JP5824780B2 - 透明膜検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
10:観察光学系,10a:光軸,
11:撮像装置,11A:撮像面,11B:結像レンズ,12:対物レンズ,
20:照明光源,
20A:照明装置,20B:レンズ,21:照明光学系,22:ハーフミラー,
30:遮光部材,30a:エッジ,
S:基板,M:透明膜,Me:外縁
Claims (5)
- 基板上に成膜された透明膜の外縁を観察することで、透明膜の成膜パターンを検査する検査装置であって、
検査対象となる透明膜の外縁を含む被検査範囲の観察像を形成する観察光学系と、前記被検査範囲を含む前記基板上に照明光を照射する照明光源と、前記観察光学系の光路内に配置されて当該光路の一部を遮光する遮光部材とを備え、
前記遮光部材は、前記観察像内に全遮光部分から徐々に明度が高くなる半遮光部分を含む遮光部分を形成し、当該遮光部分が前記外縁の像に被さるように配置され、
前記観察光学系は、前記外縁の側面で反射した光を前記観察像内に結像させることで、前記遮光部分にコントラストの高い前記外縁の線像を形成することを特徴とする透明膜検査装置。 - 前記観察像は前記被検査範囲を撮像する撮像装置の撮像面に形成されることを特徴とする請求項1記載の透明膜検査装置。
- 前記照明光源から出射した照明光は、前記観察光学系の光路上に配置されたハーフミラーを介して前記被検査範囲に照射され、
前記遮光手段は、前記ハーフミラーの前記基板側で前記照明光の一部を遮光することを特徴とする請求項1又は2記載の透明膜検査装置。 - 前記遮光部材は、前記観察光学系の光路内に配置されるエッジの位置を前記観察光学系の光軸に対して垂直方向に移動調整自在に配備したことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の透明膜検査装置。
- 基板上に成膜された透明膜の外縁を観察することで、透明膜の成膜パターンを検査する検査方法であって、
前記基板上に照明光を照射し、前記基板上に配置される観察光学系によって、検査対象となる透明膜の外縁を含む被検査範囲の観察像を形成し、
前記観察光学系の光路内に当該光路の一部を遮光する遮光部材を配置し、
前記観察像内に全遮光部分から徐々に明度が高くなる半遮光部分を含む遮光部分を形成し、当該遮光部分が前記外縁の像に被さるように、前記遮光部材を位置調整し、
前記外縁の側面で反射した光を前記観察像内に結像させることで、前記遮光部分にコントラストの高い前記外縁の線像を形成することを特徴とする透明膜検査方法。
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