JP6163779B2

JP6163779B2 - 素子の折り取り方法および素子折り取り装置

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Publication number: JP6163779B2
Application number: JP2013027613A
Authority: JP
Inventors: 周治小平; 中島　剛; 中島　　剛
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Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2013-02-15
Filing date: 2013-02-15
Publication date: 2017-07-19
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Also published as: JP2014158148A

Description

本発明は、素子の折り取り方法および素子折り取り装置に関する。

従来から、半導体素子（ＩＣ）あるいは圧電振動素子などを製造する方法として、一般的にウェハーと呼ばれる基板に、複数の素子をフォトリソグラフィー技術などによって形成し、この基板の形態で配線や電極などを形成した後に、基板から各素子をダイシングあるいは折り取りによって個片化して素子単体を得る方法が知られている。中でも、折り取りにより個片化する方法は、特別な装置や工程を必要とせず、低コストで製造する方法として多用されている。
しかし、近年の前述の素子を用いたデバイスの小型・薄型化の要求に伴い、素子の小型化が図られ、手動による折り取りでは、工数が増大し低コスト化が図れないという問題があった。
そのため、特許文献１では、ウェハーに形成された複数の素子に対向する折り取りピンを有し、その折り取りピンを素子に押し当てウェハーから複数の素子を同時に折り取ると共に、折り取った複数の素子を以降の作業工程に利用し易いようにして、作業効率を向上できる素子の折り取り方法や素子折り取り装置が開示されている。

特開２００７−１３５１３２号公報

しかし、折り取りピンを素子に直接押し当てることで、ウェハーから素子を折り取るため、素子に形成された電極を傷つけてしまい素子の特性が劣化するという問題があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係る素子の折り取り方法は、素子を支持しているウェハーと、第１の開口部を有しているウェハー載置部と前記ウェハー載置部の前記第１の開口部よりも前記素子の長辺方向に沿った長さが短い第２の開口部を有しているウェハー押さえ部とを備えた素子折り取り装置と、を準備する工程と、前記ウェハー載置部と前記ウェハーと前記ウェハー押さえ部とを平面視で、前記素子が前記ウェハー載置部の前記第１の開口部の外縁の内側に位置し、且つ、前記ウェハー載置部の前記第１の開口部と前記ウェハー押さえ部の前記第２の開口部との中心がずれるような位置に、前記ウェハー載置部と前記ウェハーと前記ウェハー押さえ部とを積層し配置する工程と、前記素子に対して前記ウェハー押さえ部側よりも前記ウェハー載置部側の気圧を低くして、前記ウェハーから前記素子を折り取る工程と、を含むことを特徴とする。

本適用例によれば、ウェハー載置部の第１の開口部の素子の長辺方向に沿った長さがウェハー押さえ部の第２の開口部の素子の長辺方向に沿った長さより長くした構成とすることで、ウェハー載置部側からウェハーを吸引した場合、ウェハー載置部側をより気圧を低くすることができるため、素子を折り取りし易くできるという効果がある。また、ウェハー載置部の第１の開口部とウェハー押さえ部の第２の開口部との中心をずれるように配置し、特に、ウェハー押さえ部の開口部を素子のウェハーとの支持部とは反対側の先端部側へずれるように配置することで、ウェハー載置部側から吸引した場合、素子の先端部がより気圧が低くなりウェハー載置部側への変位量が大きくなるため、素子をより折り取りし易くできるという効果がある。

［適用例２］上記適用例に記載の素子の折り取り方法において、前記折り取る工程では、前記ウェハー載置部側から前記素子を吸引して前記素子を折り取ることを特徴とする。

本適用例によれば、ウェハー載置部側から吸引して気圧を低くすることにより、素子がウェハー載置部側へ変位し、ウェハーとの支持部に応力が集中するので、素子を折り取りし易くできるという効果がある。

［適用例３］上記適用例に記載の素子の折り取り方法において、前記ウェハー載置部と前記ウェハーと前記ウェハー押さえ部とを積層する方向の平面視で、前記ウェハー押さえ部の前記第２の開口部が前記素子と前記ウェハーとの支持部とは反対側の前記素子の端部側に配置することを特徴とする。

本適用例によれば、ウェハー押さえ部の第２の開口部が素子とウェハーとの支持部とは反対側の素子の端部側に配置することで、ウェハー載置部側からウェハーを吸引した場合、素子の先端部がより気圧が低くなり変位量が大きくなるため、素子をより折り取りし易くできるという効果がある。

