JP6127458B2 - パターン測定装置およびパターン測定方法 - Google Patents
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Description
また、前記位相差フィルムは、配向方向が直交する2つのパターンを有し、前記第1の偏光フィルタもしくは前記第2の偏光フィルタは、前記位相差フィルムの一方のパターンの配向方向と、20°以上70°以下の角度をなすように配置されることが望ましい。
これによって、位相差フィルムの配向方向が直交する2つのパターンが、画像上の明暗パターンとして好適に現れるので、これを用いてパターンの寸法測定を行える。
まず、本実施形態のパターン測定装置について、図1を参照して説明する。
図2は測定対象の位相差フィルム20を示す図である。図2(a)は位相差フィルム20の配向方向のパターンを示す。図2(b)は位相差フィルム20の厚さ方向の断面を示す。
Patterned Retarder)フィルムである。FPRフィルムでは、図2(a)に示すように、配向方向(図の矢印で示す)が互いに直交する2つのパターン23a、23bが、フィルム長手方向に沿って交互に繰り返される。
次に、パターン測定装置1によるパターンの寸法測定の詳細について説明する。図3(a)は、パターン測定装置1による測定時の位相差フィルム20等の配置をテーブル短辺方向に沿って示す図である。図3(b)は、図3(a)の線a−aに沿ったテーブル長辺方向の構成を示す図である。
図4は、カメラ31、32によって撮像された画像の例を模式的に示す図である。図4では、カメラ31により撮像した画像131を左に、カメラ32により撮像した画像132を右に示す。
次に、パターン測定装置1によって位相差フィルム20のパターンの寸法測定を行う方法の例について、図7を参照して説明する。図7は、この際の情報処理装置60の処理フローの例を示す図である。
10:ガラス板
11、12:基準パターン
15:偏光フィルム
20:位相差フィルム
23a、23b:パターン
31、32:カメラ
36:偏光フィルタ
37:位相差板
40:測定テーブル
51、52:照明装置
60:情報処理装置
Claims (4)
- 位相差フィルムの配向方向のパターンについて寸法測定を行うパターン測定装置であって、
撮像装置と、
情報処理装置と、
赤外光を照射する照明装置と、
を備え、
前記情報処理装置は、前記赤外光が照射された前記位相差フィルムを撮像した画像を用いて、前記パターンについて寸法測定を行い、
前記位相差フィルムの保護フィルムによるリタデーションをキャンセルするための位相差板を更に備えることを特徴とするパターン測定装置。 - 前記照明装置と前記位相差フィルムの間に配置される第1の偏光フィルタと、
前記位相差フィルムと前記撮像装置の間に配置される第2の偏光フィルタと、
をさらに備え、
前記第1の偏光フィルタと第2の偏光フィルタは、偏光方向が直交するように配置されることを特徴とする請求項1記載のパターン測定装置。 - 前記位相差フィルムは、配向方向が直交する2つのパターンを有し、
前記第1の偏光フィルタもしくは前記第2の偏光フィルタは、前記位相差フィルムの一方のパターンの配向方向と、20°以上70°以下の角度をなすように配置されることを特徴とする請求項2に記載のパターン測定装置。 - 位相差フィルムの配向方向のパターンについて寸法測定を行うパターン測定方法であって、
撮像装置により、照明装置から赤外光が照射された前記位相差フィルムを撮像するステップと、
情報処理装置が、前記撮像装置が前記位相差フィルムを撮像した画像に基づいて、前記パターンについて寸法測定を行うステップと、
を含み、
前記位相差フィルムの撮像を、位相差板によって前記位相差フィルムの保護フィルムによるリタデーションをキャンセルして行うことを特徴とするパターン測定方法。
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