JP2000088534A - 光学系及びそれを用いた穴の測定装置 - Google Patents
光学系及びそれを用いた穴の測定装置Info
- Publication number
- JP2000088534A JP2000088534A JP10257185A JP25718598A JP2000088534A JP 2000088534 A JP2000088534 A JP 2000088534A JP 10257185 A JP10257185 A JP 10257185A JP 25718598 A JP25718598 A JP 25718598A JP 2000088534 A JP2000088534 A JP 2000088534A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- light
- image
- optical system
- polarizing filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光透過性を有する測定対象に開けられた貫通
穴を高いコントラストで画像入力できる光学系およびそ
れを用いた穴の測定装置を提供する。 【解決手段】 貫通穴２の開けられた測定対象１を挟ん
で、カメラ３と光源５とを設置し、測定対象１とカメラ
３との間に第１の偏光フィルタ６を、測定対象１と光源
５との間に第２の偏光フィルタ７をそれぞれ設置し、第
１の偏光フィルタ６と第２の偏光フィルタ７との偏光方
向を直交させることで、測定対象１の貫通穴２を通過す
る光を遮断して、貫通穴２部分を陰影部分としてカメラ
３に入力することで、貫通穴２と貫通穴２以外の部分と
のコントラストを高めた画像得る。従って、貫通穴の形
状や寸法を正確に測定することができる。
穴を高いコントラストで画像入力できる光学系およびそ
れを用いた穴の測定装置を提供する。 【解決手段】 貫通穴２の開けられた測定対象１を挟ん
で、カメラ３と光源５とを設置し、測定対象１とカメラ
３との間に第１の偏光フィルタ６を、測定対象１と光源
５との間に第２の偏光フィルタ７をそれぞれ設置し、第
１の偏光フィルタ６と第２の偏光フィルタ７との偏光方
向を直交させることで、測定対象１の貫通穴２を通過す
る光を遮断して、貫通穴２部分を陰影部分としてカメラ
３に入力することで、貫通穴２と貫通穴２以外の部分と
のコントラストを高めた画像得る。従って、貫通穴の形
状や寸法を正確に測定することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光透過性を有する
るシート状の測定対象に開けられた貫通穴の検査および
計測をするための光学系およびその光学系を用いた穴の
測定装置に関するものである。
るシート状の測定対象に開けられた貫通穴の検査および
計測をするための光学系およびその光学系を用いた穴の
測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】以下、貫通穴を有する測定対象の形状の
検査や貫通穴の寸法計測に用いられる従来の光学系の代
表例について図７〜図９を参照しつつ説明する。各図に
おいて、波形の線はあらゆる振動方向を有する光を示
し、直線は一定の振動方向の光（偏光）を示す。また、
線の太さは光量を表しており、太線は光量の多い光を示
し、細線は光量の少ない光を示すものとする。図７は、
貫通穴２を有するシート状の測定対象１の平面図であ
る。図８は、従来の光学系における光を透過しない測定
対象１Ａの貫通穴２近傍の光の状態を示す部分断面図で
ある。図９は、光透過性の測定対象１Ｂの貫通穴２近傍
の光の状態を示す部分断面図である。図７に示すような
シート状の測定対象１に開けられた貫通穴２の検査や計
測に使用される従来の光学系について以下に説明する。
図８に示すように、この光学系では、光を透過しない測
定対象１Ａを挟んで、両側に画像入力手段としてのカメ
ラ３と平板状の光源５とをそれぞれ配置している。光源
５から発せられる光が測定対象１Ａに照射される。貫通
穴２を通過する光はカメラ３により検出され、貫通穴２
の画像が得られる。得られた貫通穴２の画像を画像処理
することにより、貫通穴２の大きさおよび形状を計測す
る。
検査や貫通穴の寸法計測に用いられる従来の光学系の代
表例について図７〜図９を参照しつつ説明する。各図に
おいて、波形の線はあらゆる振動方向を有する光を示
し、直線は一定の振動方向の光（偏光）を示す。また、
線の太さは光量を表しており、太線は光量の多い光を示
し、細線は光量の少ない光を示すものとする。図７は、
貫通穴２を有するシート状の測定対象１の平面図であ
る。図８は、従来の光学系における光を透過しない測定
対象１Ａの貫通穴２近傍の光の状態を示す部分断面図で
ある。図９は、光透過性の測定対象１Ｂの貫通穴２近傍
の光の状態を示す部分断面図である。図７に示すような
シート状の測定対象１に開けられた貫通穴２の検査や計
測に使用される従来の光学系について以下に説明する。
図８に示すように、この光学系では、光を透過しない測
定対象１Ａを挟んで、両側に画像入力手段としてのカメ
ラ３と平板状の光源５とをそれぞれ配置している。光源
５から発せられる光が測定対象１Ａに照射される。貫通
穴２を通過する光はカメラ３により検出され、貫通穴２
の画像が得られる。得られた貫通穴２の画像を画像処理
することにより、貫通穴２の大きさおよび形状を計測す
る。
【０００３】測定対象１Ａが、光を透過しない材料で形
成されている場合は、上述した光学系により得られた画
像で貫通穴の形状や寸法を正確に計測できる。
成されている場合は、上述した光学系により得られた画
像で貫通穴の形状や寸法を正確に計測できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来例では、図
