JP2013231704A - 位置検出エンコーダおよびこれを用いた装置 - Google Patents

位置検出エンコーダおよびこれを用いた装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2013231704A
JP2013231704A JP2012105162A JP2012105162A JP2013231704A JP 2013231704 A JP2013231704 A JP 2013231704A JP 2012105162 A JP2012105162 A JP 2012105162A JP 2012105162 A JP2012105162 A JP 2012105162A JP 2013231704 A JP2013231704 A JP 2013231704A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phase
signal
sensor
periodic
scale
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012105162A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6150462B2 (ja
Inventor
Hitoshi Nakamura
仁 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2012105162A priority Critical patent/JP6150462B2/ja
Priority to US13/873,476 priority patent/US9103699B2/en
Publication of JP2013231704A publication Critical patent/JP2013231704A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6150462B2 publication Critical patent/JP6150462B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34776Absolute encoders with analogue or digital scales
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34746Linear encoders

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

【課題】スケールとセンサとの相対移動量(相対移動速度)にかかわらず、高い精度での位置検出が可能な位置検出エンコーダを提供する。
【解決手段】位置検出エンコーダは、周期が異なる第1および第2の周期パターン11,12を有するスケール10と、第1の周期パターンを読み取って第1の周期信号を出力する第1の検出状態と第2の周期パターンを読み取って第1の周期信号より長い周期を有する第2の周期信号を出力する第2の検出状態とに切り替え可能なセンサ20と、第1および第2の周期信号を用いてスケールとセンサとの相対移動方向での位置を算出する処理部30とを有する。処理部は、異なる時刻において第2の周期信号、第1の周期信号および第2の周期信号をこの順で取り込み、該第2、第1および第2の周期信号の特定の時刻での位相を算出し、該算出した位相を用いて特定の時刻における上記位置を算出する。
【選択図】図1