［適用例４］上記適用例に記載の素子の折り取り方法において、前記ウェハー押さえ部の前記第２の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さは、前記ウェハー載置部の前記第１の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さの１／２以上３／４以下の範囲内であることを特徴とする。

本適用例によれば、ウェハー押さえ部の第２の開口部の素子の長辺方向に沿った長さをウェハー載置部の第１の開口部の素子の長辺方向に沿った長さの１／２より小さくすると、ウェハー押さえ部の第２の開口部の面積が小さいため、ウェハー搭載部側から吸引した際に、ウェハー押さえ部側とウェハー搭載部側との気圧差が小さくなり、素子を吸引する力が低下し折り取り難くなる。また、ウェハー押さえ部の第２の開口部の長さが３／４より大きい場合には、ウェハー押さえ部の第２の開口部が素子の先端部より長くなり、素子の先端部との開放部が広がるので、ウェハー押さえ部側からウェハー搭載部側へ流出する空気が多くなり、ウェハー押さえ部側とウェハー搭載部側との気圧差が小さくなることで、素子を吸引する力が低下し折り取り難くなる。従って、ウェハー押さえ部の第２の開口部の長さをウェハー載置部の第１の開口部の長さの１／２以上３／４以下の範囲内とすることで、素子が折り取りし難くなる要因を低減することができるため、素子をより折り取りし易くできるという効果がある。

［適用例５］上記適用例に記載の素子の折り取り方法において、前記ウェハー押さえ部は突起部を有し、前記配置する工程では、前記ウェハーと前記ウェハー押さえ部とを積層する方向の平面視で、前記突起部が前記素子と重なるように配置することを特徴とする。

本適用例によれば、ウェハー押さえ部は突起部が素子と重なるように配置することで、ウェハーを押さえた際に、突起部が素子をウェハー搭載部側へ押し込むため、より折れ易くなるという効果がある。

［適用例６］上記適用例に記載の素子の折り取り方法において、前記ウェハー押さえ部の前記第２の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さは、前記ウェハー載置部の前記第１の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さの１／８以上１／２以下の範囲内であることを特徴とする。

本適用例によれば、ウェハー押さえ部の第２の開口部の素子の長辺方向に沿った長さをウェハー搭載部の第１の開口部の素子の長辺方向に沿った長さに対し１／８以上１／２以下の範囲内とすることで、１／８より小さい場合に起こるウェハー押さえ部側とウェハー搭載部側との気圧差が小さくなることで生じる吸引力の低下による折り取り難くなる虞を低減できる。また、１／２より大きい場合にはウェハー押さえ部の第２の開口部が素子の端部より長くなり、素子の端部との開放部が広がるので、ウェハー押さえ部側からウェハー搭載部側へ流出する空気が多くなり、ウェハー押さえ部側とウェハー搭載部側との気圧差が小さくなり、素子の吸引力が低下するため、折り取り難くなる虞を低減することができるという効果がある。

［適用例７］上記適用例に記載の素子の折り取り方法において、前記突起部の高さは０．０３ｍｍ以上０．１８ｍｍ以下の範囲内であることを特徴とする。

本適用例によれば、突起部の高さを０．０３ｍｍ以上０．１８ｍｍ以下の範囲内とすることで、０．０３ｍｍより低い場合に生じる素子を押し込む変位量が小さくなることで折り取り難くなる虞を低減し、０．１８ｍｍより高い場合にはより折り取りがし易くなるが素子に傷を付け特性劣化を生じさせる虞を低減することができるという効果がある。

［適用例８］上記適用例に記載の素子の折り取り方法において、前記ウェハー載置部側には吸引口を有し、前記ウェハー載置部側の前記吸引口は、前記ウェハー載置部と前記ウェハーとを積層する方向の平面視で、前記素子の外縁の内側にあることを特徴とする。

本適用例によれば、ウェハー載置部側の吸引口が素子の外縁の内側にあることで、ウェハー載置部側から吸引した場合、素子の中央部を吸引することができるため、吸引力が増しより折り取りし易くすることができるという効果がある。

［適用例９］本適用例に係る素子折り取り装置は、第１の開口部を有し、素子を支持しているウェハーを載置するためのウェハー載置部と、前記ウェハー載置部の前記第１の開口部よりも前記素子の長辺方向に沿った長さが短い第２の開口部を有し、前記ウェハー載置部とともに前記ウェハーを挟むように固定するためのウェハー押さえ部と、前記ウェハー載置部側に前記素子を吸引するための吸引手段と、を備えていることを特徴とする。

