JP6144116B2

JP6144116B2 - 測定器

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Publication number: JP6144116B2
Application number: JP2013113826A
Authority: JP
Inventors: 前田　不二雄; 不二雄前田; 光由佐久間
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2013-05-30
Filing date: 2013-05-30
Publication date: 2017-06-07
Anticipated expiration: 2033-05-30
Also published as: JP2014232065A

Description

本発明は測定器に関する。

すべり案内面を有する測定器が知られている。例えばノギスは、本尺と、本尺に沿って摺動するスライダと、を備え、本尺とスライダとは接触する面同士が摺動する。

ところで、摺動面の表面を加工する技術として、例えば、特許文献１には、金属摺動表面処理方法に関する技術が記載されている。特許文献１に記載の技術は、金属対象物の表面にフェムト秒レーザを照射して微細周期構造を生成する技術が記載されている。

特開２００４−３６００１１号公報

ノギスにおいては、本尺に沿ってスライダを摺動させ、測定物を本尺の測定ジョーとスライダの測定ジョーとで挟みこむことにより測定動作を行う。このとき、スライダを本尺の基準面に対して板ばねにより与圧し、スライダの基準面と本尺の基準面とが適切な摩擦力で摺動するようになっている。

ノギスの測定の再現性を良くするためには、スライダを摺動させるための力（以下摺動力という。）をより小さくすることや、場所によって摺動力の変化が少ないことが求められる。

摺動力を小さくするためには、例えばそれぞれの部品のクリアランスを大きくしたり、板ばねの与圧を小さくしたりする方法がある。しかしながらこの方法では、本尺とスライダとの間の平行度等のがたが大きくなり、測定精度に影響を与える恐れがある。

ノギスに限らず、摺動力と測定力とが関連する測定器においては、クリアランスを大きくしたり、摺動部材同士の与圧を小さくしたりする方法ではない別の方法で、摺動部材の摺動の再現性を良くする必要がある。

本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、部材に対して摺動する他の部材の変位を測定する測定装置において、測定の再現性のよりよい測定器を提供することを目的とする。

本発明にかかる測定器は、第１の部材と、第１の部材に対して摺動するように設けられた第２の部材と、第１の部材と第２の部材との変位を示す表示部と、を備え、第１の部材は第２の部材と摺動する面である第１の摺動面を有し、第２の部材は第１の部材と摺動する面である第２の摺動面を有し、第１の摺動面及び第２の摺動面のうち一方か又は両方に微細周期構造が設けられたものである。これにより、より第１の部材と第２の部材との摩擦を減らすことができる。

本発明により、部材に対して摺動する他の部材の変位を測定する測定装置において、測定の再現性のよりよい測定器を提供することができる。

実施の形態１にかかるノギスを示す図である。実施の形態にかかる微細周期構造を示す図である。実施の形態１にかかる、ノギス１の、本尺１０の下面１０ｅに微細周期構造を設けなかった場合と、微細周期構造を設けた場合と、を比較した実験結果を示す図である。実施の形態２にかかるダイヤルゲージの裏蓋を外した状態を示す図である。実施の形態３にかかるマイクロメータを示す図である。実施の形態３にかかるスピンドルのおねじと、スリーブの内部のめねじの概要を示す図である。図７は、実施の形態４にかかるハイトゲージを示す図である。

実施の形態１
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１は、ノギスを示す図である。図１（ａ）は、ノギス１の全体を示す図である。なおここではノギスの構造をわかりやすくするため、図１（ａ）はスライダ１１の一部を切断し、断面を図示している。

本実施の形態では、ノギス１の本尺１０とスライダ１１との接触面に、微細周期構造を形成することにより、本尺１０とスライダ１１との摺動力をより小さくし、より滑らかに計測動作を可能にすることを目的とする。

ノギス１は、本尺１０と、スライダ１１と、を備え、本尺１０の長手方向に沿ってスライダ１１が摺動して、測定の対象物の幅、大きさ等を測定するものである。

本尺１０は、本体部１０ａと、外側ジョウ１５ａと、内側ジョウ１６ａと、本尺目盛１７と、を有する。外側ジョウ１５ａは、本体部１０ａの長手の一端側に設けられ、測定の対象物に当接されて大きさを測定する。内側ジョウ１６ａは、本体部１０ａの長手の一端側に設けられ、測定の対象物に当接されて大きさを測定する。本尺目盛１７は、本体部１０ａの表面に長手に沿って設けられている。