Description

本発明は、光学機器等の各種装置に用いられて、該装置内の可動部材の移動に応じたスケールとセンサとの相対移動に伴って該可動部材の位置を示す信号を出力する位置検出エンコーダに関する。
可動部材の位置や速度を検出するために使用されるエンコーダは、周期パターンが設けられたスケールと、該スケールとの相対移動に伴い、周期パターンに応じて周期的に変化する周期信号を出力するセンサとにより構成される。エンコーダには、例えば1つの周期パターンから互いに位相が異なる2つの周期信号(2相信号)を生成し、それら2相信号の周期数と位相とからスケールとセンサとの相対位置を検出するインクリメンタル型エンコーダがある。また、エンコーダには、例えば互いに周期が異なる2つの周期パターンから2組の2相信号を生成し、一方の組の2相信号の位相と他方の組の2相信号の位相との差(位相差)からスケール又はセンサの絶対位置を検出するアブソリュート型エンコーダもある。
アブソリュート型エンコーダには、インクリメンタル型エンコーダに必要な電源投入時等の位置検出開始前での位置検出用原点の検出動作が不要であるというメリットがある。
特許文献1には、1トラック上のスケールパターンに複数の異なる周期の変調を形成し、かつ検出素子の検出周期を時系列に切り替え、少ないスケールトラックから、より多くの情報を得るエンコーダがある。
特願2010‐163185号公報
特許文献1にて開示されたアブソリュート型エンコーダでは、位置検出のために異なる周期を有する周期パターンを時系列に読み取るため、センサの検出周期を読み取るべき周期パターンの周期に合わせて切り替える必要がある。
しかしながら、センサにおける検出周期の切り替えには、該センサやこれに関連する回路の特性に応じて異なるものの、一般には十分な時間が必要である。また、切り替え期間中においては周期パターンの読み取り、つまりは位置変化を検出することができないため、検出周期の切り替え前後におけるスケールとセンサとの相対位置の変化量(相対移動速度)が大きいと、切り替え後の検出位置に誤差を含むことになる。
本発明は、スケールとセンサとの相対移動量(相対移動速度)にかかわらず、高い精度での位置検出が可能な位置検出エンコーダを提供する。
本発明の一側面としての位置検出エンコーダは、第1の周期パターンおよび該第1の周期パターンとは異なる周期を有する第2の周期パターンが設けられたスケールと、該スケールとの相対移動が可能であるとともに、第1の周期パターンを読み取るための第1の検出状態と第2の周期パターンを読み取るための第2の検出状態との間での切り替えが可能であり、第1の検出状態において第1の周期パターンに応じた変化周期を有する第1の周期信号を出力し、第2の検出状態において第2の周期パターンに応じた第1の周期信号より長い変化周期を有する第2の周期信号を出力するセンサと、該センサからそれぞれ取り込んだ第1および第2の周期信号の双方を用いてスケールとセンサとの相対移動方向での位置を算出する処理部とを有する。そして、処理部は、互いに異なる時刻において第2の周期信号、第1の周期信号および第2の周期信号をこの順で取り込み、該第2、第1および第2の周期信号のそれぞれの特定の時刻での位相を算出し、該算出した位相を用いて特定の時刻における上記位置を算出することを特徴とする。
なお、上記位置検出エンコーダと、該位置検出エンコーダを用いて位置が検出される可動部材とを有する装置も、本発明の他の一側面を構成する。
本発明によれば、周期が長い第2の周期信号がより周期が短い第1の周期信号と比較してスケールとセンサとの相対移動量に対する信号の変化量が小さいことを利用して、該相対移動量(相対移動速度)が大きい場合でも位置検出誤差の発生を抑制できる。これにより、相対移動量(相対移動速度)にかかわらず、高い精度での位置検出が可能な位置検出エンコーダを実現することができる。
本発明の実施例1である位置検出エンコーダの構成を示すブロック図。 実施例1のエンコーダのスケールを示す図。 実施例1のエンコーダにおける位置と変数との関係を示す図。 本発明の実施例2である位置検出エンコーダの構成を示すブロック図。 実施例2のエンコーダのスケールを示す図。 実施例2のエンコーダにおける時刻と検出された位相との関係を示す図。 本発明の実施例3である撮像装置の構成を示す図。
以下、本発明の実施例について説明する。
図1には、本発明の実施例1である位置検出エンコーダ(以下、単にエンコーダという)の構成を示している。エンコーダ1は、スケール10、センサ20、位置検出部(処理部)30および制御部40により構成されており、スケール10とセンサ20との相対位置を検出する反射型の光学式アブソリュートエンコーダである。
スケール10は、光学機器等の各種装置内に設けられた可動部材である位置検出対象部材に取り付けられている。また、センサ20は、当該装置内の筐体等の不動の固定部材に取り付けられている。すなわち、本実施例のエンコーダは、スケール10がセンサ20に対して移動することでセンサ20から該移動の量(つまりは位置)を示す信号が出力される。ただし、センサ20を位置検出対象部材に取り付け、スケール10を固定部材に取り付けて、センサ20がスケール10に対して移動することでセンサ20から上記信号が出力されるようにしてもよい。このように、エンコーダでは、スケール10とセンサ20とが相対移動すればよい。また、本実施例は、リニア型エンコーダおよびロータリ型エンコータのいずれも含む。
エンコーダが搭載された装置のシステム(図示せず)から位置検出リクエスト信号が制御部40に入力されると、制御部40は、センサ20からの信号を受けた位置検出部30に位置検出処理を行わせる。そして、制御部40は、位置検出部30にて生成された、可動部材の絶対位置の情報を装置のシステムに出力する。
図2には、スケール10を示している。以下の説明において、スケール10のうち該スケール10とセンサ20との相対移動方向(図2の左右方向)を長手方向といい、長手方向に直交する方向(図2の上下方向)を幅方向という。
スケール10には、それぞれ長手方向に一定の周期(ピッチ)で交互に配置された反射部と非反射部とを含み、かつそのピッチP,Pが互いに異なる2つの周期パターン(第1の周期パターン11と第2の周期パターン12)が、幅方向に交互に設けられている。以下の説明では、第1の周期パターン11を単に第1のパターンといい、そのピッチPを第1のピッチという。また。第2の周期パターン12を単に第2のパターンといい、そのピッチPを第2のピッチという。
