JP6129034B2 - 分離膜の製造方法 - Google Patents
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被覆膜が周囲に形成された垂直配向のカーボンナノチューブを基板に配置する第1工程と、
上記垂直配向のカーボンナノチューブが配置された上記基板に上記母材を形成する第2工程と、
上記垂直配向のカーボンナノチューブの両端を上記母材の表裏面から露出させる第3工程と、
上記母材に保持された上記カーボンナノチューブを焼失させるとともに被覆膜を残すことで、上記母材の表裏面を貫通する空孔を多数形成する第4工程とを備えるものである。
被覆膜が周囲に形成された垂直配向のカーボンナノチューブを基板に配置する第1工程と、
上記垂直配向のカーボンナノチューブが配置された上記基板に上記母材を形成する第2工程と、
上記垂直配向のカーボンナノチューブの両端を上記母材の表裏面から露出させる第3工程と、
上記母材に保持された上記カーボンナノチューブを焼失させることで、上記母材の表裏面を貫通する空孔を多数形成する第4工程とを備え、
被覆膜の材質がSiCであるものである。
さらに、本発明の請求項3に係る分離膜の製造方法は、請求項1または2に記載の分離膜の製造方法において、母材がSiとCとを反応させてなるものである。
まず、本実施例1に係る分離膜について説明する。
図1に示すように、この分離膜1は、耐酸化性を有する母材膜2と、この母材膜2の表裏面を貫通するように形成された空孔3とを有する。上記母材膜2は厚さが数μm〜数mmであり、上記空孔3は内径が数nm〜数百nm(つまりナノサイズ)である。また、上記空孔3は、1枚の母材膜2に対して多数且つ略等間隔にされるとともに、母材膜2の表裏面に対して略垂直にされている。そして、この分離膜1は、これら多数の空孔3により、空孔3を通過するもの(流体など)と通過しないもの(ウィルスや汚れなどのナノサイズを超える不純物)とを分離する機能がある。
この分離膜1の製造方法は、概略的に、第1工程〜第4工程を備える。
上記第1工程は、図2に示すように、SiCからなる被覆膜32が周囲に形成された垂直配向のカーボンナノチューブ33(以下、被覆カーボンナノチューブ31という)を基板Kに配置する工程である。上記第2工程は、図4に示すように、上記基板KにSiCからなる母材膜2を形成して、この母材膜2に上記被覆カーボンナノチューブ31を保持させる工程である。上記第3工程は、図5に示すように、上記被覆カーボンナノチューブ31における個々のカーボンナノチューブ33の両端を上記母材膜2の表裏面から露出させる工程である。上記第4工程は、上記母材膜2に保持された上記カーボンナノチューブ33を焼失させることで、上記母材膜2の表裏面を貫通する空孔3を多数形成する工程である。
[第1工程]
図2に示すように、被覆カーボンナノチューブ31を基板Kに配置するには、例えば次の通りに行う。
上記基板KにSiCからなる母材膜2を形成して、この母材膜2に上記被覆カーボンナノチューブ31を保持させるには、例えば次の通りに行う。
被覆カーボンナノチューブ31における個々のカーボンナノチューブ33の両端を上記母材膜2の表裏面から露出させるには、まず、被覆カーボンナノチューブ31を保持した母材膜2を、基板Kから剥離する。そして、図5に示すように、この母材膜2の表裏面のうち、カーボンナノチューブ33の端が露出していない面(図5では表裏面の両面)をラッピングマシン28などにより研磨する。ラッピングマシン28を使用することにより、母材膜2の表裏面を少しずつ削ることができるので、カーボンナノチューブ33の端を露出させるのに必要以上の削りが防止される。
上記母材膜2に保持された上記カーボンナノチューブ33を焼失させるには、まず、カーボンナノチューブ33の両端が表裏面から露出した母材膜2を、酸素雰囲気で700℃以上に加熱する。そうすると、カーボンナノチューブ33は、酸素と反応することにより、CO2となって焼失する。これら焼失したカーボンナノチューブ33の位置が、母材膜2における空孔3となる。この第4工程を終えると、図1に示す分離膜1が完成する。
こうして製造された分離膜1は、SiCのみからなるので、耐酸化性を有する。したがって、図6(a)に示すように、上記分離膜1の使用によりウィルスなどの不純物Vが空孔3に詰まっても、図6(b)に示すように、上記分離膜1を1000℃程度に加熱することによって、分離膜1は燃焼しないまま不純物Vが焼却されるので、上記分離膜1のメンテナンスは簡単となる。
さらに、空孔3に詰まった不純物Vが分離膜1の加熱によって焼却されるので、メンテナンスが簡単な分離膜1を製造することができる。
