JP6134313B2 - レーザシステム及び極端紫外光生成システム - Google Patents
レーザシステム及び極端紫外光生成システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6134313B2 JP6134313B2 JP2014512556A JP2014512556A JP6134313B2 JP 6134313 B2 JP6134313 B2 JP 6134313B2 JP 2014512556 A JP2014512556 A JP 2014512556A JP 2014512556 A JP2014512556 A JP 2014512556A JP 6134313 B2 JP6134313 B2 JP 6134313B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- pulse
- output
- light
- pulse laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 204
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 claims description 33
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 28
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims description 15
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 4
- 230000036278 prepulse Effects 0.000 description 104
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 68
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 40
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 33
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 19
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 18
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 17
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 17
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 13
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 5
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 4
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 2
- UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N gadolinium atom Chemical compound [Gd] UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N ytterbium Chemical compound [Yb] NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N aluminum;oxygen(2-);yttrium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Y+3] JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- AQCDIIAORKRFCD-UHFFFAOYSA-N cadmium selenide Chemical compound [Cd]=[Se] AQCDIIAORKRFCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000013076 target substance Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- LSGOVYNHVSXFFJ-UHFFFAOYSA-N vanadate(3-) Chemical compound [O-][V]([O-])([O-])=O LSGOVYNHVSXFFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019901 yttrium aluminum garnet Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
- H01S3/1106—Mode locking
- H01S3/1112—Passive mode locking
- H01S3/1115—Passive mode locking using intracavity saturable absorbers
- H01S3/1118—Semiconductor saturable absorbers, e.g. semiconductor saturable absorber mirrors [SESAMs]; Solid-state saturable absorbers, e.g. carbon nanotube [CNT] based
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
- H01S3/1106—Mode locking
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
