JP6131168B2 - 赤色感光性樹脂組成物、硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子および画像表示装置 - Google Patents
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Description
これらのディスプレイや光学素子のキーデバイスとしてカラーフィルタが使用されており、更なる高画質化の要求とともにコストダウンへの要求が高まっている。このようなカラーフィルタは、通常、赤(R)、緑(G)、および青(B)の3原色の着色パターンを備えており、表示デバイスや撮像素子において、通過する光を3原色へ分画する役割を果たしている。
即ち、色再現性上好ましい分光特性を有すること、液晶ディスプレイのコントラスト低下の原因である光散乱や固体撮像素子の色ムラ・ザラツキ感の原因となる光学濃度の不均一性といった光学的な乱れがないこと、使用される環境条件下における堅牢性、例えば、耐熱性、耐光性、耐湿性等が良好であること、モル吸光係数が大きく薄膜化が可能なこと等が必要とされている。
このため、着色剤としては顔料を用いることが一般的である。
特許文献2には、特定構造のトリアジン環含有塩基性化合物と特定のアクリル樹脂を含有する顔料組成物が開示されている。
本発明はかかる課題を解決するものであって、組成物の経時保管に伴う粗大粒子を抑制することができる赤色感光性樹脂組成物、この赤色感光性樹脂組成物を利用した硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子および画像表示装置に関する。
具体的には、下記手段<1>により、好ましくは、<2>〜<14>により、上記課題は解決された。
<1>(A)顔料、(B)下記一般式(I)で表される色素誘導体、(C)光重合開始剤、(D)重合性化合物、(E)分散剤とを含有し、
(A)顔料が少なくともC.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントオレンジ71およびC.I.ピグメントイエロー139を含有し、
上記(A)顔料中の全赤色顔料100質量部に対してC.I.ピグメントオレンジ71を100〜200質量部含み、上記(A)顔料中の全赤色顔料100質量部に対してC.I.ピグメントイエロー139を10〜50質量部含む、赤色感光性樹脂組成物。
一般式(2)中、Z1はトリアジン環と窒素原子を結ぶ単結合、−NR’−、−NR’−G−CO−、NR’−G−CONR’’−、−NR’−G−SO2−、−NR’−G−SO2NR’’−、−O−G−CO−、−O−G−CONR’−、−O−G−SO2−または−O−G−SO2NR’−を表し、Gは置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキレン基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニレン基または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリーレン基を表し、R’およびR’’は、それぞれ水素原子、置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基、または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリール基を表す。R3、R4、R5、およびR6はそれぞれ、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基、または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリール基を表し、R7は置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキル基、または置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基を表す。)
<2>(E)分散剤が、(E−1)下記一般式(II)で表されるリン酸系分散剤、および、(E−2)少なくとも一つの末端に水酸基を有する重合体(POH)もしくは少なくとも一つの末端に第1級アミノ基を有する重合体(PNH2)と、トリカルボン酸無水物もしくはテトラカルボン酸二無水物とを反応させてなるカルボン酸系分散剤、から選ばれる少なくとも1種を含む、<1>に記載の赤色感光性樹脂組成物。
<3>上記(A)顔料がC.I.ピグメントレッド177をさらに含む、<1>または<2>に記載の赤色感光性樹脂組成物。
<4>(E)分散剤が(E−1)一般式(II)で表されるリン酸系分散剤を少なくとも含み、一般式(II)中、R3で表されるポリエステル構造の数平均分子量が1,900〜10,000である、<2>または<3>に記載の赤色感光性樹脂組成物。
<5>(E)分散剤が(E−1)一般式(II)で表されるリン酸系分散剤を少なくとも含み、一般式(II)中、R3で表されるポリエステル構造が2種以上の異なるラクトンモノマーを開環重合して得られるポリエステル構造である、<2>〜<4>のいずれかに記載の赤色感光性樹脂組成物。
<6>(E)分散剤が、(E−2)カルボン酸系分散剤における、少なくとも一つの末端に水酸基を有する重合体(POH)もしくは少なくとも一つの末端に第1級アミノ基を有する重合体(PNH2)が、下記一般式(III)で表される、<2>または<3>に記載の赤色感光性樹脂組成物。
<7>(E)分散剤が、(E−2)カルボン酸系分散剤における、少なくとも一つの末端に水酸基を有する重合体(POH)もしくは少なくとも一つの末端に第1級アミノ基を有する重合体(PNH2)が下記一般式(IV)で表される、<2>、<3>または<6>に記載の赤色感光性樹脂組成物。
G4およびG5は、それぞれ−C(=O)R12O−で示される繰り返し単位を表し、R12は炭素数1〜8の直鎖状若しくは分岐状のアルキレン基、または炭素数4〜8のシクロアルキレン基を表す。ただし、G4中のR12およびG5中のR12は互いに異なる基である。R20は−C(=O)R12−を表す。m4は5〜60の整数を表し、m5は5〜60の整数を表す。一般式(IV)における上記繰り返し単位G4、G5の配置は、その順序を限定するものではなく、一般式(IV)で表される重合体において、基X2と基R20との間に繰り返し単位G4、G5が任意の順序で含まれていることを示し、さらに、それらの繰り返し単位G4、G5は、それぞれランダム型またはブロック型のどちらでもよい。)
<8>さらに下記一般式(V)で表されるフェノール系化合物を含有する、<1>〜<7>のいずれかに記載の赤色感光性樹脂組成物。
<9>上記一般式(I)で表される色素誘導体および上記分散剤を用いて、少なくともC.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントオレンジ71およびC.I.ピグメントイエロー139を共分散して得られる分散物を配合してなる、<1>〜<8>のいずれかに記載の赤色感光性樹脂組成物。
<10>上記一般式(I)で表される色素誘導体および上記分散剤を用いて、少なくともC.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントオレンジ71およびC.I.ピグメントイエロー139を含有する顔料を共分散する工程を含む、<1>〜<9>のいずれかに記載の赤色感光性樹脂組成物の製造方法。
<11><1>〜<9>のいずれかに記載の赤色感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜。
<12><1>〜<9>のいずれかに記載の赤色感光性樹脂組成物を用いて支持体上に赤色感光性樹脂組成物層を形成する工程と、上記赤色感光性樹脂組成物層をパターン状に露光する工程と、未露光部を現像除去して赤色パターンを形成する工程とを含むカラーフィルタの製造方法。
<13><11>に記載の硬化膜を有するカラーフィルタ、または<12>に記載のカラーフィルタの製造方法によって製造したカラーフィルタ。
<14><13>に記載のカラーフィルタを有する固体撮像素子または画像表示装置。
本明細書において、全固形分とは、赤色感光性樹脂組成物の全組成から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
本明細書における基(原子団)の表記に於いて、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
また、本明細書中における「放射線」とは、例えば、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X線、電子線等を意味する。また、本発明において光とは、活性光線または放射線を意味する。本明細書中における「露光」とは、特に断らない限り、水銀灯、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、X線、EUV光などによる露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線による描画も露光に含める。
また、本明細書において、“(メタ)アクリレート”はアクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、“(メタ)アクリル”はアクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、“(メタ)アクリロイル”はアクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
また、本明細書において、“単量体”と“モノマー”とは同義である。本明細書における単量体は、オリゴマーおよびポリマーと区別され、重量平均分子量が2,000以下の化合物をいう。本明細書において、重合性化合物とは、重合性官能基を有する化合物のことをいい、単量体であっても、ポリマーであってもよい。重合性官能基とは、重合反応に関与する基を言う。
本発明で用いられる化合物の重量平均分子量および数平均分子量の測定方法は、ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)により測定でき、GPCの測定によるポリスチレン換算値として定義される。例えば、HLC−8220(東ソー(株)製)を用い、カラムとしてTSKgel Super AWM―H(東ソー(株)製、6.0mmID×15.0cmを、溶離液として10mmol/L リチウムブロミドNMP(N−メチルピロリジノン)溶液を用いることによって求めることができる。
本明細書において、化学式中のMeはメチル基を、Etはエチル基を、Prはプロピル基を、Buはブチル基を、Phはフェニル基をそれぞれ示す。
本発明における固形分は、25℃における固形分である。また、本発明における粘度は、25℃における粘度である。
本発明の赤色感光性樹脂組成物(以下、単に、「本発明の組成物」ということがある)は、(A)顔料、(B)下記一般式(I)で表される色素誘導体、(C)光重合開始剤、(D)重合性化合物、(E)分散剤とを含有し、(A)顔料が少なくともC.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントオレンジ71およびC.I.ピグメントイエロー139を含有し、(A)顔料中の全赤色顔料100質量部に対してC.I.ピグメントオレンジ71を100〜200質量部含み、(A)顔料中の全赤色顔料100質量部に対してC.I.ピグメントイエロー139を10〜50質量部含むことを特徴とする。
