JP6163724B2 - 蒸着マスク、及び金属フレーム一体型蒸着マスク - Google Patents
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Description
また、上記課題を解決するための本発明は、スリットが設けられた金属マスク上に、前記スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部を有する樹脂マスクが設けられた蒸着マスクであって、前記樹脂マスク上に、導電層が設けられ、前記樹脂マスクが、その表面に溝を有している。
また、一実施形態の蒸着マスクは、スリットが設けられた金属マスク上に、前記スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部を有する樹脂マスクが設けられた蒸着マスクであって、(A)前記樹脂マスクに導電性を有する材料が含有されている、又は、(B)前記樹脂マスク上に導電層が設けられていることを特徴とする。
前記蒸着マスクの前記金属マスクは、前記金属フレームと固定されている。
また、上記課題を解決するための本発明は、蒸着マスクと、金属フレームとが固定された金属フレーム一体型蒸着マスクであって、前記蒸着マスクは、スリットが設けられた金属マスク上に、前記スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部を有する樹脂マスクが設けられ、前記樹脂マスク上に、導電層が設けられ、前記樹脂マスクは、その表面に溝を有しており、前記蒸着マスクの前記金属マスクは、前記金属フレームと固定されており、前記金属フレームと前記導電層とが電気的に接続されている。
また、一実施形態の金属フレーム一体型蒸着マスクは、蒸着マスクと、金属フレームとが固定された金属フレーム一体型蒸着マスクであって、前記蒸着マスクは、スリットが設けられた金属マスク上に、前記スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部を有する樹脂マスクが設けられ、(A)前記樹脂マスクに導電性を有する材料が含有されている構成をとる、又は、(B)前記樹脂マスク上に導電層が設けられた構成をとり、前記蒸着マスクの前記金属マスクは、前記金属フレームと固定されており、前記(B)の構成をとる場合には、前記金属フレームと前記導電層とが電気的に接続されていることを特徴とする。
本発明の蒸着マスクは、図1〜図4に示すように、スリット15が設けられた金属マスク10上に、スリット15と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部25を有する樹脂マスク20が設けられている。
図1に示すように第1実施形態の蒸着マスク100は、スリット15が設けられた金属マスク10上に、スリット15と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部25を有する樹脂マスク20aが設けられ、樹脂マスク20aが、(A)導電性を有する材料を含有している点を特徴とする。
樹脂マスク20aは、樹脂材料から構成され、図4(b)や、図7に示すように、スリット15と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部25が設けられている。なお、本願明細書において蒸着作製するパターンとは、当該蒸着マスクを用いて作製しようとするパターンを意味し、例えば、本発明の蒸着マスクを有機EL素子の有機層の形成に用いる場合には、蒸着パターンは当該有機層の形状である。第2実施形態の蒸着マスクの樹脂マスク20bについても同様である。
金属マスク10は、金属から構成され、該金属マスク10の正面からみたときに、開口部25と重なる位置、換言すれば、樹脂マスク20aに設けられた全ての開口部25がみえる位置に、縦方向或いは横方向に延びるスリット15が設けられている。図4(a)では、金属マスク10の縦方向に延びるスリット15が横方向に連続して配置されている。なお、スリット15は、図4に示すように複数列配置されていてもよく、1列のみ配置されていてもよい。
次に、第2実施形態の蒸着マスクについて説明する。第2実施形態の蒸着マスク100は、図3に示すように、スリット15が設けられた金属マスク10上に、スリット15と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部25を有する樹脂マスク20bが設けられ、さらに、樹脂マスク20b上に導電層30が設けられた構成をとる。
第2実施形態の蒸着マスク100では、図3に示すように、樹脂マスク20b上に導電層30が設けられ、この導電層30によって帯電防止効果が図られている点を特徴とし、樹脂マスク20b自体が導電性を有していることを必須の要件としない点で、上記第1実施形態の蒸着マスクにおける樹脂マスク20aと相違する。この相違点以外は上記第1実施形態の樹脂マスク20aで説明した各種構成をそのまま採用することができ、相違点以外についてのここでの具体的な説明は省略する。
図3に示すように、第2実施形態の蒸着マスクにおいては、樹脂マスク20b上に導電層30が設けられている。
次に、本発明の金属フレーム一体型蒸着マスクについて説明する。本発明の金属フレーム一体型蒸着マスクは、図8〜図10に示すように蒸着マスク100と、金属フレーム200とが固定された金属フレーム一体型蒸着マスク300であって、金属フレーム200と一体をなす当該蒸着マスク100は、スリットが設けられた金属マスク10と、スリット15と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部を有する樹脂マスク20とを備える。
本発明の金属フレーム一体型蒸着マスク300を構成する蒸着マスク100は、上記で説明した本発明の蒸着マスクをそのまま用いることができ、(A)樹脂マスク20に導電性を有する材料が含有されている蒸着マスクは、上記で説明した本発明の蒸着マスクにおける第1実施形態の樹脂マスク20aに対応している。また、(B)樹脂マスク20上に導電層30が設けられた構成をとる蒸着マスクは、上記で説明した本発明の蒸着マスクにおける第2実施形態の樹脂マスク20bに対応している。したがって、金属フレーム一体型蒸着マスク300における蒸着マスク100についてのここでの詳細な説明は省略する。
金属フレーム200は、図12に示すような略矩形形状の枠部材であり、蒸着マスク100の樹脂マスクに設けられた開口部25を蒸着源側に露出させるための開口205を有する。
本発明の金属フレーム一体型蒸着マスク300は、当該金属フレーム一体型蒸着マスク300が、上記で説明した(A)の構成をとる蒸着マスク100を有する場合には、当該蒸着マスク100を構成する樹脂マスク20は、同じく導電性を有する金属マスク10を介して金属フレーム200と電気的に接続されている。なお、上記で説明したように(A)の構成をとる蒸着マスクの樹脂マスク20には導電性を有する材料が含有されており、樹脂マスク20は導電性を有している。
10…金属マスク
15…スリット
20、20a、20b…樹脂マスク
30…導電層
25…開口部
200…金属フレーム
205…開口
210…接続部材
300…金属フレーム一体型蒸着マスク
Claims (2)
- スリットが設けられた金属マスク上に、前記スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部を有する樹脂マスクが設けられた蒸着マスクであって、
前記樹脂マスク上に、導電層が設けられ、
前記樹脂マスクが、その表面に溝を有している、蒸着マスク。 - 蒸着マスクと、金属フレームとが固定された金属フレーム一体型蒸着マスクであって、
前記蒸着マスクは、スリットが設けられた金属マスク上に、前記スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部を有する樹脂マスクが設けられ、
前記樹脂マスク上に、導電層が設けられ、
前記樹脂マスクは、その表面に溝を有しており、
前記蒸着マスクの前記金属マスクは、前記金属フレームと固定されており、
前記金属フレームと前記導電層とが電気的に接続されている、金属フレーム一体型蒸着マスク。
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