JP6149425B2 - 超音波探触子の製造方法 - Google Patents
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Description
また、音響レンズに近接した部分の音響インピーダンスが1.6〜2.5MRaylsになる変形ポリエーテル樹脂のポリマーアロイを使用したものがある(例えば、特許文献2)。
前記2以上の整合材のうちの少なくとも1つが熱硬化性樹脂と音響インピーダンスを調整するためのフィラーとから構成されるとともに、前記2以上の整合材を、25℃における粘度が10Pa・s以下の接着剤で接着し、
前記2以上の整合材を前記接着剤で接着するときに、該2以上の整合材を、接着開始時より所定温度で接着層厚が所定の膜厚以下になるまでの所定時間だけ保持する第1工程と、その後、温度を上昇させて該2以上の整合材を保持する第2工程とを含むことを特徴とする。
前記接着剤は、硬化後のガラス転移温度が50℃以上であることを特徴とする。
前記音響整合層の最前面層の整合材はシリコーン樹脂粒子を含有することを特徴とする。
前記第1工程において、前記2以上の整合材を15℃以上、30℃以下で2時間〜6時間だけ保持し、第2工程において、60℃以下で1時間〜4時間だけ保持することを特徴とする。
ROMは、半導体等の不揮発メモリー等により構成され、超音波画像診断装置Sに対応するシステムプログラム及び該システムプログラム上で実行可能な各種処理プログラムや、各種データ等を記憶する。これらのプログラムは、コンピューターが読み取り可能なプログラムコードの形態で格納され、CPUは、当該プログラムコードに従った動作を逐次実行する。
RAMは、CPUにより実行される各種プログラム及びこれらプログラムに係るデータを一時的に記憶するワークエリアを形成する。
なお、本実施の形態において、特に最上層の整合材23cには、少なくともシリコーン樹脂粒子が含有されているのが好ましい。ここで、シリコーン粒子に代えて、最上層の整合材23cに他の材料を含有させて音響インピーダンスを小さくするようにしてもよい。
エポキシ樹脂jER−828(ジャパンエポキシレジン製)68質量部に、シリコン複合パウダーKMP600(信越シリコン製)25質量部を添加し、真空混合機ARV−310(シンキー社製)で十分に混合した。その後、架橋剤として、jERキュアST−12(ジャパンエポキシレジン製)32質量部を同様に真空混合機ARV−310にて混合し、コンパウンドを作製した。このコンパウンドを100mm×100mm×30mmの金型に入れ、真空電熱プレス機にて9.8MPa(100kg/cm2)の圧力にて常温で4時間、60℃で3時間加熱して整合材ブロック−2を形成した。このブロックよりテストピースとして、50mm×50mm×2mmのサンプルを切り出して、密度、音速の評価をした。後述の評価方法によって測定した結果、密度が1.12g/cm3、音速が1750m/sで、音響インピーダンスは2.0MRaylsであった。このブロックをワイヤーソーCS−203(ムサシノ電子製)にて0.50mmの厚さに切断後、精密研磨装置MA−200(ムサシノ電子製)にて0.050mmの厚みに研磨し、整合材−2を作製した。同様にして下記表1のようにフィラー、エポキシ樹脂及び架橋剤を変えて、整合材−1,3〜13を作製した。それ以外の整合材として、整合材−14〜16を用意した。各整合材の密度、音速及び音響インピーダンスは下記表1に示す通りであった。
(密度)
密度をJIS−K7112 02に記載のA法(水中置換法)の密度測定方法に準じて、電子比重計SD−200L(アルファミラージュ製)を用いて測定した。
超音波音速は、JIS Z2353−2003に従い、超音波工業(株)製シングアラウンド式音速測定装置を用いて25℃において測定し、音響インピーダンスを以下の式に従い導いた。
音響インピーダンス(Z:MRayls)=密度(ρ:×103kg/m3)×音速(C:×103m/sec)
また、超音波減衰はJIS Z2354−1992に従い、水槽中に25℃の水を満たし、超音波パルサー・レシーバーJPR−10C(ジャパンプローブ社製)によって水中で1MHzの超音波を発生させ、超音波がシートを透過する前と後の振幅の大きさを測定した。
整合材−2、整合材−11及び整合材−12をこの順で積層し、エポキシ接着剤EセットL(コニシ社製)にて、最初に、常温(25℃)で5分間、5Kgfで加圧するプレ硬化を行った後、常温(25℃)で5時間、50℃で3時間、30Kgfの加圧下で接着を行い、音響整合層−1を作製した。同様にして、音響整合層−2〜10を下記表3のようにして作製し、音響整合層−1〜10について膜厚、接着層の厚み及び接着強固をそれぞれ測定し、外観を評価した。なお、使用した接着剤の物性については下記表2に示す。
整合材の研磨後の表面を微分干渉顕微鏡MX−50(オリンパス社製)にて観察し、ヒビ割れの確認を行い、A;ヒビ無し、B;0.1mm以下のヒビあり、C;0.2〜0.5mmのヒビあり、D;0.5mm以上のヒビあり、E;全面に0.5mm以上の複数のヒビありの5段階にて評価を行った。