- H01S3/2308—Amplifier arrangements, e.g. MOPA
- H01S3/2325—Multi-pass amplifiers, e.g. regenerative amplifiers
- H01S3/235—Regenerative amplifiers
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/008—X-ray radiation generated from plasma involving a beam of energy, e.g. laser or electron beam in the process of exciting the plasma
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/105—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
- H01S3/107—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using electro-optic devices, e.g. exhibiting Pockels or Kerr effect
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/139—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
- H01S3/2308—Amplifier arrangements, e.g. MOPA
- H01S3/2316—Cascaded amplifiers
Description
1.概要
2.用語の説明
3.極端紫外光生成システムの全体説明
3.1 構成
3.2 動作
4.プリパルスレーザ装置を含む極端紫外光生成システム
4.1 構成
4.2 動作
5.プリパルスレーザ装置
5.1 概略構成
5.2 モードロックレーザ装置
5.3 再生増幅器
5.3.1 ポッケルスセルに電圧を印加しない場合
5.3.2 ポッケルスセルに電圧を印加する場合
5.4 タイミング制御
6.メインパルスレーザ装置
7.その他
7.1 タイミング信号の変形例
7.2 プリパルスレーザ装置の変形例(1)
7.3 プリパルスレーザ装置の変形例(2)
7.4 プリパルスレーザ装置の変形例(3)
7.5 プリパルスレーザ光のパルス幅
7.6 メインパルスレーザ装置の変形例(1)
7.7 メインパルスレーザ装置の変形例(2)
7.8 メインパルスレーザ装置の変形例(3)
7.9 メインパルスレーザ装置の変形例(4)
7.10 メインパルスレーザ光の光強度分布
LPP式のEUV光生成装置においては、レーザシステムから出力されるパルスレーザ光を、チャンバ内に供給されるドロップレット状のターゲットに集光して照射することにより、ターゲット物質をプラズマ化してもよい。プラズマからは、EUV光を含む光が放射されてもよい。放射されたEUV光は、チャンバ内に配置されたEUV集光ミラーによって集光され、露光装置等に出力されてもよい。
「パルスレーザ光」は、複数のパルスを含むレーザ光を意味し得る。
「レーザ光」は、パルスレーザ光に限らずレーザ光一般を意味し得る。
「ターゲット物質」は、パルスレーザ光が照射されることによってプラズマ化し、そのプラズマからEUV光を放射し得るスズ、ガドリニウム、テルビウム等の物質を意味し得る。
「ターゲット」は、ターゲット供給装置によってチャンバ内に供給され、パルスレーザ光が照射される、微小量のターゲット物質を含む塊を意味し得る。特に、「ドロップレット状のターゲット」というときは、微小量の溶融したターゲット物質がチャンバ内に放出され、当該ターゲット物質の表面張力によってほぼ球状となったものを意味し得る。
「拡散ターゲット」は、ターゲットにプリパルスレーザ光が照射されたことにより拡散したターゲットを意味し得る。この拡散ターゲットにメインパルスレーザ光が照射されることにより、ターゲットを効率良くプラズマ化し得る。
3.1 構成
図1に、例示的なLPP式のEUV光生成システム11の構成を概略的に示す。EUV光生成装置1は、少なくとも1つのレーザシステム3と共に用いられてもよい。本願においては、EUV光生成装置1及びレーザシステム3を含むシステムを、EUV光生成システム11と称する。図1に示し、かつ、以下に詳細に説明するように、EUV光生成装置1は、チャンバ2及びターゲット供給装置26を含んでもよい。チャンバ2は、密閉可能であってもよい。ターゲット供給装置26は、例えば、チャンバ2の壁を貫通するように取り付けられてもよい。ターゲット供給装置26から供給されるターゲット物質の材料は、スズ、テルビウム、ガドリニウム、リチウム、キセノン、又は、それらの内のいずれか2つ以上の組合せを含んでもよいが、これらに限定されない。
図1を参照に、レーザシステム3から出力されたパルスレーザ光31は、レーザ光進行方向制御装置34を経て、パルスレーザ光32としてウインドウ21を透過して、チャンバ2内に入射してもよい。パルスレーザ光32は、少なくとも1つのレーザ光路に沿ってチャンバ2内に進み、レーザ光集光ミラー22で反射されて、パルスレーザ光33として少なくとも1つのターゲット27に照射されてもよい。
4.1 構成
図2は、第1の実施形態に係るEUV光生成システム11の構成例を概略的に示す一部断面図である。図2に示すように、チャンバ2の内部には、レーザ光集光光学系22aと、EUV集光ミラー23と、ターゲット回収部28と、EUV集光ミラーホルダ41と、プレート42及び43と、ビームダンプ44と、ビームダンプ支持部材45とが設けられてもよい。
ターゲットコントローラ52は、ターゲット供給装置26がターゲット27をチャンバ2内のプラズマ生成領域25に供給開始するように、ターゲット供給装置26にターゲット供給開始信号を出力してもよい。
5.1 概略構成
図3は、図2に示すプリパルスレーザ装置300の構成例を概略的に示す。プリパルスレーザ装置300は、クロック生成器301と、モードロックレーザ装置302と、光共振器長調整ドライバ303と、パルスレーザ光検出器304と、再生増幅器305と、励起用電源306と、制御部310とを含んでもよい。