一般式(2)中、Z1はトリアジン環と窒素原子を結ぶ単結合、−NR’−、−NR’−G−CO−、NR’−G−CONR’’−、−NR’−G−SO2−、−NR’−G−SO2NR’’−、−O−G−CO−、−O−G−CONR’−、−O−G−SO2−または−O−G−SO2NR’−を表し、Gは置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキレン基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニレン基または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリーレン基を表し、R’およびR’’は、それぞれ水素原子、置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基、または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリール基を表す。R3、R4、R5、およびR6はそれぞれ、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基、または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリール基を表し、R7は置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキル基、または置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基を表す。)
C.I.ピグメントレッド254およびC.I.ピグメントオレンジ71のようなジケトピロロピロール系顔料、ならびに、C.I.ピグメントイエロー139のようなイソインドリン系顔料は、強い分子間水素結合により分子同士が互いに引き寄せあう性質を有する。また、同一の化学構造を有する分子は、互いに分子パッキングし易いため、同一の化学構造を有する分子同士が互いに引き寄せ合って結晶成長し、純物質となって析出する性質を有する。例えば、再結晶は、同一の化学構造を有する分子が互いに引き寄せ合って析出する性質を利用した純物質の単離手法である。このような性質により、(A)顔料中のC.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントオレンジ71およびC.I.ピグメントイエロー139の各顔料の純度が高まると、組成物中で顔料粒子同士が互いに引き寄せ合って顔料粒径が徐々に大きくなり、組成物の経時保管に伴い、粒径が過度に大きくなった顔料粒子が粗大粒子として表れると推定される。
これに対し、本願発明では、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントオレンジ71およびC.I.ピグメントイエロー139を上記の割合で組成物中に配合することにより、各顔料が各々の結晶成長を互いに阻害し合うと推定される。例えば、C.I.ピグメントレッド254とは化学構造の異なるC.I.ピグメントオレンジ71およびC.I.ピグメントイエロー139の顔料分子が、C.I.ピグメントレッド254の顔料分子同士が分子パッキングして結晶成長して粗大粒子となることを阻害すると推定される。
また、一般式(I)で表される色素誘導体が有するキノフタロン部位を有する基のカルボニル基(C=O)と、C.I.ピグメントレッド254およびC.I.ピグメントオレンジ71(ジケトピロロピロール系顔料)が有するN−H結合部位とが、水素結合によって互いに強く吸着すると推定される。すなわち、C.I.ピグメントレッド254およびC.I.ピグメントオレンジ71の粒子表面に、一般式(I)で表される色素誘導体が強く吸着し、C.I.ピグメントレッド254およびC.I.ピグメントオレンジ71の粒子表面が一般式(I)で表される色素誘導体で覆われる。その結果、本発明の組成物の経時保管に伴い、C.I.ピグメントレッド254およびC.I.ピグメントオレンジ71が凝集して粗大粒子となることをより効果的に抑制することができると推定される。
ここで、上記特許文献1には、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントオレンジ71およびC.I.ピグメントイエロー139を特定比率で混ぜ合わせることが記載されているが、一般式(I)で表される色素誘導体については何ら具体的に記載されていない。
また、上記特許文献2には、一般式(I)で表される色素誘導体を用いた顔料組成物について記載されているが、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントオレンジ71およびC.I.ピグメントイエロー139を本願発明のような割合で配合することについて、何ら記載されていない。また、上記特許文献2には、一般式(I)で表される色素誘導体と、上記3種類の顔料を組み合わせて使用した実施例について記載されていない。
顔料は、少なくともC.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントオレンジ71およびC.I.ピグメントイエロー139を含有し、顔料中の全赤色顔料100質量部に対してC.I.ピグメントオレンジ71を100〜200質量部含み、顔料中の全赤色顔料100質量部に対してC.I.ピグメントイエロー139を10〜50質量部含む。このような組成の顔料は、透過率曲線における吸収領域から透過領域へ移行する立ち上がりが緩やかになるため、この波長領域の色をCMOSやCCDといった撮像素子に取り込めるようになる。これにより、例えば夕焼けの色や肌色を綺麗に写すことができるなど、中間色の色再現が豊かなカラー撮像素子にすることができるというメリットがある。
このような要件を満たす赤色顔料としては、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド202のようなキナクリドン系顔料、C.I.ピグメントレッド177のようなアントラキノン系顔料、C.I.ピグメントレッド155、C.I.ピグメントレッド224のようなペリレン系顔料、C.I.ピグメントレッド254のようなジケトピロロピロール系顔料を挙げることができる。
C.I.ピグメントレッド177の含有量としては、C.I.ピグメントレッド254を100質量部に対して、C.I.ピグメントレッド177が100〜300質量部が好ましく、150〜250質量部がより好ましく、200〜220質量部が特に好ましい。
また、本発明の赤色感光性樹脂組成物は、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントオレンジ71およびC.I.ピグメントイエロー139の合計量が、着色剤全量の95質量%以上であることが好ましい。ここで、着色剤全量とは、顔料の他に染料を含む場合は、染料も含めた着色剤の合計量のことをいう。
本発明の組成物の明度調整のために、着色剤全体に対して1〜10質量%、好ましくは3〜9質量%、より好ましくは5〜8質量%の緑色顔料および/または黒色顔料を含有させてもよい。この場合、含有させる顔料としては、C.I.ピグメントグリーン7、36、58のような緑色顔料や、カーボンブラック、チタンブラックのような黒色顔料が好ましく、より好ましくはC.I.ピグメントグリーン36および/またはチタンブラックである。
C.I.ピグメントイエロー11,24,31,53,83,93,99,108,109,110,138,147,150,151,154,155,167,180,185,199,;
C.I.ピグメントオレンジ36,38,43;
C.I.ピグメントレッド81,105,122,149,150,155,171,175,176,209,220,224,242,255,264,270;
C.I.ピグメントバイオレット19,23,32,39;
C.I.ピグメントブルー1,2,15,15:1,15:3,15:6,16,22,60,66;
C.I.ピグメントグリーン7,36,37,58;
C.I.ピグメントブラウン25,28;
C.I.ピグメントブラック1;
等を挙げることができる。
本発明の組成物は、(B)一般式(I)で表される色素誘導体を含有する。
一般式(I)
一般式(2)中、Z1はトリアジン環と窒素原子を結ぶ単結合、−NR’−、−NR’−G−CO−、NR’−G−CONR’’−、−NR’−G−SO2−、−NR’−G−SO2NR’’−、−O−G−CO−、−O−G−CONR’−、−O−G−SO2−または−O−G−SO2NR’−を表し、Gは置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキレン基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニレン基または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリーレン基を表し、R’およびR’’は、それぞれ水素原子、置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基、または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリール基を表す。R3、R4、R5、およびR6はそれぞれ、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基、または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリール基を表し、R7は置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキル基、または置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基を表す。)
一般式(II)
炭素数1〜20のアルキル基としては、炭素数1〜10のアルキル基が好ましく、炭素数1〜6のアルキル基がより好ましい。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、プチル基、イソプチル基、tert−プチル基、ネオペンチル基、n−へキシル基、n−オクチル基等が挙げられる。
芳香環基または複素環基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、チオフェン環基、ピリジン環基、ピロール環基などが挙げられる。
DおよびEが表わす芳香環基または複素環基、R’およびR’’が表わす炭素数1〜20のアルキル基、炭素数2〜20のアルケニル基、および炭素数6〜20のアリール基は、置換基を有していてもよく、置換基としては、上記置換基の項で述べた基が挙げられる。
これらの中でも、DおよびEは、水素原子、ハロゲン原子であることが好ましい。
上記炭素数が1〜20のアルキル基としては、炭素数1〜10のアルキル基が好ましく、炭素数1〜6のアルキル基がより好ましい。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、プチル基、イソプチル基、tert−プチル基、ネオペンチル基、n−へキシル基、n−オクチル基等が挙げられる。
上記炭素数2〜20のアルケニル基としては、炭素数2〜10のアルケニル基が好ましく、炭素数2〜6のアルケニル基がより好ましい。具体的には、エチニル基、プロペニル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基などが挙げられる。
上記炭素数6〜20のアリール基としては、炭素数6〜10のアリール基が好ましく、具体的には、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基などが挙げられる。
これらは、置換基を有していてもよく、置換基としては、上記置換基の項で述べた基が挙げられる。
炭素数6〜20のアリーレン基は、炭素数6〜10のアリーレン基が好ましく、具体的には、フェニレン基、ナフチレン基、アントラセニレン基などが挙げられる。
炭素数4〜20の複素芳香環基は、炭素数4〜10の複素芳香環基が好ましく、具体的には、チオフェン環基、ピリジン環基、ピロール環基などが挙げられる。
これらは、置換基を有していてもよく、置換基としては、上記置換基の項で述べた基が挙げられる。
R9、R10、R11は、それぞれ、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数が1〜20アルキル基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基、または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリール基を表す。R9、R10、R11は、上記R’と同義であり、好ましい範囲も同様である。
上記炭素数が1〜20のアルキレン基としては、炭素数1〜10のアルキレン基が好ましく、炭素数1〜6のアルキレン基がより好ましく、炭素数1〜3のアルキレン基がさらに好ましい。具体的には、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基、ヘキシレン基などが挙げられる。アルキレン基は、置換基を有していてもよく、置換基としては、上記置換基の項で述べた基が挙げられる。
上記炭素数が2〜20のアルケニレン基としては、炭素数1〜10のアルケニレン基が好ましく、炭素数1〜6のアルケニレン基がより好ましく、炭素数1〜3のアルケニレン基がさらに好ましい。具体的には、エチニレン基、プロピニレン基、ブチニレン基、ペンチニレン基、ヘキシニレン基などが挙げられる。アルケニレン基は、置換基を有していてもよく、置換基としては、上記置換基の項で述べた基が挙げられる。
上記炭素数が6〜20のアリーレン基としては、炭素数6〜20のアリーレン基が好ましく、炭素数6〜10のアリーレン基がより好ましい。具体的には、フェニレン基、ナフチレン基、アントラセニレン基などが挙げられる。アリーレン基は、置換基を有していてもよく、置換基としては、上記置換基の項で述べた基が挙げられる。
上記炭素数が1〜20のアルキル基としては、炭素数1〜10のアルキル基が好ましく、炭素数1〜6のアルキル基がより好ましい。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、プチル基、イソプチル基、tert−プチル基、ネオペンチル基、n−へキシル基、n−オクチル基等が挙げられる。
上記炭素数2〜20のアルケニル基としては、炭素数2〜10のアルケニル基が好ましく、炭素数2〜6のアルケニル基がより好ましい。具体的には、エチニル基、プロペニル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基などが挙げられる。
これらの基は、置換基を有していてもよく、置換基としては、上記置換基の項で述べた基が挙げられる。R1、R2は、同一の基を表すことが好ましい。
一般式(2)
R’およびR’’は、それぞれ水素原子、置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基、または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリール基を表す。R’およびR’’は、一般式(1)中のR’と同義であり、好ましい範囲も同様である。
Gは置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキレン基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニレン基または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリーレン基を表す。Gは、一般式(1)におけるY2と同義であり、好ましい範囲も同様である。
また、色素誘導体の含有量は、(A)顔料の100質量部に対して、0.5質量部以上50質量部以下であることが好ましく、1質量部以上25質量部以下であることがより好ましく、5質量部以上15質量部以下が特に好ましい。
色素誘導体は、本発明の組成物中に1種のみ含まれていても良いし、2種以上含まれていても良い。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
他の顔料誘導体としては、キノリン系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリン系の顔料誘導体が挙げられる。
他の色素誘導体は、組成物の固形分として10質量%以下であることが好ましく、5質量%以下であることがより好ましい。
本発明の組成物は、さらなる感度向上の観点から光重合開始剤を含有する。
光重合開始剤としては、後述する重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視の光線に対して感光性を有するものが好ましい。また、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、モノマーの種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であってもよい。
また、上記光重合開始剤は、約300nm〜800nm(330nm〜500nmがより好ましい。)の範囲内に少なくとも約50の分子吸光係数を有する化合物を、少なくとも1種含有していることが好ましい。
特に、本発明の組成物を固体撮像素子が備えるカラーフィルタの作製に使用する場合には、微細なパターンをシャープな形状で形成する必要があるために、硬化性とともに未露光部に残渣がなく現像されることが重要である。このような観点からは、重合開始剤としてはオキシム化合物を使用することが特に好ましい。特に、固体撮像素子において微細なパターンを形成する場合、硬化用露光にステッパー露光を用いるが、この露光機はハロゲンにより損傷される場合があり、重合開始剤の添加量も低く抑える必要があるため、これらの点を考慮すれば、固体撮像素子の如き微細パターンを形成するには(E)光重合開始剤としては、オキシム化合物を用いるのが最も好ましい。
ヒドロキシアセトフェノン系開始剤としては、IRGACURE−184、DAROCUR−1173、IRGACURE−500、IRGACURE−2959,IRGACURE−127(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤としては、市販品であるIRGACURE−907、IRGACURE−369、および、IRGACURE−379、IRGACURE−OXE379(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤として、365nmまたは405nm等の長波光源に吸収波長がマッチングされた特開2009−191179公報に記載の化合物も用いることができる。また、アシルホスフィン系開始剤としては市販品であるIRGACURE−819やDAROCUR−TPO(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。
市販品ではIRGACURE−OXE01(BASF社製)、IRGACURE−OXE02(BASF社製)、TR−PBG−304(常州強力電子新材料有限公司社製)、TRONLY TR−PBG−304、TRONLY TR−PBG−309、TRONLY TR−PBG−305(常州強力電子新材料有限公司社(CHANGZHOU TRONLY NEW ELECTRONIC MATERIALS CO.,LTD)製)などが使用できる。
化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いることができるが、具体的には、例えば、紫外可視分光光度計(Varian社製Carry−5 spctrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。
本発明に用いられる光重合開始剤は、1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用しても良い。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の組成物は、重合性化合物を含有する。
本発明では、ラジカル、酸、熱により架橋可能な公知の重合性化合物を用いることができ、例えば、エチレン性不飽和結合、環状エーテル(エポキシ、オキセタン)、メチロール等を含む重合性化合物が挙げられる。重合性化合物は、感度の観点から、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2個以上有する化合物から好適に選ばれる。中でも、4官能以上の多官能重合性化合物が好ましく、5官能以上の多官能重合性化合物がさらに好ましい。
これらの具体的な化合物としては、特開2009−288705号公報の段落番号〔0095〕〜〔0108〕に記載されている化合物を本発明においても好適に用いることができる。
酸基を有する多官能モノマーの好ましい酸価としては、0.1mgKOH/g〜40mgKOH/gであり、特に好ましくは5mgKOH/g〜30mgKOH/gである。多官能モノマーの酸価が低すぎると現像溶解特性が落ち、高すぎると製造や取扱いが困難になり光重合性能が落ち、画素の表面平滑性等の硬化性が劣るものとなる。従って、異なる酸基の多官能モノマーを2種以上併用する場合、或いは酸基を有しない多官能モノマーを併用する場合、全体の多官能モノマーとしての酸基が上記範囲に入るように調整することが好ましい。
カプロラクトン構造を有する多官能性単量体としては、その分子内にカプロラクトン構造を有する限り特に限定されるものではないが、例えば、トリメチロールエタン、ジトリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、グリセリン、ジグリセロール、トリメチロールメラミン等の多価アルコールと、(メタ)アクリル酸およびε−カプロラクトンをエステル化することにより得られる、ε−カプロラクトン変性多官能(メタ)アクリレートを挙げることができる。なかでも特開2013−077009号公報段落0135〜0153に記載の化合物を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
重合性化合物の市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(山陽国策パルプ社製)、UA−7200」(新中村化学社製、DPHA−40H(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社製)、トリメチロールプロパントリアクリレート(市販品としてはA−TMPT;新中村化学社製)、などが挙げられる。
また、赤色感光性樹脂組成物に含有される他の成分(例えば、光重合開始剤、被分散体、アルカリ可溶性樹脂等)との相溶性、分散性に対しても、重合性化合物の選択・使用法は重要な要因であり、例えば、低純度化合物の使用や2種以上の併用により相溶性を向上させうることがある。また、支持体などの硬質表面との密着性を向上させる観点で特定の構造を選択することもあり得る。
本発明に用いられる重合性化合物は、1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用しても良い。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の組成物は、分散剤をさらに含有する。本発明の組成物に分散剤を含有させることにより、現像残渣をより抑制することができる。
分散剤としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、および、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン等の界面活性剤、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
本発明の組成物は、(C−1)一般式(II)で表されるリン酸系分散剤を有することが好ましい。
一般式(II)
一般式(II)で示されるリン酸エステルはy=1のリン酸系分散剤とy=2のリン酸系分散剤との存在比が100:0〜100:30であると、顔料分散性が良好になり好ましい。
更に、一般式(II)で示されるリン酸系分散剤のR3が、2種以上の異なるラクトンモノマーを開環重合して得られるポリエステル構造であると、本発明の効果に優れるようになり、非常に好ましい。
一般式(11)
R12−O−R13−(O−R14)S
(式中、R12はアルキレン基、R13は3価以上の多価アルコール構造を表し、R14はアクリロイル基、シアノアクリロイル基、メタクリロイル基を表し、sは2以上を表す。)
本発明で用いるリン酸系分散剤としては、ε−カプロラクトンとδ−バレロラクトンとの開環付加によって得られるリン酸系分散剤を用いることが好ましい。
本発明の組成物は、(C−2)少なくとも一つの末端に水酸基を有する重合体(POH)もしくは少なくとも一つの末端に第1級アミノ基を有する重合体(PNH2)と、トリカルボン酸無水物もしくはテトラカルボン酸二無水物とを反応させてなるカルボン酸系分散剤を有する。
少なくとも一つの末端に水酸基を有する重合体(POH)もしくは少なくとも一つの末端に第1級アミノ基を有する重合体(PNH2)の好ましい形態としては、例えば、一般式(III)で表されるものが好ましい。
エチレン性不飽和二重結合を有するにはエチレン性不飽和二重結合を有する基を有する必要がある。このような基としては例えば、ビニル基、または(メタ)アクリロイル基などが挙げられるが、好ましいのは(メタ)アクリロイル基である。これら二重結合を有する基の種類は、一種類でもよいし、複数種類でもよい。
Rbは水素原子または炭素数1〜18の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基を表す。炭素数1〜18の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基としては、炭素数1〜6のアルキル基が好ましい。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、プチル基、イソプチル基、tert−プチル基、ネオペンチル基、n−へキシル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。
R14は、−CH(R15)−CH(R16)−を表す。R15およびR16は、一方が水素原子であり、他方が炭素数1〜20のアルキル基、炭素数2〜20のアルケニル基、炭素数6〜20のアリール基、アルキル部分の炭素数が1〜20のアルキルオキシメチレン基、アルケニル部分の炭素数が2〜20のアルケニルオキシメチレン基、アリール部分の炭素数が6〜20でアリール部分がハロゲン原子で置換されていてもよいアリールオキシメチレン基、またはN−メチレン−フタルイミド基を表す。
炭素数1〜20のアルキル基としては、炭素数1〜10のアルキル基が好ましく、炭素数1〜6のアルキル基がより好ましい。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、プチル基、イソプチル基、tert−プチル基、ネオペンチル基、n−へキシル基、n−オクチル基等が挙げられる。
上記炭素数2〜20のアルケニル基としては、炭素数2〜10のアルケニル基が好ましく、炭素数2〜6のアルケニル基がより好ましい。具体的には、エチニル基、プロペニル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基などが挙げられる。
上記炭素数6〜20のアリール基としては、炭素数6〜10のアリール基が好ましく、具体的には、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基などが挙げられる。
上記アルキル部分の炭素数が1〜20のアルキルオキシメチレン基は、R14が表わす炭素数1〜20のアルキル基にオキシメチレン基が結合した態様であり、上記炭素数1〜20のアルキル基は、R14が表わす炭素数1〜20のアルキル基と同義であり、好ましい範囲も同様である。
上記アルケニル部分の炭素数が2〜20のアルケニルオキシメチレン基は、R14が表わす炭素数2〜20のアルケニル基にオキシメチレン基が結合した態様であり、上記炭素数2〜20のアルケニル基は、R14が表わす炭素数2〜20のアルケニル基と同義であり、好ましい範囲も同様である。
上記アリール部分の炭素数が6〜20のアリールオキシメチレン基は、R14が表わす炭素数6〜20のアリール基にオキシメチレン基が結合した態様であり、上記炭素数6〜20のアリール基は、R14が表わす炭素数6〜20のアリール基と同義であり、好ましい範囲も同様である。
m2は0〜60の整数を表し、2〜50の整数が好ましく、3〜40の整数がより好ましい。m2が3〜15の整数であることが、顔料分散体の低粘度化および保存安定性の観点から好ましい。
m3は0〜30の整数を表し、0〜25の整数が好ましく、0〜20の整数がより好ましい。
なお、m1+m2+m3は1以上100以下が好ましく、2〜60がより好ましく、3〜40の整数がさらに好ましい。
本発明で用いるカルボン酸系分散剤としては、ε−カプロラクトン系化合物、およびδ−バレロラクトン系化合物との開環付加によって得られるカルボン酸系分散剤を用いることが好ましい。
G4およびG5は、それぞれC(=O)R12O−で示される繰り返し単位を表し、R12は炭素数1〜8の直鎖状若しくは分岐状のアルキレン基、または炭素数4〜8のシクロアルキレン基を表す。ただし、G4中のR12およびG5中のR12は互いに異なる基である。R20は−C(=O)R12を表す。m4は5〜60の整数を表し、m5は5〜60の整数を表す。一般式(IV)における上記繰り返し単位G4、G5の配置は、その順序を限定するものではなく、一般式(IV)で表される重合体において、基X2と基R20との間に繰り返し単位G4、G5が任意の順序で含まれていることを示し、更に、それらの繰り返し単位G4、G5は、それぞれランダム型またはブロック型のどちらでもよい。)
一般式(IV)中、Z1は、一般式(III)中のZ1と同義であり、好ましい範囲も同様である。
m5は5〜60の整数を表し、5〜50の整数が好ましく、10〜40の整数がより好ましい。m5が10〜20の整数であることが、顔料分散体の低粘度化および保存安定性の観点から好ましい。
本発明で用いるカルボン酸系分散剤としては、ε−カプロラクトン系化合物、およびδ−バレロラクトン系化合物との開環付加によって得られるカルボン酸系分散剤を用いることが好ましい。
R21およびR22は、それぞれ水素原子またはメチル基を表し、水素原子が好ましい。
芳香族基は、炭素数6〜20の芳香族基が好ましく、炭素数6〜14の芳香族基がより好ましく、炭素数6〜10の芳香族基がさらに好ましい。具体的には、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基等が挙げられる。
X6は、−O−または−N(R26)−を表し、R25およびR26は、それぞれ水素原子または炭素数1〜18の直鎖状若しくは分岐状、置換基として芳香族基を有していてもよいアルキル基を表す。炭素数1〜18の直鎖状若しくは分岐状アルキル基としては、炭素数1から10のアルキル基が好ましく、炭素数1〜6のアルキル基がより好ましい。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、プチル基、イソプチル基、tert−プチル基、ネオペンチル基、n−へキシル基、n−オクチル基等が挙げられる。上記アルキル基が有する置換基としての芳香族基は、炭素数6〜20の芳香族基が好ましく、炭素数6〜14の芳香族基がより好ましく、炭素数6〜10の芳香族基がさらに好ましい。具体的には、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基等が挙げられる。
R27は、炭素数1〜18の直鎖状若しくは分岐状のアルキレン基を表す。炭素数1〜18のアルキレン基としては、炭素数1〜10のアルキレン基が好ましく、炭素数1〜6のアルキレン基がより好ましい。具体的には、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、イソプロピレン基、ブチレン基、イソブチレン基、ペンチレン基、ヘキシレン基などが挙げられる。
トリカルボン酸無水物としては、まず、脂肪族トリカルボン酸無水物、または芳香族トリカルボン酸無水物が挙げられる。
脂肪族トリカルボン酸無水物としては、例えば、3−カルボキシメチルグルタル酸無水物、1,2,4−ブタントリカルボン酸−1,2−無水物、cis−プロペン−1,2,3−トリカルボン酸−1,2−無水物、1,3,4−シクロペンタントリカルボン酸無水物などが挙げられる。
芳香族トリカルボン酸としては、例えば、ベンゼントリカルボン酸無水物(1,2,3−ベンゼントリカルボン酸無水物、トリメリット酸無水物(1,2,4−ベンゼントリカルボン酸無水物)など)、ナフタレントリカルボン酸無水物(1,2,4−ナフタレントリカルボン酸無水物、1,4,5−ナフタレントリカルボン酸無水物、2,3,6−ナフタレントリカルボン酸無水物、1,2,8−ナフタレントリカルボン酸無水物など)、3,4,4'−ベンゾフェノントリカルボン酸無水物、3,4,4'−ビフェニルエーテルトリカルボン酸無水物、3,4,4'−ビフェニルトリカルボン酸無水物、2,3,2'−ビフェニルトリカルボン酸無水物、3,4,4'−ビフェニルメタントリカルボン酸無水物、3,4,4'−ビフェニルスルホントリカルボン酸無水物などが挙げられる。
テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、脂肪族テトラカルボン酸二無水物、芳香族テトラカルボン酸二無水物、または多環式テトラカルボン酸二無水物が挙げられる。
本発明におけるカルボン酸系分散剤は、「少なくとも一つの末端に水酸基を有する重合体(POH)」の水酸基、または上記の「少なくとも一つの末端に第1級アミノ基を有する重合体(PNH2)」の1級アミノ基と、トリカルボン酸無水物またはテトラカルボン酸二無水物の無水物基とを反応させることによって得ることができる。
また、分散剤の含有量は、(A)顔料100質量部に対して、5〜60質量部であることが好ましく、9〜40質量部であることがより好ましく、10〜20質量部が特に好ましい。
分散剤は、本発明の組成物中に1種のみ含まれていても良いし、2種以上含まれていても良い。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の組成物は、下記一般式(V)で表されるフェノール系化合物を含有することが好ましい。一般式(V)で表されるフェノール系化合物は、一般に重合禁止剤として感光性組成物の経時安定性などを改良するために添加されることがある。本発明では、一般式(V)で表されるフェノール系化合物を添加することにより、本発明の組成物を塗布し、微細パターンを露光・アルカリ現像した際に、未露光部の残渣をより効果的に抑制することができる。
この理由は推定であるが、そのフェノール性水酸基が弱酸性であるためアルカリ現像液との親和性が高く、現像時に未露光部の固形成分がアルカリ水溶液に溶解して除去されるのを助けることで残渣の発生がより効果的に抑制されると考えられる。
本発明の組成物中に(F)フェノール系化合物を含有する場合、その添加量は、組成物の全質量に対して、0.01質量%〜5質量%が好ましい。
本発明の組成物は、(F)フェノール系化合物を1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の組成物は、樹脂をさらに有することが好ましい。樹脂を添加することで、本発明の組成物に適切な分散安定性やアルカリ現像性を付与することができる。
本発明の組成物で用いる樹脂の種類は特に制限はないが、例えば下記一般式(VII)で表される化合物(x)と、他のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物(y)を共重合してなる樹脂であることが好ましい。
R6は水素原子またはベンゼン環を含んでいても良い炭素数1〜20のアルキル基を表す。R6が表わすアルキル基は、炭素数が1〜20のアルキル基であり、好ましくは炭素数1〜10のアルキル基である。R6が表わすアルキル基の炭素数が1〜10のときはアルキル基が障害となり樹脂同士の接近を抑制し、顔料への吸着/配向を促進するが、炭素数が10を超えると、アルキル基の立体障害効果が高くなり、ベンゼン環の顔料への吸着/配向までをも妨げる傾向を示す。この傾向は、R6のアルキル基の炭素鎖長が長くなるに従い顕著となり、炭素数が20を超えると、ベンゼン環の吸着/配向が極端に低下する。
R6で表されるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等を挙げることができる。
R6で表されるベンゼン環を含むアルキル基としては、1−フェニルエチル基、1−フェニルプロプル基、1−フェニルブチル基、1−フェニルペンチル基、1−フェニルヘキシル基、1−フェニルヘプチル基、1−フェニルオクチル基、1−フェニルノニル基、1−フェニルデシル基、ベンジル基、2−フェニル(イソ)プロピル基等を挙げることができる。
これらの中でも、ベンジル基、2−フェニル(イソ)プロピル基が好ましい。
樹脂は、本発明の組成物中に1種のみ含まれていても良いし、2種以上含まれていても良い。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の組成物は、上述の各成分に加えて、本発明の効果を損なわない範囲で、さらに、側鎖に重合性二重結合を有する樹脂、界面活性剤、有機溶剤、架橋剤などの他の成分を含んでいてもよい。