接触式膜厚計K351−C(アンリツ社製)にて6点の測定を行い、平均の値を膜厚とした。
整合材の断面を日立ハイテック製のLEICA常温・凍結切片作製用ウルトラミクロトームEMUC7iを用いて前処理を行い、日立ハイテック製の電子顕微鏡S−800にて加速電圧200KV、倍率200倍にて断面を観察し、接着層の厚みを測定した。
K6854−1:1999(ISO8510−1:1990)に準拠して、デジタルフォースゲージZP−20N(IMADA製)及び計測スタンドMX−500N(IMADA製)を用いて90度剥離テストを、25℃及び50℃にて行った。サンプルとしては、超音波探触子を作製するのと同様にして作成し、そのときの1cmの幅での剥離強度を評価した。
液状シリコーンゴムTSE3032(A)(モメンティブパフォーマンスマテリアルズ社製)91質量部に、3酸化タングステン粉A2−WO3(アライドマテリアル社製)750質量部を入れ、真空混合機ARV−310(シンキー社製)で十分に混合した。その後、TSE3032(B)9質量部を入れ、よく混合を行った。これを100mm×100mm×30mmの金型に入れ、真空電熱プレス機にて4.9MPa(50kg/cm2)の圧力で、真空下室温で3時間、50℃で3時間加熱し、複合粒子のブロックを作製した。この際のブロックの密度は、7.3g/cm3であった。これを1cm角に切り、これをまずカッターミルVM−20型(槇野産業社製)により粗粉砕、ピンミルM−4型(奈良機械社製)にてスクリーン0.5mm、回転数2800rpmにて本粉砕を行い、その後、円形振動篩機KG−400型(西村機械製作所社製)にて目空き212μmにてふるい、フィラー複合粒子を作製した。
微粒子酸化亜鉛Zincox Super F−2(ハクスイテック製)をステンレスパッド上に薄く入れ、このパッドを250℃の乾燥機に入れて4時間の乾燥を行い、表面吸着水を除去した。この際、質量は0.7質量%減少した。続いてシリコンゴムコンパウンドKE742U(信越シリコン製)100質量部に、上記微粒子40質量部をロール混錬機No.191−TM/WMテストミキシングロール(安田製機製作所製)にて混錬し、ゴム組成物を調整した。次いでこのゴム組成物100質量部に加硫剤としての2,5−ジメチル−2,5−ジ(t−ブチルパーオキシ)ヘキサン0.5質量部をロール混合して成形用コンパウンドを調製し、この成形用コンパウンドをP500F−4141手動式成型機(ショウージ製)165℃で10分間プレス成形し、さらに200℃、2hrにて2次加硫を行い、音響レンズを作製した。なお、音響レンズの音響インピーダンスは1.3MRayls、音響減衰率は−0.7dB/mm・MHzであった。
まず、バッキング層、FPC、圧電層及び音響整合層をこの順に積層した。なお、圧電層に適用される圧電材料としては、厚さ0.13mmのPZT 3203HD(CTS Electro Component Inc.製)を、音響整合層としては、上述の音響整合層−9を用い、これらを積層して、図5に示すように、0.02mmの厚みを有するダイサーにて0.20mmピッチで各素子にダイシングを行った。また、各素子の電極を切らないように、各0.20mmピッチでダイシングされた各素子をさらに3等分するようにダイシングを行った。
FirstCall 2000(Sonora Medical Systems社製)を用いて、上述のようにして作製された超音波探触子の音響特性の評価を行った。それぞれの感度、帯域特性及び素子の欠損率を下記表4に示す。
1 超音波画像診断装置本体
2 超音波探触子
15 画像処理部
21 バッキング層
22 圧電層(圧電体)
23 音響整合層
23a〜23c 整合材
25 音響レンズ
Claims (4)
- 超音波を送受信する圧電素子と、2以上の整合材が積層されて前記圧電素子の前面に設けられる音響整合層と、を備える超音波探触子の製造方法において、
前記2以上の整合材のうちの少なくとも1つが熱硬化性樹脂と音響インピーダンスを調整するためのフィラーとから構成されるとともに、前記2以上の整合材を、25℃における粘度が10Pa・s以下の接着剤で接着し、
前記2以上の整合材を前記接着剤で接着するときに、該2以上の整合材を、接着開始時より所定温度で接着層厚が所定の膜厚以下になるまでの所定時間だけ保持する第1工程と、その後、温度を上昇させて該2以上の整合材を保持する第2工程とを含むことを特徴とする超音波探触子の製造方法。 - 前記接着剤は、硬化後のガラス転移温度が50℃以上であることを特徴とする請求項1に記載の超音波探触子の製造方法。
- 前記音響整合層の最前面層の整合材はシリコーン樹脂粒子を含有することを特徴とする請求項1又は2に記載の超音波探触子の製造方法。
- 前記第1工程において、前記2以上の整合材を15℃以上、30℃以下で2時間〜6時間だけ保持し、第2工程において、60℃以下で1時間〜4時間だけ保持することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の超音波探触子の製造方法。
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