スライダ１１は、クランプねじ１３と、板ばね１４と、スライダ本体部１９と、を有する。板ばね１４は、スライダ１１と本尺１０との間に介装されている。板ばね１４から本尺１０にかかる付勢力により、スライダ１１と本尺１０との摺動力が調整される。板ばね１４から本尺１０にかかる付勢力は、例えば図示しない調整ねじの押し具合で調整される。

また、スライダ本体部１９は、デプスバー１２と、外側ジョウ１５ｂと、内側ジョウ１６ｂと、バーニヤメモリ１８と、を有する。

デプスバー１２は、スライダ１１と共に移動して本尺１０の他端側から挿抜されるよう設けられ、対象物の深さを測定する。外側ジョウ１５ｂは、スライダ１１の一端側に設けられ、外側ジョウ１５ａと共に対象物に当接される。内側ジョウ１６ｂは、スライダ１１の一端側に設けられ、内側ジョウ１６ａと共に対象物に当接される。バーニヤメモリ１８は、スライダ１１の表面に本尺目盛１７の補助目盛となるように設けられる。

図１（ｂ）は、ノギス１のＡ−Ａ線に沿った断面を示す図である。本体部１０ａの断面は長方形である。以後の説明においては、本体部１０ａにおいて、本尺目盛１７が刻印されている面を前面１０ｂとする。ｚ軸に平行であってｙ軸の座標が大きい方の面つまり板ばね１４と接触する面を上面１０ｃとする。前面１０ｂと対向する面を後面１０ｄとし、上面１０ｃと対向する面を下面１０ｅとする。なお、特に区別する必要がない場合は、前面１０ｂ、上面１０ｃ、後面１０ｄ、及び下面１０ｅを合わせて、本体部１０ａの側面と言う。

スライダ本体部１９は、側面の一部が欠けた略角筒形状であり、本尺１０の本体部１０ａの前面１０ｂの本尺目盛１７が刻印されている部分以外の本体部１０ａの側面を覆う形状である。また、本尺１０の後面１０ｄと対向するスライダ本体部１９の面を後面１１ａとし、本尺１０の下面１０ｅと対向するスライダ１１の面を下面１１ｂとする。

ここで、スライダ１１の後面１１ａと、スライダ１１の下面１１ｂには、本尺１０を支持するための支持部材１１ｃ〜１１ｅが設けられている。支持部材１１ｃ〜１１ｅは、それぞれｘ軸方向に沿って長い直方体の形状をしている。スライダ本体部１９の後面１１ａに支持部材１１ｃ、１１ｄの一面が接着され、スライダ１１の下面１１ｂに支持部材１１ｅの一面が接着されている。また、スライダ本体部１９と、支持部材１１ｃ〜１１ｅは一体構造で構成されていてもよい。支持部材１１ｃ〜１１ｅの、本尺１０の本体部１０ａとの接触面をそれぞれ摺動面１１ｆ〜１１ｈとする。

ここで、本実施の形態にかかるスライダ１１は、本尺１０との摺動面１１ｆ〜１１ｈに、微細周期構造を有する。図２は、本実施の形態にかかる微細周期構造を示す図である。この微細周期構造は、摺動面１１ｆ〜１１ｈに、フェムト秒以下、又はピコ秒以下のレーザを照射することにより形成される。ここでの微細周期構造は、表面形成された複数の不定形の溝であって、ｙ軸方向に沿った方向に溝が長手になるように形成される。なお、微細周期構造は、図２に示す表面形状ではなく、表面を微細にディンプル加工するようにしてもよい。また、摺動面に低摺動膜層としてのダイヤモンドライク膜を形成し、ダイヤモンドライク膜に微細周期構造を形成するようにしてもよい。また、ダイヤモンドライク膜に替えて、低摺動性の樹脂材料により低摺動膜層を形成してもよい。さらに、スライダ本体部１９及び本尺１０のうちいずれか１以上を低摺動性の樹脂材料で形成して、摺動面に微細周期構造を形成するようにしてもよい。

図１に戻って、微細周期構造は、摺動面１１ｆ〜１１ｈのみでなくともよく、摺動面１１ｆ〜１１ｈを含む、スライダ１１の内側の面に、フェムト秒以下のレーザを照射して形成するようにすればよい。また、スライダ１１の摺動面１１ｆ〜１１ｈに微細周期構造を設けてもよいし、スライダ１１の摺動面１１ｆ〜１１ｈに微細周期構造を設ける代わりに、本尺１０に微細周期構造を設けてもよい。

また、スライダ１１の摺動面１１ｆ〜１１ｈと本尺１０との両方に微細周期構造を設けてもよいことはもちろんである。接触する面の両方に微細周期構造を設ける場合、接触する面同士の、微細周期構造の長手に沿った方向が、平行にならないようにすることが望ましい。すなわち、微細周期構造の長手に沿った方向のなす角度が、３０度〜１２０度の間の角度、更に望ましくは、９０度であることが望ましい。

本尺１０とスライダ１１との摺動面に微細周期構造を設けることにより、より本尺１０とスライダ１１との摩擦が小さくなる。ここで、ノギスにおいては、例えば外部ジョウで測定対象物の外径を測定する場合、測定者が手動でスライダ１１を摺動して、測定対象物を挟みこむようにする。

そのため、スライダ１１を摺動させる測定者の力加減により、測定値が変動する。つまり、例えば測定動作の際に、本尺１０とスライダ１１とを摺動させるのに必要な力が大きいと、測定ジョーで挟む力が弱くなってしまったり、逆に力を入れ過ぎて測定対象物を大きな力で挟んでしまい、実際の測定対象物の外径よりも、測定値が小さくなってしまうということがある。従って、できるだけばらつきの少ない摺動力（摩擦力）で本尺とノギスとを摺動可能に構成することで、ノギス１でより正確に測定対象を測定することができるようになる。しかし、摺動力のばらつきは、例えば本尺１０の小さな歪み等により、本尺１０の場所によりスライダとの摩擦が異なることにより生じてしまう。
この点、微細周期構造を本尺１０の下面１０ｅに形成すれば、摺動力の最大値が抑制され、ノギス１の摺動力のばらつきが抑えられる。ノギス１の摺動力のばらつきが小さくなることで、より正確に測定対象を測定することができる。

図３は、ノギス１の、本尺１０の下面１０ｅに微細周期構造を設けなかった場合と、微細周期構造を設けた場合と、を比較した実験結果を示す図である。微細周期構造が形成されていないノギスを、Ｎｏ．１，Ｎｏ．２とし、微細周期構造が形成されているノギスを、Ｎｏ.１′，Ｎｏ.２′とする。実験に使用されたノギスは、板ばね１４の与圧が、スライダ１１が本尺１０の０点付近で、板ばね１４のクリアランスによる表示値の変化が０．０１ｍｍ以下になるように調整されている。

図３は、ノギスの摺動感について、検査員Ａ〜Ｄが、１〜４までの順位をつけた表を示す図である。結果として、微細周期構造が加工されたノギスであるＮｏ．１′が、順位の合計が７となって総合順位が１位となり、微細周期構造が加工されたノギスであるＮｏ．２′が、順位の合計が１０となって、総合順位が２位となった。従って、人間の感覚において、より摺動力が小さくなっていることが分かる結果となった。

また、微細周期構造が加工されていないノギスＮｏ．１及びＮｏ．２と、微細周期構造が加工されたノギスＮｏ．１′とＮｏ．２′と、の摺動力を測定すると、微細加工済みのものは、摺動力のばらつきが約５０％低減していた。摺動力のばらつきとは、スライダをノギスに沿って摺動させたときに必要とされる最も大きな摺動力と最も小さな摺動力との差のことである。

本実施の形態にかかるノギス１では、本尺１０とスライダ１１とが接する摺動面１１ｆ〜１１ｈに微細周期構造を形成する。微細周期構造を形成されると、微細周期構造が形成されていない面に比べて、より摩擦を小さくすることができ、よって、ノギス１では、本尺１０とスライダ１１との摩擦をより小さくすることができる。これにより、例えばスライダ１１を本尺１０に対して十分な与圧で押したとしても、本尺１０とスライダ１１とを摺動させるための力が小さくなり、測定対象物をより正確に測定することができる。また、ノギス１の本尺１０とスライダ１１の摩擦が減り、かつ場所による摺動感のムラが減る。従って、測定者がノギス１をより滑らかな感覚で使用することができる。有効長の大きなノギスのスライダを速く移動させた場合には、いわゆるかじりと呼ばれる凝着現象が起きやすい。この点、本実施の形態では、摩擦を小さくでき、また、微細周期構造による潤滑油保持力により、凝着現象が起きにくい。従って、本実施形態は、有効長の大きなノギスに好適である。

実施の形態２
本実施の形態にかかるダイヤルゲージ２について説明する。本実施の形態では、実施の形態１にかかる微細周期構造をダイヤルゲージに応用した場合について説明する。

図４は、ダイヤルゲージ２の裏蓋を外した状態を示す図である。本実施の形態にかかるダイヤルゲージ２は、ケース本体部２１と、ケース本体部２１の外周壁を貫通して軸方向に摺動自在に支持されたスピンドル２２と、スピンドル２２の変位を伝達する動力伝達部２４と、図示しない表示部と、を備える。

ケース本体部２１は、スピンドル２２の軸を摺動案内するための軸受部２１１と、ステム２３と、を備える。スピンドル２２は、動力伝達部２４に動力を伝達するラック２２１と、接触部２２２と、を備える。

動力伝達部２４は、ピニオン２４１と、大歯車２４２と、指針軸２４３と、バックスラッシュ防止歯車２４４と、を備える。ピニオン２４１は、ラック２２１と噛合している。ピニオン２４１は、大歯車２４２と連結されている。大歯車２４２は、指針軸２４３と噛合している。指針軸２４３は、大歯車２４２がバックラッシュするのを防止するためのバックスラッシュ防止歯車２４４と噛合している。

スピンドル案内部２５は、スピンドル２２の回転を防止し軸方向への摺動を補助するためのものである。スピンドル案内部２５は、スピンドル案内溝２５１と、スピンドル案内軸２５２と、を備える。スピンドル案内溝２５１は、スピンドル２２の軸方向に沿ってケース本体部２１に設けられた溝である。スピンドル案内軸２５２は、スピンドル２２の中間部分から垂直に設けられ、スピンドル案内軸２５２の先端が、スピンドル案内溝２５１の溝にはまって摺るように設けられている。

測定者がダイヤルゲージ２を使って測定しようとする場合、スピンドル２２の接触部２２２を測定対象に接触させ、測定対象の面に沿ってダイヤルゲージ２を移動させることで、測定対象の面上の凹凸を測定する。従って、スピンドル２２が滑らかに進退することが、精密な測定には必要である。

ここで、スピンドル２２の摺動で、より摩擦を小さくするには、軸受部２１１とスピンドル２２との間の摩擦と、スピンドル案内溝２５１とスピンドル案内軸２５２との間の摩擦と、をより小さくすればよい。

よって、本実施の形態にかかるダイヤルゲージ２は、軸受部２１１の表面であってスピンドル２２と接触する接触面に微細周期構造を形成すればよい。また、スピンドル２２の表面であって軸受部２１１に接触する接触面に微細周期構造を形成するようにしてもよい。さらに、軸受部２１１の接触面及びスピンドル２２の接触面の両方に、微細周期構造を形成するようにしてもよい。

これに加えて、スピンドル案内溝２５１がスピンドル案内軸２５２と接触する接触面に微細周期構造を形成するようにしてもよい。また、スピンドル案内軸２５２の表面上であってスピンドル案内溝２５１と接触する接触面に微細周期構造を形成するようにしてもよい。なお、スピンドル案内溝２５１とスピンドル案内軸２５２の両方に微細周期構造を形成してもよいことはもちろんである。なお、ここではダイヤルゲージ式のインジケータについて説明したが、デジタル式等のインジケータにも適用可能なことはもちろんである。

これにより、本実施の形態にかかるダイヤルゲージ２は、スピンドル２２の摺動をより滑らかにすることができる。つまり、スピンドル２２が摺動する際の摩擦を減らすことがことにより、より測定の再現性を良くすることができる。

実施の形態３
本実施の形態にかかるマイクロメータについて説明する。本実施の形態では、実施の形態１及び２にかかる微細周期構造を、マイクロメータに応用した場合について説明する。図５はマイクロメータ３を示す図である。マイクロメータ３は、フレーム３１と、スピンドル３２と、シンブル３３と、を備える。

フレーム３１は、アンビル３１１と、アーム３１２と、スリーブ３１３と、主尺目盛３１４と、と備える。アーム３１２は、Ｕ字型の形状である。アンビル３１１は、アーム３１２の一端に設けられている。

スリーブ３１３は、アーム３１２の他端側に設けられ、スピンドル３２が挿通している。スリーブ３１３の表面には、スリーブ３１３の軸方向に沿って主尺目盛３１４が印字されている。スリーブ３１３の内部には、めねじ３１５が設けられ（図６参照）、スピンドル３２のおねじ３２１（図６参照）と螺合している。

スピンドル３２は、スリーブ３１３の内部のめねじ３１５と螺合するおねじ３３２を有し、軸方向に進退可能に構成されている。シンブル３３は、スピンドル３２と一体に成形され、スピンドル３２の進退に合わせて進退する。また、シンブル３３の表面には、シンブル３３の外周に沿って副尺目盛３３１が印字されている。

図６は、スピンドル３２のおねじ３２１と、スリーブ３１３の内部のめねじ３１５の概要を示す図である。ここで、マイクロメータ３は、アンビル３１１とスピンドル３２との間に測定対象物を挟み、スピンドル３２と一体に形成されたシンブル３３を回転させることでスピンドル３２を進退させる。従って、スピンドル３２のおねじ３２１と、スリーブ３１３の内部のめねじ３１５と、が精密に螺合し、かつ摩擦が小さくなければ、正確に測定対象物を測定することができない。

よって、本実施の形態にかかるマイクロメータ３では、スピンドル３２のおねじ３２１の表面と、スリーブ３１３の内部のめねじ３１５の表面と、のうち一方か又は両方に、微細周期構造を形成されている。

おねじ３２１の表面に微細周期構造を設ける場合、おねじ３２１の表面にレーザを照射すればよい。なお微細周期構造がおねじ３２１の表面に形成されても、おねじ３２１の溝の幅及び深さと比べて、微細周期構造の幅及び深さが極端に小さいため、おねじ３２１の精度に影響はない。

めねじ３１５の表面に微細周期構造を設ける場合、スリーブ３１３の内側にレーザを照射する必要がある。従って、例えば、図６（ｂ）に示すように、スリーブ３１３を軸方向に沿った面で２つの部材にしてレーザを照射したり、レーザを直角方向に反射するミラーを円筒内面に通しレーザを照射する等すればよい。

おねじ３２１と、めねじ３１５と、の両方に微細周期構造を設ける場合、おねじ３２１の表面に設けられた微細周期構造と、めねじ３１５の微細周期構造とで、溝の長手方向が平行にならないように、レーザを照射する。図６（ｃ）は、めねじ３１５及びおねじ３２１と、それぞれの表面に設けられた微細周期構造の溝の長手方向を図示した図である。図６（ｃ）に示すように、表面に設けられた微細周期構造の溝の長手方向は、接触する面に設けられた微細周期構造と、平行にならないように設けられていることが望ましい。これにより、微細周期構造の溝同士が噛みあうことを防ぐことができる。

本実施の形態にかかるマイクロメータ３は、スピンドル３２とスリーブ３１３との接触面に微細周期構造を設けることにより、摩擦を減らすことができる。これにより、より滑らかにスリーブ３１３を回転させることができ、より正確な計測が可能になる。

実施の形態４
また、微細周期構造は、摺動面のみでなく、測定器の他の面に設けられるようにしてもよい。ここでは、一例としてハイトゲージに微細周期構造を設けた場合について説明する。また、ハイトゲージに適用する場合、微細周期構造を、ハイトゲージのベースの底面に設ける。

図７は、本実施の形態にかかるハイトゲージ４を示す図である。ハイトゲージ４は、支柱４１と、スライダ４２と、ベース４３と、測定子４７と、を備え、定盤４８上に置かれている。

支柱４１は棒状のガイド部材であり、ベース４３上に垂直に立てられている。スライダ４２は、支柱４１に沿ってｙ軸方向に摺動する。測定子４７は、スライダ４２の取付部４４に連結部材４６を介してネジ４５で止めつけられている。ベース４３の底面には、微細周期構造が形成される。

ハイトゲージ４は、実施の形態１のノギス１と同様に、支柱４１の摺動面と、スライダ４２の摺動面と、のうち少なくとも一方に微細周期構造が形成される。これにより、支柱４１とスライダ４２との間の摩擦を抑制して、摺動力のばらつきを小さくすることができ、測定の再現性をより高くすることができる。

また、ハイトゲージ４は、測定時に、定盤４８の上面を滑らせて移動させる。ハイトゲージ４と定盤４８との摩擦は小さい方が測定作業の作業性が良い。本実施の形態では、ベース４３の底面に微細周期構造を形成することで摩擦を抑制し、従って測定作業の作業性をより良くすることができる。

なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、ハイケータ等に適用することも可能である。これらの測定器は、目盛の方式や測定値の表示機構には関係なく、例えば、バーニア目盛を用いたものであっても、ダイヤル目盛を用いたものであっても、デジタル表示のものであってもよい。

１ノギス
２ダイヤルゲージ
３マイクロメータ
４ハイトゲージ
１０本尺
１０ａ本体部
１１スライダ
１１ｃ〜１１ｅ支持部材
１１ｆ〜１１ｈ摺動面
１２デプスバー
１３クランプねじ
１４板ばね
１５ａ、１５ｂ外側ジョウ
１６ａ、１６ｂ内側ジョウ
１７本尺目盛
１８バーニヤ目盛
１９スライダ本体部
２１ケース本体部
２２スピンドル
２３ステム
２４動力伝達部
２５スピンドル案内部
３１フレーム
３２スピンドル
３３シンブル
４１支柱
４２スライダ
４３ベース
４４取付部
４５ネジ
４６連結部材
４７測定子
４８定盤
２１１軸受部
２２１ラック
２２２接触部
２４１ピニオン
２４２大歯車
２４３指針軸
２４４バックスラッシュ防止歯車
２５１スピンドル案内溝
２５２スピンドル案内軸
３１１アンビル
３１２アーム
３１３スリーブ
３１４主尺目盛
３２１おねじ
３１５めねじ
３３１副尺目盛

Claims

第１の部材と、
前記第１の部材に対して摺動するように設けられた第２の部材と、
前記第１の部材と前記第２の部材との変位を示す表示部と、を備え、
前記第１の部材は前記第２の部材と摺動する面である第１の摺動面を有し、
前記第２の部材は前記第１の部材と摺動する面である第２の摺動面を有し、
前記第１の摺動面及び前記第２の摺動面の両方に微細周期構造が設けられ、
前記第１の摺動面に設けられた微細周期構造の溝の長手方向と、前記第２の摺動面に設けられた微細周期構造の溝の長手方向と、が接触する面で平行にならないよう設けられる、測定器。
前記微細周期構造は、摺動面にピコ秒以下のレーザを照射することにより形成されるものである、請求項１記載の測定器。
前記微細周期構造は、摺動面にディンプル加工することにより形成されるものである、請求項１記載の測定器。
前記微細周期構造は、摺動面上に形成された低摺動膜層に形成されるものである、請求項１乃至３のうちいずれか１項記載の測定器。
前記低摺動膜層は、ダイヤモンドライク膜である、請求項４に記載の測定器。
前記第１の部材と前記第２の部材のうちいずれか１つ以上は、樹脂材料で形成される、請求項４に記載の測定器。
前記測定器はノギスであり、
前記第１の部材は本尺であって、
前記第２の部材はスライダであって、
前記本尺は、長手方向に沿った長さを有する直方体形状の本体部を有し、
前記スライダは、前記本尺を覆うように形成された角筒形状であって、
前記第２の摺動面は、前記スライダの角筒形状の内側に設けられる、請求項１乃至６のうちいずれか１項記載の測定器。
前記測定器はインジケータであり、
前記第１の部材はケース本体部の軸受部であり、
前記第２の部材はスピンドルである、請求項１乃至６のうちいずれか１項記載の測定器。
前記測定器はインジケータであり、
前記第１の部材はインジケータのケース本体部のスピンドル案内部であり、
前記第２の部材はスピンドルに設けられたスピンドル案内軸である、請求項１乃至６のうちいずれか１項記載の測定器。
前記測定器はマイクロメータであり、
前記第１の部材はスリーブであり、
前記第２の部材は前記スリーブに挿通するように設けられたスピンドルであり、
前記第１の摺動面は前記スリーブの内側に形成され、前記スピンドルのおねじに螺合するめねじの表面であり、
前記第２の摺動面は、前記スリーブのめねじに螺合する、前記スピンドルのおねじの表面である、請求項１乃至６のうちいずれか１項記載の測定器。
前記測定器はハイトゲージであり、
前記第１の部材は支柱であり、
前記第２の部材は前記支柱に沿って摺動するスライダである、請求項１乃至６のうちいずれか１項記載の測定器。
前記ハイトゲージは、前記支柱を立てたベースの底面に前記微細周期構造を更に有する、請求項１１記載の測定器。