本発明では、さらに、必要に応じて、上述した樹脂の他に、側鎖に重合性二重結合を有する樹脂を含有させてもよい。側鎖に重合性二重結合を有する樹脂をさらに含有させることで、本発明の組成物をより効果的に硬化させることが可能となる。重合性二重結合は、(メタ)アクリレートが好ましい。
上記一般式(1)で示されるモノマーとしては、エチレン性不飽和二重結合を有する多価アルコールのモノエステルなどが挙げられるが、好ましいのはグリセロールモノ(メタ)アクリレートである。
イソシアネート基およびエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として具体的には、2−アクリロイルエチルイソシアネート、2−メタクリロイルエチルイソシアネート等が挙げられる。また、カルボキシル基およびエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸が挙げられる。
[二重結合当量]=[繰り返し構成単位の分子量]/[繰り返し構成単位中の二重結合の数]
本発明における樹脂の二重結合当量は200〜2,000であることが好ましく、300〜900であることがより好ましい。樹脂の二重結合当量が200未満の場合は、エチレン性不飽和二重結合を導入させる重合性モノマー(p)の比率が高くなり、諸特性を維持するのに十分な量の重合性モノマー(q)を共重合させることができない。2,000を越える場合は、エチレン性不飽和二重結合の数が少ないため十分な感度を得ることができない。
また、側鎖に重合性二重結合を有する樹脂の重量平均分子量(Mw)は、本発明の組成物の分散性が良好な点から、好ましくは2000〜200000、より好ましくは5000〜50000である。
側鎖に重合性二重結合を有する樹脂は、本発明の組成物中に1種のみ含まれていても良いし、2種以上含まれていても良い。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の組成物は、さらに、バインダーとしてアルカリ可溶性樹脂を含有していてもよい。なお、ここでいうアルカリ可溶性樹脂には、分散剤成分として本発明の組成物に含有される成分は含まれない。
さらに、特開2012−32767号公報に記載の段落番号0029〜0063に記載の共重合体(B)および実施例で用いられているアルカリ可溶性樹脂、特開2012−208474号公報の段落番号0088〜0098に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2012−137531号公報の段落番号0022〜0032に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2013−024934号公報の段落番号0132〜0143に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2011−242752号公報の段落番号0092〜0098および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2012−032770号公報の段落番号0030〜0072の記載のバインダー樹脂を用いること好ましい。これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
一般式(X)
また、アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)としては、2,000〜50,000が好ましく、5,000〜30,000がさらに好ましく、7,000〜20,000が最も好ましい。
本発明の組成物は、アルカリ可溶性樹脂を、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の組成物は、有機溶剤を含有してもよい。
有機溶剤は、各成分の溶解性や赤色感光性樹脂組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はないが、特に紫外線吸収剤、アルカリ可溶性樹脂や分散剤等の溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。また、本発明における組成物を調製する際には、少なくとも2種類の有機溶剤を含むことが好ましい。
本発明の組成物には、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を添加してもよい。
界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。
特に、本発明の組成物は、フッ素系界面活性剤を含有することで、塗布液として調製したときの液特性(特に、流動性)がより向上することから、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。
即ち、フッ素系界面活性剤を含有する組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させることにより、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μm程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。
フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3質量%〜40質量%が好適であり、より好ましくは5質量%〜30質量%であり、特に好ましくは7質量%〜25質量%である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、組成物中における溶解性も良好である。
界面活性剤は、1種のみを用いてもよいし、2種類以上を組み合わせてもよい。
本発明の組成物に界面活性剤を含有する場合、界面活性剤の添加量は、組成物の全質量に対して、0.001質量%〜2.0質量%が好ましく、より好ましくは0.005質量%〜1.0質量%である。
本発明の組成物は、界面活性剤を、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の組成物には、必要に応じて、各種添加物、例えば、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することができる。これらの添加物としては、特開2004−295116号公報の段落0155〜0156に記載のものを挙げることができる。
本発明の組成物においては、特開2004−295116号公報の段落0078に記載の増感剤や光安定剤、同公報の段落0081に記載の熱重合防止剤を含有することができる。
本発明の組成物は、上述した各成分を混合することで調製することができる。
なお、組成物の調製に際しては、組成物を構成する各成分を一括配合してもよいし、各成分を溶剤に溶解・分散した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序や作業条件は特に制約を受けない。例えば、全成分を同時に溶剤に溶解・分散して組成物を調製してもよいし、必要に応じては、各成分を適宜2つ以上の溶液・分散液としておいて、使用時(塗布時)にこれらを混合して組成物として調製してもよい。
単一の顔料をそれぞれ別々に分散した分散液を混合して赤色感光性樹脂組成物を調製する場合、得られる赤色感光性樹脂組成物の粘度安定性が悪化する傾向がある。この理由は明らかでないが、以下のように考えられる。すなわち、複数の分散液を混合すると、一方の分散液に含まれる顔料粒子が、他方の分散液に含まれる顔料粒子に吸着している分散剤を奪い取り、分散剤を奪い取られた顔料粒子の分散安定性が崩れてしまい、結果、得られた赤色感光性樹脂組成物の粘度安定性が悪化する傾向にあると推察される。一方、上記顔料を予め共分散することにより、複数の分散液を混合するプロセスが省かれるため、得られる赤色感光性樹脂組成物の粘度安定性が悪化する問題を回避できる。
具体的には、上記一般式(I)で表される色素誘導体および分散剤を用いて、少なくともC.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントオレンジ71およびC.I.ピグメントイエロー139を上述した質量比で含有する顔料を共分散する工程を含むことが好ましい。また、この共分散して得られた分散物に、光重合開始剤および重合性化合物を配合する工程をさらに含むことが好ましい。
次に、本発明における硬化膜、パターン形成方法およびカラーフィルタについて、その製造方法を通じて詳述する。
本発明のパターン形成方法は、カラーフィルタが有する着色パターン(画素)の形成に好適に適用することができる。
即ち、本発明のカラーフィルタの製造方法は、本発明のパターン形成方法を適用するものであり、本発明の赤色感光性樹脂組成物を用いて支持体上に赤色感光性樹脂組成物層を形成する工程と、上記赤色感光性樹脂組成物層をパターン様に露光する露光工程と、未露光部を現像除去して着色パターンを形成するパターン形成工程と、を含むことを特徴とする。さらに、必要に応じて、赤色感光性樹脂組成物層をベークする工程(プリベーク工程)、および、現像された着色パターンをベークする工程(ポストベーク工程)を設けてもよい。以下、これらの工程をあわせて、パターン形成工程ということがある。
本発明のカラーフィルタは、上記製造方法により好適に得ることができる。
以下、固体撮像素子用カラーフィルタを単に「カラーフィルタ」ということがある。
赤色感光性樹脂組成物層を形成する工程では、支持体上に、本発明の組成物を付与して赤色感光性樹脂組成物層を形成する。
本発明における着色パターンは、固体撮像素子用基板の撮像素子形成面側(おもて面)に形成されてもよいし、撮像素子非形成面側(裏面)に形成されてもよい。
固体撮像素子における着色パターンの間や、固体撮像素子用基板の裏面には、遮光膜が設けられていてもよい。
また、支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
−露光工程−
露光工程では、赤色感光性樹脂組成物層形成工程において形成された赤色感光性樹脂組成物層を、例えば、ステッパー等の露光装置を用い、所定のマスクパターンを有するマスクを介してパターン露光する。これにより、硬化膜が得られる。
露光に際して用いることができる放射線(光)としては、特に、g線、i線等の紫外線が好ましく(特に好ましくはi線)用いられる。照射量(露光量)は30mJ/cm2〜1500mJ/cm2が好ましく50mJ/cm2〜1000mJ/cm2がより好ましく、80mJ/cm2〜500mJ/cm2が最も好ましい。
膜厚を、1.0μm以下とすることにより、高解像性、高密着性を得られるため、好ましい。
また、本工程においては、0.7μm以下の薄い膜厚を有する硬化膜も好適に形成することができ、得られた硬化膜を、後述するパターン形成工程にて現像処理することで、薄膜でありながらも、現像性、表面荒れ抑制、およびパターン形状に優れた着色パターンを得ることができる。
次いでアルカリ現像処理を行うことにより、露光工程における光未照射部分の赤色感光性樹脂組成物層がアルカリ水溶液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。
現像液としては、下地の撮像素子や回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては通常20℃〜30℃であり、現像時間は、従来20秒〜90秒であった。より残渣を除去するため、近年では120秒〜180秒実施する場合もある。さらには、より残渣除去性を向上するため、現像液を60秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返す場合もある。
なお、現像液には無機アルカリを用いてもよく、無機アルカリとしては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウムなどが好ましい。
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後純水で洗浄(リンス)する。
ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常100℃〜240℃、好ましくは200℃〜240℃の熱硬化処理を行う。
このポストベーク処理は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
上記のうち、アルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボキシレートおよびアルキレングリコールモノアルキルエーテルが好ましい。
これら溶媒は、単独で用いても2種以上を混合して用いてもよい。2種以上を混合する場合、水酸基を有する溶剤と水酸基を有しない溶剤とを混合することが好ましい。水酸基を有する溶剤と水酸基を有しない溶剤との質量比は、1/99〜99/1、好ましくは10/90〜90/10、さらに好ましくは20/80〜80/20である。プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)とプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)の混合溶剤で、その比率が60/40であることが特に好ましい。なお、汚染物に対する洗浄液の浸透性を向上させるために、洗浄液には前掲の本組成物に関する界面活性剤を添加してもよい。
本発明のカラーフィルタは、CCD、CMOS等の固体撮像素子に好適に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCDやCMOS等に好適である。本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、例えば、CCDまたはCMOSを構成する各画素の受光部と、集光するためのマイクロレンズと、の間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
また、着色パターン(着色画素)のサイズ(パターン幅)としては、2.5μm以下が好ましく、2.0μm以下がより好ましく、1.7μm以下が特に好ましい。
本発明の固体撮像素子は、既述の本発明のカラーフィルタを備える。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明におけるカラーフィルタが備えられた構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
さらに、上記デバイス保護層上であってカラーフィルタの下(支持体に近い側)に集光手段(例えば、マイクロレンズ等。以下同じ)を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。
本発明のカラーフィルタは、上記固体撮像素子のみならず、液晶表示装置や有機EL表示装置などの、画像表示装置に用いることができ、特に液晶表示装置の用途に好適である。本発明のカラーフィルタを備えた液晶表示装置は、表示画像の色合いが良好で表示特性に優れた高画質画像を表示することができる。
また、本発明におけるカラーフィルタは、明るく高精細なCOA(Color-filter On Array)方式にも供することが可能である。COA方式の液晶表示装置にあっては、カラーフィルタ層に対する要求特性は、前述のような通常の要求特性に加えて、層間絶縁膜に対する要求特性、すなわち低誘電率および剥離液耐性が必要とされることがある。本発明のカラーフィルタにおいては、色相に優れた染料多量体を用いることから、色純度、光透過性などが良好で着色パターン(画素)の色合いに優れるので、解像度が高く長期耐久性に優れたCOA方式の液晶表示装置を提供することができる。なお、低誘電率の要求特性を満足するためには、カラーフィルタ層の上に樹脂被膜を設けてもよい。
また、本発明では、マイクロオーレッド方式(マイクロOLED)のディスプレイにも好ましく用いることができる。
これらの画像表示方式については、例えば、「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページなどに記載されている。
バックライトに関しては、SID meeting Digest 1380(2005)(A.Konno et.al)や、月刊ディスプレイ 2005年12月号の18〜24ページ(島 康裕)、同25〜30ページ(八木隆明)などに記載されている。
合成例1
三口丸底フラスコに冷却管、窒素ガス導入管、撹拌機を取り付けた反応容器に、ラウリルアルコール18.6g(ナカライテスク株式会社製)、ε−カプロラクトンモノマー57.1g(和光純薬株式会社製)、テトラブチルチタネート0.06g(東京化成株式会社製)を仕込み、反応容器内を窒素ガスで置換した後、120℃で3時間、加熱攪拌した。ラクトンモノマーの消失を1H−NMRで確認した。反応溶液を室温まで冷却した後、オルトリン酸換算含有量116%ポリリン酸8.45gと混合し、徐々に昇温し、80℃で6時間、加熱攪拌して、R3の数平均分子量760、y=1と2の存在比が100:12のリン酸系分散剤(E−1−1)を得た。得られたリン酸系分散剤の酸価は166であった。
使用するモノアルコールの種類・仕込み量、および使用するラクトンモノマーの種類・仕込み量を表1に示すとおりに変えた以外は上記合成例1と同様の方法で、リン酸系分散剤(E−1−2)〜(E−1−4)を得た。
合成例5
セパラブル四口フラスコに、温度計、冷却管、窒素ガス導入管、攪拌装置を取り付けた反応容器に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを入れ、反応容器に窒素ガスを導入しながら100℃に加熱して、同温度で滴下管よりベンジルメタクリレート123.3g、メタクリル酸25.8g、アゾビスイソブチロニトリル 10.0gの混合物を1時間かけて滴下して重合反応を行った。
室温まで冷却した後、樹脂溶液を約3gサンプリングして180℃20分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が40質量%となるようにプロピレングリコールアセテートを添加して、樹脂(G−1)の溶液を得た。
合成例6
セパラブル四口フラスコに、温度計、冷却管、窒素ガス導入管、攪拌装置を取り付けた反応容器に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを入れ、反応容器に窒素ガスを導入しながら80℃に加熱して、同温度で滴下管よりベンジルメタクリレート123.3g、メタクリル酸 17.2g、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート(東亞合成株式会社製「アロニックスM110」)31.0g、アゾビスイソブチロニトリル 10.0gの混合物を2時間かけて滴下し、重合反応を行った。
室温まで冷却した後、樹脂溶液を約3gサンプリングして180℃20分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が40質量%となるようにプロピレングリコールアセテートを添加して、樹脂(G−2)の溶液を得た。
合成例7
セパラブル四口フラスコに、温度計、冷却管、窒素ガス導入管、攪拌装置を取り付けた反応容器に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを入れ、反応容器に窒素ガスを導入しながら80℃に加熱して、同温度で滴下管よりベンジルメタクリレート123.3g、メタクリル酸17.2g、グリセロールモノメタクリレート14.6g、アゾビスイソブチロニトリル 10.0gの混合物を2時間かけて滴下し、重合反応を行った。
得られた樹脂溶液に対して、2−メタクリロイルエチルイソシアネート(昭和電工株式会社製「カレンズMOI」)23.3g、ラウリン酸ジブチル錫0.3g、シクロヘキサノン90gの混合物を70℃で3時間かけて滴下した。
得られた樹脂溶液を室温まで冷却した後、樹脂溶液を約3gをサンプリングして180℃20分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が40質量%となるようにプロピレングリコールアセテートを添加して、樹脂(G−3)の溶液を得た。
下記の組成の混合物を均一に攪拌混合した後、ビーズミルにより3時間混合・分散して赤色顔料分散組成物(R−A1)を調製した。
ジケトピロピロール系赤色顔料
(C.I.ピグメントレッド254)
4.4質量部
ジケトピロロピロール系オレンジ色顔料
(C.I.PigmentOrange71)
5.4質量部
イソインドリン系黄色顔料
(C.I.ピグメントイエロー139)
1.2質量部
色素誘導体(B−1):
下記式(B−1)で表される化合物
1.2質量部
分散剤(E−1−5):
Disperbyk111(ビックケミー(株)製、リン酸系分散剤)
1.5質量部
樹脂(G−1) 5.3質量部(不揮発分)
PGMEA 80.9質量部
また、赤色顔料分散組成物(R−A7)の分散方法において、各顔料をそれぞれ別々に分散したこと以外は、同様の方法で、赤色顔料分散組成物(R−A16)を調製した。
具体的には、下記手順により、赤色顔料分散組成物(R−A16)を調製した。
まず、下記の組成の混合物を均一に攪拌混合した後、ビーズミルにより3時間混合・分散して赤色顔料分散組成物(R−1A)を調製した。
ジケトピロピロール系赤色顔料
(C.I.ピグメントレッド254)
1.4質量部
色素誘導体(B−1) 0.15質量部
分散剤(E−1−5):
Disperbyk111(ビックケミー(株)製、リン酸系分散剤)
0.19質量部
樹脂(G−2) 0.38質量部(不揮発分)
樹脂(G−3) 0.29質量部(不揮発分)
PGMEA 10.23質量部
アントラキノン系赤色顔料
(C.I.ピグメントレッド177)
3.0質量部
色素誘導体(B−1) 0.33質量部
分散剤(E−1−5):
Disperbyk111(ビックケミー(株)製、リン酸系分散剤)
0.41質量部
樹脂(G−2) 0.81質量部(不揮発分)
樹脂(G−3) 0.62質量部(不揮発分)
PGMEA 21.92質量部
ジケトピロロピロール系オレンジ色顔料
(C.I.ピグメントオレンジ71)
5.4質量部
色素誘導体(B−1) 0.59質量部
分散剤(E−1−5):
Disperbyk111(ビックケミー(株)製、リン酸系分散剤)
0.74質量部
樹脂(G−2) 1.47質量部(不揮発分)
樹脂(G−3) 1.13質量部(不揮発分)
PGMEA 39.76質量部
イソインドリン系黄色顔料
(C.I.ピグメントイエロー139)
1.2質量部
色素誘導体(B−1) 0.13質量部
分散剤(E−1−5):
Disperbyk111(ビックケミー(株)製、リン酸系分散剤)
0.17質量部
樹脂(G−2) 0.33質量部(不揮発分)
樹脂(G−3) 0.26質量部(不揮発分)
PGMEA 8.99質量部
下記の組成の混合物を均一に攪拌混合して、赤色感光性樹脂組成物(RR−A1)を調製した。
赤色顔料分散組成物(R−A1) 69.5質量部
樹脂(G−1) 1.9質量部
(40質量%樹脂溶液として)
光重合開始剤(F−1) 0.8質量部
エチレン性不飽和化合物(E−1) 0.6質量部
フッ素系界面活性剤 4.2質量部
(不揮発分1質量%のプロピレングリコールモノメチル
エーテルアセテート溶液として)
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
23.0質量部
光重合開始剤(F−1):1.2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)](BASF社製、IRGACURE OXE01)
エチレン性不飽和化合物(E−1):ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートのエチレンオキシド変性品(新中村化学工業株式会社製、NKエステル A−DPH−12E)
フッ素系界面活性剤:(大日本インキ株式会社製、メガファックF−781F)
上記のようにして作製した赤色感光性樹脂組成物について、下記の評価を行った。評価結果を表2に示す。
−1.粗大粒子(膜欠陥)−
レジストCT−2000L溶液(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を、シリコンウエハの上に膜厚2μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、220℃で1時間加熱乾燥させて、透明硬化膜(下塗り層)を形成した。