図7に示すように、この母材膜2は、空孔3に面する筒部23と、これら筒部23以外の本体部22とから構成される。上記筒部23は、高硬度で、耐酸化性および耐摩耗性を有するものである。上記筒部23の材質としては、例えばSiCが挙げられる。上記本体部22は、上記筒部23と比べて、高柔軟性のもの、安価なもの、または高透光性のものなどである。このような上記本体部22の材質としては、SiO2(化学的に安定で且つ光学用途に適用可),TiO2(光触媒機能有り),Al2O3(SiCより安価),ZrO2(高透光性)が挙げられる。
この製造方法では、第2工程において形成される母材膜2が、上記実施例1のようにSiCからなるものではなく、SiCからなる上記筒部23と、上記本体部22とからなるものである。このため、第2工程において充填されるものが、上記実施例1のようにSi粒子25およびC粒子26ではなく、加熱により上記本体部22となる材質の粒子となる。具体的にこの粒子は、上記材質がSiO2ならSi粒子、上記材質がTiO2ならTi粒子、上記材質がAl2O3ならAl粒子、上記材質がZrO2ならZr粒子である。また、第2工程において、充填された上記粒子を酸素雰囲気で焼結させて、上記本体部22を形成する。
V 不純物
1 分離膜
2 母材膜
3 空孔
25 Si粒子
26 C粒子
28 ラッピングマシン
31 被覆カーボンナノチューブ
32 被覆膜
33 カーボンナノチューブ
Claims (4)
- 母材の表裏面を貫通する空孔が多数形成された分離膜の製造方法であって、
被覆膜が周囲に形成された垂直配向のカーボンナノチューブを基板に配置する第1工程と、
上記垂直配向のカーボンナノチューブが配置された上記基板に上記母材を形成する第2工程と、
上記垂直配向のカーボンナノチューブの両端を上記母材の表裏面から露出させる第3工程と、
上記母材に保持された上記カーボンナノチューブを焼失させるとともに被覆膜を残すことで、上記母材の表裏面を貫通する空孔を多数形成する第4工程とを備えることを特徴とする分離膜の製造方法。 - 母材の表裏面を貫通する空孔が多数形成された分離膜の製造方法であって、
被覆膜が周囲に形成された垂直配向のカーボンナノチューブを基板に配置する第1工程と、
上記垂直配向のカーボンナノチューブが配置された上記基板に上記母材を形成する第2工程と、
上記垂直配向のカーボンナノチューブの両端を上記母材の表裏面から露出させる第3工程と、
上記母材に保持された上記カーボンナノチューブを焼失させることで、上記母材の表裏面を貫通する空孔を多数形成する第4工程とを備え、
被覆膜の材質がSiCであることを特徴とする分離膜の製造方法。 - 母材の材質がSiCからなり、SiとCとを反応させてなるものであることを特徴とする請求項1または2に記載の分離膜の製造方法。
- 母材の材質がAl2O3,SiO2,ZrO2,TiO2から選ばれる1種以上の組み合わせであることを特徴とする請求項1または2に記載の分離膜の製造方法。
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JP2013182641A JP6129034B2 (ja) | 2013-09-04 | 2013-09-04 | 分離膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013182641A JP6129034B2 (ja) | 2013-09-04 | 2013-09-04 | 分離膜の製造方法 |
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JP2013182641A Active JP6129034B2 (ja) | 2013-09-04 | 2013-09-04 | 分離膜の製造方法 |
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JP2011240278A (ja) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Panasonic Corp | フィルタの製造方法 |
US20130112610A1 (en) * | 2011-09-23 | 2013-05-09 | Brigham Young University, a Non-Profit Organization | Microsieve using carbon nanotubes |
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2013
- 2013-09-04 JP JP2013182641A patent/JP6129034B2/ja active Active
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