本適用例の素子折り取り装置によれば、第１の開口部を有し、素子を支持しているウェハーを載置するためのウェハー載置部と、ウェハー載置部の第１の開口部よりも素子の長辺方向に沿った長さが短い第２の開口部を有し、ウェハー載置部とともにウェハーを挟むように固定するためのウェハー押さえ部と、ウェハー載置部側にウェハーを吸引するための吸引手段と、を備えた装置とすることで、素子を傷つけることなく、ウェハーから複数の素子を一括して折り取ることができるという効果がある。

［適用例１０］上記適用例に記載の素子折り取り装置において、前記ウェハー押さえ部の前記第２の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さは、前記ウェハー載置部の前記第１の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さの１／２以上３／４以下の範囲内であることを特徴とする。

本適用例の素子折り取り装置によれば、ウェハー押さえ部の第２の開口部の素子の長辺方向に沿った長さをウェハー載置部の第１の開口部の素子の長辺方向に沿った長さの１／２より短くすると、ウェハー押さえ部の第２の開口部の面積が小さいため、ウェハー搭載部側から吸引した際に、ウェハー押さえ部側とウェハー搭載部側との気圧差が小さくなり、素子を吸引する力が低下し折り取り難くなる。また、ウェハー押さえ部の第２の開口部の長さが３／４より長い場合には、ウェハー押さえ部の第２の開口部が素子の端部より長くなり、素子の端部との開放部が広がるので、ウェハー押さえ部側からウェハー搭載部側へ流出する空気が多くなり、ウェハー押さえ部側とウェハー搭載部側との気圧差が小さくなることで、素子を吸引する力が低下し折り取り難くなる。従って、ウェハー押さえ部の第２の開口部の素子の長辺方向に沿った長さをウェハー載置部の第１の開口部の素子の長辺方向に沿った長さの１／２以上３／４以下の範囲内とすることで、素子が折り取りし難くなる要因を低減することができるため、素子をより折り取りし易くできるという効果がある。

［適用例１１］上記適用例に記載の素子折り取り装置において、前記ウェハー押さえ部は突起部を有することを特徴とする。

本適用例の素子折り取り装置によれば、ウェハー押さえ部に突起部を設け、その突起部を素子と重なるように配置することで、ウェハーを押さえた際に、突起部が素子をウェハー搭載部側へ押し込むため、より折れ易くなるという効果がある。

［適用例１２］上記適用例に記載の素子折り取り装置において、前記ウェハー押さえ部の前記第２の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さは、前記ウェハー載置部の前記第１の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さの１／８以上１／２以下の範囲内であることを特徴とする。

本適用例の素子折り取り装置によれば、ウェハー押さえ部の第２の開口部の素子の長辺方向に沿った長さをウェハー搭載部の第１の開口部の素子の長辺方向に沿った長さに対し１／８以上１／２以下の範囲内とすることで、１／８より短い場合に起こるウェハー押さえ部側とウェハー搭載部側との気圧差が小さくなることで生じる吸引力の低下による折り取り難くなる虞を低減できる。また、１／２より長い場合にはウェハー押さえ部の第２の開口部が素子の先端部より長くなり、素子の先端部との開放部が広がるので、ウェハー押さえ部側からウェハー搭載部側へ流出する空気が多くなり、ウェハー押さえ部側とウェハー搭載部側との気圧差が小さくなり、素子の吸引力が低下するため、折り取り難くなる虞を低減することができるという効果がある。

［適用例１３］上記適用例に記載の素子折り取り装置において、前記突起部の高さは０．０３ｍｍ以上０．１８ｍｍ以下の範囲内であることを特徴とする。

本適用例の素子折り取り装置によれば、ウェハー押さえ部に設けた突起部の高さを０．０３ｍｍ以上０．１８ｍｍ以下の範囲内とすることで、０．０３ｍｍより低い場合に生じる素子を押し込む変位量が小さくなることで折り取り難くなる虞を低減し、０．１８ｍｍより高い場合にはより折り取りがし易くなるが素子に傷を付け特性劣化を生じる虞を低減することができるという効果がある。

［適用例１４］上記適用例に記載の素子折り取り装置において、前記ウェハー載置部側には吸引口を有し、前記ウェハー載置部側の前記吸引口は、前記ウェハー載置部と前記ウェハーとを積層する方向の平面視で、素子の外縁の内側にあることを特徴とする。

本適用例の素子折り取り装置によれば、ウェハー載置部側の吸引口が素子の外縁の内側にあることで、ウェハー載置部側から吸引した場合、素子の中央部を吸引することができるため、吸引力が増しより折り取りし易くすることができるという効果がある。