第1のピッチPは、第2のピッチPの約1/4に設定されている。すなわち、第2のパターン12は、第1のパターン11よりも長い(粗い)周期を有する。そして、スケール10の長手方向における第1および第2のパターン11,12が設けられた範囲の全長(以下、パターン全長という)において、第1のパターン11は79周期を有し、第2のパターン12は20周期を有する。
センサ20は、図1に示すように、光源21と受光部(検出部)22とを有する。光源21は、LED等の発光素子により構成され、受光部22は、光源21から射出されて第1および第2のパターン11,12の反射部で反射した光を光電変換する複数の光電変換素子(受光素子)により構成されている。
また、センサ20は、位置検出部30からの検出周期切り替え信号に応じて、受光部22の検出周期を第1のピッチPに一致する又は十分に近い第1の検出周期Pと、第2のピッチPに一致する又は十分に近い第2の検出周期4・Pとの間で切り替える。
受光部22は、第1の検出周期が設定されると(つまりは第1の検出状態に設定されると)、第1のパターン11を読み取り可能となる。検出周期の切り替えは、受光部22を構成する複数の受光素子において、2つ以上設定される受光領域のそれぞれを形成する受光素子の組み合わせを変化させて、スケール10との相対移動方向での受光領域の幅とピッチを変更することで行われる。
そして、受光部22は、第1のパターン11を読み取ることで、それぞれ第1のピッチP1に対応した変化周期を有し、かつ互いに90度の位相差を持つ2相の正弦波信号(第1の周期信号:以下、第1の2相信号という)を出力する。また、受光部22は、第2の検出周期が設定されると(つまりは第2の検出状態に設定されると)、第2のパターン12を読み取り可能となる。そして、第2のパターン12を読み取ることで、それぞれ第2のピッチP2に対応した変化周期を有し、かつ互いに90度の位相差を持つ2相の正弦波信号(第2の周期信号:以下、第2の2相信号という)を出力する。第2の2相信号は、第1の2相信号よりも長い周期(第1および第2の2相信号のうち最も長い周期)を有する。
位置検出部30は、センサ20(受光部22)から出力された第1および第2の2相信号を用いて、後述する位置検出処理を行う。制御部40は、装置のシステムから位置検出リクエスト信号が入力されることに応じて、センサ20の検出周期の切り替え(位置検出部30からの検出周期切り替え信号の出力)と位置検出部30の位置検出処理とを制御する。
以下、位置検出部30で行われる位置検出処理について説明する。本実施例での位置検出処理では、第1および第2の検出周期に設定したセンサ20(受光部22)からそれぞれ取り込んだ第1および第2の2相信号の双方を用いてスケール10とセンサ20との相対移動方向での位置を算出する。この際、互いに異なる時刻において第2の2相信号、第1の2相信号および第2の2相信号をこの順で取り込み、該第2、第1および第2の2相信号のそれぞれの特定の時刻での位相を算出する。そして、該算出した位相を用いて特定の時刻における上記位置を算出する。
まず、位置検出部30は、センサ20の検出周期を第2の検出周期(4・P)に設定し、第2の2相信号をA/Dコンバータ31を通じてサンプリングする。次に、位置検出部30は、制御部40からの検出周期切り替え信号に応じて、センサ20の検出周期を第1の検出周期(P)に切り替え、第1の2相信号をA/Dコンバータ31を通じてサンプリングする。さらに、位置検出部30は、制御部40からの検出周期切り替え信号に応じて、センサ20の検出周期を第2の検出周期に切り替え、再度第2の2相信号をサンプリングする。このように、位置検出部30は、第2の2相信号→第1の2相信号→第2の2相信号というように3回2相信号のサンプリングを行う。そして、3回サンプリングされてA/Dコンバータ31によりデジタル信号に変換した3組の2相信号を位相検出部32に入力する。この3回のサンプリングが行われる時刻間隔は一定であり、以下の説明では、最初の第2の2相信号のサンプリング時刻を0とし、次の第1の2相信号のサンプリング時刻をtとし、最後の第2の2相信号のサンプリング時刻を2tとする。
位相検出部32は、3組の2相信号に対してarctan演算を行うことで各組の2相信号の位相を求める。2相信号は、正弦波信号と余弦波信号とにより構成されているため、arctan演算によって位相が求められる。以下の説明では、最初の第2の2相信号の位相をθP2_1とし、次の第1の2相信号の位相をθP1とし、最後の第2の2相信号の位相をθP2_2とする。なお、位相は0以上、2π未満の範囲で表され、1ピッチ(周期)内において一意に定まるため、位相は1ピッチ内での位置を表す。
位相検出部32にて求められた3つの位相は、速度検出部33に入力される。3つの位相θP2_1,θP1,θP2_2のサンプリング時刻は互いに異なるため、スケール10とセンサ20とが相対移動していた場合は該3つの位相はそれぞれ異なる位置に対応する。そこで、本実施例では、速度検出部33においてスケール10とセンサ20の相対移動速度を推定する。次に、位相補正部34において、推定された相対移動速度を用いて位相検出部32で求めた位相のうち特定の時刻とは異なる時刻の2相信号の位相を特定の時刻における位相に補正(換算)する。そして、同期処理部35において、特定の時刻での位相からスケール10とセンサ20との相対移動方向での位置を算出する。本実施例では、特定の時刻としての時刻2tにおける位置を算出する。
速度検出部33は、位相と時刻の変化量からスケール10とセンサ20の相対移動速度を推定する。相対移動速度をuとすると、位相θP2_1,θP2_2のサンプリング時刻の差が2tであるため、uは以下の式(1)で求められる。
位相補正部34は、時刻2tにおける第1の2相信号の位相θP1_2を求める。θP1のサンプリング時刻がtであるから、位相θP1_2は、式(2)に示すように、θP1に、相対移動速度uでの時間t分の位相変化量を加えることで求められる。
以上により、時刻2tにおける第1および第2の2相信号の位相θP1_2,θP2_2が得られる。同期処理部35は、これらを用いて時刻2tにおける位置を絶対位置として求める。