９に示すように、測定対象１Ｂが光透過性のある材質で
形成されている場合は、貫通穴２以外の領域（以下、背
景部４と記す）を光源５の光が透過する。そのためカメ
ラ３には、貫通穴２を通過する光だけでなく、背景部４
を透過する光も入射する。従って、貫通穴２の画像と背
景部４の画像とのコントラストが低くなる。貫通穴２の
画像と背景部４の画像とのコントラストが低いため、貫
通穴２の輪郭が不鮮明となる。従って、その画像を処理
しても誤差が生じ、正確な貫通穴の形状や寸法を計測す
ることができないという問題があった。
９に示すように、測定対象１Ｂが光透過性のある材質で
形成されている場合は、貫通穴２以外の領域（以下、背
景部４と記す）を光源５の光が透過する。そのためカメ
ラ３には、貫通穴２を通過する光だけでなく、背景部４
を透過する光も入射する。従って、貫通穴２の画像と背
景部４の画像とのコントラストが低くなる。貫通穴２の
画像と背景部４の画像とのコントラストが低いため、貫
通穴２の輪郭が不鮮明となる。従って、その画像を処理
しても誤差が生じ、正確な貫通穴の形状や寸法を計測す
ることができないという問題があった。
【０００５】本発明は、光透過性を有する材質で形成さ
れている測定対象に開けられた貫通穴の穴部分のみを強
調して画像入力手段に入力することのできる光学系を提
供することを目的とする。さらに、本発明は、光学系に
より得られる画像を処理することで穴の大きさおよび形
状を正確に測定できる穴の測定装置を提供することを目
的とする。
れている測定対象に開けられた貫通穴の穴部分のみを強
調して画像入力手段に入力することのできる光学系を提
供することを目的とする。さらに、本発明は、光学系に
より得られる画像を処理することで穴の大きさおよび形
状を正確に測定できる穴の測定装置を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の光学系は、貫通
穴を有する測定対象の一方の側に光源を設置し、他方の
側に画像入力手段を設置して穴の大きさおよび形状の計
測する光学系において、、前記光源と前記測定対象との
間に配置した、通過光を一定の振動方向にする第１の偏
光フィルタと、、前記画像入力手段と前記測定対象との
間に配置した前記第１の偏光フィルタを通過した光の振
動方向に対して９０度異なる振動方向の光を通過させる
第２の偏光フィルタとを備えることを特徴とする。
穴を有する測定対象の一方の側に光源を設置し、他方の
側に画像入力手段を設置して穴の大きさおよび形状の計
測する光学系において、、前記光源と前記測定対象との
間に配置した、通過光を一定の振動方向にする第１の偏
光フィルタと、、前記画像入力手段と前記測定対象との
間に配置した前記第１の偏光フィルタを通過した光の振
動方向に対して９０度異なる振動方向の光を通過させる
第２の偏光フィルタとを備えることを特徴とする。
【０００７】この光学系によれば、第１の偏光フィルタ
により振動方向の一定となった光が測定対象に照射され
る。貫通穴を通過した光は、通過光の振動方向が第１の
偏光フィルタに対して９０度異なる第２の偏光フィルタ
により遮断される。一方、背景部を通過した光は、散乱
してあらゆる振動方向の光になる。振動方向が照射され
た光の振動方向と９０度異なる光成分が第２の偏光フィ
ルタを通過して画像入力手段に入射される。従って、貫
通穴の画像が陰影となった背景部の画像に対し高いコン
トラストの画像が画像入力手段に入力できる。
により振動方向の一定となった光が測定対象に照射され
る。貫通穴を通過した光は、通過光の振動方向が第１の
偏光フィルタに対して９０度異なる第２の偏光フィルタ
により遮断される。一方、背景部を通過した光は、散乱
してあらゆる振動方向の光になる。振動方向が照射され
た光の振動方向と９０度異なる光成分が第２の偏光フィ
ルタを通過して画像入力手段に入射される。従って、貫
通穴の画像が陰影となった背景部の画像に対し高いコン
トラストの画像が画像入力手段に入力できる。
【０００８】本発明の他の観点の光学系は、貫通穴を有
する測定対象の一方の側に光源を設置し、他方の側に画
像入力手段を設置して、穴の大きさおよび形状を計測す
る光学系において、、前記光源と前記測定対象との間に
配置した、通過光を一定の振動方向にする第１の偏光フ
ィルタと、前記画像入力系と前記測定対象との間に配置
した、前記測定対象に照射する光と同じ振動方向の光を
通過させる第２の偏光フィルタとを備えることを特徴と
する。
する測定対象の一方の側に光源を設置し、他方の側に画
像入力手段を設置して、穴の大きさおよび形状を計測す
る光学系において、、前記光源と前記測定対象との間に
配置した、通過光を一定の振動方向にする第１の偏光フ
ィルタと、前記画像入力系と前記測定対象との間に配置
した、前記測定対象に照射する光と同じ振動方向の光を
通過させる第２の偏光フィルタとを備えることを特徴と
する。
【０００９】この光学系によれば、第１の偏光フィルタ
により振動方向の一定となった光を測定対象に照射す
る。貫通穴を通過した光は、そのまま第１の偏光フィル
タを通過するが、背景部を透過した光は、第２の偏光フ
ィルタにより振動方向が照射した光の振動方向と同じ光
成分以外の光は遮断される。貫通穴の部分のみを通過す
る光りが大量に画像入力手段に入射する。従って、背景
部に対し貫通穴の部分が強調された高いコントラストの
画像が画像入力手段に入力することができる。
により振動方向の一定となった光を測定対象に照射す
る。貫通穴を通過した光は、そのまま第１の偏光フィル
タを通過するが、背景部を透過した光は、第２の偏光フ
ィルタにより振動方向が照射した光の振動方向と同じ光
成分以外の光は遮断される。貫通穴の部分のみを通過す
る光りが大量に画像入力手段に入射する。従って、背景
部に対し貫通穴の部分が強調された高いコントラストの