図4は、図3に示すモードロックレーザ装置302の構成例を概略的に示す。モードロックレーザ装置302は、平面ミラー320と可飽和吸収体ミラー321との間に、レーザ結晶322と、凹面ミラー323と、平面ミラー324と、出力結合ミラー325と、凹面ミラー326とが、この順に平面ミラー320側から配置された光共振器を含んでもよい。この光共振器の光路は紙面にほぼ平行でもよい。さらに、モードロックレーザ装置302は、光共振器の外部からレーザ結晶322に励起光E1を出力する励起光源327を含んでもよい。励起光源327は、励起光E1を発生するレーザダイオードを含んでもよい。
f=c/(2L)
=(3×108)/(2×1.5)
=100MHz
この出力されるパルスレーザ光は、レーザ結晶322がブリュースタ角で図4のように配置されている場合、紙面に対して平行な直線偏光となり得る。
図5は、図3に示す再生増幅器305の構成例を概略的に示す。再生増幅器305は、平面ミラー334と凹面ミラー335との間に、レーザ結晶336と、凹面ミラー337と、平面ミラー338と、偏光ビームスプリッタ339と、ポッケルスセル340と、λ/4波長板341とが、この順に平面ミラー334側から配置された光共振器を含んでもよい。例えば、再生増幅器305の光共振器は、上述のモードロックレーザ装置302の光共振器よりも短い光共振器長を有してもよい。さらに、再生増幅器305は、光共振器の外部からレーザ結晶336に励起光E2を出力する励起光源342を含んでもよい。励起光源342は、励起光E2を発生するレーザダイオードを含んでもよい。また、再生増幅器305は、偏光ビームスプリッタ330と、ファラデー光アイソレータ331と、平面ミラー332と、平面ミラー333とを含んでもよい。さらに、レーザ結晶336はレーザ光の入射角度がブリュースタ角となるように配置されてもよい。ファラデー光アイソレータ331は、図示しないファラデーローテータと図示しないλ/2波長板を含んでいてもよい。
偏光ビームスプリッタ330は、モードロックレーザ装置302から出力されたパルスレーザ光B1の光路に配置されてもよい。偏光ビームスプリッタ330は、パルスレーザ光B1が入射する面が紙面に対して垂直に配置されてもよい。偏光ビームスプリッタ330は、紙面に平行な方向に直線偏光したパルスレーザ光B1を高い透過率で透過させてもよい。偏光ビームスプリッタ330は、後述のように、紙面に垂直な方向に直線偏光したパルスレーザ光B29を高い反射率で反射してもよい。
高電圧電源343は、一度ポッケルスセル340を透過したパルスレーザ光B11の1つのパルスが、次にパルスレーザ光B20としてポッケルスセル340に入射するまでの間のタイミングで、ポッケルスセル340に印加する電圧をOFFからONにしてもよい。ポッケルスセル340は、高電圧電源343によって電圧が印加されている状態においては、λ/4波長板341と同様に、入射光を、第1の偏光成分の位相に対して第2の偏光成分の位相を1/4波長分ずらして透過させてもよい。
図7A〜図7Eは、図3に示すプリパルスレーザ装置300における各信号のタイミングチャートである。図7Aは、クロック生成器301から出力されるクロック信号のタイミングチャートである。クロック生成器301から出力されるクロック信号は、例えば、繰り返し周波数を100MHzとしてもよい。この場合、パルスの発生間隔は10nsとなり得る。
図8は、第1の実施形態におけるメインパルスレーザ装置390の構成例を概略的に示す。メインパルスレーザ装置390は、マスターオシレータMOと、複数の増幅器PA1、PA2及びPA3と、制御部391とを含んでもよい。
7.1 タイミング信号の変形例
図9は、第2の実施形態におけるEUV光生成システム11の構成例を概略的に示す一部断面図である。第2の実施形態においては、EUV光生成制御装置5aが、クロック生成器54aと、分周器55aとを含んでもよい。
図11は、第3の実施形態におけるプリパルスレーザ装置300bの構成例を概略的に示す。第3の実施形態におけるプリパルスレーザ装置300bは、第1の実施形態におけるプリパルスレーザ装置の図5におけるポッケルスセル340を含む図3の再生増幅器305の代わりに、光シャッタ313と、増幅器314とを含んでもよい。その他の点は第1の実施形態と同様でもよい。
図12は、第4の実施形態におけるプリパルスレーザ装置300cの構成例を概略的に示す。第4の実施形態におけるプリパルスレーザ装置300cは、モードロックレーザ装置302cと、光シャッタ313と、増幅器314と、第1の非線形結晶315と、第2の非線形結晶316とを含んでもよい。その他の点は第3の実施形態と同様でよく、図11に示した、クロック生成器301と、光共振器長調整ドライバ303と、パルスレーザ光検出器304と、励起用電源306と、ビームスプリッタ307と、制御部310とを含んでもよい。
図13は、第5の実施形態におけるプリパルスレーザ装置300dの構成例を概略的に示す。第5の実施形態におけるプリパルスレーザ装置300dは、モードロックレーザ装置302dと、再生増幅器305dとを含んでもよい。その他の点は第1の実施形態と同様でよく、図3に示した、クロック生成器301と、光共振器長調整ドライバ303と、パルスレーザ光検出器304と、励起用電源306と、ビームスプリッタ307と、制御部310とを含んでもよい。
図14は、EUV光生成システム11におけるプリパルスレーザ光の照射条件とCEとの関係を示すグラフである。図14において、横軸は、プリパルスレーザ光に対するメインパルスレーザ光の遅延時間(μs)を示し、縦軸は、メインパルスレーザ光のエネルギーからEUV光のエネルギーへの変換効率すなわちCE(%)を示す。プリパルスレーザ光の半値全幅で規定されるパルス幅とエネルギー密度の指標としてフルーエンスとの組合せを7通り設定し、それぞれの組合せについて、測定を行い、その結果を折れ線で示した。なお、フルーエンスとは、パルスレーザ光のエネルギーを、集光スポット径内の面積で除算した値とする。なお、集光スポット径は、集光点の強度分布において、ピーク強度の1/e2以上の強度を有する部分の直径とする。