具体的には、同期処理部35は、まず、パターン全長に20周期含まれる第2のパターン12に対応する第2の2相信号の位相θP2_2を4倍することで、80周期の位相を生成する。そして、この80周期の位相とパターン全長に79周期含まれる第1のパターン11に対応する第1の2相信号の位相θP1_2との差(位相差)を求めると、その位相差はパターン全長で1周期となる。パターン全長内での1周期は、それが絶対位置を表すことになる。そこで、この位相差をθV1とすると、θV1は以下の式(3)で表すことができる。ただし、MOD(x,y)は、xを被除数とし、yを除数としたときの剰余を示す。
位相差θV1は絶対位置を表すが、1周期内の精度はθV1よりも、θP1_2やθP2_2を用いた方が高い。そこで、θV1とθP1_2およびθP2_2を用いて、θV1よりも高精度な絶対位置を求める。
第2のパターン12はパターン全長において20周期含まれるため、θP2_2はパターン全長において20回、0から2πまで変化する。一方、θV1はパターン全長で0から2πまで1回変化するため、単位変位量あたりの位相の変化量はθP2_2の1/20である。そこで、同期処理部35は、θV1とθP2_2から、θP2_2について所定の基準位置からの周期数を求め、θP2_2の精度で絶対位置を求める。
θP2_2の周期数をmとすると、θV1,θP2_2およびmの関係は、パターン全長をLとすると、図3(a),(b),(c)によって表される。
さらに、θP2_2の精度で求められる絶対位置をθとすると、θはmとθP2_2を用いて以下の式(4)および(5)によって表される。ただし、ROUND(x)は、xを整数値に丸めることを表す。
次に、同期処理部35は、求めたθとθP1_2から、同様にしてθP1_2の精度で絶対位置θを求める。このとき、第1のパターン11はパターン全長に79周期含まれるため、θP1_2の周期数をmとすると、θは以下の式(6)および(7)で表される。
同期処理部35は、こうして求めた絶対位置θの情報を制御部40に出力する。制御部40は、装置のシステムに絶対位置θの情報を出力する。
周期が長い第2のパターン12に対応する第2の2相信号は、周期が短い第1のパターン11に対応する第1の2相信号と比較して、スケール10とセンサ20の相対位置の変化に対する信号の変化量が小さい。このため、本実施例のエンコーダは、より速い相対移動速度でのより大きい相対位置変化に対応することができる。したがって、スケール10とセンサ20とが速い速度で相対移動する場合においても、絶対位置を求めたい時刻での位相補正範囲を広げることができ、この結果、検出位置誤差の発生を抑制し、高い精度での位置の検出が可能となる。
なお、本実施例では、特定の時刻を2tとし、該時刻2tにおける位置を絶対位置として検出(算出)したが、時刻2tとは異なる時刻を特定の時刻としてその時刻での絶対位置を検出してもよい。例えば、時刻0における位置を絶対位置として検出すれば、位置検出リクエスト信号の入力タイミングに近いタイミングでの位置を求めることができる。これは、装置のシステムが、最新の位置ではなく、位置検出リクエストタイミングでの位置を必要とする場合に好ましい。また、時刻tでの位置を絶対位置として求めるようにすれば、式(8)に示すように、時刻tにおける第2のパターンの位相が相対移動速度uにかかわらず、θP2_1とθP2_2の平均として求められる。このため、計算量を削減でき、位置検出に要する時間を短縮することができる。なお、式(8)において、θP2_3は時刻tにおける第2のパターンに対応する第2の2相信号の位相とする。この場合、相対移動速度uを求める必要がなく、図1中の速度検出部33が不要となる。
また、本実施例では、位置検出リクエスト信号に応じて位置検出を行う場合について説明したが、制御部40にタイマを設け、一定時間毎に位置検出を行う構成としてもよい。この構成によれば、位置検出リクエスト信号の通信時間のジッタ等の影響を受けにくくなったり、装置のシステムと分離してエンコーダを設計することが容易となったりする等のメリットがある。
さらに、本実施例では、互いに周期(ピッチ)が異なる2つの周期パターンを用いたエンコーダについて説明したが、互いに周期が異なる3つ以上の周期パターンを用いてもよい。周期パターンを増やすことで、位置検出誤差を少なくしたり、位置検出の長さ範囲を伸ばしたりすることができる。この場合、3つ以上の周期パターンに対応する3つ以上の2相信号のうち最も周期が長い2相信号を第2の2相信号とし、他の2相信号はすべて第1の2相信号として扱えばよい。これにより、速い相対移動速度での大きい相対位置変化に対応することができるという作用効果をより効果的に得ることができる。このことは、後述する実施例2でも同じである。
本発明の実施例2のエンコーダの構成を図4に示す。本実施例のエンコーダも、実施例1と同様に、スケール10とセンサ20との相対移動に応じて、これらのうち一方の他方に対する位置(絶対位置)を検出する光学反射型アブソリュートエンコーダである。ただし、本実施例では、スケール10に、実施例1と同様な第1および第2のパターン11,12をそれぞれ含む2つのトラックT1,T2が設けられている。また、センサ20には、実施例1の受光部22と同様に構成された2つの受光部22,23が設けられている。他の構成は、実施例1と同じであるので、ここでは実施例1と異なる部分を中心に説明する。
図5に詳しく示すように、スケール10の一方のトラックT1には、スケール10の長手方向において互いに異なるピッチP,Pを有する第1のパターン11および第2のパターン12が、スケール10の幅方向に交互に設けられている。また、他方のトラックT2には、スケール10の長手方向において互いに異なるピッチQ,Qを有する第1のパターン11′および第2のパターン12′が、スケール10の幅方向に交互に設けられている。トラックT1,T2におけるパターン全長は互いに同じであり、第2のパターン12,12′はそれぞれ、第1のパターン11,11′よりも粗い周期を有する。トラックT1において、第1および第2のパターン11,12はそれぞれ、160周期および40周期を有する。また、トラックT2において、第1および第2のパターン11′,12′はそれぞれ、152周期および39周期を有する。
センサ20の受光部22は、光源21から射出されてトラックT1の第1および第2のパターン11,12の反射部で反射した光を光電変換する複数の光電変換素子により構成されている。また、受光部23は、光源21から射出されてトラックT2の第1および第2のパターン11′,12′の反射部で反射した光を光電変換する複数の光電変換素子により構成されている。