本発明の第１の実施形態に係る素子折り取り装置で折り取った素子を搭載した振動子の概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＡ−Ａ線断面図。本発明の第１の実施形態に係る素子が複数形成されたウェハーの概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は素子とフレームとの支持部分の拡大図。本発明の第１の実施形態に係る素子折り取り装置を示す概略斜視図。本発明の第１の実施形態に係る素子折り取り装置の素子折り取り部の拡大概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＢ−Ｂ線断面図。本発明の第１の実施形態に係る素子折り取り装置の素子折り取り部の拡大概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＣ−Ｃ線断面図。本発明の第２の実施形態に係る素子折り取り装置の素子折り取り部の拡大概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はＤ−Ｄ線断面図。本発明の第３の実施形態に係る素子折り取り装置を示す概略斜視図。本発明の第４の実施形態に係る素子折り取り装置を示す概略斜視図。本発明の第４の実施形態に係る素子折り取り装置の素子折り取り部の拡大断面図。本発明の第５の実施形態に係る素子折り取り装置を示す概略斜視図。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

図１は、本発明の各実施形態に係る素子折り取り装置を用いて折り取った後の素子を搭載した振動子の概略図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。なお、図１（ａ）において、振動子１０の内部の構成を説明する便宜上、リッド３２を取り外した状態を図示している。

図１に示す振動子１０は、本発明の各実施形態に係る素子折り取り装置により折り取られた素子１２と、素子１２を搭載するベース３０と、素子１２を気密封止するためのリッド３２と、を含み構成されている。
ベース３０とリッド３２とは、素子１２が実装されているキャビティ部を気密封止するために、低融点ガラスなどの接合部材４０により接合されている。

素子１２は、Ｘ軸方向を長辺方向とする略矩形形状であり、主面の表裏に励振電極１４と、リード電極１６と、パッド電極１８とが形成されている。励振電極１４は素子１２のほぼ中央に、パッド電極１８は素子１２の端部に配置されており、励振電極１４とパッド電極１８とはリード電極１６により電気的に接続されている。また、パッド電極１８は、例えば、金属あるいは半田などからなるバンプや導電性接着剤などの接合部材４２により、ベース３０のキャビティ内に設けられた接続電極３４に接合されている。なお、接続電極３４はベース３０の内部に設けられた貫通電極（図示せず）などを介して、外部端子３６と電気的に接続されている。

図２は、図１の振動子１０に用いられる素子１２が複数形成されたウェハー２０の概略図であり、図２（ａ）はウェハー２０の平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）の素子１２とフレーム部２２との支持部分の拡大図である。なお、素子１２の励振電極１４、リード電極１６およびパッド電極１８は図示を省略している。

図２（ａ）に示すように、ウェハー２０にはマトリックス状に配列された複数の素子１２が形成されている。また、図２（ｂ）に示すように、ウェハー２０はフレーム部２２を有し、このフレーム部２２に支持部２４を介して素子１２が支持されている。支持部２４は素子１２と連結する側に、素子１２を折り取りし易くするためのくびれ部２６を有し、強度の弱くなったこのくびれ部２６においてウェハー２０のフレーム部２２から素子１２を分離することができる。なお、素子の長辺方向に沿った長さとは、支持部２４と、支持部２４の反対側にある自由端部とを結ぶ方向、即ちＸ軸方向の長さである。また、本実施形態では、１個の素子１２に対して２本の支持部２４で支持しているが、支持部２４は１本以上であれば何本でも構わない。

＜第１の実施形態＞
図３は、本発明の第１の実施形態に係る素子折り取り装置を示す概略斜視図である。また、図４は、本発明の第１の実施形態に係る素子折り取り装置の素子折り取り部の拡大概略図であり、図４（ａ）は平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
以下、ウェハー２０から複数の素子１２を折り取るための素子折り取り装置５０についての説明とともに、この素子折り取り装置５０を用いた素子の折り取り方法を説明する。

本発明の第１の実施形態に係る素子折り取り装置５０は、図３に示すように、ウェハー搭載部を有するウェハー搭載マスク７０と、ウェハー２０を押さえ込むように固定するウェハー押さえ部を有するウェハー押さえマスク６０と、ウェハー搭載マスク７０側からウェハー２０に形成された素子１２を吸引するための吸引手段と、を備えている。なお、吸引手段とは、吸引ボックス１１０の上部に設置された吸引プレート１００の吸引口から吸引ボックス１１０に設けられた通気管１１２に接続した真空発生装置（図示せず）を駆動し、ウェハー搭載マスク７０側の気圧を低くすることである。