プリパルスレーザ装置としては、パルス幅を10nsとする場合には、Nd:YAGレーザ装置を用い、波長を1.06μmとし、パルスエネルギーを0.5mJ〜2.7mJとした。パルス幅を10psとする場合には、マスターオシレータとしてNd:YVO4の結晶を含むモードロックレーザ装置を用い、再生増幅器としてNd:YAGの結晶を含むレーザ装置を用い、波長を1.06μmとし、パルスエネルギーを0.25mJ〜2mJとした。これらのプリパルスレーザ装置によるプリパルスレーザ光の集光スポット径は、70μmとした。
メインパルスレーザ装置としては、CO2レーザ装置を用い、波長を10.6μmとし、パルスエネルギーを135mJ〜170mJとした。このメインパルスレーザ装置によるメインパルスレーザ光のパルス幅は15nsとし、集光スポット径を300μmとした。
0.5μs以上、1.8μs以下、
より好ましくは、0.7μs以上、1.6μs以下、
さらに好ましくは、1.0μs以上、1.4μs以下。
図19Aは、第6の実施形態におけるメインパルスレーザ装置390aの構成例を概略的に示す。第6の実施形態におけるメインパルスレーザ装置390aは、マスターオシレータMOと増幅器PA1との間に、波形調節器392を含んでもよい。また、メインパルスレーザ装置390aは、増幅器PA3から出力されたメインパルスレーザ光の光路に配置されたビームスプリッタ394を含んでもよい。さらに、メインパルスレーザ装置390aは、ビームスプリッタ394によって分岐された2つの光路のうちの、一方の光路に配置されたパルス波形検出器393を含んでもよい。
図21は、第7の実施形態におけるメインパルスレーザ装置390bの構成例を概略的に示す。第7の実施形態におけるメインパルスレーザ装置390bは、マスターオシレータMOと増幅器PA1との間に、高反射ミラー467と、可飽和吸収体セル397とを含んでもよい。また、メインパルスレーザ装置390bは、電圧波形生成回路395と、高電圧電源396とを含んでもよい。
その他の点は図19Aを用いて説明した第6の実施形態と同様でもよい。
図22Aは、第8の実施形態におけるメインパルスレーザ装置390cの構成例を概略的に示す。第8の実施形態におけるメインパルスレーザ装置390cは、第1及び第2のマスターオシレータMO1及びMO2を含んでもよい。メインパルスレーザ装置390cは、さらに、遅延回路398と光路調節器399とを含んでもよい。その他の点は図19Aを用いて説明した第6の実施形態と同様でもよい。
図23Aは、第9の実施形態におけるメインパルスレーザ装置390dの構成例を概略的に示す。図23Bは、第2のマスターオシレータMO2から出力され図23Aに破線XXIIIBで示されたパルスレーザ光のパルス波形を示すグラフである。図23Cは、第1のマスターオシレータMO1から出力され図23Aに破線XXIIICで示されたパルスレーザ光のパルス波形を示すグラフである。図23Dは、光路調節器399aから出力され図23Aに破線XXIIIDで示されたパルスレーザ光のパルス波形を示すグラフである。図23Eは、メインパルスレーザ装置390dから出力され図23Aに破線XXIIIEで示されたパルスレーザ光のパルス波形を示すグラフである。また、図23Cのグラフにおける縦軸は、図23Bに示すパルスレーザ光のピーク値で規格化してある。第9の実施形態におけるメインパルスレーザ装置390dは、光路調節器399aの配置が、図22Aを用いて説明した第8の実施形態における光路調節器399の配置と異なっていてもよい。その他の点は第8の実施形態と同様でもよい。
図24は、第10の実施形態に係るEUV光生成システム11の構成例を概略的に示す一部断面図である。第10の実施形態においては、メインパルスレーザ装置390によって出力されるメインパルスレーザ光の光路に、メインパルスレーザ光の集光点における光強度分布を整形するビーム整形光学系400が配置されてもよい。その他の点は図2を用いて説明した第1の実施形態と同様でもよい。
Claims (7)
- 第1の繰り返し周波数でクロック信号を出力可能に構成されたクロック生成器と、
光共振器を含み、相対的に位相が固定された複数の縦モードで光を発振させてパルスレーザ光を出力可能に構成されたモードロックレーザ装置と、
前記光共振器の光共振器長を調整可能に構成された調整装置と、
前記モードロックレーザ装置から出力された前記パルスレーザ光の光路に配置され、前記パルスレーザ光を第1の光路と第2の光路とに分岐させるビームスプリッタと、
前記パルスレーザ光の第1の光路に配置され、前記パルスレーザ光を検出して検出信号を出力可能に構成された検出器と、
前記パルスレーザ光の第2の光路に配置され、前記パルスレーザ光をスイッチング可能に構成されたスイッチング装置と、
制御部であって、
前記クロック生成器によって出力されるクロック信号と前記検出器によって出力される検出信号とに基づいて、前記クロック信号に対して前記検出信号が所定の位相差で同期するように前記調整装置を制御可能に構成され、
前記クロック生成器によって出力されるクロック信号と、前記第1の繰り返し周波数より小さい第2の繰り返し周波数で外部装置から入力されるタイミング信号とに基づいて、前記スイッチング装置を制御可能に構成された
前記制御部と、
を備え、前記クロック信号に同期して前記モードロックレーザ装置から出力されて前記第2の光路に進んだパルスレーザ光の複数のパルスの内から、前記外部装置から入力される前記タイミング信号によってパルスを選択するレーザシステム。 - 前記スイッチング装置は、ポッケルスセルを含む再生増幅器を有しており、
前記ポッケルスセルは、前記制御部によって出力される制御信号に基づいて、その光学特性が変化するように構成され、
前記再生増幅器は、前記ポッケルスセルの光学特性の変化により、前記パルスレーザ光を所定値以上の光強度に増幅するか否かが切り替わるように構成された、
請求項1記載のレーザシステム。 - 前記スイッチング装置は、光シャッタを有しており、
前記光シャッタは、前記制御部によって出力される制御信号に基づいて、前記パルスレーザ光の透過率が変化するように構成された、
請求項1記載のレーザシステム。 - 前記クロック信号のパルス間隔と、前記タイミング信号のパルス時間幅とが実質的に等しく、
前記制御部は、前記クロック信号と前記タイミング信号との論理積に基づいて、前記スイッチング装置を制御可能に構成された、
請求項1記載のレーザシステム。 - 第1の繰り返し周波数でクロック信号を出力可能に構成されたクロック生成器と、
光共振器を含み、相対的に位相が固定された複数の縦モードで光を発振させてパルスレーザ光を出力可能に構成されたモードロックレーザ装置と、
前記光共振器の光共振器長を調整可能に構成された調整装置と、
前記モードロックレーザ装置から出力された前記パルスレーザ光の光路に配置され、前記パルスレーザ光を第1の光路と第2の光路とに分岐させるビームスプリッタと、
前記パルスレーザ光の第1の光路に配置され、前記パルスレーザ光を検出して検出信号を出力可能に構成された検出器と、
前記パルスレーザ光の第2の光路に配置され、前記パルスレーザ光をスイッチング可能に構成されたスイッチング装置と、
前記パルスレーザ光の光路であって前記スイッチング装置の下流側に配置され、前記パルスレーザ光を内部に導入可能な位置に入射口が設けられたチャンバと、
前記チャンバに設けられ、前記チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給可能に構成され、ターゲット物質の供給タイミングを示すタイミング信号を出力可能に構成されたターゲット供給装置と、
前記パルスレーザ光の光路であって前記スイッチング装置と前記所定の領域との間に配置され、前記パルスレーザ光を前記所定の領域で集光可能に構成されたレーザ光集光光学系と、
制御部であって、
前記クロック生成器によって出力されるクロック信号と前記検出器によって出力される検出信号とに基づいて、前記クロック信号に対して前記検出信号が所定の位相差で同期するように前記調整装置を制御可能に構成され、
前記クロック生成器によって出力されるクロック信号と、前記第1の繰り返し周波数より小さい第2の繰り返し周波数で前記ターゲット供給装置によって出力されるタイミング信号とに基づいて、前記スイッチング装置を制御可能に構成された
前記制御部と、
を備え、前記クロック信号に同期して前記モードロックレーザ装置から出力されて前記第2の光路に進んだパルスレーザ光の複数のパルスの内から、前記ターゲット供給装置によって出力される前記タイミング信号によってパルスを選択する極端紫外光生成システム。 - 前記ターゲット供給装置は、前記チャンバ内に供給されたターゲット物質を検出するターゲット検出器を有しており、
前記ターゲット検出器は、前記タイミング信号を出力可能に構成された、
請求項5記載の極端紫外光生成システム。 - 前記クロック信号のパルス間隔と、前記タイミング信号のパルス時間幅とが実質的に等しく、
前記制御部は、前記クロック信号と前記タイミング信号との論理積に基づいて、前記スイッチング装置を制御可能に構成された、
請求項5記載の極端紫外光生成システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014512556A JP6134313B2 (ja) | 2012-04-27 | 2013-04-22 | レーザシステム及び極端紫外光生成システム |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012103580 | 2012-04-27 | ||
JP2012103580 | 2012-04-27 | ||
JP2014512556A JP6134313B2 (ja) | 2012-04-27 | 2013-04-22 | レーザシステム及び極端紫外光生成システム |
PCT/JP2013/061783 WO2013161760A1 (ja) | 2012-04-27 | 2013-04-22 | レーザシステム及び極端紫外光生成システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013161760A1 JPWO2013161760A1 (ja) | 2015-12-24 |
JP6134313B2 true JP6134313B2 (ja) | 2017-05-24 |
Family
ID=49483073
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014512556A Active JP6134313B2 (ja) | 2012-04-27 | 2013-04-22 | レーザシステム及び極端紫外光生成システム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20150043599A1 (ja) |
JP (1) | JP6134313B2 (ja) |
TW (1) | TWI591920B (ja) |
WO (1) | WO2013161760A1 (ja) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2951643B1 (en) * | 2013-01-30 | 2019-12-25 | Kla-Tencor Corporation | Euv light source using cryogenic droplet targets in mask inspection |
JP6364002B2 (ja) * | 2013-05-31 | 2018-07-25 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成システム |
KR102314640B1 (ko) * | 2014-01-27 | 2021-10-20 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 방사선 소스 |
WO2015166524A1 (ja) * | 2014-04-28 | 2015-11-05 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成装置 |