センサ20は、位置検出部30からの検出周期切り替え信号に応じて、受光部22,23の検出周期を切り替える。具体的には、受光部22,23の検出周期をそれぞれ、第1のピッチP1,Q1に一致する又は十分に近い第1の検出周期Pと、第2のピッチP,Qに一致する又は十分に近い第2の検出周期4・Pとの間で切り替える。
受光部22,23はそれぞれ、第1の検出周期が設定されると(つまりは第1の検出状態に設定されると)、第1のパターン11,11′を読み取り可能となる。そして、第1のパターン11を読み取ることで、第1のピッチPに対応した変化周期を有し、かつ互いに90度の位相差を持つ2相の正弦波信号としての第1の2相信号(第1の周期信号)を出力する。また、第1のパターン11′を読み取ることで、第1のピッチQに対応した変化周期を有し、かつ互いに90度の位相差を持つ2相の正弦波信号としての第1の2相信号(第1の周期信号)を出力する。また、受光部22,23はそれぞれ、第2の検出周期が設定されると(つまりは第2の検出状態に設定されると)、第2のパターン12,12′を読み取り可能となる。そして、第2のパターン12を読み取ることで、第2のピッチPに対応した変化周期を有し、かつ互いに90度の位相差を持つ2相の正弦波信号としての第2の2相信号(第2の周期信号)を出力する。また、第2のパターン12′を読み取ることで、第2のピッチQに対応した変化周期を有し、かつ互いに90度の位相差を持つ2相の正弦波信号としての第2の2相信号(第2の周期信号)を出力する。
位置検出部30は、センサ20(受光部22,23)から出力された2組の2相信号を用いて、後述する位置検出処理を行う。センサ20(受光部22,23)の検出周期の切り替え(位置検出部30からの検出周期切り替え信号の出力)と位置検出処理の制御は、装置のシステムから位置検出リクエスト信号が入力された制御部40により行われる。
以下、本実施例において位置検出部30で行われる位置検出処理について説明する。本実施例でも、位置検出処理では、第1および第2の検出周期に設定したセンサ20(受光部22,23)からそれぞれ取り込んだ第1および第2の2相信号の双方を用いてスケール10とセンサ20との相対移動方向での位置を算出する。この際、互いに異なる時刻において第2の2相信号、第1の2相信号および第2の2相信号をこの順で取り込み、該第2、第1および第2の2相信号のそれぞれの特定の時刻での位相を算出する。そして、該算出した位相を用いて特定の時刻における上記位置を算出する。なお、本実施例では、2つのトラックT1,T2が設けられており、最初の第2の2相信号の取り込みおよび次の第1の2相信号の取り込みは、トラックT2とトラックT1とからこのトラック順で行う。また、最後の第2の2相信号の取り込みは、トラックT1のみから行う。
まず、位置検出部30からの検出周期切り替え信号に応じて、センサ20の受光部22,23の検出周期がともに第2の検出周期4・Pに設定される。これにより、センサ20(受光部22,23)からは、第2のパターン12,12′にそれぞれ対応する2組の第2の2相信号が出力される。以下の説明では、受光部22から第2のパターン12に対応して出力される第2の2相信号をP2信号といい、受光部23から第2のパターン12′に対応して出力される第2の2相信号をQ2信号という。
位置検出部30は、A/Dコンバータ31を通じて2組の第2の2相信号を、Q2信号、P2信号の順でサンプリングする。A/Dコンバータ31によりデジタル信号に変換された上記2組の第2の2相信号(Q2信号、P2信号)は、位相検出部32に入力される。位相検出部32は、Q2信号およびP2信号のそれぞれに対してarctan演算を行うことで、それらQ2信号およびP2信号の位相θQ2,θP2_1を求める。Q2信号のサンプリング時刻を0とし、次のP2信号のサンプリング時刻をΔtとする。
第2の2相信号のサンプリングが行われた後、位置検出部30からの検出周期切り替え信号に応じて、受光部22,23の検出周期がともに第1の検出周期P0に切り替えられる。これにより、センサ20(受光部22,23)からは、第1のパターン11,11′にそれぞれ対応する2組の第1の2相信号が出力される。以下の説明では、受光部22から第1のパターン11に対応して出力される第1の2相信号をP1信号といい、受光部23から第1のパターン11′に対応して出力される第1の2相信号をQ1信号という。
位置検出部30は、A/Dコンバータ31を通じて2組の第1の2相信号を、Q1信号、P1信号の順でサンプリングする。A/Dコンバータ31によりデジタル信号に変換された上記2組の第1の2相信号(Q1信号、P1信号)は、位相検出部32に入力される。
位相検出部32は、Q1信号およびP1信号のそれぞれに対してarctan演算を行うことで、それらQ1信号およびP1信号の位相θQ1,θP1を求める。Q1信号のサンプリング時刻をt+Δtとし、次のP1信号のサンプリング時刻をt+2Δtとする。
さらに、第1の2相信号のサンプリングが行われた後、位置検出部30からの検出周期切り替え信号に応じて、受光部22の検出周期が再び第2の検出周期4・Pに切り替えられる。これにより、センサ20(受光部22)からは、第2のパターン12に対応する第2の2相信号(P2信号)が出力される。位相検出部32は、該P2信号に対してarctan演算を行うことで、このP2信号の位相θP2_2を求める。P2信号のサンプリング時刻を2t+2Δtとする。
こうして求められた5つの位相θQ2,θP2_1,θQ1,θP1,θP2_2は、速度検出部33に入力される。
5つの位相θQ2,θP2_1,θQ1,θP1,θP2_2のサンプリング時刻は互いに異なるため、スケール10とセンサ20とが相対移動していた場合は該5つの位相はそれぞれ異なる位置に対応する。そこで、本実施例では、速度検出部33において、位相θP2_1と位相θP2_2からスケール10とセンサ20の相対移動速度を推定する。次に、位相補正部34において、推定された相対移動速度を用いて位相検出部32で求めた位相のうち特定の時刻とは異なる時刻の2相信号の位相を特定の時刻における位相に補正(換算)する。そして、同期処理部35において、特定の時刻での位相から位置(絶対位置)を求める。本実施例では、特定の時刻としての時刻2t+2Δtにおける位置を求める場合について説明する。
