JP2013229477A - 部品装着方法及び部品装着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】吸着ノズルを備えた装着ヘッドを大型化させることなく、高い押圧力を必要とする部品を基板に圧入させることができるようにした部品装着方法及び部品装着方法を提供することを目的とする。
【解決手段】装着ヘッド１５が備える複数の吸着ノズル１７のひとつである第１の吸着ノズル１７ａに部品３を吸着させてその部品３の複数の挿入ピン３ａを基板２に設けられた複数のピン挿入孔２ａの上方に位置させた後、第１の吸着ノズル１７ａ及び複数の吸着ノズル１７のうち第１の吸着ノズル１７ａとは異なる第２の吸着ノズル１７ｂが協働して部品３を基板２に押圧するようにこれら第１の吸着ノズル１７ａ及び第２の吸着ノズル１７ｂを下降させて部品３が備える複数の挿入ピン３ａを基板２に設けられた複数のピン挿入孔２ａに圧入させる。
【選択図】図６

Description

本発明は、下方に延びた複数の挿入ピンを備えた部品を基板に設けられた複数のピン挿入孔に圧入させて部品の基板への装着を行う部品装着方法及び部品装着装置に関するものである。

従来、下方に延びた複数の挿入ピンを備えた部品を基板に設けられた複数のピン挿入孔に圧入させて部品の基板への装着を行う部品装着装置として、部品をチャックにより挟み、挿入ピンとピン挿入孔との位置合わせをしたうえで部品を基板側へ押圧するようにしたタイプのものが知られている（例えば、特許文献１）。このようなタイプの部品装着装置では、部品をチャックにより挟んでしっかりと固定した状態で基板への挿入ができることから、部品を一度基板側へ押し付けただけで確実に部品を基板に装着することができる。

一方、近年、部品装着装置の汎用化等の観点から、装着ヘッドに備えられた吸着ノズルによって部品を吸着し、その吸着した部品の端子部を基板上に設けられた電極に載せるようにして部品の装着を行う部品装着装置（いわゆる表面実装タイプの部品装着装置）を用いて上記ピン挿入型の部品の基板への装着を行うようになってきている。

特開平４−３５４１９８号公報

しかしながら、上記従来の表面実装タイプの部品装着装置を用いてピン挿入型の部品を基板へ圧入（装着）する場合、部品を吸着した吸着ノズルを下降させて部品側の挿入ピンを基板側のピン挿入孔に圧入する必要があるため、吸着ノズルには所要の押圧力（部品を基板に押し付ける力）が求められる。特に、近年は部品の大型化が進み、従来は圧入対象でなかった高い押圧力を必要とする部品を基板へ圧入することが増加してきている。このため、吸着ノズルには従来以上の押圧力が求められるが、単純に吸着ノズルの押圧力を増大させようとすると、吸着ノズルを備えた装着ヘッドが大型化してしまうという問題点があった。

そこで本発明は、吸着ノズルを備えた装着ヘッドを大型化させることなく、高い押圧力を必要とする部品を基板に圧入させることができるようにした部品装着方法及び部品装着方法を提供することを目的とする。

請求項１に記載の部品装着方法は、下方に延びた複数の挿入ピンを備えた部品を基板に設けられた複数のピン挿入孔に圧入させて前記部品の前記基板への装着を行う部品装着方法であって、装着ヘッドが備える複数の吸着ノズルのひとつである第１の吸着ノズルに前記部品を吸着させてその部品の前記複数の挿入ピンを前記基板に設けられた複数のピン挿入孔の上方に位置させる位置合わせ工程と、前記第１の吸着ノズル及び前記複数の吸着ノズルのうち前記第１の吸着ノズルとは異なる第２の吸着ノズルが協働して前記部品を前記基板に押圧するようにこれら第１の吸着ノズル及び第２の吸着ノズルを下降させて前記部品が備える複数の挿入ピンを前記基板に設けられた複数のピン挿入孔に圧入させる圧入工程とを含む。