US9357625B2 (en) * | 2014-07-07 | 2016-05-31 | Asml Netherlands B.V. | Extreme ultraviolet light source |
WO2016013102A1 (ja) * | 2014-07-25 | 2016-01-28 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成装置 |
WO2016067343A1 (ja) * | 2014-10-27 | 2016-05-06 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置及び極端紫外光生成装置 |
US9426872B1 (en) * | 2015-08-12 | 2016-08-23 | Asml Netherlands B.V. | System and method for controlling source laser firing in an LPP EUV light source |
US20170065182A1 (en) * | 2015-09-09 | 2017-03-09 | Washington University | Reversibly switchable photoacoustic imaging systems and methods |
WO2017163315A1 (ja) * | 2016-03-22 | 2017-09-28 | ギガフォトン株式会社 | ドロップレットタイミングセンサ |
DE102016212927B3 (de) * | 2016-07-14 | 2017-09-07 | Trumpf Laser Gmbh | Laser-Taktsignalgenerator |
WO2018029863A1 (ja) * | 2016-08-12 | 2018-02-15 | ギガフォトン株式会社 | ドロップレット検出器及び極端紫外光生成装置 |
US10806016B2 (en) * | 2017-07-25 | 2020-10-13 | Kla Corporation | High power broadband illumination source |
FR3073988B1 (fr) * | 2017-11-20 | 2020-01-03 | Amplitude Systemes | Systeme et procede de generation d'un faisceau laser de forte intensite localise spatialement |
US10925142B2 (en) * | 2018-07-31 | 2021-02-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | EUV radiation source for lithography exposure process |
JP2020053423A (ja) * | 2018-09-21 | 2020-04-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ装置及びレーザ波形制御方法 |
CN112771736A (zh) * | 2018-09-26 | 2021-05-07 | Asml荷兰有限公司 | 在光刻系统中提供高精度延迟的装置和方法 |
JP7414602B2 (ja) * | 2020-03-18 | 2024-01-16 | 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 | イオン生成装置 |
JP7434096B2 (ja) | 2020-07-30 | 2024-02-20 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成システム、及び電子デバイスの製造方法 |
JP2022044162A (ja) | 2020-09-07 | 2022-03-17 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成装置及び電子デバイスの製造方法 |
US11835705B2 (en) | 2020-10-07 | 2023-12-05 | Raytheon Company | Optical sensor with Tx/Rx aperture sharing element (ASE) to block detection of the received active signal |
US11686820B2 (en) * | 2020-10-15 | 2023-06-27 | Raytheon Company | Optical sensor with ring-shaped Tx/Rx aperture sharing element (ASE) |
US11835709B2 (en) | 2021-02-09 | 2023-12-05 | Raytheon Company | Optical sensor with micro-electro-mechanical system (MEMS) micro-mirror array (MMA) steering of the optical transmit beam |
EP4125165B1 (de) * | 2021-07-28 | 2023-11-01 | TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH | Fokussiereinrichtung mit einer parallel oder deckungsgleich zu einer targetebene verlaufenden bildebene |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6211285A (ja) * | 1985-07-09 | 1987-01-20 | Toshiba Corp | レ−ザ装置 |