図6には、以下に説明する位相も含めて、時刻と位相の関係および位相間の相互関係を示す。図6の1番上の列(第1列)は時刻を示し、第2列以降は位相を示す。各行は、第1列に示した時刻に対応する位相を表し、位相の相互関係を矢印で表している。例えば、θP1_2を指す矢印は、θP1_2がθP1を用いて求められることを意味する。
速度検出部33は、スケール10とセンサ20の相対移動速度uを求める。位相θP2_1,θP2_2のサンプリング時刻の差は2t+Δtであるため、それらの位相とサンプリング時刻の変化量から相対移動速度uは、式(9)で求められる。
位相補正部34は、求められた相対移動速度uを用いて、時刻2t+2ΔtにおけるQ2信号、Q1信号およびP1信号のそれぞれに対応する2相信号の位相θQ2_2,θQ1_2,θP1_2を算出する。位相θQ2,θQ1,θP1のサンプリング時刻はそれぞれ、0,t+Δt,t+2Δtであり、それらと時刻2t+2Δtとの差はそれぞれ、2t+2Δt,t+Δt,tである。したがって、時刻2t+2Δtにおける位相θQ2_2,θQ1_2,θP1_2はそれぞれ、式(10),(11),(12)で求められる。
同期処理部35は、このようにして求められた時刻2t+2Δtにおける位相θQ2_2,θQ1_2,θP1_2を用いて、時刻2t+2Δtにおけるスケール10とセンサ20との相対移動方向での位置を算出する。トラックT1,T2における第2のパターン12,12′はそれぞれ、パターン全長において40周期および39周期含まれるため、P2信号とQ2信号の位相差θV1を求めると、その位相差は絶対位置を表す。位相差θV1は、式(13)により求められる。
同様にして、同期処理部35は、P1信号およびQ1信号の位相差θV8を求める。トラックT1,T2における第1のパターン11,11′はそれぞれ、パターン全長において160周期および152周期含まれるため、位相差θV8はパターン全長で8周期となる。位相差θV8は、式(14)で求められる。
同期処理部35は、こうして求められたθV1,θV8,θP2_2,θP1_2から、実施例1と同様にスケール10とセンサ20との相対移動方向での絶対位置を求める。θV1,θV8,θP2_2,θP1_2はそれぞれ、パターン全長に対して、1周期、8周期、40周期、160周期含まれる。このため、m1,m2,m3を整数とし、θ1,θ2,θ3を絶対位置とすると、これらは式(15)〜(20)で求められる。
同期処理部35は、こうして求めた絶対位置θの情報を制御部40に出力する。制御部40は、装置のシステムに絶対位置θの情報を出力する。
周期が長い第2のパターン12,12′に対応する第2の2相信号は、周期が短い第1のパターン11,11′に対応する第1の2相信号と比較して、スケール10とセンサ20の相対位置の変化に対する信号の変化量が小さい。このため、本実施例のエンコーダは、より速い相対移動速度でのより大きい相対位置変化に対応することができる。したがって、スケール10とセンサ20とが速い速度で相対移動する場合においても、絶対位置を求めたい時刻での位相補正範囲を広げることができ、この結果、検出位置誤差の発生を抑制し、高い精度での位置の検出が可能となる。
なお、本実施例では、特定の時刻を2t+2Δtとし、該時刻2t+2Δtにおける絶対位置を検出する場合について説明したが、時刻2t+2Δtとは異なる時刻を特定の時刻として、その時刻での絶対位置を検出してもよい。本実施例のように、最後のサンプリングを行った時刻、またはそれ以降の時刻の位置を検出すると、装置のシステムが検出位置の情報を使用する時刻に近い時刻での位置を求めることになる。一方、最初のサンプリングを行った時刻での位置を求めると、装置のシステムから位置検出リクエストが出力された時刻に近い時刻での位置を求めることになる。
また、本実施例では相対移動速度uが一定であると仮定しており、位置検出中での相対移動速度の変化により検出位置誤差が発生するおそれがある。しかし、最終的な検出位置θ3を決定するP1信号のサンプリング時刻t+2Δtにおける位置を求めることで、誤差を抑制できる。これは、時刻t+2Δtにおける位置を求めると、θP1_2=θP1となり、相対移動速度uの値に誤差が含まれていたとしても、θP1_2の値には影響しないためである。
図7には、上述した実施例1,2のいずれかで説明したエンコーダを搭載した装置の一例として、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等の撮像装置(光学機器)を示している。この撮像装置では、エンコーダをレンズ鏡筒内での可動レンズの絶対位置を検出するために用いている。
図7において、10はスケール、20はセンサ、30は位置検出部、40は制御部であり、これらによってエンコーダが構成される。スケール10は、レンズ鏡筒内において光軸回りで回転する円筒形状のカム環50の内周面に取り付けられている。カム環50は、不図示のアクチュエータによって回転駆動される。
レンズ鏡筒内には、撮影光学系51が収容されている。撮影光学系51は、カム環50が回転することで、該カム環50に形成されたカムによって光軸方向に移動可能な可動レンズ(例えば、変倍レンズやフォーカスレンズ)52を含む。
55は撮像装置のシステム全体を制御するCPUである。56は撮影光学系51により形成された被写体像を光電変換するイメージセンサ(撮像素子)であり、CCDセンサやCMOSセンサ等の光電変換素子により構成されている。
可動レンズ52を移動させるためにカム環50が回転すると、エンコーダによりカム環50の絶対回転位置(つまりは可動レンズ52の光軸方向での絶対位置)が検出され、その情報がCPU55に出力される。
CPU55は、その絶対回転位置の情報に基づいてカム環50を回転させるアクチュエータを駆動し、可動レンズ52を目標とする位置に移動させる。
本発明のエンコーダは、上述した撮像装置に限らず、プリンタ(光学機器)における印字ヘッドや給紙ローラの位置検出、複写機(光学機器)の感光ドラムの回転位置検出をはじめ、ロボットアームの位置検出等、様々な装置に適用することができる。
以上説明した各実施例は代表的な例にすぎず、本発明の実施に際しては、各実施例に対して種々の変形や変更が可能である。
高精度な位置検出が可能なエンコーダを提供できる。
10 スケール
20 センサ
30 位置検出部
40 制御部

