JP6150462B2 - 位置検出エンコーダおよびこれを用いた装置 - Google Patents
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Description
第2のパターン12はパターン全長において20周期含まれるため、θP2_2はパターン全長において20回、0から2πまで変化する。一方、θV1はパターン全長で0から2πまで1回変化するため、単位変位量あたりの位相の変化量はθP2_2の1/20である。そこで、同期処理部35は、θV1とθP2_2から、θP2_2について所定の基準位置からの周期数を求め、θP2_2の精度で絶対位置を求める。
周期が長い第2のパターン12に対応する第2の2相信号は、周期が短い第1のパターン11に対応する第1の2相信号と比較して、スケール10とセンサ20の相対位置の変化に対する信号の変化量が小さい。このため、本実施例のエンコーダは、より速い相対移動速度でのより大きい相対位置変化に対応することができる。したがって、スケール10とセンサ20とが速い速度で相対移動する場合においても、絶対位置を求めたい時刻での位相補正範囲を広げることができ、この結果、検出位置誤差の発生を抑制し、高い精度での位置の検出が可能となる。
なお、本実施例では、特定の時刻を2tとし、該時刻2tにおける位置を絶対位置として検出(算出)したが、時刻2tとは異なる時刻を特定の時刻としてその時刻での絶対位置を検出してもよい。例えば、時刻0における位置を絶対位置として検出すれば、位置検出リクエスト信号の入力タイミングに近いタイミングでの位置を求めることができる。これは、装置のシステムが、最新の位置ではなく、位置検出リクエストタイミングでの位置を必要とする場合に好ましい。また、時刻tでの位置を絶対位置として求めるようにすれば、式(8)に示すように、時刻tにおける第2のパターンの位相が相対移動速度uにかかわらず、θP2_1とθP2_2の平均として求められる。このため、計算量を削減でき、位置検出に要する時間を短縮することができる。なお、式(8)において、θP2_3は時刻tにおける第2のパターンに対応する第2の2相信号の位相とする。この場合、相対移動速度uを求める必要がなく、図1中の速度検出部33が不要となる。
20 センサ
30 位置検出部
40 制御部
Claims (2)
- 第1の周期パターンおよび該第1の周期パターンとは異なる周期を有する第2の周期パターンが設けられたスケールと、
該スケールとの相対移動が可能であるとともに、前記第1の周期パターンを読み取るための第1の検出状態と前記第2の周期パターンを読み取るための第2の検出状態との間での切り替えが可能であり、前記第1の検出状態において前記第1の周期パターンに応じた変化周期を有する第1の周期信号を出力し、前記第2の検出状態において前記第2の周期パターンに応じた前記第1の周期信号より長い変化周期を有する第2の周期信号を出力するセンサと、
前記センサからそれぞれ取り込んだ前記第1および第2の周期信号の双方を用いて前記スケールと前記センサとの相対移動方向での位置を算出する処理部とを有し、
前記処理部は、
互いに異なる時刻において前記第2の周期信号、前記第1の周期信号および前記第2の周期信号をこの順で取り込み、
前記互いに異なる時刻において取り込んだ前記第2、第1および第2の周期信号のうち2つの前記第2の周期信号の位相から前記スケールと前記センサとの相対移動速度を算出し、
該相対移動速度を用いて、前記第2、第1および第2の周期信号のうち、特定の時刻とは異なる時刻に取り込んだ周期信号の前記特定の時刻での前記位相を算出し、
該算出した位相を用いて前記特定の時刻における前記位置を算出することを特徴とする位置検出エンコーダ。 - 請求項1に記載の位置検出エンコーダと、
該位置検出エンコーダを用いて位置が検出される可動部材とを有することを特徴とする装置。
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