また、図４に示すように、ウェハー押さえマスク６０に設けられた第２の開口部６２と、ウェハー搭載マスク７０に設けられた第１の開口部７２と、素子収容トレー８０に設けられた収容部８２とはウェハー２０に形成された複数の素子１２にそれぞれ対向する位置に形成されている。更に、素子収容トレー８０の収容部８２に設けられた吸引口である吸引孔８４と、吸引プレート１００に設けられた吸引口である吸引孔１０２とはウェハー２０に形成された複数の素子１２にそれぞれ対向する位置で、且つ、素子１２の外縁の内側に形成されている。

本発明の第１の実施形態に係る素子の折り取り方法は、先ず、複数の素子１２を支持しているウェハー２０と、ウェハー搭載マスク７０とウェハー押さえマスク６０とを備えた素子折り取り装置５０を準備する。次に、位置決め用のピン（図示せず）とマスクを押さえるためのマグネット（図示せず）とを有するベースプレート９０の上に素子収容トレー８０を配置する。その後、素子収容トレー８０の上にウェハー搭載マスク７０、ウェハー２０、ウェハー押さえマスク６０の順に重ねて配置する。ここで、第１の開口部７２、第２の開口部６２、収容部８２および吸引孔８４の位置は、ウェハー押さえマスク６０、ウェハー搭載マスク７０および素子収容トレー８０に設けられた位置決め用の孔（図示せず）をベースプレート９０に設けられた位置決め用のピンに挿入することで、ウェハー２０に形成された複数の素子１２にそれぞれ対向する位置に合わせることができる。従って、ウェハー押さえマスク６０と、ウェハー２０と、ウェハー搭載マスク７０とを積層する方向の平面視で、ウェハー押さえマスク６０の第２の開口部６２と、素子１２と、ウェハー搭載マスク７０の第１の開口部７２とは重なるように配置される。

次に、ウェハー２０を配置したベースプレート９０を吸引ボックス１１０の上部に設置された吸引プレート１００に重ねるように設置する。ここで、素子収容トレー８０に設けられた吸引孔８４と、吸引プレート１００に設けられた吸引孔１０２とが重なり合うように配置する。次に、吸引ボックス１１０に設けられた通気管１１２に接続した真空ポンプなどの真空発生装置を駆動し素子１２を吸引することで、ウェハー搭載マスク７０の第１の開口部７２側の気圧が低くなり素子１２がウェハー搭載マスク７０側に曲げられて折れる。よって、ウェハー２０のフレーム部２２に支持された複数の素子１２を一括して折り取ることができる。その後、素子収容トレー８０の収容部８２に個片化して収容された素子１２は、次工程であるパッケージへのマウント工程へ移される。

次に、ウェハー押さえマスク６０の第２の開口部６２とウェハー搭載マスク７０の第１の開口部７２の位置関係について説明する。
図５は、本発明の第１の実施形態に係る素子折り取り装置の素子折り取り部の拡大概略図であり、図５（ａ）は平面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。ここで、第１の開口部７２の素子の長辺方向に沿った長さＬ１と第２の開口部６２の素子の長辺方向に沿った長さＬ２とは、素子１２の長さＬＸと同様に、Ｘ軸方向の長さのことである。

図５に示すように、ウェハー搭載マスク７０の第１の開口部７２の長さＬ１（Ｘ軸方向の長さ）は、素子１２の長さＬＸ（Ｘ軸方向の長さ）より長い。これは折り取った素子１２が確実に素子収容トレー８０の収容部８２に収まるようにするためである。また、ウェハー押さえマスク６０の第２の開口部６２の長さＬ２（Ｘ軸方向の長さ）は、素子１２の長さＬＸより短く、ウェハー搭載マスク７０の第１の開口部７２の長さＬ１の１／２以上３／４以下の範囲内である。

これは、ウェハー押さえマスク６０の第２の開口部６２の長さＬ２が１／２より短い場合には、ウェハー押さえマスク６０の第２の開口部６２の面積が小さいため、ウェハー搭載マスク７０側から吸引した際に、ウェハー押さえマスク６０側とウェハー搭載マスク７０側との気圧差が小さくなり、素子１２を吸引する力が低下するため、折り取り難くなる。また、ウェハー押さえマスク６０の第２の開口部６２の長さＬ２が３／４より長い場合には、ウェハー押さえマスク６０の第２の開口部６２が素子１２の端部より長くなり、素子１２の端部との開放部が広がる。そのため、ウェハー押さえマスク６０側からウェハー搭載マスク７０側へ流出する空気が多くなり、ウェハー押さえマスク６０側とウェハー搭載マスク７０側との気圧差が小さくなることで、素子１２を吸引する力が低下して折り取り難くなる。