Claims (3)

  1. 第1の周期パターンおよび該第1の周期パターンとは異なる周期を有する第2の周期パターンが設けられたスケールと、
    該スケールとの相対移動が可能であるとともに、前記第1の周期パターンを読み取るための第1の検出状態と前記第2の周期パターンを読み取るための第2の検出状態との間での切り替えが可能であり、前記第1の検出状態において前記第1の周期パターンに応じた変化周期を有する第1の周期信号を出力し、前記第2の検出状態において前記第2の周期パターンに応じた前記第1の周期信号より長い変化周期を有する第2の周期信号を出力するセンサと、
    前記センサからそれぞれ取り込んだ前記第1および第2の周期信号の双方を用いて前記スケールと前記センサとの相対移動方向での位置を算出する処理部とを有し、
    前記処理部は、互いに異なる時刻において前記第2の周期信号、前記第1の周期信号および前記第2の周期信号をこの順で取り込み、該第2、第1および第2の周期信号のそれぞれの特定の時刻での位相を算出し、該算出した位相を用いて前記特定の時刻における前記位置を算出することを特徴とする位置検出エンコーダ。
  2. 前記処理部は、前記互いに異なる時刻において取り込んだ前記第2、第1および第2の周期信号のうち2つの前記第2の周期信号の位相から前記スケールと前記センサとの相対移動速度を算出し、
    該相対移動速度を用いて、前記第2、第1および第2の周期信号のうち、前記特定の時刻とは異なる時刻に取り込んだ周期信号の前記特定の時刻での前記位相を算出することを特徴とする請求項1に記載の位置検出エンコーダ。
  3. 請求項1または2に記載の位置検出エンコーダと、
    該位置検出エンコーダを用いて位置が検出される可動部材とを有することを特徴とする装置。
JP2012105162A 2012-05-02 2012-05-02 位置検出エンコーダおよびこれを用いた装置 Active JP6150462B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012105162A JP6150462B2 (ja) 2012-05-02 2012-05-02 位置検出エンコーダおよびこれを用いた装置
US13/873,476 US9103699B2 (en) 2012-05-02 2013-04-30 Encoder and apparatus using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012105162A JP6150462B2 (ja) 2012-05-02 2012-05-02 位置検出エンコーダおよびこれを用いた装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013231704A true JP2013231704A (ja) 2013-11-14
JP6150462B2 JP6150462B2 (ja) 2017-06-21