JP2003255282A (ja) * | 2002-03-01 | 2003-09-10 | Anritsu Corp | 光パルス発生装置 |
DE10235914B4 (de) * | 2002-08-06 | 2020-12-31 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Lichtquelle zur Beleuchtung mikroskopischer Objekte und Scanmikroskopsystem |
US6687270B1 (en) * | 2002-08-14 | 2004-02-03 | Coherent, Inc. | Digital electronic synchronization of ultrafast lasers |
US7103076B2 (en) * | 2002-10-24 | 2006-09-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrashort pulsed laser and optical head using the same |
JP2006128157A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置用ドライバレーザシステム |
JP4811111B2 (ja) * | 2006-05-11 | 2011-11-09 | 三菱電機株式会社 | 再生増幅器およびレーザ装置 |
JP5179776B2 (ja) * | 2007-04-20 | 2013-04-10 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源用ドライバレーザ |
JP5458243B2 (ja) * | 2007-10-25 | 2014-04-02 | 国立大学法人大阪大学 | Euv光の放射方法、および前記euv光を用いた感応基板の露光方法 |
JP5675127B2 (ja) * | 2009-02-27 | 2015-02-25 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置および極端紫外光源装置 |
JP2011181691A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Advantest Corp | パルスレーザ、光周波数安定化レーザ、測定装置および測定方法 |
-
2013
- 2013-04-22 WO PCT/JP2013/061783 patent/WO2013161760A1/ja active Application Filing
- 2013-04-22 JP JP2014512556A patent/JP6134313B2/ja active Active
- 2013-04-24 TW TW102114610A patent/TWI591920B/zh active
-
2014
- 2014-10-24 US US14/523,750 patent/US20150043599A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI591920B (zh) | 2017-07-11 |
TW201403979A (zh) | 2014-01-16 |
US20150043599A1 (en) | 2015-02-12 |
WO2013161760A1 (ja) | 2013-10-31 |
JPWO2013161760A1 (ja) | 2015-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6134313B2 (ja) | レーザシステム及び極端紫外光生成システム | |
JP6594490B2 (ja) | 極端紫外光生成システム | |
JP6121414B2 (ja) | 極端紫外光生成システム | |
US10306743B1 (en) | System and method for generating extreme ultraviolet light | |
US9402297B2 (en) | Extreme ultraviolet light generation system | |
JP2006128157A (ja) | 極端紫外光源装置用ドライバレーザシステム | |
JP2013065804A (ja) | レーザ装置およびそれを備える極端紫外光生成システム | |
JP2012216768A (ja) | レーザシステム、極端紫外光生成システム、およびレーザ光生成方法 | |
US10483713B2 (en) | Laser apparatus and measurement unit | |
JP5075951B2 (ja) | 極端紫外光源装置及びドライバレーザシステム | |
JP7261683B2 (ja) | 極端紫外光生成システム及び電子デバイスの製造方法 | |
WO2016027346A1 (ja) | 極端紫外光生成システムおよび極端紫外光生成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20160219 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160310 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161004 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20161025 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170404 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170421 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6134313 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |