JP6123077B2

JP6123077B2 - フィルム状基板保持ユニットの調整用治具

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Publication number: JP6123077B2
Application number: JP2014042324A
Authority: JP
Inventors: 明亀田
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2014-03-05
Filing date: 2014-03-05
Publication date: 2017-05-10
Anticipated expiration: 2034-03-05
Also published as: JP2015170629A

Description

本発明は、フィルム状基板を吸引保持するフィルム状基板保持ユニットの調整用治具に関するものである。

従来、縁部分に外部接続用端子群が形成されたフィルム状基板を基板に圧着するボンディング装置として、圧着ツールとフィルム状基板を保持する吸着部を一体的に設けた圧着ヘッドを備えたものが知られている。このボンディング装置では、外部接続用端子群が形成された線部分を圧着ツールによって吸着し、縁部分から延びる部分を複数の吸着部によって吸着してフィルム状基板を保持するようになっている。複数の吸着部はフィルム状基板の形状に応じた位置に配置されているので、複雑な形状のフィルム状基板であっても確実に吸着することができる（例えば、特許文献１）。

特開２０００−７７８９８号公報

しかしながら、上記特許文献１に記載のボンディング装置では、基板に圧着する対象となっているフィルム状基板（圧着対象のフィルム状基板）の形状に合わせて専用の圧着ヘッドを準備する必要があった。このため、本出願人は、特許出願第２０１３−４８６０９号において、フィルム状基板の形状に合わせて位置を自在に変更可能な吸着部を備えたフィルム状基板保持ユニットを圧着ヘッドに着脱自在に取り付ける構成の新たなボンディング装置の提案を行った。このボンディング装置によれば、基板対象のフィルム状基板の形状が変更された場合には、その変更後のフィルム状基板の形状に対応して吸着部の位置調整を行ったフィルム状基板保持ユニットを圧着ヘッドに取り付けるだけでよいという利点があるが、ボンディング装置の稼働率を向上させるためには、フィルム状基板保持ユニットの各吸着部の位置調整がフィルム状基板の形状に合わせて容易に行えるようにする必要がある。

そこで本発明は、フィルム状基板の形状に合わせた各吸着部の位置調整を容易に行うことができるフィルム状基板保持ユニットの調整用治具を提供することを目的とする。

本発明のフィルム状基板保持ユニットの調整用治具は、フィルム状基板保持ユニットを装着するユニット装着部と、ユニット装着部に装着されたフィルム状基板保持ユニットからみて圧着ツールの位置を示す基準部と、基準部に基づく所定の位置にフィルム状基板若しくはフィルム状基板を模した模擬基板をセット可能な基板セット部とを備えた。

本発明によれば、フィルム状基板の形状に合わせた各吸着部の位置調整を容易に行うことができる。

本発明の一実施の形態におけるボンディング装置の要部側面図本発明の一実施の形態におけるボンディング装置が備える圧着ヘッドとフィルム状基板保持ユニットを示す斜視図本発明の一実施の形態における圧着ヘッドとフィルム状基板保持ユニットを示す一部分解斜視図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における圧着ヘッドとフィルム状基板保持ユニットを示す側面図本発明の一実施の形態におけるフィルム状基板保持ユニットの斜視図本発明の一実施の形態におけるフィルム状基板保持ユニットの一部断面正面図（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるフィルム状基板保持ユニットが備える自在アームの部分断面図本発明の一実施の形態におけるフィルム状基板保持ユニットが備える自在アームの部分断面図（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるフィルム状基板保持ユニットの平面図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるボンディング装置によりフィルム状基板を基板に圧着する手順を説明する図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるボンディング装置によりフィルム状基板を基板に圧着する手順を説明する図本発明の一実施の形態におけるフィルム状基板保持ユニットの調整用治具の斜視図本発明の一実施の形態におけるフィルム状基板保持ユニットの調整用治具の一部分解斜視図本発明の一実施の形態におけるフィルム状基板保持ユニットの調整用治具によりフィルム状基板保持ユニットが備える吸着部の位置調整を行っている状態を示す図

本発明におけるフィルム状基板保持ユニットの調整用治具を説明する前に、先ず、図１に示すボンディング装置１について説明する。このボンディング装置１は、基板２の端部に設けられたフィルム状基板被圧着部２ａにフィルム状基板３の縁部分に形成された外部接続用端子群３ａを圧着する（ボンディングする）を装置であり、その圧着作業において用いられる後述のフィルム状基板保持ユニット２６が、本発明のフィルム状基板保持ユニットの調整用治具による調整の対象となる。

図１において、ボンディング装置１は、基板２を保持する基板保持ステージ１１、基板保持ステージ１１の前後方向（図１の紙面左右方向。Ｙ軸方向とする）の後方に設けられ、図示しないフィルム状基板供給部から供給されたフィルム状基板３が基板２に圧着される前に一時的に載置される中継ステージ１２、基板保持ステージ１１及び中継ステージ１２の上方領域を水平面内方向に移動自在に設けられ、中継ステージ１２に載置されたフィルム状基板３を吸着して基板保持ステージ１１上の基板２に圧着する圧着ヘッド１３、基板保持ステージ１１と中継ステージ１２の間の領域に設けられ、圧着ヘッド１３によりフィルム状基板３を基板２に圧着する際に基板２の下面側を支持するバックアップステージ１４及びバックアップステージ１４の後方に隣接して設けられ、圧着ヘッド１３が吸着したフィルム状基板３の外部接続用端子群３ａの近傍に設けられた認識マーク（図示せず）や基板保持ステージ１１上の基板２のフィルム状基板被圧着部２ａに形成された認識マーク（図示せず）を下方から撮像するカメラ１５を備えている。

図１において、基板保持ステージ１１は基板保持ステージ移動機構１１Ｍによって水平面内方向及び上下方向に移動され、中継ステージ１２は中継ステージ移動機構１２Ｍによって水平面内方向に移動される。圧着ヘッド１３はヘッド移動機構１３Ｍによって水平面内で移動されるヘッドベース２１、ヘッドベース２１に設けられた圧着ツール昇降機構２２、圧着ツール昇降機構２２によってヘッドベース２１に対して昇降される圧着ツール２３、圧着ツール２３の背面（後面）側に取り付けられた取り付け部昇降シリンダ２４、取り付け部昇降シリンダ２４によって昇降される取り付け部２５、取り付け部２５に着脱自在に取り付けられるフィルム状基板保持ユニット２６を有して成る。

圧着ツール２３は圧着ツール昇降機構２２のピストンロッド２２ａの下端に取り付けられて加熱用ヒータを内蔵したヒータブロック２３ａと、ツール本体２３ｂと、ヒータブロック２３ａにツール本体２３ｂを固定するツール本体保持部２３ｃから成る。ツール本体２３ｂはヒータブロック２３ａからの熱伝導により熱圧着を行うために必要な温度に加熱される。圧着ツール２３は圧着ツール昇降機構２２のピストンロッド２２ａの下方への突没動作によって昇降する。

図２、図３及び図４（ａ），（ｂ）において、取り付け部２５は、取り付け部昇降シリンダ２４のピストンロッド２４ａの下端と結合された水平部３１及び水平部３１の後縁から垂直上方に延びて設けられた垂直部３２を有して成る。垂直部３２の背面３２Ｒは垂直で平らに加工されている。垂直部３２の左右方向（図１の紙面に直交する方向。Ｘ軸方向とする）の両端部には一対の位置合わせピン３３が後方に延びて設けられている。

図３、図４（ａ），（ｂ）及び図５において、フィルム状基板保持ユニット２６は、取り付け部２５の垂直部３２の背面３２Ｒ側に取り付けられるベース部４１を有しており、ベース部４１には、フィルム状基板３を吸着して保持するための吸着部を先端に備えた複数のアームとしての二種類のアーム（固定アーム４２及び自在アーム４３）が取り付けられている。ベース部４１は平らに加工された前面５１Ｆを有する当接部５１と、当接部５１の下端に連接して左右方向（Ｘ軸方向）に延びたアーム連結部５２より構成されている。アーム連結部５２の中央部には固定アーム４２がＹ方向前方に延び、その前端部の下面側に固定吸着部５４を備えている。また、アーム連結部５２の両端部には自在アーム４３が取り付けられている。フィルム状基板保持ユニット２６は、取り付け部２５の垂直部３２の背面３２Ｒに当接部５１の前面５１Ｆを密着させて取り付けられる。

ベース部４１の当接部５１の左右両端には一対の切欠き部５５が設けられており、当接部５１はこれら一対の切欠き部５５を取り付け部２５の垂直部３２に設けられた前述の一対の位置合わせピン３３を挿通させることによって取り付け部２５の垂直部３２に当接状態で位置決めされる。この状態では、取り付け部２５の垂直部３２の背面３２Ｒ側に設けられた一対のねじ孔３２ａと当接部５１を貫通して設けられた一対の貫通孔５６が合致するので、貫通孔５６を貫通させた取り付けボルト５７のねじ部５７Ｓをねじ孔３２ａに螺入させると、当接部５１が（すなわちフィルム状基板保持ユニット２６が）取り付け部２５に固定されて取り付け状態となる（図４（ａ）→図４（ｂ））。

図３、図５及び図６において、フィルム状基板保持ユニット２６の自在アーム４３は第１リンク６１と第２リンク６２から成る。第１リンク６１は一端部が第１軸部材６３によってベース部４１のアーム連結部５２の左右の端部に連結されており、第２リンク６２は一端部が第２軸部材６４によって第１リンク６１の他端部に連結されている。第２リンク６２の他端部の下面には可動吸着部６５が設けられている。

各自在アーム４３の第１リンク６１は第１軸部材６３によってベース部４１に対して回動自在であり、第２リンク６２は第２軸部材６４によって第１リンク６１に対して回動自在である。すなわち本実施の形態において、フィルム状基板保持ユニット２６は、一端部がベース部４１に設けられ、他端部にフィルム状基板３を吸着する可動吸着部６５を有した複数の自在アーム４３を備えており、各自在アーム４３は、一端部が第１軸部材６３によってベース部４１に対して回動自在に装着され、一端部と他端部の間に設けられた関節部としての第２軸部材６４において屈曲自在な構成となっている。

図７（ａ）は自在アーム４３の部分（図６中に破線で示すＤ部分）の断面図であり、図７（ｂ），（ｃ）は図７（ａ）の矢視Ｖ−Ｖから見た断面図である。図６及び図７（ａ）において、第１軸部材６３の上端のねじ部６３Ｓにはナット６３Ｎが螺合されており、作業者は、ナット６３Ｎを緩めた状態でベース部４１（アーム連結部５２）に対する第１リンク６１の姿勢を調整し、そのうえでナット６３Ｎを締め付けることによってベース部４１に第１リンク６１を固定することができる。また、図６及び図６中に破線Ｅで示す部分の部分断面図である図８において、第２軸部材６４の上端のねじ部６４Ｓにはナット６４Ｎが螺合されており、作業者は、ナット６４Ｎを緩めた状態で第１リンク６１に対する第２リンク６２の姿勢を調整し、そのうえでナット６４Ｎを締め付けることによって第１リンク６１に第２リンク６２を固定することができる。

図１において、ボンディング装置１の外部には真空源７０が設けられており、この真空源７０は管路７１を介して圧着ツール２３内に設けられた圧着ツール内管路（図示せず）及び取り付け部２５の内部に設けられた取り付け部内管路（図示せず）に繋がっている。圧着ツール内管路はツール本体２３ｂの下端に吸着開口２３ｄを有し、取り付け部内管路は取り付け部２５の垂直部３２の背面３２Ｒ側に開口する２つの吸引ポート３２ｂ（図３）を備えている。

図５及び図６において、フィルム状基板保持ユニット２６のベース部４１には、ベース部４１が取り付け部２５に取り付けられた状態で上記２つの吸引ポート３２ｂと繋がる２つの開口４１ａが設けられている。真空源７０から圧着ツール２３の吸着開口２３ｄに供給する真空圧の制御及び取り付け部２５の２つの吸引ポート３２ｂに供給する真空圧の制御は、管路７１に介装された空圧制御部７２（図１）によってなされる。

図６において、フィルム状基板保持ユニット２６のベース部４１には、一方の開口４１ａに繋がる第１のベース部内吸引路８１ａと他方の開口４１ａに繋がる第２のベース部内吸引路８２ａが設けられている。第１のベース部内吸引路８１ａは固定アーム４２内を延びる固定アーム内吸引路８１ｂに繋がっており、第２のベース部内吸引路８２ａは各自在アーム４３内を延びる自在アーム内吸引路８２ｂと繋がっている。そして、固定アーム４２に設けられた固定吸着部５４は固定アーム内吸引路８１ｂと繋がっており、自在アーム４３に設けられた可動吸着部６５はその自在アーム４３内を延びた自在アーム内吸引路８２ｂと繋がっている。

このように、第１のベース部内吸引路８１ａと固定アーム内吸引路８１ｂはベース部４１に設けられた一方の開口４１ａを通じて取り付け部２５に形成された一方の吸引ポート３２ｂに繋がる内部吸引路（第１の内部吸引路８１と称する）を形成しており、第２のベース部内吸引路８２ａと各自在アーム４３の自在アーム内吸引路８２ｂはベース部４１に設けられた他方の開口４１ａを通じて取り付け部２５に形成された他方の吸引ポート３２ｂに繋がる内部吸引路（第２の内部吸引路８２と称する）を形成している。

すなわち本実施の形態において、ベース部４１は、取り付け部２５に形成された吸引ポート３２ｂに接続される開口４１ａを有し、ベース部４１と自在アーム４３に、開口４１ａから吸着部（固定吸着部５４及び可動吸着部６５）と連通する内部吸引路（第１の内部吸引路８１及び第２の内部吸引路８２）が設けられたものとなっている。

図６において、各自在アーム４３内の自在アーム内吸引路８２ｂは第１軸部材６３内に設けられた第１軸部材内連通路８３及び第２軸部材６４内に設けられた第２軸部材内連通路８４を含んでいる（図７（ａ）及び図８も参照）。第１軸部材内連通路８３は、図７（ａ）に示すように、第１軸部材６３内を軸方向に延びた軸方向通路８３ａ、軸方向通路８３ａの下端と連通して軸方向と直交する方向に第１軸部材６３を貫通して延びた下部貫通路８３ｂ、軸方向通路８３ａの上端と連通して軸方向と直交する方向に第１軸部材６３を貫通して延びた上部貫通路８３ｃ及び上部貫通路８３ｃの両端開口と連通して第１軸部材６３の外表面に周回して形成された溝８３ｄから成る。軸方向通路８３ａは第１軸部材６３がベース部４１に対する所定の回転位置に位置されることによって下部貫通路８３ｂを介してベース部４１のアーム連結部５２内を延びた第２のベース部内吸引路８２ａと連通する一方、上部貫通路８３ｃ及び溝８３ｄを通じて第１リンク６１内を延びた自在アーム内吸引路８２ｂと連通している（図７（ａ）及び図７（ｂ））。

第２軸部材内連通路８４は、図８に示すように、第２軸部材６４内を軸方向に延びた軸方向通路８４ａ、軸方向通路８４ａの上端と連通して軸方向と直交する方向に第２軸部材６４を貫通して延びた上部貫通路８４ｂ、上部貫通路８４ｂの両端開口と連通して第２軸部材６４の外表面に周回して形成された上部溝８４ｃ、軸方向通路８４ａの下端と連通して軸方向と直交する方向に第２軸部材６４を貫通して延びた下部貫通路８４ｄ及び下部貫通路８４ｄの両端開口と連通して第２軸部材６４の外表面に周回して形成された下部溝８４ｅから成る。軸方向通路８４ａは上部貫通路８４ｂ及び上部溝８４ｃを通じて第１リンク６１内を延びた自在アーム内吸引路８２ｂと連通する一方、下部貫通路８４ｄ及び下部溝８４ｅを通じて第２リンク６２内を延びた自在アーム内吸引路８２ｂと連通している。

このように、ベース部４１内に形成された第２のベース部内吸引路８２ａと第１リンク６１内の自在アーム内吸引路８２ｂは第１軸部材内連通路８３によって接続され、第１リンク６１内の自在アーム内吸引路８２ｂと第２リンク６２内の自在アーム内吸引路８２ｂは第２軸部材内連通路８４によって接続されるが、図７（ｃ）に示すように、ベース部４１に対する第１軸部材６３の回転位置によっては、第２のベース部内吸引路８２ａと下部貫通路８３ｂとが連通せず、したがって第２のベース部内吸引路８２ａと自在アーム内吸引路８２ｂとは接続しない。このため、第１軸部材６３をベース部４１（詳細にはアーム連結部５２）に対して所定の回転位置に位置させることによって、第２の内部吸引路８２を遮断することが可能である。