従って、ウェハー押さえマスク６０の第２の開口部６２の長さＬ２（Ｘ軸方向の長さ）は、素子１２の長さＬＸより短く、ウェハー搭載マスク７０の第１の開口部７２の長さＬ１の１／２以上３／４以下の範囲内とすることで、ウェハー押さえマスク６０側とウェハー搭載マスク７０側との気圧差が小さくなることで生じる素子１２が折り取り難くなる虞を低減することができる。

更に、ウェハー押さえマスク６０の第２の開口部６２の長さＬ２の中心線Ｃ２は、ウェハー搭載マスク７０の第１の開口部７２の長さＬ１の中心線Ｃ１より、素子１２と連結されたフレーム部２２と反対側の素子１２の端部方向（−Ｘ軸方向）にずらして設けられている。これはウェハー押さえマスク６０の第２の開口部６２が素子１２の端部側にあることで、ウェハー搭載マスク７０側からの吸引によって生じる吸引力を素子１２の端部に集中させ、素子１２の端部の変位量をより大きくし、折れ易くするためである。

このような第１の実施形態に係る素子の折り取り方法および素子折り取り装置５０により、ウェハー搭載マスク７０側から素子１２を吸引することで、ウェハー２０から複数の素子１２を一括して折り取ることができ、従来の方法による素子１２を傷つけることによる特性劣化を低減することができるという効果がある。

＜第２の実施形態＞
図６は、本発明の第２の実施形態に係る素子折り取り装置の素子折り取り部の拡大概略図であり、図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＤ−Ｄ線断面図である。
以下、第２の実施形態について、前述した第１の実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

図６に示すように、第２の実施形態に係るウェハー押さえマスク６０ａは、第１の実施形態に係るウェハー押さえマスク６０と比較すると、素子１２が配置されている側に突起部６４が設けられている点が異なっている。ウェハー押さえマスク６０ａの突起部６４は素子１２に重なるように配置され、突起部６４の高さＨ１（Ｙ’軸方向の長さ）は０．０３ｍｍ以上０．１８ｍｍ以下の範囲内である。また、ウェハー押さえマスク６０ａの開口部の長さＬ３（Ｘ軸方向の長さ）はウェハー搭載マスク７０の第１の開口部７２の長さＬ１に対し１／８以上１／２以下の範囲内である。更に、ウェハー押さえマスク６０ａの第２の開口部６２ａの長さＬ３の中心線Ｃ３は、ウェハー搭載マスク７０の第１の開口部７２の長さＬ１の中心線Ｃ１より、素子１２と連結されたフレーム部２２と反対側の素子１２の端部方向（−Ｘ軸方向）にずらして設けられている。

ウェハー押さえマスク６０ａの突起部６４が素子１２と接する側に設けられ、素子１２に重なるように配置されていることで、ウェハー２０を押さえた際に、突起部６４が素子１２をウェハー搭載マスク７０側へ押し込むためより折れ易くなるという効果がある。また、突起部６４の高さＨ１を０．０３ｍｍ以上０．１８ｍｍ以下の範囲内とすることで、０．０３ｍｍより低い場合に生じる素子１２を押し込む変位量が小さくなることで折り取り難くなる虞を低減し、０．１８ｍｍより高い場合にはより折り取りがし易くなるが素子１２に傷を付け特性劣化を生じる虞を低減することができるという効果がある。

更に、ウェハー押さえマスク６０ａの第２の開口部６２ａの長さＬ３をウェハー搭載マスク７０の第１の開口部７２の長さＬ１に対し１／８以上１／２以下の範囲内とすることで、１／８より短い場合にウェハー押さえマスク６０ａ側とウェハー搭載マスク７０側との気圧差が小さくなることで生じる吸引力の低下による折り取り難くなる虞を低減できる。また、１／２より長い場合にはウェハー押さえマスク６０の第２の開口部６２ａが素子１２の先端部より長くなり、素子１２の先端部との開放部が広がるので、ウェハー押さえマスク６０ａ側からウェハー搭載マスク７０側へ流出する空気が多くなり、ウェハー押さえマスク６０ａ側とウェハー搭載マスク７０側との気圧差が小さくなり、素子１２を吸引する力が低下するため、折り取り難くなる虞を低減することができるという効果がある。

また、第２の開口部６２ａの長さＬ３の中心線Ｃ３が第１の開口部７２の長さＬ１の中心線Ｃ１より、素子１２の端部方向（−Ｘ軸方向）にずらして設けられていることで、フレーム部２２と連結されてない方向の素子１２の端部を吸引することができるため、吸引による応力が増大し折り取りがし易くなるという効果がある。

＜第３の実施形態＞
図７は、本発明の第３の実施形態に係る素子の折り取り方法および素子折り取り装置を示す概略図である。
以下、素子折り取り装置５０ａの説明とともに、この素子折り取り装置５０ａを用いた折り取り方法を説明する。
また、第３の実施形態について、前述した第１の実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

図７に示すように、第３の実施形態に係る素子折り取り装置５０ａは、第１の実施形態に係る素子折り取り装置５０と比較すると、アシストローラー１２０が設けられている点が異なっている。アシストローラー１２０により、吸引プレート１００に設けられた吸引孔１０２から素子１２を吸引している時に、ウェハー押さえマスク６０の上をローリングすることで、吸引だけでは折り取れない素子１２を折り取ることができるという効果がある。

＜第４の実施形態＞
図８は、本発明の第４の実施形態に係る素子の折り取り方法および素子折り取り装置を示す概略図である。また、図９は、本発明の第４の実施形態に係る素子折り取り装置の素子折り取り部の拡大断面図である。
以下、素子折り取り装置５０ｂの説明とともに、この素子折り取り装置５０ｂを用いた折り取り方法を説明する。
また、第４の実施形態について、前述した第１の実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

図８に示すように、第４の実施形態に係る素子折り取り装置５０ｂは、第１の実施形態に係る素子折り取り装置５０と比較すると、アシストマスク１３０が設けられている点が異なっている。また、図９に示すように、アシストマスク１３０はウェハー押さえマスク６０の第２の開口部６２に収まる大きさの突起部１３４と開口部１３２を有している。なお、アシストマスク１３０の突起部１３４の高さＨ２（Ｙ’軸方向の長さ）はウェハー押さえマスク６０の板厚に０．０３ｍｍ以上０．１８ｍｍ以下の範囲内を加えた高さである。また、アシストマスク１３０の開口部の長さＬ４（Ｘ軸方向の長さ）はウェハー搭載マスク７０の第１の開口部７２の長さＬ１に対し１／８以上１／２以下の範囲内である。また、アシストマスク１３０の開口部の長さＬ４の中心線Ｃ４は、ウェハー搭載マスク７０の第１の開口部７２の長さＬ１の中心線Ｃ１より、素子１２と連結されたフレーム部２２と反対側の素子１２の端部方向（−Ｘ軸方向）にずらして設けられている。

アシストマスク１３０の突起部１３４の高さＨ２をウェハー押さえマスク６０の板厚Ｔ１（Ｙ’軸方向の長さ）に０．０３ｍｍ以上０．１８ｍｍ以下の範囲内を加えた高さとすることで、ウェハー２０をウェハー押さえマスク６０で押さえた状態で、突起部１３４が素子１２をウェハー搭載マスク７０側に押し込むことができるので、より確実に素子１２を折り取ることができる。

このような第４の実施形態に係る素子の折り取り方法および素子折り取り装置５０ｂにより、素子１２を吸引することで、ウェハー２０から折り取られずに残っている素子１２であっても、アシストマスク１３０の突起部１３４により素子１２を押し込むことができるため、確実に折り取ることができるという効果がある。

＜第５の実施形態＞
図１０は、本発明の第５の実施形態に係る素子の折り取り方法および素子折り取り装置を示す概略図である。
以下、素子折り取り装置５０ｃの説明とともに、この素子折り取り装置５０ｃを用いた折り取り方法を説明する。
また、第５の実施形態について、前述した第４の実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

図１０に示すように、第５の実施形態に係る素子折り取り装置５０ｃは、第４の実施形態に係る素子折り取り装置５０ｂと比較すると、アシストローラー１２０が設けられている点が異なっている。アシストローラー１２０により、吸引プレート１００に設けられた吸引孔１０２から素子１２を吸引している時に、アシストマスク１３０の上をローリングすることで、吸引だけでは折り取れない素子１２を折り取ることができるという効果がある。

１０…振動子、１２…素子、１４…励振電極、１６…リード電極、１８…パッド電極、２０…ウェハー、２２…フレーム部、２４…支持部、２６…くびれ部、３０…ベース、３２…リッド、３４…接続電極、３６…外部端子、４０…接合部材、４２…接合部材、５０…素子折り取り装置、６０…ウェハー押さえマスク、６２…第２の開口部、６４…突起部、７０…ウェハー搭載マスク、７２…第１の開口部、８０…素子収容トレー、８２…収容部、８４…吸引孔、９０…ベースプレート、１００…吸引プレート、１０２…吸引孔、１１０…吸引ボックス、１１２…通気管、１２０…アシストローラー、１３０…アシストマスク、１３２…開口部、１３４…突起部。

Claims

素子を支持しているウェハーと、第１の開口部を有しているウェハー載置部と前記ウェハー載置部の前記第１の開口部よりも前記素子の長辺方向に沿った長さが短い第２の開口部を有しているウェハー押さえ部とを備えた素子折り取り装置と、を準備する工程と、
前記ウェハー載置部と前記ウェハーと前記ウェハー押さえ部とを平面視で、前記素子が前記ウェハー載置部の前記第１の開口部の外縁の内側に位置し、且つ、前記ウェハー載置部の前記第１の開口部と前記ウェハー押さえ部の前記第２の開口部との中心がずれるような位置に、前記ウェハー載置部と前記ウェハーと前記ウェハー押さえ部とを積層し配置する工程と、
前記素子に対して前記ウェハー押さえ部側よりも前記ウェハー載置部側の気圧を低くして、前記ウェハーから前記素子を折り取る工程と、
を含むことを特徴とする素子の折り取り方法。
前記折り取る工程では、前記ウェハー載置部側から前記素子を吸引して前記素子を折り取ることを特徴とする請求項１に記載の素子の折り取り方法。
前記ウェハー載置部と前記ウェハーと前記ウェハー押さえ部とを積層する方向の平面視で、前記ウェハー押さえ部の前記第２の開口部が前記素子と前記ウェハーとの支持部とは反対側の前記素子の端部側に配置することを特徴とする請求項１又は２に記載の素子の折り取り方法。
前記ウェハー押さえ部の前記第２の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さは、前記ウェハー載置部の前記第１の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さの１／２以上３／４以下の範囲内であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の素子の折り取り方法。
前記ウェハー押さえ部は前記素子と接する側に突起部を有し、前記配置する工程では、前記ウェハーと前記ウェハー押さえ部とを積層する方向の平面視で、前記突起部が前記素子と重なるように配置することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の素子の折り取り方法。
前記ウェハー押さえ部の前記第２の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さは、前記ウェハー載置部の前記第１の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さの１／８以上１／２以下の範囲内であることを特徴とする請求項５に記載の素子の折り取り方法。
前記突起部の高さは０．０３ｍｍ以上０．１８ｍｍ以下の範囲内であることを特徴とする請求項５に記載の素子の折り取り方法。
前記ウェハー載置部側には吸引口を有し、前記ウェハー載置部側の前記吸引口は、前記ウェハー載置部と前記ウェハーとを積層する方向の平面視で、前記素子の外縁の内側にあることを特徴とする請求項２に記載の素子の折り取り方法。
第１の開口部を有し、素子を支持しているウェハーを載置するためのウェハー載置部と、
前記ウェハー載置部の前記第１の開口部よりも前記素子の長辺方向に沿った長さが短い第２の開口部を有し、前記ウェハー載置部とともに前記ウェハーを挟むように固定するためのウェハー押さえ部と、
前記ウェハー載置部側に前記素子を吸引するための吸引手段と、
を備えていることを特徴とする素子折り取り装置。
前記ウェハー押さえ部の前記第２の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さは、前記ウェハー載置部の前記第１の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さの１／２以上３／４以下の範囲内であることを特徴とする請求項９に記載の素子折り取り装置。
前記ウェハー押さえ部は前記素子と接する側に突起部を有することを特徴とする請求項９に記載の素子折り取り装置。
前記ウェハー押さえ部の前記第２の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さは、前記ウェハー載置部の前記第１の開口部の前記素子の長辺方向に沿った長さの１／８以上１／２以下の範囲内であることを特徴とする請求項１１に記載の素子折り取り装置。
前記突起部の高さは０．０３ｍｍ以上０．１８ｍｍ以下の範囲内であることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の素子折り取り装置。
前記ウェハー載置部側には吸引口を有し、前記ウェハー載置部側の前記吸引口は、前記ウェハー載置部と前記ウェハーとを積層する方向の平面視で、前記素子の外縁の内側にあることを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか一項に記載の素子折り取り装置。