上記各赤色感光性樹脂組成物について、調製直後の塗布液を用意した。得られた下塗り層付きシリコンウエハの下塗り層の上に、上述の調製直後の塗布液を、乾燥膜厚が1.0μmになるようスピンコーターを用いて塗布し、100℃で120秒プリベークし、シリコンウエハ上に赤色着色膜を形成した。この赤色着色膜に含まれる異物を、異物評価装置コンプラスIII(アプライドマテリアルズ社製)にて検出し、検出された全ての異物から、歩留まり低下の原因となる最大幅1.0μm以上の異物(粗大粒子)を目視で分類した。分類された最大幅1.0μm以上の異物の数(1cm2あたりの数)をカウントし、得られた値を指標として膜欠陥の評価を行なった。結果を表2に示す。
下記表には、膜欠陥(粗大粒子)のカウント数を示す。また、下記表中の増大率とは、(調製してから室温で6ヶ月間経時させた塗布液を用いた場合の膜欠陥)/(調製直後の塗布液を用いた場合の膜欠陥)×100を表す。
レジストCT−2000L溶液(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を、シリコンウエハの上に膜厚2μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、220℃で1時間加熱乾燥させて、透明硬化膜(下塗り層)を形成した。
上記要領で調製した赤色感光性樹脂組成物の各々を用い、得られた下塗り層付シリコンウエハの下塗り層の上に、乾燥膜厚が0.8μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃で120秒間プリベークし、シリコンウエハ上に着色膜を形成した。この着色膜に対して、1.5μmの正方ピクセルがそれぞれ基板上の4mm×3mmの領域に配列されたマスクパターンを介してi線ステッパー(キャノン(株)製のFPA−3000i5+)により、1.5μmの正方ピクセルが形成される最適な露光量で露光した。露光後、現像液(商品名:CD−2000、60%、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を用いて23℃で60秒間、パドル現像した。次いで、流水で20秒間リンスした後、スプレー乾燥させた。その後、220℃で300秒間、ホットプレートでポストベーク処理し、シリコンウエハ上に着色パターンを形成した。
こうして得られた着色パターンの未露光部(1.5μm四方の正方形をしたパターン凹部)を電子顕微鏡で観測し、現像残渣の個数を数えた。これを任意の5箇所の未露光部について実施し、その平均値で下記4段階に分別した。結果を表2に示す。
A:現像残渣の個数が平均0〜5個であり、問題無い
B:現像残渣の個数が平均5〜10個であり、問題無い
C:現像残渣の個数が平均10〜20個であり、許容範囲内
D:現像残渣の個数が平均20個を超えており、許容範囲外
−3.粘度安定性−
上記要領で調製した赤色感光性樹脂組成物を25℃で保管し、赤色感光性樹脂組成物調製直後の粘度と、調製から7日後の粘度とを測定した。調製直後と経時後の粘度を比較し、以下の段階に分けて評価した。粘度は、東機産業(株)製のR85型粘度計を用い25℃にて測定した。結果を表2に示す。
A:調製直後と経時後の粘度差が1mPa・s-1未満である
B:調製直後と経時後の粘度差が1〜15mPa・s-1である
C:調製直後と経時後の粘度差が15mPa・s-1を超える
PR254:ジケトピロロピロール系赤色顔料(C.I.PigmentRed254)
PR122:キナクリドン系赤色顔料(C.I.PigmentRed122)
PR177:アントラキノン系赤色顔料(C.I.PigmentRed177)
PO71:ジケトピロロピロール系オレンジ色顔料(C.I.PigmentOrange71)
PY139:イソインドリン系黄色顔料(C.I.PigmentYellow139)
PG36:ハロゲン化銅フタロシアニン顔料(C.I.PigmentGreen36)
チタンブラック:チタンブラック粒子(三菱マテリアル株式会社製、13M−T)
色素誘導体(B−1):下記化学式(B−1)で表される化合物
フェノール系化合物(F−2):ハイドロキノン
合成例8
四口丸底フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、撹拌機を取り付けた反応容器に、1−ドデカノール6.26g、ε-カプロラクトン28.74g、触媒としてモノブチルスズ(IV)オキシド0.01gを仕込み、反応容器内を窒素置換した後、120℃で4時間、加熱攪拌した。1H−NMR測定によってカプロラクトンモノマーの消失を確認した後、ここへ無水ピロメリット酸3.66gを加え、120℃で2時間反応させた。酸価の測定で98%以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認して反応を終了し、分散剤(E−2−1)を得た。得られた分散剤(E−2−1)の酸価は49mgKOH/gであった。
使用するモノアルコール、アルキレンオキサイド、ラクトンモノマー、カルボン酸無水物の種類・仕込み量を表3に示すとおりに変えた以外は上記合成例8と同様の方法で、カルボン酸系分散剤(E−2−1)〜(E−2−6)を得た。
ブレンマーPP−500・・・ポリプロピレングリコールモノメタクリレート(日本油脂株式会社製: 商品名ブレンマーPP−500、水酸基価:95.1mgKOH/g)
PMA・・・ピロメリット酸二無水物
BPAF・・・9,9−ビス( 3,4−ジカルボキシフェニル)フルオレン二酸無水物
NPDA・・・2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物
TMEG・・・エチレングリコールジ無水トリメリット酸エステル(新日本理化株式会社製: 商品名リカシッドTMEG−100)
TMA・・・トリメリット酸無水物
DMBA・・・ジメチルベンジルアミン
ただし、カルボン酸系分散剤(E−2−3)および(E−2−5)の合成に関しては、反応容器内を窒素置換するのではなく、乾燥空気で置換した。
合成例5と同様の反応容器に、ジェファーミンXTJ−506(三井化学ファイン株式会社製: 片末端メトキシ化ポリオキシエチレンポリオキシプレピレンアミン、数平均分子量1000、アミン価56mgKOH/g)35.0g、およびエチレングリコールジ無水トリメリット酸エステル(新日本理化株式会社製: 商品名リカシッドTMEG−100)7.18gを加え、50℃で3時間反応させた。酸価の測定で97%以上の酸無水物がハーフアミド化していることを確認し反応を終了しカルボン酸系分散剤(E−2−7)を得た。
ガス導入管、温度計、コンデンサー、および攪拌機を備えた反応容器に、1−ドデカノール 6.26g、ε−カプロラクトン 28.74g、および触媒としてモノブチルスズ(IV)オキシド 0.1部を仕込み、窒素ガスで置換した後、120℃で4時間加熱撹拌した。1H−NMR測定によりカプロラクトンモノマーの消失を確認した後、無水コハク酸3.36g、2−エチルヘキシルグリシジルエーテル 6.25g、およびN,N−ジメチルベンジルアミン 0.2gを加え80℃で8時間反応させた。
上記反応生成物にピロメリット酸二無水物2.88gを追加し100℃で5時間反応させた。酸価の測定で97%以上の酸無水物がハーフアミド化していることを確認し反応を終了しカルボン酸系分散剤(E−2−8)を得た。
ガス導入管、温度計、コンデンサー、および攪拌機を備えた反応容器に、n−ブチルメタクリレート10.0g、ベンジルメタクリレート10.0gおよび2−メルカプトエタノール 1.0gを仕込み、窒素ガスで置換した。反応容器内を80℃に加熱して12時間反応した。1H−NMR測定によりモノマー成分の消失を確認した。
上記反応生成物にピロメリット酸二無水物1.4g、シクロヘキサノン9.59g、および触媒として1,8−ジアザビシクロ−[5.4 .0]−7−ウンデセン0.04gを追加し、130℃で7時間反応させた。酸価の測定で98%以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認し、シクロヘキサノン12.8gを加え反応を終了しカルボン酸系分散剤(E−2−9)を得た。
下記の組成の混合物を均一に攪拌混合した後、ビーズミルにより3時間混合・分散して赤色顔料分散組成物(R−B1)を調製した。
ジケトピロピロール系赤色顔料
(C.I.ピグメントレッド254)
4.4質量部
ジケトピロロピロール系オレンジ色顔料
(C.I.PigmentOrange71)
5.4質量部
イソインドリン系黄色顔料
(C.I.ピグメントイエロー139)
1.2質量部
色素誘導体(B−1):
上記式(B−1)で表される化合物 1.2質量部
カルボン酸系分散剤(E−2−1): 1.5質量部
樹脂(G−1) 3.0質量部(不揮発分)
樹脂(G−2) 2.3質量部(不揮発分)
PGMEA 80.9質量部
また、赤色顔料分散組成物(R−B2)の分散方法において、各顔料をそれぞれ別々に分散したこと以外は、同様の方法で、赤色顔料分散組成物(R−B15)を調製した。
具体的には、下記手順により、赤色顔料分散組成物(R−B15)を調製した。
ジケトピロピロール系赤色顔料
(C.I.ピグメントレッド254)
1.4質量部
色素誘導体(B−1) 0.15質量部
カルボン酸系分散剤(E−2−2) 0.19質量部
樹脂(G−2) 0.38質量部(不揮発分)
樹脂(G−3) 0.29質量部(不揮発分)
PGMEA 10.23質量部
アントラキノン系赤色顔料
(C.I.ピグメントレッド177)
3.0質量部
色素誘導体(B−1) 0.33質量部
カルボン酸系分散剤(E−2−2) 0.41質量部
樹脂(G−2) 0.81質量部(不揮発分)
樹脂(G−3) 0.62質量部(不揮発分)
PGMEA 21.92質量部
ジケトピロロピロール系オレンジ色顔料
(C.I.ピグメントオレンジ71)
5.4質量部
色素誘導体(B−1) 0.59質量部
カルボン酸系分散剤(E−2−2) 0.74質量部
樹脂(G−2) 1.47質量部(不揮発分)
樹脂(G−3) 1.13質量部(不揮発分)
PGMEA 39.76質量部
イソインドリン系黄色顔料
(C.I.ピグメントイエロー139)
1.2質量部
色素誘導体(B−1) 0.13質量部
カルボン酸系分散剤(E−2−2) 0.17質量部
樹脂(G−2) 0.33質量部(不揮発分)
樹脂(G−3) 0.26質量部(不揮発分)
PGMEA 8.99質量部
下記の組成の混合物を均一に攪拌混合して、赤色感光性樹脂組成物(RR−B1)を調製した。
赤色顔料分散組成物(R−B1) 69.5質量部
樹脂(G−1) 1.9質量部
(40質量%樹脂溶液として)
光重合開始剤(F−1) 0.8質量部
エチレン性不飽和化合物(E−1) 0.6質量部
フッ素系界面活性剤 4.2質量部
(不揮発分1質量%のプロピレングリコールモノメチル
エーテルアセテート溶液として)
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
23.0質量部
エチレン性不飽和化合物(E−1):ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートのエチレンオキシド変性品(新中村化学工業株式会社製、NKエステル A−DPH−12E)
フッ素系界面活性剤:(大日本インキ株式会社製、メガファックF−781F)
使用する赤色顔料分散組成物を変更する以外は、上述の赤色感光性樹脂組成物と同様にして、表4中の各赤色感光性樹脂組成物を調製した。なお、赤色感光性樹脂組成物の調製時に、一般式(V)で表されるフェノール系化合物(F)を添加した場合、表4にその旨を示した。フェノール系化合物(F)の添加量は何れも0.05質量部である。
上記のようにして作製した赤色感光性樹脂組成物について、上述の方法と全く同様の方法で膜欠陥(粗大粒子)と現像残渣の評価を行なった。評価結果を下記表4に示す。下記表中、分散剤(E−1−5)は、Disperbyk111(ビックケミー(株)製、リン酸系分散剤)である。
特に、実施例1〜15および17〜30では、少なくともC.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントオレンジ71およびC.I.ピグメントイエロー139を共分散して得られる分散物を配合してなることにより、粘度安定性が良好であることがわかった。
