JP6138000B2 - 被覆カーボンナノチューブの製造方法 - Google Patents
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Description
上記被覆膜と同一の材料からなる基板に垂直配向のカーボンナノチューブを配置し、
上記被覆膜と同一の材料からなる材料供給板を、上記垂直配向のカーボンナノチューブに対面させるように配置し、
上記垂直配向のカーボンナノチューブが配置された基板と、上記材料供給板とを加熱することで、基板および材料供給板の材料を昇華させてカーボンナノチューブに付着させ、上記被覆膜を形成するものである。
上記材料供給板の配置が、これら材料供給板を上記垂直配向のカーボンナノチューブにそれぞれ対面させて、それぞれ複数の基板および材料供給板が積層するようにされたものである。
まず、上記製造方法に使用する製造装置について説明する。
図6に示すように、上記製造装置は、内部に加熱用機器10が設置された真空チャンバ20と、この真空チャンバ20の内部を吸引してガスを排出し得る排出管32および真空ポンプ31と、上記真空チャンバ20の内部にガスを供給し得る供給管42およびガス供給源41とを備えている。上記加熱用機器10は、加熱対象物を収容し得るカーボン容器11と、このカーボン容器11の外側に配置されて加熱対象物を加熱し得るカーボンヒータ12と、カーボンヒータ12の外周を覆うカーボン断熱材13と、カーボン断熱材13の外周を覆うシリカ繊維断熱材14とを有している。上記排出管32および供給管42は、外側から、上記真空チャンバ20、シリカ繊維断熱材14およびカーボン断熱材13を貫通して設けられている。上記カーボン容器11に収容される加熱対象物は、基板Kに配置したカーボンナノチューブ2と、被覆膜3の材料と同一材料からなる材料供給板Mとである。この材料供給板Mは、スペーサSに載置されることで、上記カーボンナノチューブ2に対面して配置される。なお、上記基板Kも、被覆膜3の材料と同一材料からなる。カーボンナノチューブ2が配置された基板Kと上記材料供給板Mと上記スペーサSとは、直接カーボン容器11に収容されるのではなく、タンタル容器Vに入れられるとともにタンタル蓋Lで閉じられてから、カーボン容器11に収容される。タンタル容器Vおよびタンタル蓋Lは、加熱により基板Kおよび材料供給板Mから昇華する材料を閉じ込めることで、効率よく上記材料をカーボンナノチューブ2に付着させ、カーボンナノチューブ2の全周囲を覆うようにして、被覆膜3を形成させるものである。
予め、熱CVD法などにより、基板Kにカーボンナノチューブ2を生成させておく。この基板Kは、上述の通り、カーボンナノチューブ2に形成したい被覆膜3の材料と同一材料からなるものとする。なお、上記基板Kではなく、別の基板にカーボンナノチューブ2を生成させた上で、生成したカーボンナノチューブ2を上記基板Kに転写して配置してもよい。
上記実施例1の製造方法で、実際に被覆カーボンナノチューブ1を製造することができるか、以下の実験を行った。
このように、本実施例2に係る被覆カーボンナノチューブ1の製造方法によると、上記実施例1の効果も奏する上に、被覆カーボンナノチューブ1の生産性を向上させることができる。
また、上記実施例3では、所望範囲の例として左右側について説明したが、これは一例に過ぎず、被覆カーボンナノチューブ1を製造したい範囲であればよい。
K 基板
S スペーサ
1 被覆カーボンナノチューブ
2 カーボンナノチューブ
3 被覆膜
Claims (4)
- 被覆膜を垂直配向のカーボンナノチューブの全周囲に形成してなる被覆カーボンナノチューブの製造方法であって、
上記被覆膜と同一の材料からなる基板に垂直配向のカーボンナノチューブを配置し、
上記被覆膜と同一の材料からなる材料供給板を、上記垂直配向のカーボンナノチューブに対面させるように配置し、
上記垂直配向のカーボンナノチューブが配置された基板と、上記材料供給板とを加熱することで、基板および材料供給板の材料を昇華させてカーボンナノチューブに付着させ、上記被覆膜を形成することを特徴とする被覆カーボンナノチューブの製造方法。 - 基板および材料供給板がそれぞれ複数であり、
上記材料供給板の配置が、これら材料供給板を上記垂直配向のカーボンナノチューブにそれぞれ対面させて、それぞれ複数の基板および材料供給板が積層するようにされたものであることを特徴とする請求項1に記載の被覆カーボンナノチューブの製造方法。 - 材料供給板の配置が、垂直配向のカーボンナノチューブにおいて被覆膜を形成する範囲にのみ当該材料供給板が対面するようにされたものであることを特徴とする請求項1または2に記載の被覆カーボンナノチューブの製造方法。
- 被覆膜が、担持する触媒の固着性を向上させる材料からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の被覆カーボンナノチューブの製造方法。
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