画像が画像入力手段に入力することができる。
【００１０】本発明のさらに他の観点の光学系は、貫通
穴を有する測定対象の一方の側に光源を設置し、他方の
側に画像入力手段を設置して穴の大きさおよび形状を検
査計測する光学系であっての前記光源と前記測定対象と
の間に配置した、通過光を一定の振動方向にする第１の
偏光フィルタと、前記画像入力手段と前記測定対象との
間に配置した、前記測定対象に照射された光と同じ振動
方向の光を通過させる第２の偏光フィルタと、前記第２
の偏光フィルタを設置した平面上で回転させる回転手段
とを備えた光学系であって、前記第２の偏光フィルタを
回転させずに得られた第１の画像から、前記第２の偏光
フィルタを９０度回転させて得られた第２の画像を減算
して差分画像とすることを特徴とする。
穴を有する測定対象の一方の側に光源を設置し、他方の
側に画像入力手段を設置して穴の大きさおよび形状を検
査計測する光学系であっての前記光源と前記測定対象と
の間に配置した、通過光を一定の振動方向にする第１の
偏光フィルタと、前記画像入力手段と前記測定対象との
間に配置した、前記測定対象に照射された光と同じ振動
方向の光を通過させる第２の偏光フィルタと、前記第２
の偏光フィルタを設置した平面上で回転させる回転手段
とを備えた光学系であって、前記第２の偏光フィルタを
回転させずに得られた第１の画像から、前記第２の偏光
フィルタを９０度回転させて得られた第２の画像を減算
して差分画像とすることを特徴とする。
【００１１】この光学系によれば、第１の偏光フィルタ
により振動方向が一定となった光を測定対象に照射す
る。貫通穴を通過した光と同じ振動方向の光のみが通過
する第２の偏光フィルタにより貫通穴が強調された第１
の画像から、その第２の偏光フィルタを９０度回転させ
て貫通穴を通過した光と同じ振動方向の光のみを遮断し
て貫通穴の陰影が強調された第２の画像を減算して差分
画像とする。従って、こうして得られた貫通穴の差分画
像は、さらに貫通穴の形状が強調された画像とすること
ができる。
により振動方向が一定となった光を測定対象に照射す
る。貫通穴を通過した光と同じ振動方向の光のみが通過
する第２の偏光フィルタにより貫通穴が強調された第１
の画像から、その第２の偏光フィルタを９０度回転させ
て貫通穴を通過した光と同じ振動方向の光のみを遮断し
て貫通穴の陰影が強調された第２の画像を減算して差分
画像とする。従って、こうして得られた貫通穴の差分画
像は、さらに貫通穴の形状が強調された画像とすること
ができる。
【００１２】本発明のさらに他の観点の光学系は、貫通
穴を有する測定対象の一方の側に、第１の偏光フィルタ
を通過させることで一定の振動方向とした波長ｎの光を
照射する第１の光源と、前記第１の偏光フィルタとは直
交する振動方向の光を通過させる第２の偏光フィルタを
通過させた波長ｍの光を照射する第２の光源とを設置
し、他方の側に画像入力手段を設置して穴の大きさおよ
び形状を検査計測する光学系において、前記画像入力手
段と前記測定対象との間に配置した、前記第１の偏光フ
ィルタと同じ振動方向の光を通過させる第３の偏光フィ
ルタを備えることを特徴とする。
穴を有する測定対象の一方の側に、第１の偏光フィルタ
を通過させることで一定の振動方向とした波長ｎの光を
照射する第１の光源と、前記第１の偏光フィルタとは直
交する振動方向の光を通過させる第２の偏光フィルタを
通過させた波長ｍの光を照射する第２の光源とを設置
し、他方の側に画像入力手段を設置して穴の大きさおよ
び形状を検査計測する光学系において、前記画像入力手
段と前記測定対象との間に配置した、前記第１の偏光フ
ィルタと同じ振動方向の光を通過させる第３の偏光フィ
ルタを備えることを特徴とする。
【００１３】この光学系によれば、２種類の波長の光を
それぞれ振動方向を直交させて測定対象に照射し、第３
の偏光フィルタで一方の波長の光を通過させ、他方の波
長の光を遮断させることにより、色の異なる明るさの強
調された画像と陰影の強調された画像とを獲得すること
ができる。従って、この２種類の画像を処理することで
貫通穴の形状をさらに強調して、画像として入力するこ
とができる。
それぞれ振動方向を直交させて測定対象に照射し、第３
の偏光フィルタで一方の波長の光を通過させ、他方の波
長の光を遮断させることにより、色の異なる明るさの強
調された画像と陰影の強調された画像とを獲得すること
ができる。従って、この２種類の画像を処理することで
貫通穴の形状をさらに強調して、画像として入力するこ
とができる。
【００１４】また、この光学系において、明るさの強調
された第１の画像から陰影の強調された第２の画像を減
算して差分画像として画像入力系に入力するのが好まし
い。
された第１の画像から陰影の強調された第２の画像を減
算して差分画像として画像入力系に入力するのが好まし
い。
【００１５】また、上述した４つの光学系のいずれかを
用いて得られる画像データをデジタルデータ化し、貫通
穴の輪郭の画像データを２値化して画像を処理すること
で貫通穴を有する測定対象の貫通穴の大きさおよび形状
を測定する穴の測定装置によれば、光透過性を有する材
料で形成された測定対象の貫通穴の測定を正確に実施す
ることができる。
用いて得られる画像データをデジタルデータ化し、貫通
穴の輪郭の画像データを２値化して画像を処理すること
で貫通穴を有する測定対象の貫通穴の大きさおよび形状
を測定する穴の測定装置によれば、光透過性を有する材
料で形成された測定対象の貫通穴の測定を正確に実施す
ることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の光学系の好適な実
施例について、図１から図６を参照しつつ説明する。な
お、以下の実施例における測定対象は光透過性の材料で
形成されたものとして説明する。
施例について、図１から図６を参照しつつ説明する。な
お、以下の実施例における測定対象は光透過性の材料で
形成されたものとして説明する。
【００１７】《実施例１》図１は、本発明の実施例１の
光学系の構成を示す説明図である。図２は、実施例１の
測定対象に照射される光の説明図である。図３は、実施
例１における測定対象に設けられた貫通穴近傍における
照射光の状態を説明する部分拡大断面図である。図１に
示すように、実施例１の光学系は、貫通穴２の開けられ
たシート状の測定対象１の一方の側に平面状の光源５を
設置し、測定対象１を挟んで光源５と反対の側に画像入
力手段としてのカメラ３を設置して構成されている。さ
らに、測定対象１と光源５との間には、光源５から発せ
られた光の一定の振動方向の光のみを通過させる第１の
偏光フィルタ６を設置し、測定対象１とカメラ３との間
には、第１の偏光フィルタ６の通過させる光と９０度異
なる振動方向の光を通過させる第２の偏光フィルタ７を
設置している。
光学系の構成を示す説明図である。図２は、実施例１の
測定対象に照射される光の説明図である。図３は、実施
例１における測定対象に設けられた貫通穴近傍における
照射光の状態を説明する部分拡大断面図である。図１に
示すように、実施例１の光学系は、貫通穴２の開けられ
たシート状の測定対象１の一方の側に平面状の光源５を
設置し、測定対象１を挟んで光源５と反対の側に画像入
力手段としてのカメラ３を設置して構成されている。さ
らに、測定対象１と光源５との間には、光源５から発せ
られた光の一定の振動方向の光のみを通過させる第１の
偏光フィルタ６を設置し、測定対象１とカメラ３との間
には、第１の偏光フィルタ６の通過させる光と９０度異
なる振動方向の光を通過させる第２の偏光フィルタ７を
設置している。
【００１８】次に、この実施例１の光学系における画像
入力について説明する。図２に示すように、光源５から
発せられた光は、第１の偏光フィルタ６を通過すること
で、一定の振動方向の光となって測定対象１に照射され
る。図３に示すように、測定対象１に照射された光は、
貫通穴２を振動方向が一定の光８のままとして通過する
が、背景部４を通過する光は、散乱されて、あらゆる振
動方向を含んだ光９となって測定対象１を通過してく
る。図４に示すように、測定対象１を通過した光を第１
の偏光フィルタ６が通す光と９０度異なる振動方向の光
を通過する第２の偏光フィルタ７を通過させることで、
貫通穴を通過した光８は遮断され、背景部４を通過した
光９は、再び一定の方向に振動する光成分のみとなる。
このようにして、第２の偏光フィルタ７を通過した光を
カメラ３に入力すると、貫通穴２部分のみ光が遮断さ
れ、その他の部分には散乱光を発するパターン部分とな
り、したがって貫通穴部分があたかも影部分のようにし
て明瞭に黒く現れた画像を得ることができる。
入力について説明する。図２に示すように、光源５から
発せられた光は、第１の偏光フィルタ６を通過すること
で、一定の振動方向の光となって測定対象１に照射され
る。図３に示すように、測定対象１に照射された光は、
貫通穴２を振動方向が一定の光８のままとして通過する
が、背景部４を通過する光は、散乱されて、あらゆる振
動方向を含んだ光９となって測定対象１を通過してく
る。図４に示すように、測定対象１を通過した光を第１
の偏光フィルタ６が通す光と９０度異なる振動方向の光
を通過する第２の偏光フィルタ７を通過させることで、
貫通穴を通過した光８は遮断され、背景部４を通過した
光９は、再び一定の方向に振動する光成分のみとなる。
このようにして、第２の偏光フィルタ７を通過した光を
カメラ３に入力すると、貫通穴２部分のみ光が遮断さ
れ、その他の部分には散乱光を発するパターン部分とな
り、したがって貫通穴部分があたかも影部分のようにし
て明瞭に黒く現れた画像を得ることができる。
【００１９】《実施例２》図５は、本発明の実施例２の
光学系における貫通穴近傍の光の状態を説明する部分拡
大断面図である。この実施例２の光学系は、実施例１の
光学系に比べて第２の偏光フィルタ６Ａを第１の偏光フ
ィルタと同じ振動方向の光を通過させるようにしたもの
である。従って、実施例１と同一部分には同一符号を付
して説明する。実施例２の光学系は、貫通穴２の開けら
れた測定対象１の一方の側に光源５を配置し、測定対象
１を挟んで光源５と反対側に画像入力手段であるカメラ
３を設置して構成されている。さらに、光源５と測定対
象１との間には、通過した光を一定の振動方向にする第
１の偏光フィルタ６が設置され、測定対象１とカメラ３
との間には、照射された光と同じ振動方向の光を通過さ
せる第２の偏光フィルタ６が設置されている。
光学系における貫通穴近傍の光の状態を説明する部分拡
大断面図である。この実施例２の光学系は、実施例１の
光学系に比べて第２の偏光フィルタ６Ａを第１の偏光フ
ィルタと同じ振動方向の光を通過させるようにしたもの
である。従って、実施例１と同一部分には同一符号を付
して説明する。実施例２の光学系は、貫通穴２の開けら
れた測定対象１の一方の側に光源５を配置し、測定対象
１を挟んで光源５と反対側に画像入力手段であるカメラ
３を設置して構成されている。さらに、光源５と測定対
象１との間には、通過した光を一定の振動方向にする第
１の偏光フィルタ６が設置され、測定対象１とカメラ３
との間には、照射された光と同じ振動方向の光を通過さ
せる第２の偏光フィルタ６が設置されている。
【００２０】この実施例２の光学系における画像入力に
ついて説明する。実施例１と同様に、光源５から発せら
れた光は、第１の偏光フィルタ６により振動方向の一定
となった光として測定対象１に照射される。そして図５
に示すように、測定対象１を通過した光を第２の偏光フ
ィルタ６Ａを通過させることで、貫通穴２を通過した光
８は、そのまま通過する。しかし、背景部４を通過する
ことにより散乱してあらゆる振動方向の成分を有する光
９は、再び、第１の偏光フィルタ６を通過した光と同一
方向の振動方向の光成分だけとなるため、光量が弱ま
る。このように、第２の偏光フィルタ６を通過した光を
カメラ３に入力することで、貫通穴２部分に比べ、背景
部４のみの光を弱めた画像を得ることができる。なお、
上述した実施例２の光学系において得られた第１の画像
から、測定対象１とカメラ３との間に設置された第２の
偏光フィルタ６Ａを、その設置した平面上で９０度回転
させて得られた第２の画像を減算した差分画像の光像を
カメラに入力することにより、貫通穴部分をさらに強調
した画像が得られる。
ついて説明する。実施例１と同様に、光源５から発せら
れた光は、第１の偏光フィルタ６により振動方向の一定
となった光として測定対象１に照射される。そして図５
に示すように、測定対象１を通過した光を第２の偏光フ
ィルタ６Ａを通過させることで、貫通穴２を通過した光
８は、そのまま通過する。しかし、背景部４を通過する
ことにより散乱してあらゆる振動方向の成分を有する光
９は、再び、第１の偏光フィルタ６を通過した光と同一
方向の振動方向の光成分だけとなるため、光量が弱ま
る。このように、第２の偏光フィルタ６を通過した光を
カメラ３に入力することで、貫通穴２部分に比べ、背景
部４のみの光を弱めた画像を得ることができる。なお、
上述した実施例２の光学系において得られた第１の画像
から、測定対象１とカメラ３との間に設置された第２の
偏光フィルタ６Ａを、その設置した平面上で９０度回転
させて得られた第２の画像を減算した差分画像の光像を
カメラに入力することにより、貫通穴部分をさらに強調
した画像が得られる。
【００２１】《実施例３》図６は、本発明の実施例３の
光学系の構成を説明する説明図である。図６に示すよう
に、実施例３の光学系は、貫通穴２の開けられた測定対
象１の一方の側に、波長８００ｎｍの緑色光を第１の偏
光フィルタ６を通過させて一定の振動方向とした第１の
光源１２と、波長９００ｎｍの赤色光を第２の偏光フィ
ルタ７を通過させて第１の偏光フィルタを通過した光と
直交する振動方向とした第２の光源１３とを有する。さ
らに赤色光１５と緑色光１４とのそれぞれを測定対象１
に直交するように照射するためのハーフミラー１１が配
置され、測定対象１を挟んで反対の側に画像入力手段と
してのカラーカメラ１６を配置している。測定対象１と
カラーカメラ１６との間には、第１の偏光フィルタ７と
同じ振動方向の光を通過させる第３の偏光フィルタ１０
が設置されている。
光学系の構成を説明する説明図である。図６に示すよう
に、実施例３の光学系は、貫通穴２の開けられた測定対
象１の一方の側に、波長８００ｎｍの緑色光を第１の偏
光フィルタ６を通過させて一定の振動方向とした第１の
光源１２と、波長９００ｎｍの赤色光を第２の偏光フィ
ルタ７を通過させて第１の偏光フィルタを通過した光と
直交する振動方向とした第２の光源１３とを有する。さ
らに赤色光１５と緑色光１４とのそれぞれを測定対象１
に直交するように照射するためのハーフミラー１１が配
置され、測定対象１を挟んで反対の側に画像入力手段と
してのカラーカメラ１６を配置している。測定対象１と
カラーカメラ１６との間には、第１の偏光フィルタ７と
同じ振動方向の光を通過させる第３の偏光フィルタ１０
が設置されている。
【００２２】この実施例３の光学系による画像入力につ
いて説明する。光源１２から測定対象１に照射される緑
色光１４は、貫通穴２を通過し、さらに第３の偏光フィ
ルタ１０を通過してカラーカメラ１６に入力される。従
って、カラーカメラ１６に入力される緑色画像は貫通穴
部が強調された画像となる。一方，光源１３から測定対
象１に照射される赤色光１５は、貫通穴２を通過し、第
３の偏光フィルタ１０で遮断される。従って、カラーカ
メラ１６に入力される赤色画像は貫通穴部が陰部分とし
て強調された画像となる。このようにして得られる緑色
画像および赤色画像を用いて、緑色画像から赤色画像を
減算した差分画像を生成することで、緑色画像および赤
色画像のいずれかよりも貫通穴部分を強調した画像を入
力することができる。
いて説明する。光源１２から測定対象１に照射される緑
色光１４は、貫通穴２を通過し、さらに第３の偏光フィ
ルタ１０を通過してカラーカメラ１６に入力される。従
って、カラーカメラ１６に入力される緑色画像は貫通穴
部が強調された画像となる。一方，光源１３から測定対
象１に照射される赤色光１５は、貫通穴２を通過し、第
３の偏光フィルタ１０で遮断される。従って、カラーカ
メラ１６に入力される赤色画像は貫通穴部が陰部分とし
て強調された画像となる。このようにして得られる緑色
画像および赤色画像を用いて、緑色画像から赤色画像を
減算した差分画像を生成することで、緑色画像および赤
色画像のいずれかよりも貫通穴部分を強調した画像を入
力することができる。
【００２３】この実施例３では、波長ｎの光として緑色
光、波長ｍの光として赤色光として説明したが、異なる
波長の光であれば、同様の効果を有する。また、画像入
力手段として、カラーカメラを用いているが、波長ｎの
光と波長ｍの光とを分離して入力できる画像入力手段で
あれば同様の効果を有する。また、緑色光源と赤色光源
とを測定対象に対して、平行な左右方向に配置し、ハー
フミラーを用いて、同時に測定対象に照射する例を説明
した。しかし、例えば、緑色光源と赤色光源を移動させ
て交互に測定対象に照射して、緑色画像と赤色画像を交
互に得るようにしてもよい。
光、波長ｍの光として赤色光として説明したが、異なる
波長の光であれば、同様の効果を有する。また、画像入
力手段として、カラーカメラを用いているが、波長ｎの
光と波長ｍの光とを分離して入力できる画像入力手段で
あれば同様の効果を有する。また、緑色光源と赤色光源
とを測定対象に対して、平行な左右方向に配置し、ハー
フミラーを用いて、同時に測定対象に照射する例を説明
した。しかし、例えば、緑色光源と赤色光源を移動させ
て交互に測定対象に照射して、緑色画像と赤色画像を交
互に得るようにしてもよい。
【００２４】また、上述した３つの実施例のいずれかの
光学系を用いて、得られた画像をデジタルデータ化し、
貫通穴の輪郭を２値化して画像を処理することにより光
透過性を有する測定対象に開けられた貫通穴の大きさお
よび形状を計測する穴の測定装置によれば、貫通穴部を
強調した画像により正確に測定できる。
光学系を用いて、得られた画像をデジタルデータ化し、
貫通穴の輪郭を２値化して画像を処理することにより光
透過性を有する測定対象に開けられた貫通穴の大きさお
よび形状を計測する穴の測定装置によれば、貫通穴部を
強調した画像により正確に測定できる。
【００２５】
【発明の効果】以上のように、本発明の光学系によれ
ば、光透過性のあるシート状の測定対象に開けられた貫
通穴の大きさや形状の検査および計測において、貫通穴
の形状のみを強調した画像が得られる。また、本発明の
穴の測定装置によれば、画像入力手段に取り込んだ貫通
穴の形状が強調された画像をデジタルデータ化し、貫通
穴の輪郭の画像データを２値化して画像を処理すること
により貫通穴の寸法や形状を正確に測定することが可能
となる。
ば、光透過性のあるシート状の測定対象に開けられた貫
通穴の大きさや形状の検査および計測において、貫通穴
の形状のみを強調した画像が得られる。また、本発明の
穴の測定装置によれば、画像入力手段に取り込んだ貫通
穴の形状が強調された画像をデジタルデータ化し、貫通
穴の輪郭の画像データを２値化して画像を処理すること
により貫通穴の寸法や形状を正確に測定することが可能
となる。
【図１】本発明の実施例１の光学系の構成を示す説明図
である。
である。
【図２】本発明の実施例１および実施例２の光学系にお
ける測定対象に光源からの光を照射した状態を示す説明
図である。
ける測定対象に光源からの光を照射した状態を示す説明
図である。
【図３】本発明の実施例１および実施例２の光学系にお
ける測定対象を通過する光の状態を示す部分拡大断面図
である。
ける測定対象を通過する光の状態を示す部分拡大断面図
である。
【図４】本発明の実施例１の光学系における第２の偏光
フィルタによる光の状態を示す部分拡大断面図である。
フィルタによる光の状態を示す部分拡大断面図である。
【図５】本発明の実施例２の光学系における測定対象と
画像入力手段との間に設置した第２の偏光フィルタによ
る光の状態を示す部分拡大断面図である。
画像入力手段との間に設置した第２の偏光フィルタによ
る光の状態を示す部分拡大断面図である。
【図６】本発明の実施例３の光学系の構成を示す説明図
である。
である。
【図７】測定対象に開けられた貫通穴の配置を示す平面
図である。
図である。
【図８】従来の光学系における光不透過性の材質の測定
対象を通過する光の状態を示す部分拡大断面図である。
対象を通過する光の状態を示す部分拡大断面図である。
【図９】従来の光学系における光透過性の材質の測定対
象を通過する光の状態を示す部分拡大断面図である。
象を通過する光の状態を示す部分拡大断面図である。
１ 測定対象 ２ 貫通穴 ３ カメラ（画像入力手段） ４ 背景部（貫通穴以外の領域） ５、１２、１３ 光源 ６、６Ａ、７、１０ 偏光フィルタ ８ 貫通穴を通過する光 ９ 背景部を透過する光 １１ ハーフミラー １４ 緑色光 １５ 赤色光 １６ カラーカメラ（画像入力手段）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA27 AA52 BB22 CC02 DD09 FF04 GG23 HH09 JJ03 LL33 LL34 QQ05 QQ07 QQ31 UU07 2G051 AA41 AB02 BA04 BA11 CA04 CA06 CB02 CC15 CD06 EA11 5B057 BA15 BA29 DA06 DB02 DB08 DC09
Claims (9)
- 【請求項１】 光学的貫通穴を有する測定対象の、一方
の側に光源を設置し、他方の側に画像入力手段を設置し
て、穴の大きさおよび形状を検査計測する光学系におい
て、 前記光源と前記測定対象との間に配置され、通過光の振
動方向を一定の方向にする第１の偏光フィルタ、及び前
記画像入力手段と前記測定対象との間に配置され、前記
第１の偏光フィルタを通過した光の振動方向に対して９
０度異なる振動方向の光を通過させる第２の偏光フィル
タ、を備えたことを特徴とする光学系。 - 【請求項２】 請求項１に記載の光学系を用いて得られ
る画像データをデジタルデータ化し、少なくとも貫通穴
の輪郭の画像データを２値化して画像を処理することで
前記測定対象の貫通穴の大きさおよび形状を検査計測す
ることを特徴とする穴の測定装置。 - 【請求項３】 貫通穴を有する測定対象の、一方の側に
光源を設置し、他方の側に画像入力手段を設置して、前
記測定象の貫通穴の大きさおよび形状を検査計測する光
学系において、 前記光源と前記測定対象との間に配置され、通過光を一
定の振動方向にする第１の偏光フィルタ、及び前記画像
入力手段と前記測定対象との間に配置され、前記測定対
象に照射された光と同じ振動方向の光を通す第２の偏光
フィルタ、 を備えたことを特徴とする光学系。 - 【請求項４】 請求項３に記載の光学系を用いて得られ
る画像データをデジタルデータ化し、少なくとも貫通穴
の輪郭の画像データを２値化して画像を処理することで
前記測定対象の貫通穴の大きさおよび形状を検査計測す
ることを特徴とする穴の測定装置。 - 【請求項５】 貫通穴を有する測定対象の、一方の側に
光源を設置し、他方の側に画像入力手段を設置して、前
記測定対象の貫通穴の大きさおよび形状を計測する光学
系において、 前記光源と前記測定対象との間に配置され、通過光を一