請求項２に記載の部品装着方法は、請求項１に記載の部品装着方法であって、前記第２の吸着ノズルは前記第１の吸着ノズルを挟む位置に隣接する吸着ノズルである。

請求項３に記載の部品装着方法は、請求項１又は２に記載の部品装着方法であって、前記圧入工程では、前記複数の挿入ピンを前記複数のピン挿入孔の上方に位置させた状態から、前記各挿入ピンの下端が対応する前記ピン挿入孔に接触するまで前記第１の吸着ノズルを下降させた後、前記第２の吸着ノズルの下端が前記部品に接触するまで前記第２の吸着ノズルを下降させ、次いで前記第１の吸着ノズル及び前記第２の吸着ノズルを同時に下降させて前記部品を前記基板に押圧する。

請求項４に記載の部品装着装置は、基板の位置決めを行う基板位置決め部と、前記基板位置決め部により位置決めされた基板に対して移動自在に設けられた装着ヘッドと、前記装着ヘッドの作動制御を行うことにより、下方に延びた複数の挿入ピンを備えた部品を前記基板に設けられた複数のピン挿入孔に圧入させて前記部品の前記基板への装着を行う制御手段とを備えた部品装着装置であって、前記制御手段は、前記装着ヘッドが備える複数の吸着ノズルのひとつである第１の吸着ノズルに前記部品を吸着させてその部品の前記複数の挿入ピンを前記基板に設けられた複数のピン挿入孔の上方に位置させた後、前記第１の吸着ノズル及び前記複数の吸着ノズルのうち前記第１の吸着ノズルとは異なる第２の吸着ノズルが協働して前記部品を前記基板に押圧するようにこれら第１の吸着ノズル及び第２の吸着ノズルを下降させて前記部品が備える複数の挿入ピンを前記基板に設けられた複数のピン挿入孔に圧入させる。

請求項５に記載の部品装着装置は、請求項４に記載の部品装着装置であって、前記第２の吸着ノズルは前記第１の吸着ノズルを挟む位置に隣接する吸着ノズルである。

請求項６に記載の部品装着装置は、請求項４又は５に記載の部品装着装置であって、前記制御手段は、前記複数の挿入ピンを前記複数のピン挿入孔の上方に位置させた状態から、前記各挿入ピンの下端が対応する前記ピン挿入孔に接触するまで前記第１の吸着ノズルを下降させた後、前記第２の吸着ノズルの下端が前記部品に接触するまで前記第２の吸着ノズルを下降させ、次いで前記第１の吸着ノズル及び前記第２の吸着ノズルを同時に下降させて前記部品を前記基板に押圧する。

請求項７に記載の部品装着装置は、請求項４乃至６の何れかに記載の部品装着装置であって、前記第２の吸着ノズルの下端に前記第２の吸着ノズルの昇降方向と直交する方向に延びたパッド部材を設けた。

本発明では、部品側の挿入ピンを基板側のピン挿入孔の上方に位置させた後、部品を吸着した第１の吸着ノズル及び第１の吸着ノズルとは異なる第２の吸着ノズルが協働して部品を基板に押圧するようにしており、第１の吸着ノズルによる部品の押圧を第２の吸着ノズルでアシストしているので、第１の吸着ノズルだけでは挿入ピンをピン挿入孔に十分に入り込ませることができないようなケースにおいても挿入ピンをピン挿入孔に十分に入り込ませることができ、吸着ノズルを備えた装着ヘッドを大型化させることなく（吸着ノズルの押圧力を増大させることなく）、高い押圧力を必要とする部品を基板に圧入（装着）させることができる。

本発明の一実施の形態における部品装着装置の要部斜視図 本発明の一実施の形態における部品装着装置が備える装着ヘッドの正面図 本発明の一実施の形態における基板と部品の斜視図 本発明の一実施の形態における部品装着装置の制御系統を示すブロック図 本発明の一実施の形態における部品装着装置が実行する部品装着作業のフローチャート （ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態における部品装着装置による部品の基板への装着手順を説明する図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品装着装置により基板に部品を装着している状態を示す図

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１に示す部品装着装置１は、図示しない上流工程側の装置（例えば半田印刷機や他の部品装着装置）から送られてきた基板２の搬入及び位置決め動作、位置決めした基板２への部品（電子部品）３の装着動作及び部品３を装着した基板２の下流工程側の装置（例えば他の部品装着装置や検査機、リフロー炉等）への搬出動作から成る一連の部品実装工程を繰り返し実行する表面実装タイプの部品装着装置である。以下、説明の便宜上、基板２の搬送方向をＸ軸方向（オペレータＯＰから見た左右方向）とし、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向（オペレータＯＰから見た前後方向）とする。また、上下方向をＺ軸方向とする。

図１において、部品装着装置１は、基台１１の中央部にＸ軸方向に延びて設けられた基板搬送コンベア１２を有している。この基板搬送コンベア１２は上流工程側の装置から送られてきた基板２を受け取ってＸ軸方向に搬送し（図１中に示す矢印Ａ）、所定の作業位置に位置決めする基板位置決め部となっている。

基台１１のＹ軸方向の端部には複数の部品３を収納した部品供給トレイ１３が設けられている。この部品供給トレイ１３は部品３の供給を行う部品供給部となっている。

基台１１上にはヘッド移動機構１４が設けられている。ヘッド移動機構１４は、Ｙ軸方向に延びたＹ軸テーブル１４ａ、Ｘ軸方向に延びた状態でＹ軸テーブル１４ａに沿って（すなわちＹ軸方向に）移動自在なＸ軸テーブル１４ｂ及びＸ軸テーブル１４ｂ上に沿って（すなわちＸ軸方向に）移動自在な移動ステージ１４ｃから成る。移動ステージ１４ｃには装着ヘッド１５が取り付けられており、ヘッド移動機構１４は、Ｙ軸テーブル１４ａに対するＸ軸テーブル１４ｂのＹ軸方向への移動動作とＸ軸テーブル１４ｂに対する移動ステージ１４ｃのＸ軸方向への移動動作を組み合わせた動作を行うことで、装着ヘッド１５を水平面内で移動させる。すなわち装着ヘッド１５は、基板搬送コンベア１２により位置決めされた基板２に対して移動自在に設けられた構成となっている。

図２にも示すように、装着ヘッド１５には複数（ここでは３本）のシャフト部材１６が下方に延びて設けられており、各シャフト部材１６の下端には部品３を吸着するための吸着ノズル１７が着脱自在に取り付けられている。各シャフト部材１６は装着ヘッド１５に設けられたシャフト駆動機構１８に駆動されて装着ヘッド１５に対する上下動と上下中心軸（Ｚ軸）回りの回転動作を行う。

図１において、装着ヘッド１５には撮像視野を下方に向けた基板カメラ２０が取り付けられており（図２も参照）、基台１１上の基板搬送コンベア１２と部品供給トレイ１３との間の領域には撮像視野を上方に向けた部品カメラ２１が設けられている。

図３において、部品３は下面から下方に延びた複数の挿入ピン３ａを有したピン挿入型の部品から成り、基板２には各部品３に対応してその部品３が備える挿入ピン３ａが挿入される複数のピン挿入孔２ａが設けられている。部品３は、各挿入ピン３ａを対応する基板２のピン挿入孔２ａの上方に位置させた状態から基板２に対して押し付けられると、各挿入ピン３ａが対応するピン挿入孔２ａに圧入されて基板２に装着された状態となる。

図４において、基板搬送コンベア１２による基板２の搬送及び位置決め動作、ヘッド移動機構１４による装着ヘッド１５の移動動作、シャフト駆動機構１８による各シャフト部材１６の上下動及び上下中心軸（Ｚ軸）回りの回転動の各動作の制御は部品装着装置１が備える制御装置３０によってなされる。また、各シャフト部材１６による吸着ノズル１７を介した吸着動作は、制御装置３０が装着ヘッド１５内に設けられた図示しないアクチュエータ等から成る吸着機構３１の作動制御を行うことによってなされる。

また、図４において、基板カメラ２０による撮像動作制御及び部品カメラ２１による撮像動作制御は部品装着装置１が備える制御装置３０によってなされ、基板カメラ２０による撮像動作によって得られた画像データ及び部品カメラ２１の撮像動作によって得られた画像データは制御装置３０に送信されて制御装置３０の画像認識部３０ａにおいて画像認識がなされる。

次に、図５のフローチャートを用いて制御装置３０が実行する部品装着作業（部品装着方法）の実行手順を説明する。

制御装置３０は先ず、基板搬送コンベア１２を作動させ、部品装着装置１の上流工程側の装置から送られてきた基板２を受け取って搬入し、基台１１の上方領域の作業位置に位置決めする（ステップＳＴ１）。

制御装置３０は基板２の作業位置への位置決めを行ったら、基板カメラ２０（装着ヘッド１５）を基板２の上方に移動させ、基板カメラ２０に基板２上の一対の基板マーク２ｍ（図１）の撮像を行わせて画像認識部３０ａに画像認識を行わせる。そして、得られた一対の基板マーク２ｍの位置を予め設定された基準の位置と比較することによって、基板２の基準の位置からの位置ずれを算出する（ステップＳＴ２）。

制御装置３０は、基板２の基準の位置からの位置ずれを算出したら、装着ヘッド１５を部品供給トレイ１３の上方に位置させたうえで、部品供給トレイ１３に収納されている部品３の上面の中央部を、３本の吸着ノズル１７のうち中央に位置する吸着ノズル１７（第１の吸着ノズル１７ａと称する）に吸着させる（ステップＳＴ３。図２）。

制御装置３０は第１の吸着ノズル１７ａに部品３を吸着させたら、その吸着させた部品３が部品カメラ２１の上方を通過するように装着ヘッド１５を移動させて部品カメラ２１により下方から部品３を撮像させ、得られた画像に基づいて、部品３が備える各挿入ピン３ａの位置を検出する（ステップＳＴ４）。

制御装置３０は、部品３が備える各挿入ピン３ａの位置を検出したら、基板搬送コンベア１２により位置決めした基板２の上方に装着ヘッド１５を移動させる。そして、基板カメラ２０により、これから部品３の装着を行おうとしている基板２上の領域を上方から撮像し、得られた画像に基づいて、部品３の挿入ピン３ａが挿入される各ピン挿入孔２ａの位置を検出する（ステップＳＴ５）。

制御装置３０は、基板２の各ピン挿入孔２ａの位置を検出したら、ステップＳＴ４で検出した挿入ピン３ａの位置とステップＳＴ５で検出したピン挿入孔２ａの位置とに基づいて、各挿入ピン３ａが対応するピン挿入孔２ａの上方に位置するように装着ヘッド１５を移動させ、基板２に対して部品３を位置合わせする（ステップＳＴ６。図２）。

制御装置３０は、各挿入ピン３ａを対応するピン挿入孔２ａの上方に位置させたら、その状態から第１の吸着ノズル１７ａを下降させ、各挿入ピン３ａの下端が対応するピン挿入孔２ａに接触する位置で停止させる（ステップＳＴ７。図６（ｂ））。

制御装置３０は、第１の吸着ノズル１７ａを下降させて各挿入ピン３ａの下端を対応するピン挿入孔２ａに接触させたら、次いで２つの第２の吸着ノズル１７ｂを下降させ、各第２の吸着ノズル１７ｂの下端が部品３の上面に接触する位置で停止させる（ステップＳＴ８。図６（ｃ））。

制御装置３０は、２つの第２の吸着ノズル１７ｂを下降させて各第２の吸着ノズル１７ｂの下端を部品３の上面に接触させたら、第１の吸着ノズル１７ａと２つの第２の吸着ノズル１７ｂを同時に下降させ、第１の吸着ノズル１７ａ及び第２の吸着ノズル１７ｂが協働して部品３を基板２に押圧するようにする。そして、部品３が備える複数の挿入ピン３ａを基板２に設けられた複数のピン挿入孔２ａに圧入させ、圧入が完了したところで停止させる（ステップＳＴ９。図６（ｄ））。これにより部品３が基板２に装着された状態となる。

制御装置３０は、上記のようにして基板２に部品３を装着したら、基板２に装着すべき全ての部品３の装着が終了したか否かの判断を行う（ステップＳＴ１０）。そして、基板２に装着すべき全ての部品３の装着が終了していなかったときにはステップＳＴ３に戻り、基板２に装着すべき全ての部品３の装着が終了していたときには、基板搬送コンベア１２を作動させて基板２を部品装着装置１から搬出する（ステップＳＴ１１）。

以上説明したように、本実施の形態における部品装着装置１は、装着ヘッド１５の作動制御を行うことにより、下方に延びた複数の挿入ピン３ａを備えた部品３を基板２に設けられた複数のピン挿入孔２ａに圧入させて部品３の基板２への装着を行う制御手段としての制御装置３０が、装着ヘッド１５が備える複数の吸着ノズル１７のひとつである第１の吸着ノズル１７ａに部品３を吸着させてその部品３の複数の挿入ピン３ａを基板２に設けられた複数のピン挿入孔２ａの上方に位置させた後、第１の吸着ノズル１７ａ及び複数の吸着ノズル１７のうち第１の吸着ノズル１７ａとは異なる第２の吸着ノズル１７ｂが協働して部品３を基板２に押圧するようにこれら第１の吸着ノズル１７ａ及び第２の吸着ノズル１７ｂを下降させて部品３が備える複数の挿入ピン３ａを基板２に設けられた複数のピン挿入孔２ａに圧入させるようになっている。

また、その部品装着装置１による部品装着方法は、下方に延びた複数の挿入ピン３ａを備えた部品３を基板２に設けられた複数のピン挿入孔２ａに圧入させて部品３の基板２への装着を行う部品装着方法であり、装着ヘッド１５が備える複数の吸着ノズル１７のひとつである第１の吸着ノズル１７ａに部品３を吸着させてその部品３の複数の挿入ピン３ａを基板２に設けられた複数のピン挿入孔２ａの上方に位置させる位置合わせ工程（ステップＳＴ６）、第１の吸着ノズル１７ａ及び複数の吸着ノズル１７のうち第１の吸着ノズル１７ａとは異なる第２の吸着ノズル１７ｂが協働して部品３を基板２に押圧するようにこれら第１の吸着ノズル１７ａ及び第２の吸着ノズル１７ｂを下降させて部品３が備える複数の挿入ピン３ａを基板２に設けられた複数のピン挿入孔２ａに圧入させる圧入工程（ステップＳＴ７〜ステップＳＴ９）を含むものとなっている。

そして、上記圧入工程は、詳細には、複数の挿入ピン３ａを複数のピン挿入孔２ａの上方に位置させた状態から、各挿入ピン３ａの下端が対応するピン挿入孔２ａに接触するまで第１の吸着ノズル１７ａを下降させた後、第２の吸着ノズル１７ｂの下端が部品３に接触するまで第２の吸着ノズル１７ｂを下降させ、次いで第１の吸着ノズル１７ａ及び第２の吸着ノズル１７ｂを同時に下降させて部品３を基板２に押圧するようになっている（ステップＳＴ９）。

このように本実施の形態における部品装着装置１（部品装着方法）では、第１の吸着ノズル１７ａによる部品３の押圧を第２の吸着ノズル１７ｂでアシストしているので、第１の吸着ノズル１７ａだけでは挿入ピン３ａをピン挿入孔２ａに十分に入り込ませることができないようなケースにおいても挿入ピン３ａをピン挿入孔２ａに十分に入り込ませることができ、吸着ノズル１７を備えた装着ヘッド１５を大型化させることなく（吸着ノズル１７の押圧力を増大させることなく）、高い押圧力を必要とする部品３を基板２に圧入（装着）させることができる。

なお、上述の実施の形態の変形例として、図７（ａ），（ｂ）に示すように、第２の吸着ノズル１７ｂの下端に、第２の吸着ノズル１７ｂの昇降方向（上下方向）と直交する方向（すなわち水平面内方向）に延びたパッド部材Ｐｄを設けてもよい。これにより部品３を安定的に下方に押圧することができるほか（図７（ａ））、部品３の横方向寸法（吸着ノズル１７の並び方向の寸法）が吸着ノズル１７同士の間隔に対して相対的に小さい場合であっても、第２の吸着ノズル１７ｂによって部品３を押圧することが可能となる。

なお、上述の実施の形態では、装着ヘッド１５が備える吸着ノズル１７は３つのであったが、吸着ノズル１７は部品３を吸着するひとつの第１の吸着ノズル１７ａと、第１の吸着ノズル１７ａによる部品３の押圧をアシストする少なくともひとつの第２の吸着ノズル１７ｂが備えられていればよい。吸着ノズル１７が３つ以上であれば、上述の実施の形態に示したように、第２の吸着ノズル１７ｂを、第１の吸着ノズル１７ａを挟む位置に隣接する吸着ノズル１７とすることでバランスよく部品３を基板２に押圧することができるので、特に好ましい。また、第２の吸着ノズル１７ｂは３つ以上であってもよく、これにより大型のサイズの部品３を安定的に基板２に装着することができるようになる。

吸着ノズルを備えた装着ヘッドを大型化させることなく、高い押圧力を必要とする部品を基板に圧入させることができるようにした部品装着方法及び部品装着方法を提供する。

１ 部品装着装置
２ 基板
２ａ ピン挿入孔
３ 部品
３ａ 挿入ピン
１２ 基板搬送コンベア（基板位置決め部）
１５ 装着ヘッド
１７ 吸着ノズル
１７ａ 第１の吸着ノズル
１７ｂ 第２の吸着ノズル
３０ 制御装置（制御手段）
Ｐｄ パッド部材

Claims (7)

1. 下方に延びた複数の挿入ピンを備えた部品を基板に設けられた複数のピン挿入孔に圧入させて前記部品の前記基板への装着を行う部品装着方法であって、
   装着ヘッドが備える複数の吸着ノズルのひとつである第１の吸着ノズルに前記部品を吸着させてその部品の前記複数の挿入ピンを前記基板に設けられた複数のピン挿入孔の上方に位置させる位置合わせ工程と、
   前記第１の吸着ノズル及び前記複数の吸着ノズルのうち前記第１の吸着ノズルとは異なる第２の吸着ノズルが協働して前記部品を前記基板に押圧するようにこれら第１の吸着ノズル及び第２の吸着ノズルを下降させて前記部品が備える複数の挿入ピンを前記基板に設けられた複数のピン挿入孔に圧入させる圧入工程とを含むことを特徴とする部品装着方法。
2. 前記第２の吸着ノズルは前記第１の吸着ノズルを挟む位置に隣接する吸着ノズルであることを特徴とする請求項１に記載の部品装着方法。
3. 前記圧入工程では、前記複数の挿入ピンを前記複数のピン挿入孔の上方に位置させた状態から、前記各挿入ピンの下端が対応する前記ピン挿入孔に接触するまで前記第１の吸着ノズルを下降させた後、前記第２の吸着ノズルの下端が前記部品に接触するまで前記第２の吸着ノズルを下降させ、次いで前記第１の吸着ノズル及び前記第２の吸着ノズルを同時に下降させて前記部品を前記基板に押圧することを特徴とする請求項１又は２に記載の部品装着方法。
4. 基板の位置決めを行う基板位置決め部と、前記基板位置決め部により位置決めされた基板に対して移動自在に設けられた装着ヘッドと、前記装着ヘッドの作動制御を行うことにより、下方に延びた複数の挿入ピンを備えた部品を前記基板に設けられた複数のピン挿入孔に圧入させて前記部品の前記基板への装着を行う制御手段とを備えた部品装着装置であって、
   前記制御手段は、前記装着ヘッドが備える複数の吸着ノズルのひとつである第１の吸着ノズルに前記部品を吸着させてその部品の前記複数の挿入ピンを前記基板に設けられた複数のピン挿入孔の上方に位置させた後、前記第１の吸着ノズル及び前記複数の吸着ノズルのうち前記第１の吸着ノズルとは異なる第２の吸着ノズルが協働して前記部品を前記基板に押圧するようにこれら第１の吸着ノズル及び第２の吸着ノズルを下降させて前記部品が備える複数の挿入ピンを前記基板に設けられた複数のピン挿入孔に圧入させることを特徴とする部品装着装置。
5. 前記第２の吸着ノズルは前記第１の吸着ノズルを挟む位置に隣接する吸着ノズルであることを特徴とする請求項４に記載の部品装着装置。
6. 前記制御手段は、前記複数の挿入ピンを前記複数のピン挿入孔の上方に位置させた状態から、前記各挿入ピンの下端が対応する前記ピン挿入孔に接触するまで前記第１の吸着ノズルを下降させた後、前記第２の吸着ノズルの下端が前記部品に接触するまで前記第２の吸着ノズルを下降させ、次いで前記第１の吸着ノズル及び前記第２の吸着ノズルを同時に下降させて前記部品を前記基板に押圧することを特徴とする請求項４又は５に記載の部品装着装置。
7. 前記第２の吸着ノズルの下端に前記第２の吸着ノズルの昇降方向と直交する方向に延びたパッド部材を設けたことを特徴とする請求項４乃至６の何れかに記載の部品装着装置。

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