作業者は、前述のようにしてベース部４１に第１リンク６１を固定し、第１リンク６１に第２リンク６２を固定することで、各自在アーム４３の端部に設けられた可動吸着部６５を一定の領域内で移動させて２つの可動吸着部６５を所望の配置にすることができる。圧着ツール２３の吸着開口２３ｄはフィルム状基板３の上面のうち外部接続用端子群３ａの直上の縁部分を吸着することになるので、固定吸着部５４と可動吸着部６５は、圧着ツール２３の吸着開口２３ｄが外部接続用端子群３ａの直上の縁部分を吸着し、それ以外の部分（縁部分から延びる部分）を吸着したときにバランスよくフィルム状基板３を吸着保持できるような配置に設定される。

ここで、可動吸着部６５によるフィルム状基板３の吸着を望まない自在アーム４３については、前述のように、第１軸部材６３をベース部４１に対して所定の回転位置に位置させることによって、第２の内部吸引路８２を遮断するようにする。また、固定吸着部５４からの吸着を望まない場合には、前述の空圧制御部７２から第１のベース部内吸引路８１ａを遮断するようにする。図９（ａ）及び図９（ｂ）は、固定吸着部５４と２つの可動吸着部６５によってフィルム状基板３を吸着保持する場合の例を示しており、図９（ｃ）は、固定吸着部５４による吸着を行わずに２つの可動吸着部６５によってフィルム状基板３を吸着保持する場合の例を示している。また、図９（ｄ）は、固定吸着部５４と一方の可動吸着部６５によってフィルム状基板３を吸着保持する場合の例を示している。このように本実施の形態におけるフィルム状基板保持ユニット２６では、可動吸着部６５を任意の位置に移動させてフィルム状基板３の形状に応じた配置とすることができる。

作業者は、上記のようにして２つの可動吸着部６５をフィルム状基板３の形状に応じた配置としたら、フィルム状基板保持ユニット２６を取り付け部２５に取り付ける。フィルム状基板保持ユニット２６を取り付け部２５に取り付けるときには、作業者は、前述のように、ベース部４１の当接部５１の左右両端部に設けられた一対の切欠き部５５を取り付け部２５の垂直部３２の背面３２Ｒから後方に延びて設けられた一対の位置合わせピン３３を挿通させることによってフィルム状基板保持ユニット２６の取り付け部２５に対する位置決めを行うことができる。このとき一対の位置合わせピン３３は、取り付け部２５にフィルム状基板保持ユニット２６のベース部４１が取り付けられる際にベース部４１を取り付け部２５の側に案内するガイド部として機能するので、作業者はフィルム状基板保持ユニット２６の取り付け部２５への取り付けを大変容易に行うことができる。また、作業者は手探りでフィルム状基板保持ユニット２６を取り付け部２５に取り付けることもできるので、圧着ヘッド１３の背面側に回り込むことなく、圧着ヘッド１３の正面側から、フィルム状基板保持ユニット２６の取り付け部２５への取り付けを行うことが可能である。

このように本実施の形態において、フィルム状基板保持ユニット２６は、フィルム状基板３の形状に応じた位置に配置された複数の吸着部（固定吸着部５４及び可動吸着部６５）を備え、圧着ヘッド１３に着脱自在に取り付けられる構成となっている。圧着ヘッド１３には取り付け部２５が設けられており、フィルム状基板保持ユニット２６は、取り付け部２５に着脱自在に取り付けられるベース部４１及びベース部４１に設けられて先端に可動吸着部６５を有した複数（ここでは２つ）の自在アーム４３を備えたものとなっている。そして、取り付け部２５は、ベース部４１が取り付けられる際にベース部４１を案内するガイド部としての一対の位置合わせピン３３を備えたものとなっている。

基板保持ステージ１１に保持された基板２に中継ステージ１２上のフィルム状基板３を圧着する場合には、圧着ヘッド１３は、中継ステージ１２の上方へ移動して圧着ツール２３の吸着開口２３ｄ及びフィルム状基板保持ユニット２６の吸着部（固定吸着部５４及び可動吸着部６５）をフィルム状基板３の目標吸着位置に位置決めする（図１０（ａ））。そしてフィルム状基板保持ユニット２６は取り付け部昇降シリンダ２４の作動により下降して（図１０（ｂ））、固定吸着部５４及び可動吸着部６５によりフィルム状基板３を吸着する（図１０（ｂ））。

フィルム状基板保持ユニット２６はフィルム状基板３を吸着したら、取り付け部昇降シリンダ２４の作動によって上昇し、ツール本体２３ｂの下端にフィルム状基板３を接触させる。圧着ツール２３は吸着開口２３ｄにおいてフィルム状基板３の上面の外部接続用端子群３ａの直上の縁部分を吸着する。これによりフィルム状基板３はフィルム状基板保持ユニット２６及び圧着ツール２３によって吸着保持される。次に、圧着ヘッド１３は移動して、吸着したフィルム状基板３の下面の外部接続用端子群３ａをカメラ１５の上方に位置させる。次にカメラ１５は外部接続用端子群３ａの撮像を行う（図１１（ａ））。そして、図示しない認識装置はカメラ１５の撮像によって得られた画像データの画像認識を行って外部接続用端子群３ａの位置を認識する。圧着ヘッド１３は認識装置による認識結果に基づいて移動し、フィルム状基板３の外部接続用端子群３ａを基板２のフィルム状基板被圧着部２ａの上方に位置させる。そして、圧着ツール２３は下降して（図１１（ｂ））、フィルム状基板３の外部接続用端子群３ａを基板２のフィルム状基板被圧着部２ａに押し付ける。これによりフィルム状基板３が基板２に圧着される（図１１（ｂ））。

このように本実施の形態におけるボンディング装置１は、圧着ツール２３を備えた圧着ヘッド１３と、圧着ヘッド１３に着脱自在であって基板２に圧着する対象のフィルム状基板３（圧着対象のフィルム状基板３）を吸引保持する吸着部（固定吸着部５４及び可動吸着部６５）を備えたフィルム状基板保持ユニット２６を備えている。このため、圧着対象のフィルム状基板３の形状が変わった場合には、圧着ヘッド１３に変更後のフィルム状基板３の形状に対応したフィルム状基板保持ユニット２６を取り付けるだけで簡単かつ迅速に対応することができる。

上述のフィルム状基板保持ユニット２６は自在アーム４３によってその可動吸着部６５の位置をフィルム状基板３の形状に対応した位置に調整できるものであるが、フィルム状基板３の形状に対応した位置に可動吸着部６５が位置するように作成された固定アーム４２しか持たないフィルム状基板保持ユニット２６を使用することもできる。

次に、図１２〜図１４を用いてフィルム状基板保持ユニット２６の調整用治具（以下、調整用治具１００と称する）について説明する。調整用治具１００は、フィルム状基板保持ユニット２６の可動側の吸着部である可動吸着部６５の位置調整に用いるものである。調整用治具１００は、矩形形状の基部１０１、基部１０１に設けられた支持部材１０２、支持部材１０２に設けられたユニット装着部１０３、基部１０１に取り付けられた平板状の基板セット部１０４、基板セット部１０４上に設けられた基準部材としてのスケール部材１０５及び基部１０１に設けられた２つの制限部材１０６を備えている。

支持部材１０２は基部１０１のｙ軸方向後方の中央端部から上方に延びた柱部１０２ａ及び柱部１０２ａの上端からｙ軸方向前方に延びた水平部１０２ｂを有している。ユニット装着部１０３はｘｚ平面内に広がった矩形平板上の部材から成り、支持部材１０２の水平部１０２ｂの前端に固定されている。基板セット部１０４は矩形平板状の部材で構成されており、基部１０１に対してｙ軸方向へスライドさせることによって基部１０１の上面に着脱自在に取り付けることができる。ユニット装着部１０３には、ボンディング装置１の圧着ヘッド１３の垂直部３２と同様に一対の位置合わせピン１３３や一対のねじ孔１３２ａが設けられており、作業者は、フィルム状基板保持ユニット２６を圧着ヘッド１３に取り付ける要領で、ユニット装着部１０３に装着することができる（図１３）。このようにユニット装着部１０３はフィルム状基板保持ユニット２６を装着する部材であり、基部１０１はそのようなユニット装着部１０３を基部１０１に固定する部材となっている。

基板セット部１０４にはスケール部材１０５が固定されている。スケール部材１０５の向きは、基板セット部１０４が基部１０１に取り付けられた際にスケール部材１０５のエッジ１０５ａがｘ軸と平行になるように調整されている（図１３及び図１１）。

図１２及び図１３に示すように、基板セット部１０４の中央部にはｙ軸方向に延びた基準線１０４ａが描かれている。スケール部材１０５の上面には目盛が刻まれており、スケール部材１０５はそのセンターが基準線１０４ａと一致するように基板セット部１０４に設けられている。

ここで、スケール部材１０５のエッジ１０５ａと目盛は基板セット部１０４にセットされるフィルム状基板３の位置合わせ基準となっている。この位置合わせ基準は、ボンディング装置１におけるフィルム状基板保持ユニット２６と圧着ツール２３との相対的な位置関係を示している。すなわち、スケール部材１０５のエッジ１０５ａと目盛は、ユニット装着部１０３に装着されたフィルム状基板保持ユニット２６からみた圧着ツール２３の位置を示す基準部となっている。従って、スケール部材１０５のエッジ１０５ａと目盛に合わせてフィルム状基板３を基板セット部１０４にセットすれば、ユニット装着部１０３に装着されたフィルム状基板保持ユニット２６とフィルム状基板３の相対的な位置関係をボンディング装置１における実際の相対的な位置関係で再現される。

このように本実施の形態における調整用治具１００では、基板セット部１０４に設けられたスケール部材１０５のエッジ１０５ａと目盛が、ユニット装着部１０３に装着されたフィルム状基板保持ユニット２６からみて圧着ツール２３の位置を示す基準部となっている。なお、基準部としては、スケール部材１０５に代えて、基板セット部１０４に設けた線（凹凸形状によって設けた線も含む）で代用してもよい。

２つの制限部材１０６は、フィルム状基板保持ユニット２６をユニット装着部１０３に取り付けた状態で、フィルム状基板保持ユニット２６を実際にボンディング装置１に取り付けた場合に左右の自在アーム４３がボンディング装置１側の部材と干渉するおそれがある場合に、その左右の自在アーム４３の移動範囲を制限する制限部として設けられている。

作業者が調整用治具１００を用いてフィルム状基板保持ユニット２６の可動吸着部６５の位置調整をする場合には、先ず、基部１０１から基板セット部１０４を取り外した状態で、基板セット部１０４に圧着対象のフィルム状基板３をセットする。より詳細に説明すれば、作業者は、外部接続用端子群３ａが形成されている被圧着部３ｂの先端をスケール部材１０５のエッジ１０５ａに当接させてｙ軸方向の位置を合わせ、目盛を見ながら被圧着部３ｂのｙ軸方の位置を合わせてフィルム状基板３を基板セット部１０４にセットする（図１３の矢印Ａ）。そして、フィルム状基板３がセットされた基板セット部１０４を基部１０１に装着する（図１３に示す矢印Ｂ）。次いで、作業者は、フィルム状基板保持ユニット２６をユニット装着部１０３に装着し、上面にフィルム状基板３をセットした基板セット部１０４を基部１０１に取り付ける。これにより前準備が終了する。なお、フィルム状基板保持ユニット２６をユニット装着部１０３に装着した後、フィルム状基板３をセットした基板セット部１０４を基部１０１に取り付けるようにしてもよい。

ここで、基板セット部１０４を基部１０１に固定した（或いは基板セット部１０４と基部１０１を一体にした）構成も考えられるが、この場合には基板セット部１０４の上方に支持部材１０２が（更にはフィルム状基板保持ユニット２６が）位置していて作業がしにくい。よって、作業を容易にするうえでは、本実施の形態のように、基板セット部１０４が基部１０１に対して着脱自在に装着されるようになっていることが好ましい。更には、本実施の形態に示すように、基板セット部１０４が基部１０１に対してスライドにより装着できるようになっているのであれば、ユニット装着部１０３にフィルム状基板保持ユニット２６が装着された状態でも基板セット部１０４を容易に基部１０１に取り付けることができる。なお、基板セット部１０４が基部１０１に対してスライド自在になっている場合であっても、基板セット部１０４が基部１０１に対して着脱自在でなければならないわけではなく、基板セット部１０４が基部１０１に対してスライド自在に装着されるようになっているだけでも上述の効果が十分に得られる。

作業者は、上記のようにして前準備が終了したら、左右の自在アーム４３を動かして基板セット部１０４にセットしたフィルム状基板３に対する可動吸着部６５の位置調整を行う（図９）。そして、その位置調整が終わったフィルム状基板保持ユニット２６は、調整用治具１００のユニット装着部１０３から取り外され、ボンディング装置１の垂直部３２に装着される。

ここで、上記可動吸着部６５の位置調整作業では、左右の自在アーム４３の移動範囲は制限部材１０６によって制限される（図１４）。このため、その後、可動吸着部６５の位置調整が終了したフィルム状基板保持ユニット２６をボンディング装置１に取り付けた場合に、左右の自在アーム４３がボンディング装置１側の部材と干渉することはない。

以上説明したように、本実施の形態におけるフィルム状基板保持ユニット２６の調整用治具１００では、ボンディング装置１におけるフィルム状基板保持ユニット２６とフィルム状基板３との相対位置関係を再現できるので、作業者は、フィルム状基板３の形状に合わせて可動吸着部６５の位置調整を行うことができる。

また、調整用治具１００には制限部としての制限部材１０６が設けられており、ボンディング装置１に装着したフィルム状基板保持ユニット２６の可動部（左右の自在アーム４３）がボンディング装置１側の部材と干渉しない範囲が予め調整用治具１００上に規定されるので、可動吸着部６５の位置調整をより正確に行うことができる。

なお、上述の実施の形態では、基板セット部１０４には圧着対象のフィルム状基板３がセットされるようになっていたが、フィルム状基板３の代わりにこのフィルム状基板３を模した模擬基板をセットするようにしてもよい。また、上述の実施の形態では、フィルム状基板保持ユニット２６の位置調整の対象となる吸着部（可動吸着部６５）は複数あったが、位置調整の対象となる吸着部が一つであるフィルム状基板保持ユニットについても本発明を適用することが可能である。

フィルム状基板の形状に合わせた各吸着部の位置調整を容易に行うことができるフィルム状基板保持ユニットの調整用治具を提供する。

３フィルム状基板
１３圧着ヘッド
２３圧着ツール
２６フィルム状基板保持ユニット
６５可動吸着部（吸着部）
１００調整用治具
１０１基部
１０３ユニット装着部
１０４基板セット部
１０５スケール部材（基準部材）
１０６制限部材（制限部）

Claims

圧着ツールを備えた圧着ヘッドに着脱自在であって圧着対象のフィルム状基板を吸引保持する吸着部を備えたフィルム状基板保持ユニットについて、前記吸着部の位置を調整するために使用するフィルム状基板保持ユニットの調整用治具であって、
前記フィルム状基板保持ユニットを装着するユニット装着部と、
前記ユニット装着部に装着された前記フィルム状基板保持ユニットからみて前記圧着ツールの位置を示す基準部と、
前記基準部に基づく所定の位置にフィルム状基板若しくは前記フィルム状基板を模した模擬基板をセット可能な基板セット部とを備えたことを特徴とするフィルム状基板保持ユニットの調整用治具。
前記ユニット装着部に装着された前記フィルム状基板保持ユニットの前記吸着部の移動範囲を制限する制限部を備えたことを特徴とする請求項１に記載フィルム状基板保持ユニットの調整用治具。
前記基準部は前記基板セット部に形成された線又は前記基板セット部に設けられた基準部材から成ることを特徴とする請求項１又は２に記載のフィルム状基板保持ユニットの調整用治具。
前記ユニット装着部を固定する基部を備え、前記基板セット部は前記基部に対して着脱自在に装着されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のフィルム状基板保持ユニットの調整用治具。
前記ユニット装着部を固定する基部を備え、前記基板セット部は前記基部に対してスライド自在に装着されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のフィルム状基板保持ユニットの調整用治具。