定の振動方向にする第１の偏光フィルタ、 前記画像入力手段と前記測定対象との間に配置され、前
記測定対象に照射した光と同じ振動方向の光を通す第２
の偏光フィルタ、及び前記第２の偏光フィルタを設置し
た平面上で回転させる回転手段を備えた光学系におい
て、 前記第２の偏光フィルタを回転させずに得られた第１の
画像から、 前記第２の偏光フィルタを９０度回転させて得られた第
２の画像を減算して差分画像を得ることを特徴とする光
学系。 - 【請求項６】 請求項５に記載の光学系を用いて得られ
る画像データをデジタルデータ化し、少なくとも貫通穴
の輪郭の画像データを２値化して画像を処理することで
前記測定対象の貫通穴の大きさおよび形状を検査計測す
ることを特徴とする穴の測定装置。 - 【請求項７】 貫通穴を有する測定対象の一方の側に、
第１の偏光フィルタを通過させて一定の振動方向の波長
ｎの光を照射する第１の光源と、 同じ方向より、前記第１の偏光フィルタを通過した光と
直交する振動方向の光を通過させる第２の偏光フィルタ
を通過させて波長ｍの光を照射する第２の光源とを設置
し、 他方の側に画像入力手段を設置して、穴の大きさおよび
形状を検査計測する光学系において、 前記画像入力手段と前記測定対象との間に、前記第１の
偏光フィルタと同じ振動方向の光を通過させる第３の偏
光フィルタを設置したことを特徴とする光学系。 - 【請求項８】 請求項７に記載の光学系により、波長ｎ
の光により得られる第１の画像から、波長ｍの光により
得られる第２の画像を減算して差分画像とすることを特
徴とする光学系。 - 【請求項９】 請求項７または８のいずれか１項に記載
の光学系により得られる画像データをデジタルデータ化
し、少なくとも前記貫通穴の輪郭の画像データを２値化
して画像を処理することで前記測定対象の貫通穴の大き
さおよび形状を計測することを特徴とする穴の測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10257185A JP2000088534A (ja) | 1998-09-10 | 1998-09-10 | 光学系及びそれを用いた穴の測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10257185A JP2000088534A (ja) | 1998-09-10 | 1998-09-10 | 光学系及びそれを用いた穴の測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000088534A true JP2000088534A (ja) | 2000-03-31 |
Family
ID=17302869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10257185A Pending JP2000088534A (ja) | 1998-09-10 | 1998-09-10 | 光学系及びそれを用いた穴の測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000088534A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020006812A (ko) * | 2000-07-13 | 2002-01-26 | 황재학 | 물체의 절단면 검사장치 및 그 방법 |
| JP2002321131A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-11-05 | Fujikoshi Mach Corp | ワークの供給装置 |
| CN103438821A (zh) * | 2013-09-11 | 2013-12-11 | 江苏蓝烽新材料科技有限公司 | 一种蜂窝陶瓷载体透光检测装置及方法 |
| JP2014095618A (ja) * | 2012-11-09 | 2014-05-22 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン測定装置およびパターン測定方法 |
| KR101531929B1 (ko) * | 2013-10-25 | 2015-06-26 | 주식회사 트라이비스 | 얼라인 장치 및 얼라인 방법 |
| KR20170029862A (ko) * | 2015-09-08 | 2017-03-16 | 한화테크윈 주식회사 | 전자부품 이송용 테이프 공급장치 |
| WO2017136404A1 (en) * | 2016-02-05 | 2017-08-10 | The Procter & Gamble Company | Method and apparatus for detecting holes in substrates in absorbent article converting lines |
| CN112763486A (zh) * | 2020-11-30 | 2021-05-07 | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 | 一种基于线激光扫描的复材壁板阵列孔检测方法 |
-
1998
- 1998-09-10 JP JP10257185A patent/JP2000088534A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020006812A (ko) * | 2000-07-13 | 2002-01-26 | 황재학 | 물체의 절단면 검사장치 및 그 방법 |
| JP2002321131A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-11-05 | Fujikoshi Mach Corp | ワークの供給装置 |
| JP2014095618A (ja) * | 2012-11-09 | 2014-05-22 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン測定装置およびパターン測定方法 |
| CN103438821A (zh) * | 2013-09-11 | 2013-12-11 | 江苏蓝烽新材料科技有限公司 | 一种蜂窝陶瓷载体透光检测装置及方法 |
| KR101531929B1 (ko) * | 2013-10-25 | 2015-06-26 | 주식회사 트라이비스 | 얼라인 장치 및 얼라인 방법 |
| JP2017055107A (ja) * | 2015-09-08 | 2017-03-16 | ハンファテクウィン株式会社Ｈａｎｗｈａ Ｔｅｃｈｗｉｎ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | 電子部品移送用テープの供給装置 |
| KR20170029862A (ko) * | 2015-09-08 | 2017-03-16 | 한화테크윈 주식회사 | 전자부품 이송용 테이프 공급장치 |
| KR102119052B1 (ko) * | 2015-09-08 | 2020-06-26 | 한화정밀기계 주식회사 | 전자부품 이송용 테이프 공급장치 |
| WO2017136404A1 (en) * | 2016-02-05 | 2017-08-10 | The Procter & Gamble Company | Method and apparatus for detecting holes in substrates in absorbent article converting lines |
| US20170227462A1 (en) * | 2016-02-05 | 2017-08-10 | The Procter & Gamble Company | Method and Apparatus for Detecting Holes in Substrates In Absorbent Article Converting Lines |
| CN108603846A (zh) * | 2016-02-05 | 2018-09-28 | 宝洁公司 | 用于在吸收制品转换加工生产线上检测基底中的孔的方法和设备 |
| US10481091B2 (en) | 2016-02-05 | 2019-11-19 | The Procter & Gamble Company | Method and apparatus for detecting holes in substrates in absorbent article converting lines |
| CN112763486A (zh) * | 2020-11-30 | 2021-05-07 | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 | 一种基于线激光扫描的复材壁板阵列孔检测方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101177299B1 (ko) | 평판 유리 표면 이물질 검사 장치 | |
| JP4988223B2 (ja) | 欠陥検査装置およびその方法 | |
| JP4548385B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| JPH0915163A (ja) | 異物検査方法及び装置 | |
| JP2000088534A (ja) | 光学系及びそれを用いた穴の測定装置 | |
| JP3109254B2 (ja) | ピンホール検査装置 | |
| JP2003185593A (ja) | ウェーハ外観検査装置 | |
| JPH0545862A (ja) | 異物検出方式および異物検査装置 | |
| JPH10282007A (ja) | 異物等の欠陥検査方法およびその装置 | |
| JPH07270326A (ja) | 異物検査装置 | |
| JPH0792236A (ja) | 基板表面の電圧分布の検査装置 | |
| JP2850031B2 (ja) | パターン部材の検査方法および検査装置 | |
| JPH0943160A (ja) | 光学測定装置 | |
| CN217688596U (zh) | 一种外观检测装置及系统 | |
| JPH07146253A (ja) | 粘着偏光フィルムの欠陥検査装置 | |
| JPH02102404A (ja) | 周期性パターンの検査方法 | |
| JP2007024559A (ja) | レンズユニット、形状検出装置、形状検出方法およびシートの製造方法 | |
| JPH07128250A (ja) | 半導体装置製造用フォトマスクの異物検査装置 | |
| JP2996278B2 (ja) | 異物検査装置の空間フィルタ | |
| JP2936644B2 (ja) | 異物検査装置 | |
| JP2000193442A (ja) | 塗布膜のむらの検出方法および検出装置 | |
| JPH0821799A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH0216438A (ja) | 異物検査装置及びその方法 | |
| JPH11194097A (ja) | 異物検査装置 | |
| JPH04310924A (ja) | ファインパターン基板の検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040317 |