JP6127871B2 - 二層めっき基板の最大反り量の評価方法 - Google Patents
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Description
宇部興産(株)製の厚さ38μmのポリイミドフィルム(製品名:Upilex)のロットAからMD(Machine Direction)方向に6cm、TD(Transverse Direction)方向に5cmの大きさの矩形の試験片を10枚切り出し、それらのうちの5枚のめっき面に花見化学(株)製レジストインキ873−KをバーコーターNo.20で全面塗布し、15〜25μm厚のレジスト膜を形成した。次に、該レジスト膜を形成しなかった非めっき面側に、70℃に加熱した東レエンジニアリング(株)製ポリイミドエッチング液(製品名:TPE3000)を20分間接触させてエッチングを行った。
[式1]
y=−1.891x+21.325
上記実施例で使用したポリイミドフィルムのロットA、B、及びCを再度用意し、各々に対して上記実施例と同様にして10枚の試験片を切り出してレジスト膜の成膜とエッチング処理とを行ったが、本比較例ではめっき面にレジスト膜を成膜したものと非めっき面にレジスト膜を成膜したものとでエッチング時間に差をつけた。
Claims (2)
- ポリイミドフィルムのめっき面に金属層をめっきしてなる二層めっき基板の反り量をめっき前の段階で評価する方法であって、
めっき前のポリイミドフィルムから2枚の同サイズの矩形の試験片を縦横の方向がそれぞれ一致するように切り出し、それらのうちの一方の試験片に対して、そのめっき面にレジスト膜を形成すると共に、該めっき面とは反対側の非めっき面側からポリイミドフィルムの初期厚み1に対して厚み0.4〜0.7までエッチングすることによって生じた反りの曲率半径R1を測定し、
他方の試験片に対して、その非めっき面にレジスト膜を形成すると共に、該非めっき面とは反対側のめっき面側からポリイミドフィルムの初期厚み1に対して厚み0.4〜0.7であって且つ前記一方の試験片のエッチング後のポリイミドフィルムの厚みとの差が0.5μm未満となるようにエッチングすることによって生じた反りの曲率半径R2を測定し、
これらの曲率半径の比R1/R2に基づいてポリイミドフィルムのめっき面に金属層をめっきした時の反り量を判断することを特徴とする二層めっき基板の最大反り量の評価方法。 - 前記金属層が銅層であることを特徴とする、請求項1に記載の二層めっき基板の最大反り量の評価方法。
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