一方、比較例1、2、7、8では、一般式(I)で表される色素誘導体を使用しなかったため、組成物の経時保管に伴う粗大粒子を抑制することが困難であることがわかった。また、現像残渣の発生を抑制することも困難であることがわかった。
比較例3、4、9、10では、(A)顔料中の全赤色顔料100質量部に対してC.I.ピグメントオレンジ71の含有量が100〜200質量部を満たしていないため、組成物の経時保管に伴う粗大粒子を抑制することが困難であることがわかった。また、現像残渣の発生を抑制することも困難であることがわかった。
比較例5、6、11、12では、(A)顔料中の全赤色顔料100質量部に対してC.I.ピグメントイエロー139の含有量が10〜50質量部を満たしていないため、組成物の経時保管に伴う粗大粒子を抑制することが困難であることがわかった。また、現像残渣の発生を抑制することも困難であることがわかった。
Claims (14)
- (A)顔料、(B)下記一般式(I)で表される色素誘導体、(C)光重合開始剤、(D)重合性化合物、(E)分散剤とを含有し、
(A)顔料が少なくともC.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントオレンジ71およびC.I.ピグメントイエロー139を含有し、
前記(A)顔料中の全赤色顔料100質量部に対してC.I.ピグメントオレンジ71を100〜200質量部含み、前記(A)顔料中の全赤色顔料100質量部に対してC.I.ピグメントイエロー139を10〜50質量部含む、赤色感光性樹脂組成物。
(一般式(I)中、Dyeは置換基を有していてもよいキノフタロン部位を有する基を表し、X1は、−NR’SO2−、−SO2NR’−、−CONR’−、−CH2NR’COCH2NR’−、または−NR’CO−を表し、X2は、置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリーレン基、または置換基を有していてもよい炭素数が4〜20の複素芳香環基を表し、これらの基は、−NR’−、−O−、−SO2−または−CO−から選ばれる2価の連結基で相互に結合されていてもよい。X3は、−NR’−または−O−を表す。R’は、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基、または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリール基を表す。AおよびBは、それぞれ、下記一般式(1)、で表される基、下記一般式(2)で表される基、−O−(CH2)n−R8、−OR9、−NR10R11、−Cl、−Fおよび−X3−X2−X1−Dyeから選ばれる基を表し、R8は置換されていてもよい含窒素複素環残基を表し、R9、R10、R11は、それぞれ、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数が1〜20アルキル基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリール基を表し、nは0〜20の整数を表す。AおよびBのいずれか一方は、下記一般式(1)で表される基、下記一般式(2)で表される基、−O−(CH2)n−R8、−OR9または−NR10R11であり、tは1〜3の整数を表す。tが2以上の場合、複数のX1、X2、X3、A、およびBは同一であってもよく、異なっていてもよい。)
(一般式(1)中、Y1は−NR’−または−O−を表し、Y2は置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキレン基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニレン基、または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリーレン基を表し、これらの基は、−NR’−、−O−、−SO2−、−CO−から選ばれる2価の連結基で相互に結合されていてもよい。R’は、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基、または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリール基を表す。R1およびR2はそれぞれ、置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキル基、または置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基を表す。R1とR2が一体となって、更なる窒素原子、酸素原子または硫黄原子を含み置換されていてもよい複素環構造を形成してもよい。
一般式(2)中、Z1はトリアジン環と窒素原子を結ぶ単結合、−NR’−、−NR’−G−CO−、NR’−G−CONR’’−、−NR’−G−SO2−、−NR’−G−SO2NR’’−、−O−G−CO−、−O−G−CONR’−、−O−G−SO2−または−O−G−SO2NR’−を表し、Gは置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキレン基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニレン基または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリーレン基を表し、R’およびR’’は、それぞれ水素原子、置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基、または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリール基を表す。R3、R4、R5、およびR6はそれぞれ、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基、または置換基を有していてもよい炭素数が6〜20のアリール基を表し、R7は置換基を有していてもよい炭素数が1〜20のアルキル基、または置換基を有していてもよい炭素数が2〜20のアルケニル基を表す。) - 前記(A)顔料がC.I.ピグメントレッド177をさらに含む、請求項1または2に記載の赤色感光性樹脂組成物。
- (E)分散剤が(E−1)一般式(II)で表されるリン酸系分散剤を少なくとも含み、一般式(II)中、R3で表されるポリエステル構造の数平均分子量が1,900〜10,000である、請求項2または3に記載の赤色感光性樹脂組成物。
- (E)分散剤が(E−1)一般式(II)で表されるリン酸系分散剤を少なくとも含み、一般式(II)中、R3で表されるポリエステル構造が2種以上の異なるラクトンモノマーを開環重合して得られるポリエステル構造である、請求項2〜4のいずれか1項に記載の赤色感光性樹脂組成物。
- (E)分散剤が、(E−2)カルボン酸系分散剤における、少なくとも一つの末端に水酸基を有する重合体(POH)もしくは少なくとも一つの末端に第1級アミノ基を有する重合体(PNH2)が、下記一般式(III)で表される、請求項2または3に記載の赤色感光性樹脂組成物。
(一般式(III)中、Y1は、炭素数1〜20、酸素数0〜12、および窒素数0〜3を有する1価の末端基を表し、X2は、−O−、−S−、または−N(Rb)−を表し、Rbは水素原子または炭素原子数1〜18の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基を表す。G1は、−R11O−で示される繰り返し単位を表し、G2は、−C(=O)R12O−で示される繰り返し単位を表し、G3は、−C(=O)R13C(=O)−OR14O−で示される繰り返し単位を表し、R11は炭素数2〜8の直鎖状若しくは分岐状のアルキレン基、または炭素数3〜8のシクロアルキレン基を表し、R12は炭素数1〜8の直鎖状若しくは分岐状のアルキレン基、または炭素数4〜8のシクロアルキレン基を表し、R13は炭素数2〜6の直鎖状若しくは分岐状のアルキレン基、炭素数2〜6の直鎖状若しくは分岐状のアルケニレン基、炭素数3〜20のシクロアルキレン基、または炭素数6〜20アリーレン基を表し、R14は、−CH(R15)−CH(R16)−を表し、R15およびR16は、どちらか一方が水素原子であり、もう一方が炭素数1〜20のアルキル基、炭素数2〜20のアルケニル基、炭素数6〜20のアリール基、アルキル部分の炭素数が1〜20のアルキルオキシメチレン基、アルケニル部分の炭素数が2〜20のアルケニルオキシメチレン基、アリール部分の炭素数が6〜20でアリール部分がハロゲン原子で置換されていてもよいアリールオキシメチレン基、またはN−メチレン−フタルイミド基を表す。Z1は、−OH、または−NH2を表し、R17は、炭素数2〜8の直鎖状若しくは分岐状のアルキレン基、炭素数3〜8のシクロアルキレン基、−C(=O)R12−、または−C(=O)R13C(=O)−OR14−を表す。m1は0〜100の整数を表し、m2は0〜60の整数を表し、m3は0〜30の整数を表す。但し、m1+m2+m3は1以上100以下である。一般式(III)における前記繰り返し単位G1〜G3の配置は、その順序を限定するものではなく、一般式(III)で表される重合体において、基X2と基R17との間に繰り返し単位G1〜G3が任意の順序で含まれていることを示し、さらに、それらの繰り返し単位G1〜G3は、それぞれランダム型またはブロック型のどちらでもよい。) - (E)分散剤が、(E−2)カルボン酸系分散剤における、少なくとも一つの末端に水酸基を有する重合体(POH)もしくは少なくとも一つの末端に第1級アミノ基を有する重合体(PNH2)が下記一般式(IV)で表される、請求項2、3または6に記載の赤色感光性樹脂組成物。
(一般式(IV)中、Y1は、炭素数1〜20、酸素数0〜12、および窒素数0〜3の1価の末端基を表し、X2は、−O−、−S−、または−N(Rb)−を表し、Rbは水素原子または炭素数1〜18の直鎖状若しくは分岐状のアルキル基を表す。Z1は、−OH、または−NH2を表す。
G4およびG5は、それぞれ−C(=O)R12O−で示される繰り返し単位を表し、R12は炭素数1〜8の直鎖状若しくは分岐状のアルキレン基、または炭素数4〜8のシクロアルキレン基を表す。ただし、G4中のR12およびG5中のR12は互いに異なる基である。R20は−C(=O)R12−を表す。m4は5〜60の整数を表し、m5は5〜60の整数を表す。一般式(IV)における前記繰り返し単位G4、G5の配置は、その順序を限定するものではなく、一般式(IV)で表される重合体において、基X2と基R20との間に繰り返し単位G4、G5が任意の順序で含まれていることを示し、さらに、それらの繰り返し単位G4、G5は、それぞれランダム型またはブロック型のどちらでもよい。) - 前記一般式(I)で表される色素誘導体および前記分散剤を用いて、少なくともC.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントオレンジ71およびC.I.ピグメントイエロー139を共分散して得られる分散物を配合してなる、請求項1〜8のいずれか1項に記載の赤色感光性樹脂組成物。
- 前記一般式(I)で表される色素誘導体および前記分散剤を用いて、少なくともC.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントオレンジ71およびC.I.ピグメントイエロー139を含有する顔料を共分散する工程を含む、請求項1〜9のいずれか1項に記載の赤色感光性樹脂組成物の製造方法。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の赤色感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の赤色感光性樹脂組成物を用いて支持体上に赤色感光性樹脂組成物層を形成する工程と、前記赤色感光性樹脂組成物層をパターン状に露光する工程と、未露光部を現像除去して赤色パターンを形成する工程とを含むカラーフィルタの製造方法。
- 請求項11に記載の硬化膜を有するカラーフィルタ、または請求項12に記載のカラーフィルタの製造方法によって製造したカラーフィルタ。
- 請求項13に記載のカラーフィルタを有する固体撮像素子または画像表示装置。
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