JP6554389B2 - 対基板作業システム - Google Patents

Description

本発明は、基板に電子部品を装着する対基板作業システムに関するものである。

基板に電子部品が装着される際に、電子部品の少なくとも一部の姿勢が矯正される。そして、電子部品の少なくとも一部が矯正されることで、電子部品が基板に適切に装着される。例えば、下記特許文献には、リード部品を基板に適切に装着するべく、基板の貫通穴に、リード部品のリードを適切に挿入するための技術が記載されている。

特開平７−１５１８８号公報 特開平６−５３６９７号公報

上記特許文献に記載の技術によれば、ある程度、適切に電子部品を基板に装着することが可能となる。しかしながら、上記特許文献には、電子部品を装着する際に撮像手段及び、その撮像データを用いる旨の記載はあるものの、それらの手法の信頼性に関する詳細な記載もなく、更に適切に電子部品を基板に装着することが望まれている。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、適切に電子部品を基板に装着することである。

上記課題を解決するために、本発明に記載の対基板作業システムは、（Ａ）電子部品を保持する保持具と、（Ｂ）上下方向に貫通する矯正具貫通穴が形成され、前記保持具の下方に配設された部品姿勢矯正具と、（Ｃ）前記保持具に保持された電子部品を前記矯正具貫通穴に向かって下降させる下降装置とを有する作業ヘッドと、前記作業ヘッドを任意の位置に移動させる移動装置と、前記移動装置の作動を制御する制御装置と、前記矯正具貫通穴が開口する前記部品矯正具の下端面を撮像する撮像装置とを備え、前記制御装置が、前記撮像装置の撮像により得られた撮像データに基づいて、前記矯正具貫通穴の開口位置を取得し、その前記矯正具貫通穴の開口位置と、電子部品の基板への装着位置とが重なるように、前記移動装置の作動を制御することを特徴とする。

本発明に記載の対基板作業システムでは、電子部品を保持する保持具の下方に、部品姿勢矯正具が配設されており、その部品姿勢矯正具には、上下方向に貫通する矯正具貫通穴が形成されている。また、部品姿勢矯正具の下面が撮像装置により撮像され、その撮像データに基づいて、矯正具貫通穴の開口位置が演算される。そして、矯正具貫通穴の開口位置と、電子部品の基板への装着位置とが重なるように、移動装置の作動が制御される。これにより、保持具により保持された電子部品の少なくとも一部を、矯正具貫通穴を介して、下降させることで、電子部品を基板の装着位置に適切に装着することが可能となる。

部品実装機を示す斜視図である 部品装着装置を示す斜視図である。 部品保持具を示す側面図である。 部品保持具を示す正面図である。 部品保持具の先端部を示す拡大図である。 １対のアームを上方からの視点において示す拡大図である。 リード部品を保持した状態の部品保持具を示す側面図である。 １対のアームを上方からの視点において示す拡大図である。 図６のＡＡ線における断面図である。 カットアンドクリンチ装置を示す斜視図である。 カットアンドクリンチユニットを示す斜視図である。 スライド体を示す断面図である。 スライド体を示す拡大図である。 制御装置を示すブロック図である。 基板の貫通穴にリード部品のリード線が挿入される際の概略図である。 回路基材にアームが重ねられた状態を示す概略図である。 基板の貫通穴にリード部品のリード線が挿入される際の概略図である。 基板の貫通穴にリード部品のリード線が挿入される際の概略図である。 リード部品のリード線が切断される直前のカットアンドクリンチユニットを示す断面図である。 リード部品のリードが切断された後のカットアンドクリンチユニットを示す断面図である。 第２実施例の作業ヘッドを示す側面図である。 矯正本体部を上方からの視点において示す拡大図である。 図２２のＢＢ線における断面図である。 吸着ノズルに保持された電子部品が回路基材に装着される際の概略図である。 吸着ノズルに保持された電子部品が回路基材に装着される際の概略図である。

以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。

［第１実施例］
＜部品実装機の構成＞
図１に、部品実装機１０を示す。部品実装機１０は、回路基材１２に対する部品の実装作業を実行するための装置である。部品実装機１０は、装置本体２０、基材搬送保持装置２１、部品供給装置２２、ばら部品供給装置２３、部品装着装置２４、マークカメラ２６、パーツカメラ２８、カットアンドクリンチ装置（図１０参照）３４、制御装置（図１４参照）３６を備えている。なお、回路基材１２として、回路基板、三次元構造の基材等が挙げられ、回路基板として、プリント配線板、プリント回路板等が挙げられる。

装置本体２０は、フレーム部４０と、そのフレーム部４０に上架されたビーム部４２とによって構成されている。基材搬送保持装置２１は、フレーム部４０の前後方向の中央に配設されており、搬送装置５０とクランプ装置５２とを有している。搬送装置５０は、回路基材１２を搬送する装置であり、クランプ装置５２は、回路基材１２を保持する装置である。これにより、基材搬送保持装置２１は、回路基材１２を搬送するとともに、所定の位置において、回路基材１２を固定的に保持する。なお、以下の説明において、回路基材１２の搬送方向をＸ方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ方向と称し、鉛直方向をＺ方向と称する。つまり、部品実装機１０の幅方向は、Ｘ方向であり、前後方向は、Ｙ方向である。

部品供給装置２２は、フレーム部４０の前後方向での一方側の端部に配設されている。部品供給装置２２は、トレイ型部品供給装置５６とフィーダ型部品供給装置（図１４参照）５８とを有している。トレイ型部品供給装置５６は、トレイ上に載置された状態の部品を供給する装置である。フィーダ型部品供給装置５８は、テープフィーダ、スティックフィーダ（図示省略）によって部品を供給する装置である。

ばら部品供給装置２３は、フレーム部４０の前後方向での他方側の端部に配設されている。ばら部品供給装置２３は、ばらばらに散在された状態の複数の部品を整列させて、整列させた状態で部品を供給する装置である。つまり、任意の姿勢の複数の部品を、所定の姿勢に整列させて、所定の姿勢の部品を供給する装置である。

なお、部品供給装置２２および、ばら部品供給装置２３によって供給される部品として、電子回路部品，太陽電池の構成部品，パワーモジュールの構成部品等が挙げられる。また、電子回路部品には、リードを有する部品，リードを有さない部品等が有る。

部品装着装置２４は、ビーム部４２に配設されており、２台の作業ヘッド６０，６２と作業ヘッド移動装置６４とを有している。作業ヘッド移動装置６４は、Ｘ方向移動装置６８とＹ方向移動装置７０とＺ方向移動装置７２とを有している。そして、Ｘ方向移動装置６８とＹ方向移動装置７０とによって、２台の作業ヘッド６０，６２は、一体的にフレーム部４０上の任意の位置に移動させられる。また、各作業ヘッド６０，６２は、スライダ７４，７６に着脱可能に装着されており、Ｚ方向移動装置７２は、スライダ７４，７６を個別に上下方向に移動させる。つまり、作業ヘッド６０，６２は、Ｚ方向移動装置７２によって、個別に上下方向に移動させられる。

また、各作業ヘッド６０，６２の下端面には、図２に示すように、部品保持具７８が取り付けられている。部品保持具７８は、リード部品のリード線を保持するものであり、図３乃至図６に示すように、本体部８０と１対の爪部８１と補助プレート８２と第１開閉装置（図１４参照）８３とプッシャ８４と昇降装置（図１４参照）８５とリード線矯正具８６と第２開閉装置（図１４参照）８７とを含む。ちなみに、図３は、部品保持具７８の側面図である。図４は、部品保持具７８の正面図である。図５は、１対の爪部８１及び、補助プレート８２を上方からの視点において示す拡大図である。図６は、リード線矯正具８６を上方からの視点において示す拡大図である。

１対の爪部８１は、本体部８０によって搖動可能に保持されており、第１開閉装置８３の作動により、１対の爪部８１が搖動しながら、互いの先端部が接近・離間する。１対の爪部８１の内側には、保持対象のリード部品８８のリード線８９の線径の応じた大きさの凹部９０が形成されている。また、補助プレート８２は、１対の爪部８１の間に位置しており、１対の爪部８１と共に搖動する。この際、補助プレート８２は、リード部品８８の１対のリード線８９の間に侵入する。そして、１対の爪部８１が補助プレート８２に接近することで、リード部品８８の１対のリード線８９の各々が、爪部８１の凹部９０と補助プレート８２とによって、両側面から挟持される。これにより、リード部品８８は、図７に示すように、リード線８９の基端部、つまり、リード部品８８の部品本体９１に近い側の端部において、１対の爪部８１により保持される。この際、リード線８９は、爪部８１の凹部９０と補助プレート８２とによって挟持されることで、ある程度の曲がり，撓み等が矯正される。また、プッシャ８４は、本体部８０により上下方向に移動可能に保持されており、昇降装置８５の作動により、昇降する。なお、プッシャ８４は、下降した際に、１対の爪部８１により保持されたリード部品８８の部品本体９１に接触し、リード部品８８を下方に向かって押つける。この際、１対の爪部８１によるリード線８９の挟持力は、リード部品８８がプッシャ８４により押し付けられた際にリード線８９が１対の爪部８１に挟持された状態で滑る程度に低減される。具体的には、例えば、第１開閉装置８３がエア圧により作動する場合には、プッシャ作動時にエア圧が調整され、第１開閉装置８３が電磁モータにより作動する場合には、プッシャ作動時に供給電力が調整される。

リード線矯正具８６は、ブラケット９２と１対のアーム９３によって構成されている。ブラケット９２は、概して矩形の平板状をなし、上下方向に延びるように、上端部において、本体部８０の側面に固定されている。そのブラケット９２の下端部は、爪部８１及び補助プレート８２の下端部より下方に延び出している。また、１対のアーム９３は、板厚の板状をなし、互いの側面が密着する状態でブラケット９２の下端部に取り付けられている。１対のアーム９３は、爪部８１及び補助プレート８２の下方に延び出すように、ブラケット９２と概して直角となる姿勢で、ブラケット９２の下端部において搖動可能に保持されている。そして、１対のアーム９３は、第２開閉装置８７の作動により同期して揺動する。つまり、１対のアーム９３は、第２開閉装置８７の作動により、互いに接近、若しくは、離間する方向に揺動する。これにより、１対のアーム９３は、図６に示すように、互いの側面を密着させた状態である密着状態と、図８に示すように、互いの側面を離間させた状態である離間状態との間で搖動する。

また、１対のアーム９３の各々には、密着状態において互いに密着する側面に、図９に示すように、上下方向に貫通する１対の貫通溝９４が形成されている。各貫通溝９４は、概して半円状の溝であり、アーム９３の上端面の開口から連続する第１溝部９５と、その第１溝部９５からアーム９３の下端面の開口に連続する第２溝部９６とに区分けされる。第１溝部９５は、上方に向かうほど内径が大きくなるテーパ状とされ、第２溝部９６は、内径の変化しない形状とされている。

そして、１対のアーム９３が搖動し、密着状態とされることで、図６に示すように、１対のアーム９３の一方の貫通溝９４と他方の貫通溝９４とによって、１対のアームを上下方向に貫通する貫通穴９７が区画される。つまり、１対のアーム９３が密着状態とされることで、１対のアームを上下方向に貫通する１対の貫通穴９７が形成される。なお、各貫通穴９７は、１対のアーム９３の一方の第１溝部９５と他方の第１溝部９５とによって区画される第１貫通穴部９８と、１対のアーム９３の一方の第２溝部９６と他方の第２溝部９６とによって区画される第２貫通穴部９９とに区分けされ、第１貫通穴部９８は、テーパ形状とされ、第２貫通穴部９９は、内径の変化しない直穴形状とされる。

なお、各貫通穴９７の第２貫通穴部９９の内径は、爪部８１及び補助プレート８２によって保持されるリード部品８８のリード線８９の外形より僅かに大きな寸法とされている。また、１対の貫通穴９７のピッチは、爪部８１及び補助プレート８２によって保持されるリード部品８８の１対のリード線８９のピッチと同じとされている。具体的には、１対の貫通穴９７の一方の中心と他方の中心との間の距離は、１対のリード線８９の一方の中心と他方の中心との間の距離と同じとされている。

また、貫通穴９７は、部品保持具７８に保持されるリード部品８８のリード径，リードピッチ等に応じた形状とされているため、保持対象のリード部品の種類が変更された場合は、リード線矯正具８６も変更される。つまり、リード線矯正具８６は、部品保持具７８に着脱可能とされており、リード部品８８の種類に応じて、複数種類のリード線矯正具８６が用意されている。そして、保持対象のリード部品の種類に応じた形状のリード線矯正具８６が部品保持具７８に取り付けられる。

また、１対のアーム９３の密着状態時に形成される１対の貫通穴９７と、リード部品８８を保持した状態の１対の爪部８１の凹部９０とは、上下方向において一致している。つまり、１対の貫通穴９７と１対の爪部８１の凹部９０とは、ＸＹ方向での座標が一致しており、１対の貫通穴９７は、１対の爪部８１及び補助プレート８２に保持されたリード部品８８の１対のリード線８９の下方に位置する。このため、爪部８１及び補助プレート８２に保持されたリード部品８８が、プッシャ８４によって下方に向かって押し付けられることで、１対のリード線８９は、１対の貫通穴９７に向かって下降する。

また、マークカメラ２６は、図２に示すように、下方を向いた状態でスライダ７４に取り付けられており、作業ヘッド６０とともに、Ｘ方向，Ｙ方向およびＺ方向に移動させられる。これにより、マークカメラ２６は、フレーム部４０上の任意の位置を撮像する。パーツカメラ２８は、図１に示すように、フレーム部４０上の基材搬送保持装置２１と部品供給装置２２との間に、上を向いた状態で配設されている。これにより、パーツカメラ２８は、作業ヘッド６０，６２の部品保持具７８に保持された部品を撮像する。

カットアンドクリンチ装置３４は、搬送装置５０の下方に配設されており、図１０に示すように、カットアンドクリンチユニット１００とユニット移動装置１０２とを有している。カットアンドクリンチユニット１００は、図１１に示すように、ユニット本体１１０と、１対のスライド体１１２と、ピッチ変更機構１１４とを含む。ユニット本体１１０の上端には、スライドレール１１６が、Ｘ方向に延びるように配設されている。そして、そのスライドレール１１６によって、１対のスライド体１１２が、スライド可能に支持されている。これにより、１対のスライド体１１２が、Ｘ方向において接近・離間する。また、ピッチ変更機構１１４は、電磁モータ１１８を有しており、電磁モータ１１８の作動により、１対のスライド体１１２の間の距離を制御可能に変更する。

また、１対のスライド体１１２の各々は、図１２に示すように、固定部１２０と可動部１２２とスライド装置１２４とを含み、固定部１２０において、スライドレール１１６にスライド可能に保持されている。その固定部１２０の背面側には、Ｘ方向に延びるように、２本のスライドレール１２６が固定されており、それら２本のスライドレール１２６によって、可動部１２２がスライド可能に保持されている。これにより、可動部１２２は、固定部１２０に対してＸ方向にスライドする。また、スライド装置１２４は、電磁モータ（図１４参照）１２８を有しており、電磁モータ１２８の作動により、可動部１２２が制御可能にスライドする。

また、固定部１２０の上端部は、先細形状とされており、その上端部を上下方向に貫通するように、第１挿入穴１３０が形成されている。第１挿入穴１３０は、上端において、固定部１２０の上端面に開口しており、その上端面への開口縁は、固定刃（図１５参照）１３１とされている。また、第１挿入穴１３０は、下端において、固定部１２０の側面に開口しており、その側面への開口の下方に、廃棄ボックス１３２が配設されている。

また、図１３に示すように、可動部１２２の上端部も、先細形状とされており、その上端部には、Ｌ字型に屈曲された屈曲部１３３が形成されている。屈曲部１３３は、固定部１２０の上端面の上方に延び出しており、屈曲部１３３と固定部１２０の上端とは、僅かなクリアランスを介して対向している。また、固定部１２０の上端面に開口する第１挿入穴１３０は、屈曲部１３３によって覆われているが、屈曲部１３３には、第１挿入穴１３０と対向するように、第２挿入穴１３６が形成されている。

第２挿入穴１３６は、屈曲部１３３を上下方向に貫通する貫通穴であり、第２挿入穴１３６の内周面は、下方に向かうほど内径が小さくなるテーパ面とされている。一方、第１挿入穴１３０の固定部１２０の上端面への開口付近の内周面はテーパ面でなく、第１挿入穴１３０の開口付近の内径は概ね均一である。なお、第２挿入穴１３６の屈曲部１３３の下端面への開口縁は、可動刃（図１５参照）１３８とされている。また、屈曲部１３３の上端面には、Ｘ方向、つまり、可動部１２２のスライド方向に延びるように、ガイド溝１４０が形成されている。ガイド溝１４０は、第２挿入穴１３６の開口を跨ぐように形成されており、ガイド溝１４０と第２挿入穴１３６とは繋がっている。そして、ガイド溝１４０は、屈曲部１３３の両側面に開口している。

また、ユニット移動装置１０２は、図１０に示すように、Ｘ方向移動装置１５０とＹ方向移動装置１５２とＺ方向移動装置１５４と自転装置１５６とを有している。Ｘ方向移動装置１５０は、スライドレール１６０とＸスライダ１６２とを含む。スライドレール１６０は、Ｘ方向に延びるように配設されており、Ｘスライダ１６２は、スライドレール１６０にスライド可能に保持されている。そして、Ｘスライダ１６２は、電磁モータ（図１４参照）１６４の駆動により、Ｘ方向に移動する。Ｙ方向移動装置１５２は、スライドレール１６６とＹスライダ１６８とを含む。スライドレール１６６は、Ｙ方向に延びるようにＸスライダ１６２に配設されており、Ｙスライダ１６８は、スライドレール１６６にスライド可能に保持されている。そして、Ｙスライダ１６８は、電磁モータ（図１４参照）１７０の駆動により、Ｙ方向に移動する。Ｚ方向移動装置１５４は、スライドレール１７２とＺスライダ１７４とを含む。スライドレール１７２は、Ｚ方向に延びるようにＹスライダ１６８に配設されており、Ｚスライダ１７４は、スライドレール１７２にスライド可能に保持されている。そして、Ｚスライダ１７４は、電磁モータ（図１４参照）１７６の駆動により、Ｚ方向に移動する。

また、自転装置１５６は、概して円盤状の回転テーブル１７８を有している。回転テーブル１７８は、それの軸心を中心に回転可能にＺスライダ１７４に支持されており、電磁モータ（図１４参照）１８０の駆動により、回転する。そして、回転テーブル１７８の上に、カットアンドクリンチユニット１００が配設されている。このような構造により、カットアンドクリンチユニット１００は、Ｘ方向移動装置１５０、Ｙ方向移動装置１５２、Ｚ方向移動装置１５４によって、任意の位置に移動するとともに、自転装置１５６によって、任意の角度に自転する。これにより、カットアンドクリンチユニット１００を、クランプ装置５２によって保持された回路基材１２の下方において、任意の位置に位置決めすることが可能となる。

制御装置３６は、図１４に示すように、コントローラ１９０、複数の駆動回路１９２、画像処理装置１９６を備えている。複数の駆動回路１９２は、上記搬送装置５０、クランプ装置５２、トレイ型部品供給装置５６、フィーダ型部品供給装置５８、作業ヘッド移動装置６４、第１開閉装置８３、昇降装置８５、第２開閉装置８７、ばら部品供給装置２３、電磁モータ１１８，１２８，１６４，１７０，１７６，１８０に接続されている。コントローラ１９０は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路１９２に接続されている。これにより、基材搬送保持装置２１、部品装着装置２４等の作動が、コントローラ１９０によって制御される。また、コントローラ１９０は、画像処理装置１９６にも接続されている。画像処理装置１９６は、マークカメラ２６およびパーツカメラ２８によって得られた画像データを処理するものであり、コントローラ１９０は、画像データから各種情報を取得する。

＜部品実装機の作動＞
部品実装機１０では、上述した構成によって、クランプ装置５２に保持された回路基材１２に対して部品の装着作業が行われる。部品実装機１０では、種々の部品を回路基材１２に装着することが可能であるが、リード部品８８を回路基材１２に装着する場合について、以下に説明する。

具体的には、回路基材１２が、作業位置まで搬送され、その位置において、クランプ装置５２によって固定的に保持される。そして、回路基材１２の下方に、カットアンドクリンチユニット１００が移動される。なお、カットアンドクリンチユニット１００は、可動部１２２の第２挿入穴１３６のＸＹ方向での座標と、回路基材１２の貫通穴２０８（図１５参照）のＸＹ方向での座標とが一致するとともに、可動部１２２の上面と回路基材１２の下面とが接触ないし、可動部１２２の上面が回路基材１２の下面より僅か下方に位置するように、移動される。

具体的には、カットアンドクリンチユニット１００において、１対のスライド体１１２の可動部１２２の第２挿入穴１３６の間の距離が、回路基材１２に形成された２つの貫通穴２０８の間の距離と同じとなるように、１対のスライド体１１２の間の距離が、ピッチ変更機構１１４によって調整される。そして、ユニット移動装置１０２の作動により、カットアンドクリンチユニット１００がＸＹＺ方向へ移動および、自転される。これにより、可動部１２２の第２挿入穴１３６のＸＹ方向での座標と、回路基材１２の貫通穴２０８のＸＹ方向での座標とが一致するとともに、可動部１２２の上面と回路基材１２の下面とが接触ないし、可動部１２２の上面が回路基材１２の下面より僅か下方に位置する。

また、回路基材１２がクランプ装置５２により固定的に保持されると、マークカメラ２６が、回路基材１２の上方に移動し、回路基材１２を撮像する。そして、コントローラ１９０は、その撮像データに基づいて、回路基材１２の保持位置等に関する情報を演算する。また、部品供給装置２２若しくは、ばら部品供給装置２３が、所定の供給位置において、リード部品８８を供給する。そして、作業ヘッド６０，６２の何れかが、部品の供給位置の上方に移動し、部品保持具７８によってリード部品８８を保持する。

続いて、リード部品８８を保持した作業ヘッド６０，６２が、パーツカメラ２８の上方に移動し、パーツカメラ２８による撮像が行われる。この際、従来の装置では、部品保持具７８により保持されたリード部品８８が撮像され、その撮像データに基づいて、部品保持具７８によるリード部品８８の保持姿勢に関する情報が演算され、その保持姿勢に関する情報を利用して、リード部品８８の回路基材１２への装着作業が行われる。詳しくは、リード部品８８の撮像データに基づいて、リード部品８８の１対のリード線８９の先端位置が演算される。なお、本明細書での「演算」は、コントローラ１９０等のコンピュータによる処理を含む概念であり、各種データに対して処理を施すことで所定の値を取得するための行為である。次に、演算された１対のリード線８９の先端位置と、回路基材１２の２つの貫通穴２０８の位置とが重なるように、Ｘ方向移動装置６８及びＹ方向移動装置７０の作動が制御される。そして、Ｚ方向移動装置７２の作動により、リード部品８８を保持した部品保持具７８が下降される。これにより、リード部品８８のリード線８９が、回路基材１２の貫通穴２０８に挿入される。

ただし、部品保持具７８において、リード線８９が爪部８１の凹部９０と補助プレート８２とによって挟持されることで、リード線８９の曲り，撓み等が矯正されていても、リード線８９の先端部に曲り，撓み等が残存する場合がある。このような場合には、図１５に示すように、リード線８９の先端が回路基材１２の上面等に接触し、リード線８９を貫通穴２０８に挿入できない虞がある。このようなことに鑑みて、部品実装機１０では、部品保持具７８にリード線矯正具８６が設けられており、そのリード線矯正具８６を利用して、リード線８９が貫通穴２０８に挿入される。

詳しくは、作業ヘッド６０，６２がパーツカメラ２８の上方に移動され、リード線矯正具８６の１対のアーム９３の下面が、パーツカメラ２８により撮像される。この際、１対のアーム９３は、密着状態とされている。このため、密着状態の１対のアーム９３には、１対の貫通穴９７が形成されており、それら１対の貫通穴９７のアーム９３の下面側への開口が、パーツカメラ２８により撮像される。そして、それら１対の貫通穴９７の下端部側の開口、つまり、第２貫通穴部９９の下端部側の開口位置が、撮像データに基づいて、コントローラ１９０により演算される。なお、アーム９３の下端面は、研磨面とされている。このため、パーツカメラ２８による撮像時の光がアーム９３の下端面において反射し、貫通穴９７の開口と、アーム９３の下端面との境目が明確となる。これにより、貫通穴９７のアーム９３の下端面への開口位置を適切に演算することが可能となる。

続いて、貫通穴９７の下端部側の開口位置が演算されると、その貫通穴９７の開口位置と、回路基材１２の貫通穴２０８の位置とが、上下方向において重なるように、Ｘ方向移動装置６８及びＹ方向移動装置７０の作動が制御される。そして、Ｚ方向移動装置７２の作動により、部品保持具７８が下降される。これにより、図１６に示すように、リード線矯正具８６の貫通穴９７と、回路基材１２の貫通穴２０８とが、上下方向において一致した状態で連通する。

なお、上述したように、リード線矯正具８６の貫通穴９７では、貫通穴９７の下方に位置する第２貫通穴部９９は、リード線８９のリード径より僅かに大きな内径の直穴であるが、貫通穴９７の上方に位置する第１貫通穴部９８は、上方に向かうほど内径が大きくなるテーパ形状とされている。そして、第１貫通穴部９８の上端部側の開口、つまり、貫通穴９７の上端部側の開口は、回路基材１２の貫通穴２０８の上端部側の開口より大きくされている。

次に、リード線矯正具８６の貫通穴９７と、回路基材１２の貫通穴２０８とが、上下方向において一致した状態で連通すると、１対の爪部８１及び補助プレート８２に保持されたリード部品８８が、プッシャ８４によって下方に向かって押し付けられる。これにより、１対のリード線８９は、リード線矯正具８６の１対の貫通穴９７に向かって下降する。貫通穴９７では、上端部側の開口が回路基材１２の貫通穴２０８の開口より大きくされているため、リード線８９の先端が屈曲している場合であっても、図１７に示すように、リード線８９がリード線矯正具８６の貫通穴９７に適切に挿入される。なお、リード線８９の先端部が貫通穴９７の内部に挿入されたタイミングで、爪部８１及び補助プレート８２によるリード部品８８の保持が解除される。

続いて、リード線８９の先端部がリード線矯正具８６の貫通穴９７に挿入された状態で、リード部品８８が、プッシャ８４によって更に下方に押し付けられると、リード線８９の先端が、貫通穴９７の第１貫通穴部９８の内周面、つまり、テーパ面に接触する。そして、リード線８９の先端は、テーパ面によって、貫通穴９７の第２貫通穴部９９に導かれ、第２貫通穴部９９に挿入される。この際、第２貫通穴部９９の内径は、リード線８９のリード径より僅かに大きい程度であり、略同寸法とされているため、第２貫通穴部９９に挿入されたリード線８９は、第２貫通穴部９９の形状、つまり、直線状に矯正される。

そして、リード部品８８が、プッシャ８４によって更に下方に押し付けられることで、リード線８９の先端部が、リード線矯正具８６の貫通穴９７と連通している回路基材１２の貫通穴２０８に挿入される。続いて、リード部品８８が、プッシャ８４によって更に下方に押し付けられることで、リード線８９の先端部が、図１８に示すように、回路基材１２の貫通穴２０８の下方に位置しているスライド体１１２の第２挿入穴１３６に挿入される。なお、リード線８９の先端部が第２挿入穴１３６に挿入されたタイミングで、１対のアーム９３の密着状態が解除される。つまり、１対のアーム９３が離間する方向に揺動され、離間状態とされる。これにより、リード線８９が第２挿入穴１３６に挿入されるまで、貫通穴９７の第１貫通穴部９８によって直線状に矯正されるため、リード線８９を第２挿入穴１３６に確実に挿入することが可能となる。

次に、リード線８９が第２挿入穴１３６に挿入されると、アーム９３の密着状態の解除によりリード線８９の矯正も解除されるが、第２挿入穴１３６もテーパ状とされているため、リード線８９が第２挿入穴１３６を介して、第１挿入穴１３０に挿入される。つまり、リード部品８８が、プッシャ８４によって更に下方に押し付けられることで、第２挿入穴１３６に挿入されたリード線８９の先端が、第２挿入穴１３６のテーパ面に接触し、そのテーパ面に導かれて、第１挿入穴１３０に挿入される。そして、図１９に示すように、リード線８９の先端部が所定量、第１挿入穴１３０に挿入されると、プッシャ８４によるリード部品８８の押し込みが停止される。次に、リード線８９が所定量、第１挿入穴１３０に挿入されると、１対の可動部１２２がスライド装置１２４の作動によって、接近する方向にスライドする。これにより、リード線８９が、図２０に示すように、第１挿入穴１３０の固定刃１３１と第２挿入穴１３６の可動刃１３８とによって切断される。そして、リード線８９の切断により分離された先端部は、第１挿入穴１３０の内部において落下し、廃棄ボックス１３２に廃棄される。

また、１対の可動部１２２は、リード線８９を切断した後も、さらに接近する方向にスライドされる。このため、切断によるリード線８９の新たな先端部は、可動部１２２のスライドに伴って、第２挿入穴１３６の内周のテーパ面に沿って屈曲し、さらに、可動部１２２がスライドすることで、リード線８９の先端部がガイド溝１４０に沿って屈曲する。これにより、リード線８９が回路基材１２の裏面側で屈曲し、リード線８９の貫通穴２０８からの抜けが防止された状態で、リード部品８８が回路基材１２に装着される。

このように、部品実装機１０では、リード線矯正具８６を用いることで、リード線８９の貫通穴２０８への挿入率を高くすることが可能となる。また、リード線矯正具８６の貫通穴９７の第１貫通穴部９８において、リード線８９が直線状に矯正されることで、好適に、リード線８９を第２挿入穴１３６に挿入することが可能となる。さらに言えば、従来の装置では、リード部品８８が部品保持具７８に保持される毎にリード部品８８の保持位置が変化するため、１つの部品の装着作業毎に、部品保持具７８に保持されたリード部品８８が撮像され、撮像データに基づいて、リード部品８８のリード線８９の先端位置等が演算されていた。一方、部品実装機１０では、一度、密着状態の１対のアーム９３の下面が撮像され、１対の貫通穴９７の開口位置が演算されると、部品保持具７８での貫通穴９７の開口位置は変化しないため、その貫通穴９７の開口位置を、装着作業時において継続して用いることが可能である。つまり、部品実装機１０では、一度、密着状態の１対のアーム９３を撮像すれば、１つの部品の装着作業毎に、パーツカメラ２８による撮像を行う必要が無くなる。これにより、撮像，演算等に要する時間の短縮を図ることが可能となる。ただし、リード線矯正具８６は、上述したように、リード部品８８の種類に応じて複数種類のものが用意されており、保持対象のリード部品８８が変更されると、リード線矯正具８６も交換される。このため、リード線矯正具８６が交換された後に、パーツカメラ２８による撮像が行われ、交換されたリード線矯正具８６の貫通穴９７の位置を演算する必要がある。

なお、制御装置３６のコントローラ１９０は、図１４に示すように、撮像部２１０と演算部２１２と作動制御部２１６と挿入部２１８とを有している。撮像部２１０は、密着状態の１対のアーム９３の下端面をパーツカメラ２８により撮像するための機能部である。演算部２１２は、撮像データに基づいてアーム９３の下端面への貫通穴９７の開口位置を演算するための機能部である。作動制御部２１６は、演算された貫通穴９７の開口位置と、回路基材１２の貫通穴２０８の開口位置とが重なるように、作業ヘッド移動装置６４の作動を制御するための機能部である。挿入部２１８は、リード線矯正具８６の貫通穴９７の開口位置と、回路基材１２の貫通穴２０８の開口位置とが重なる状態において、リード部品８８のリード線８９をリード線矯正具８６の貫通穴９７に挿入するための機能部である。

［第２実施例］
第２実施例の部品実装機は、作業ヘッドを除いて、第１実施例の部品実装機１０と略同じである。このため、図２１を用いて、作業ヘッド２５０について説明し、第１実施例の部品実装機１０と同じ構成要素については、同じ符号を用い、それらの説明は省略する。

作業ヘッド２５０は、複数の棒状の装着ユニット２５２を備えており、複数の装着ユニット２５２の各々の先端部には、吸着ノズル２５４が装着されている。吸着ノズル２５４は、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図示省略）に通じている。吸着ノズル２５４は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、複数の棒状の装着ユニット２５２は、ユニット保持体２５６の外周部に、等角度ピッチで、軸方向が垂直となる状態に保持されており、吸着ノズル２５４は、ユニット保持体２５６の下面から下方に向かって延び出している。

また、ユニット保持体２５６は、作業ヘッド２５０の本体部２５８により、ユニット保持体２５６の軸心周りに自転可能に保持されている。そして、ユニット保持体２５６は、回転装置（図示省略）の作動により、装着ユニット２５２の配設角度毎に間欠回転する。これにより、複数の装着ユニット２５２の停止位置のうちの１つの停止位置である第１ステーション（図での最も右側に位置するステーション）に、装着ユニット２５２が順次停止する。そして、その第１ステーションに位置する装着ユニット２５２は、第１昇降装置（図示省略）の作動により昇降する。これにより、第１ステーションに位置する装着ユニット２５２の吸着ノズル２５４によって、部品供給装置２３若しくは、ばら部品装着装置２４の供給位置から電子部品が吸着保持される。

また、ユニット保持体２５６の回転に伴って、複数の装着ユニット２５２の停止位置のうちの第１ステーションの反対側に位置する第２ステーション（図での最も左側に位置するステーション）でも、その第２ステーションに位置する装着ユニット２５２は、第２昇降装置（図示省略）の作動により昇降する。これにより、第２ステーションに位置する装着ユニット２５２の吸着ノズル２５４に保持された電子部品が基板に装着される。

また、作業ヘッド２５０は、部品姿勢矯正具２６０を備えている。部品姿勢矯正具２６０は、ブラケット２６２と矯正本体部２６４とによって構成されている。ブラケット２６２は、概して矩形の平板状をなし、上下方向に延びるように、上端部において、作業ヘッド２５０の本体部２５８に固定されている。そのブラケット２６２の下端部は、第２ステーションに位置する装着ユニット２５２の吸着ノズル２５４の下端部より下方に延び出している。また、矯正本体部２６４は、板厚の板状をなし、第２ステーションに位置する装着ユニット２５２の吸着ノズル２５４の下方に延び出すように、ブラケット２６２と概して直角となる姿勢で、ブラケット２６２の下端部に固定されている。

その矯正本体部２６４には、図２２及び図２３に示すように、上下方向に貫通する貫通穴２７０が形成されている。なお、図２２は、矯正本体部２６４を上方からの視点において示す図であり、図２３は、図２２のＢＢ線における断面図である。貫通穴２７０は、矯正本体部２６４の上端面の開口から連続する第１貫通穴部２７２と、その第１貫通穴部２７２から矯正本体部２６４の下端面の開口に連続する第２貫通穴部２７４とに区分けされる。第１貫通穴部２７２は、上方に向かうほど内径が大きくなるテーパ状とされ、第２貫通穴部２７４は、内寸の変化しない形状とされている。また、第２貫通穴部２７４は、吸着ノズル２５４による保持対象の電子部品の外寸に応じた形状、つまり、電子部品の外形線より僅かに大きな形状とされている。なお、第２貫通穴部２７４は、第２ステーションに位置する装着ユニット２５２の吸着ノズル２５４の真下に位置している。

このような構造の作業ヘッド２５０を用いた装着作業について、以下に説明する。具体的には、まず、回路基材（図２４参照）２３０が、搬送装置５０により作業位置まで搬送され、その位置において、クランプ装置５２によって固定的に保持される。次に、マークカメラ２６が、回路基材２８０の上方に移動し、回路基材２８０を撮像する。そして、コントローラ１９０は、その撮像データに基づいて、回路基材２８０の保持位置等に関する情報を演算する。また、部品供給装置２２若しくは、ばら部品供給装置２３が、所定の供給位置において、電子部品（図２４参照）２８２を供給する。そして、作業ヘッド２５０が、部品の供給位置の上方に移動し、第１ステーションに位置する装着ユニット２５２の吸着ノズル２５４によって電子部品２８２を保持する。

続いて、従来の装置では、電子部品２８２を保持した作業ヘッド２５０が、パーツカメラ２８の上方に移動し、パーツカメラ２８による撮像が行われる。この際、吸着ノズル２５４により保持された電子部品２８２が撮像され、その撮像データに基づいて、吸着ノズル２５４による電子部品２８２の保持姿勢等に関する情報が演算される。そして、演算された電子部品２８２の保持姿勢に基づいて、装着ユニット２５２が自転される。これにより、吸着ノズル２５４により保持された電子部品２８２が、回路基材２８０への装着姿勢に応じた姿勢に補正される。

このように、従来の装置では、電子部品２８２が吸着ノズル２５４により保持される毎、つまり、１個の電子部品２８２の装着作業毎に、電子部品２８２の撮像が行われ、その撮像データに基づいて、電子部品２８２の保持姿勢が補正される。これにより、適切な姿勢での電子部品２８２の装着を担保することができるが、装着作業毎のパーツカメラ２８による撮像，電子部品２８２の保持姿勢の補正等に時間を要するため、サイクルタイムが長くなる虞がある。

このようなことに鑑みて、作業ヘッド２５０には、部品姿勢矯正具２６０が設けられており、その部品姿勢矯正具２６０を利用して、電子部品２８２が回路基材２８０に装着される。詳しくは、作業ヘッド２５０がパーツカメラ２８の上方に移動され、部品姿勢矯正具２６０の矯正本体部２６４の下面が、パーツカメラ２８により撮像される。この際、矯正本体部２６４の下面側への貫通穴２７０の開口が、パーツカメラ２８により撮像され、その貫通穴２７０の開口、つまり、第２貫通穴部２７４の下端部側の開口位置が、撮像データに基づいて、コントローラ１９０により演算される。なお、矯正本体部２６４の下端面は、研磨面とされている。このため、パーツカメラ２８による撮像時の光が矯正本体部２６４の下端面において反射し、貫通穴２７０の開口と、矯正本体部２６４の下端面との境目が明確となる。これにより、貫通穴２７０の矯正本体部２６４の下端面への開口位置を適切に演算することが可能となる。

続いて、貫通穴２７０の下端部側の開口位置が演算されると、その貫通穴２７０の開口位置と、電子部品２８２の回路基材２８０への装着位置とが、上下方向において重なるように、Ｘ方向移動装置６８及びＹ方向移動装置７０の作動が制御される。そして、Ｚ方向移動装置７２の作動により、作業ヘッド２５０が下降される。これにより、図２４に示すように、矯正本体部２６４の貫通穴２７０の第２貫通穴部２７４と、電子部品２８２の回路基材２８０への装着位置とが密着する。

次に、貫通穴２７０の第２貫通穴部２７４が、回路基材２８０の装着位置に密着されると、第２ステーションに位置する装着ユニット２５２が下降される。この際、電子部品２８２が装着姿勢に応じた姿勢で、吸着ノズル２５４に保持されている場合には、吸着ノズル２５４に保持された電子部品２８２は、貫通穴２７０の第２貫通穴部２７４の内部に挿入される。しかしながら、電子部品２８２が装着姿勢からズレた姿勢で、吸着ノズル２５４に保持されている場合には、図２４に示すように、吸着ノズル２５４に保持された電子部品２８２は、貫通穴２７０の第１貫通穴部２７２の内周面、つまり、テーパ面に接触する。そして、電子部品２８２が第１貫通穴部２７２のテーパ面に接触した状態で、装着ユニット２５２が下降されることで、吸着ノズル２５４に保持された電子部品２８２は、テーパ面に沿って下降する。ただし、電子部品２８２は、吸着ノズル２５４により保持された状態で、テーパ面に沿って下降する際に、吸着ノズル２５４による電子部品２８２の保持位置がズレる。このため、吸着ノズル２５４による電子部品２８２の保持位置のズレを担保するべく、電子部品２８２が貫通穴２７０の内部に挿入されるタイミングで、吸着ノズル２５４による保持力が低下される。つまり、吸着ノズル２５４によるエアの吸引力が低下される。

そして、電子部品２８２が、吸着ノズル２５４により保持された状態で、テーパ面に沿って下降することで、その電子部品２８２は、テーパ面によって第２貫通穴部２７４に導かれ、第２貫通穴部２７４の内部に挿入される。これにより、電子部品２８２が装着姿勢からズレた姿勢で、吸着ノズル２５４に保持されている場合であっても、図２５に示すように、電子部品２８２を適切な姿勢で回路基材２８０の装着位置に装着することが可能となる。このように、部品姿勢矯正具２６０を用いて装着作業が実行される際には、一度、矯正本体部２６４の下面が撮像され、貫通穴２７０の開口位置が演算されると、その貫通穴２７０の開口位置を、装着作業時において継続して用いることが可能である。つまり、１つの電子部品２８２の装着作業毎に、吸着ノズル２５４に保持された電子部品２８２の撮像，吸着ノズル２５４による電子部品２８２の保持姿勢の補正を行う必要がなくなる。これにより、装着作業時の電子部品２８２の撮像，電子部品２８２の保持姿勢の補正等を省くことが可能となり、サイクルタイムの短縮を図ることが可能となる。

なお、部品姿勢矯正具２６０も、第１実施例のリード線矯正具８６と同様に、作業ヘッド２５０に着脱可能とされており、電子部品の種類に応じて、複数種類の部品姿勢矯正具２６０が用意されている。そして、装着対象の電子部品の種類に応じた形状の部品姿勢矯正具２６０が作業ヘッド２５０に取り付けられる。

ちなみに、部品実装機１０は、対基板作業システムの一例である。パーツカメラ２８は、撮像装置の一例である。制御装置３６は、制御装置の一例である。作業ヘッド６０，６２は、作業ヘッドの一例である。作業ヘッド移動装置６４は、移動装置の一例である。爪部８１及び補助プレート８２は、保持具の一例である。昇降装置８５は、下降装置の一例である。リード線矯正具８６は、部品姿勢矯正具の一例である。リード部品８８は、電子部品及びリード部品の一例である。貫通穴９７は、矯正具貫通穴の一例である。第１貫通穴部９８は、第１部の一例である。第２貫通穴部９９は、第２部の一例である。貫通穴２０８は、基板貫通穴の一例である。作業ヘッド２５０は、作業ヘッドの一例である。吸着ノズル２５４は、保持具の一例である。部品姿勢矯正具２６０は、部品姿勢矯正具の一例である。貫通穴２７０は、矯正具貫通穴の一例である。第１貫通穴部２７２は、第１部の一例である。第２貫通穴部２７４は、第２部の一例である。電子部品２８２は、電子部品の一例である。

なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記第１実施例では、１対のアーム９３に形成された貫通穴９７において、第１貫通穴部９８がアーム９３の上端面に開口し、第２貫通穴部９９がアーム９３の下端面に開口しているが、第１貫通穴部９８の上方、若しくは、第２貫通穴部９９の下方に、更に異なる形状の貫通穴部を形成してもよい。つまり、第１貫通穴部９８の上端から上方に延びる直穴を形成し、その直穴がアーム９３の上端面に開口してもよい。また、第２貫通穴部９９の下端から下方に延びるテーパ穴を形成し、そのテーパ穴がアーム９３の下端面に開口してもよい。なお、第２貫通穴部９９の下端から下方に延びるテーパ穴は、下方に向かうほど、内径が大きくなるテーパ穴とする必要がある。

また、上記実施例では、リード線矯正具８６が部品保持具７８に着脱可能に交換され、部品姿勢矯正具２６０が作業ヘッド２５０に着脱可能に交換されているが、リード線矯正具８６において、１対のアーム９３がブラケット９２に着脱可能に交換され、部品姿勢矯正具２６０において、矯正本体部２６４がブラケット２６２に着脱可能に交換されてもよい。なお、この場合には、１対のアーム９３及び、矯正本体部２６４が、本発明の部品姿勢矯正具の一例となる。

また、第１実施例では、リード線矯正具８６が部品保持具７８に装着される毎に、リード線矯正具８６のアーム９３の下端面が撮像され、撮像データに基づいて、貫通穴９７の開口位置が演算されているが、種々のタイミングで、アーム９３の下端面が撮像され、撮像データに基づいて、貫通穴９７の開口位置が演算されてもよい。具体的には、例えば、部品実装機１０による装着作業が開始される直前に行われてもよい。また、リード線矯正具８６が、再現性良く、部品保持具７８に装着される場合には、リード線矯正具８６が部品保持具７８に装着される毎に、貫通穴９７の開口位置を演算する必要が無い。これは、リード線矯正具８６が、再現性良く、部品保持具７８に装着される場合には、貫通穴９７の開口位置は変化しないためである。

また、第２実施例では、複数の吸着ノズル２５４を有する作業ヘッド２５０が採用されているが、１つの吸着ノズルを有する作業ヘッドを採用することが可能である。ただし、１つの吸着ノズルを有する作業ヘッドでは、その吸着ノズルの下方に矯正本体部２６４が配設されるため、吸着ノズルにより電子部品を保持する際に、矯正本体部２６４が邪魔となる。このため、このような場合には、吸着ノズルにより電子部品が保持される際に、矯正本体部２６４が吸着ノズルの下方から一時的に退避する構造を採用する必要がある。具体的には、例えば、矯正本体部２６４を、第１実施例の１対のアーム９３と同様に、２つに分割し、それら２つの分割された部材を搖動可能に保持する。そして、電子部品吸着時に、それら２つの分割された部材が離間するように搖動することで、吸着ノズルにより電子部品が保持される際に、矯正本体部２６４を吸着ノズルの下方から一時的に退避させることが可能となる。

１０：部品実装機（対基板作業システム） ２８：パーツカメラ（撮像装置） ３６：制御装置 ６０：作業ヘッド ６２：作業ヘッド ６４：作業ヘッド移動装置（移動装置） ８１：爪部（保持具） ８２：補助プレート（保持具） ８５：昇降装置（下降装置） ８６：リード線矯正具（部品姿勢矯正具） ８８：リード部品（電子部品） ９７：貫通穴（矯正具貫通穴） ９８：第１貫通穴部（第１部） ９９：第２貫通穴部（第２部） ２０８：貫通穴（基板貫通穴） ２５０：作業ヘッド ２５４：吸着ノズル（保持具） ２６０：部品姿勢矯正具 ２７０：貫通穴（矯正具貫通穴） ２７２：第１貫通穴部（第１部） ２７４：第２貫通穴部（第２部） ２８２：電子部品

Claims (6)

1. （Ａ）電子部品を保持する保持具と、（Ｂ）上下方向に貫通する矯正具貫通穴が形成され、前記保持具の下方に配設された部品姿勢矯正具と、（Ｃ）前記保持具に保持された電子部品を前記矯正具貫通穴に向かって下降させる下降装置とを有する作業ヘッドと、
   前記作業ヘッドを任意の位置に移動させる移動装置と、
   前記移動装置の作動を制御する制御装置と、
   前記矯正具貫通穴が開口する前記部品矯正具の下端面を撮像する撮像装置と
   を備え、
   前記制御装置が、
   前記撮像装置の撮像により得られた撮像データに基づいて、前記矯正具貫通穴の開口位置を取得し、その前記矯正具貫通穴の開口位置と、電子部品の基板への装着位置とが重なるように、前記移動装置の作動を制御することを特徴とする対基板作業システム。
2. 前記矯正具貫通穴が、
   上方の部分である第１部と、前記第１部と前記部品姿勢矯正具の下端面側の開口との間の少なくとも一部である第２部とを含み、
   前記第１部が、上方に向かうほど内寸が大きくなるテーパ形状であり、
   前記第２部が、前記保持具により保持される電子部品の少なくとも一部の外寸に応じた形状であることを特徴とする請求項１に記載の対基板作業システム。
3. 前記保持具により保持される電子部品が、リード部品であり、
   前記第２部が、前記保持具により保持されるリード部品のリード径に応じた形状であり
   前記制御装置が、
   前記撮像装置の撮像により得られた撮像データに基づいて、前記矯正具貫通穴の開口位置を取得し、その前記矯正具貫通穴の開口位置と、基板に形成されたリード挿入用の基板貫通穴とが重なるように、前記移動装置の作動を制御することを特徴とする請求項２に記載の対基板作業システム。
4. 前記第２部が、前記保持具により保持される電子部品の外寸に応じた形状であることを特徴とする請求項２に記載の対基板作業システム。
5. 前記矯正具貫通穴が開口する前記部品矯正具の下端面が、研磨面であることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載の対基板作業システム。
6. 前記部品姿勢矯正具が、前記作業ヘッドに着脱可能とされており、
   前記制御装置が、
   前記部品姿勢矯正具が前記作業ヘッドに装着された後に、前記撮像装置の撮像により得られた撮像データに基づいて、前記矯正具貫通穴の開口位置を取得することを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載の対基板作業システム。

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