Family

ID=49511825

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012105162A Active JP6150462B2 (ja) 2012-05-02 2012-05-02 位置検出エンコーダおよびこれを用いた装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US9103699B2 (ja)
JP (1) JP6150462B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015137855A (ja) * 2014-01-20 2015-07-30 キヤノン株式会社 位置制御装置および方法
JP2016014620A (ja) * 2014-07-03 2016-01-28 キヤノン株式会社 位置検出装置及びそれを有するレンズ装置及び撮影装置

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5968062B2 (ja) * 2012-05-02 2016-08-10 キヤノン株式会社 位置検出エンコーダおよびこれを用いた装置
JP6114638B2 (ja) * 2013-06-07 2017-04-12 株式会社ミツトヨ エンコーダ
JP6533360B2 (ja) * 2013-10-30 2019-06-19 キヤノン株式会社 位置検出装置及びそれを有するレンズ装置及び撮影装置
JP2018036090A (ja) * 2016-08-30 2018-03-08 キヤノンプレシジョン株式会社 エンコーダおよびこれを備えた装置

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08261794A (ja) * 1995-03-24 1996-10-11 Mitsubishi Electric Corp エンコーダ装置及びサーボモーター制御装置
JP2003254785A (ja) * 2002-02-28 2003-09-10 Fanuc Ltd エンコーダの信号処理装置
US20060059702A1 (en) * 2004-08-26 2006-03-23 Robert Hammerl Measuring device for the incremental measurement of positions, actuating displacements or actuating angles and industrial truck equipped with such a measuring device
JP2008506104A (ja) * 2004-07-06 2008-02-28 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー スケール読取装置
JP2008281372A (ja) * 2007-05-08 2008-11-20 Sharp Corp 位置検出装置および電子機器
US20090278711A1 (en) * 2006-08-01 2009-11-12 Continental Teves Ag & Co. Ohg Sensor Arrangement for the Precise Detection of Relative Movements Between An Encoder and A Sensor
JP2010043981A (ja) * 2008-08-14 2010-02-25 Meidensha Corp 回転体の角度位置検出装置及び回転数検出装置
JP2010164501A (ja) * 2009-01-19 2010-07-29 Canon Inc 信号処理装置及び計測装置
JP2011021998A (ja) * 2009-07-15 2011-02-03 Canon Inc エンコーダ信号処理装置
JP2012026765A (ja) * 2010-07-20 2012-02-09 Canon Inc 光学式エンコーダ
JP2012026926A (ja) * 2010-07-26 2012-02-09 Mitsubishi Electric Corp 位置検出装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4229575C1 (de) 1992-09-04 1993-11-25 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Verfahren bei Längen- oder Winkelmeßeinrichtungen

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08261794A (ja) * 1995-03-24 1996-10-11 Mitsubishi Electric Corp エンコーダ装置及びサーボモーター制御装置
JP2003254785A (ja) * 2002-02-28 2003-09-10 Fanuc Ltd エンコーダの信号処理装置
JP2008506104A (ja) * 2004-07-06 2008-02-28 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー スケール読取装置
US20060059702A1 (en) * 2004-08-26 2006-03-23 Robert Hammerl Measuring device for the incremental measurement of positions, actuating displacements or actuating angles and industrial truck equipped with such a measuring device
US20090278711A1 (en) * 2006-08-01 2009-11-12 Continental Teves Ag & Co. Ohg Sensor Arrangement for the Precise Detection of Relative Movements Between An Encoder and A Sensor
JP2008281372A (ja) * 2007-05-08 2008-11-20 Sharp Corp 位置検出装置および電子機器
JP2010043981A (ja) * 2008-08-14 2010-02-25 Meidensha Corp 回転体の角度位置検出装置及び回転数検出装置
JP2010164501A (ja) * 2009-01-19 2010-07-29 Canon Inc 信号処理装置及び計測装置
JP2011021998A (ja) * 2009-07-15 2011-02-03 Canon Inc エンコーダ信号処理装置
JP2012026765A (ja) * 2010-07-20 2012-02-09 Canon Inc 光学式エンコーダ
JP2012026926A (ja) * 2010-07-26 2012-02-09 Mitsubishi Electric Corp 位置検出装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015137855A (ja) * 2014-01-20 2015-07-30 キヤノン株式会社 位置制御装置および方法
JP2016014620A (ja) * 2014-07-03 2016-01-28 キヤノン株式会社 位置検出装置及びそれを有するレンズ装置及び撮影装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP6150462B2 (ja) 2017-06-21
US20130292556A1 (en) 2013-11-07
US9103699B2 (en) 2015-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6071181B2 (ja) エンコーダおよびこれを備えた装置
JP5932285B2 (ja) エンコーダおよびこれを備えた装置
JP6150462B2 (ja) 位置検出エンコーダおよびこれを用いた装置
JP5968062B2 (ja) 位置検出エンコーダおよびこれを用いた装置
EP2894437B1 (en) Encoder, apparatus including the encoder, encoder calculation method, encoder calculation program, and storage medium storing the encoder calculation program
EP2848898B1 (en) Encoder and apparatus using encoder
US20140277730A1 (en) Position detection apparatus, lens apparatus, image pickup system, and machine tool apparatus
JP2013234852A (ja) 位置検出エンコーダおよびこれを用いた装置
US10393550B2 (en) Encoder and apparatus having the same
JP6289192B2 (ja) 位置検出装置及びそれを有するレンズ装置及び光学操作装置
JP2015121405A (ja) アブソリュートエンコーダおよび装置
JP2020091104A (ja) アブソリュートロータリエンコーダ
JP6494330B2 (ja) 位置検出装置およびこれを用いた装置
JP2015094682A (ja) エンコーダ、エンコーダを備えた装置、位置検出方法および位置検出処理プログラム
JP2013108911A (ja) 光学式エンコーダおよびこれを備えた装置
JP6541392B2 (ja) フォーカス制御装置、光学機器およびフォーカス制御プログラム
JP6544946B2 (ja) 位置検出装置、これを用いた装置及び位置検出方法
JP6544945B2 (ja) 位置検出装置、これを用いた装置及び位置検出方法
JP2015212648A (ja) 光学式エンコーダおよびこれを備えた装置
JP2015094668A (ja) エンコーダ、これを用いた装置、エンコーダ信号処理方法およびエンコーダ信号処理プログラム

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150213

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160127

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160209

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160411

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161004

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170425

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170523

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6150462

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151