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 半导体器件的制作方法 |
US11710759B2 (en) | 2019-12-23 | 2023-07-25 | Integrated Biometrics, Llc | Single contact relief print generator |
CN114242802A (zh) * | 2021-12-17 | 2022-03-25 | 江苏尚飞光电科技股份有限公司 | 一种背照式光电探测器及其阵列 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4894703A (en) * | 1982-03-19 | 1990-01-16 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Restricted contact, planar photodiode |
JP3924352B2 (ja) | 1997-06-05 | 2007-06-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | 裏面照射型受光デバイス |
JP4482455B2 (ja) * | 2002-11-18 | 2010-06-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | 裏面入射型ホトダイオードアレイ、その製造方法及び半導体装置 |
JP4107096B2 (ja) | 2003-02-10 | 2008-06-25 | ヤマハ株式会社 | ウェットエッチング方法 |
JP4220808B2 (ja) * | 2003-03-10 | 2009-02-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | ホトダイオードアレイおよびその製造方法並びに放射線検出器 |
JP4220818B2 (ja) * | 2003-03-27 | 2009-02-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | ホトダイオードアレイおよびその製造方法並びに放射線検出器 |
JP2006073885A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Canon Inc | 固体撮像装置、その製造方法、およびデジタルカメラ |
JP5453832B2 (ja) * | 2009-02-20 | 2014-03-26 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置および撮像装置 |
JP2011249461A (ja) * | 2010-05-25 | 2011-12-08 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
US8053856B1 (en) | 2010-06-11 | 2011-11-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Backside illuminated sensor processing |
JP2012023251A (ja) * | 2010-07-15 | 2012-02-02 | Sony Corp | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法、電子機器 |
JP2012109496A (ja) | 2010-11-19 | 2012-06-07 | Sony Corp | 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法、および電子機器 |
JP5668696B2 (ja) | 2012-01-13 | 2015-02-12 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタ基板の製造方法 |
-
2013
- 2013-02-13 JP JP2013025798A patent/JP6169856B2/ja active Active
-
2014
- 2014-01-24 CN CN201480008286.6A patent/CN105009287B/zh active Active
- 2014-01-24 WO PCT/JP2014/051533 patent/WO2014125904A1/ja active Application Filing
- 2014-01-24 EP EP14751872.4A patent/EP2958145B1/en active Active
- 2014-01-24 KR KR1020157020858A patent/KR102239290B1/ko active IP Right Grant
- 2014-01-24 US US14/766,778 patent/US10573769B2/en active Active
- 2014-02-10 TW TW103104298A patent/TWI652807B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201436179A (zh) | 2014-09-16 |
JP2014154833A (ja) | 2014-08-25 |
KR20150119853A (ko) | 2015-10-26 |
TWI652807B (zh) | 2019-03-01 |
US20150380580A1 (en) | 2015-12-31 |
EP2958145A4 (en) | 2016-08-24 |
EP2958145A1 (en) | 2015-12-23 |
CN105009287B (zh) | 2018-09-11 |
US10573769B2 (en) | 2020-02-25 |
CN105009287A (zh) | 2015-10-28 |
EP2958145B1 (en) | 2020-12-09 |
KR102239290B1 (ko) | 2021-04-09 |
WO2014125904A1 (ja) | 2014-08-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6169856B2 (ja) | 裏面入射型エネルギー線検出素子 | |
US9653622B2 (en) | Image pickup apparatus and image pickup system | |
US20180286896A1 (en) | Image sensor | |
KR101693880B1 (ko) | 고체 촬상 소자, 촬상 장치 | |
US7738021B2 (en) | Imaging device | |
JP5963450B2 (ja) | 撮像装置および撮像システム | |
US8593554B2 (en) | Solid-state imaging apparatus, camera, and method of manufacturing solid-state imaging apparatus | |
EP1684351A1 (en) | Solid-state image pickup device | |
JP2010245100A (ja) | 固体撮像素子 | |
JP2007299840A (ja) | Ccd型固体撮像素子及びその製造方法 | |
US9491384B2 (en) | Solid imaging device including photoelectric conversion unit and TDI transfer unit | |
JP2005109021A (ja) | 固体撮像素子 | |
US20080024640A1 (en) | Method for driving solid-state image sensor | |
JP2001057421A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP4403383B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
WO2010110275A1 (ja) | 裏面入射型固体撮像素子 | |
JP2009064982A (ja) | 固体撮像素子 | |
JP5000258B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
US20080023729A1 (en) | Solid-state image sensor | |
KR20240031244A (ko) | 수광 장치 및 x선 촬상 장치, 그리고 전자 기기 | |
JP2011146608A (ja) | 固体撮像素子、撮像装置、及び固体撮像素子の製造方法 | |
JP2006179696A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2011243791A (ja) | 固体撮像素子 | |
JP2007142040A (ja) | 固体撮像素子 | |
JP2007299806A (ja) | 固体撮像装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160830 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161018 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170314 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170515 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170627 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170629 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6169856 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |