JP6122796B2 - X線厚さ計 - Google Patents
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Description
前記X線発生器から照射する照射線量が被測定物を透過した検出照射線量を検出する検出器と、照射された前記X線の経路中に設けられる厚さ基準片を備える校正装置と、前記検出器の出力から前記被測定物による前記X線の減衰量を求めて、予め作成された前記厚さ基準片の厚さと前記検出照射線量とを対応付けした校正テーブルを参照して前記被測定物の厚さを求める演算部と、を備えるX線厚さ計であって、さらに、前記冷却媒体の温度を測定する温度センサを備え、前記演算部は、前記厚さ基準片を用いて測定する校正時の前記冷却媒体の温度と、前記被測定物を補正する測定中の冷却媒体の温度と、の温度差に基づいて前記検出照射線量を求める温度補正テーブル、または、温度補正式を予め備え、前記演算部は、前記測定中の前記冷却媒体の温度と前記校正時の温度との差を求めて、前記温度補正テーブル又は温度補正式を参照して前記検出照射線量を補正し、さらに、前記校正テーブルを参照して厚さを求め、測定中であっても厚さ測定誤差の補正が可能としたことを特徴とする。
したがって、この補正された検出照射線量Imを上記式で求め、または、この関係を温度補正テーブルから求め、求めたImに基づいて温度Tr時の校正テーブルを参照して厚さを求めれば、温度差に対応する測定誤差が補正された厚さを求めることができる。
1a X線管
1b 冷却部
1c 電源部
2 校正装置
2a 厚さ基準片
3 X線制御電源
4 被測定物
5 検出器
6 演算部
7 冷却媒体の供給部
8 冷却媒体排出部
9 温度センサ
100 X線厚さ計
Claims (2)
- X線管と、X線管を冷却媒体で冷却する冷却部と、当該X線管に印加する高圧電源及びフィラメント電流を安定化して供給する電源部と、を備え、X線を生成するX線発生器と、
前記X線発生器から照射する照射線量が被測定物を透過した検出照射線量を検出する検出器と、
照射された前記X線の経路中に設けられる厚さ基準片を備える校正装置と、
前記検出器の出力から前記被測定物による前記X線の減衰量を求めて、予め作成された前記厚さ基準片の厚さと前記検出照射線量とを対応付けした校正テーブルを参照して前記被測定物の厚さを求める演算部と、
を備えるX線厚さ計であって、
さらに、前記冷却媒体の温度を測定する温度センサを備え、
前記演算部は、前記厚さ基準片を用いて測定する校正時の前記冷却媒体の温度と、前記被測定物を補正する測定中の冷却媒体の温度と、の温度差に基づいて前記検出照射線量を求める温度補正テーブル、または、温度補正式を予め備え、
前記演算部は、前記測定中の前記冷却媒体の温度と前記校正時の温度との差を求めて、前記温度補正テーブル又は温度補正式を参照して前記検出照射線量を補正し、さらに、前記校正テーブルを参照して厚さを求め、測定中であっても厚さ測定誤差の補正が可能としたことを特徴とするX線厚さ計。 - 前記温度センサは、前記冷却部から冷却媒体が排出される位置に設けるようにした請求項1に記載のX線厚さ計。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014032740A JP6122796B2 (ja) | 2014-02-24 | 2014-02-24 | X線厚さ計 |
KR1020157001794A KR101691315B1 (ko) | 2014-02-24 | 2014-05-22 | X선 두께계 |
CN201480001939.8A CN105008001B (zh) | 2014-02-24 | 2014-05-22 | X射线厚度计 |
BR112015002939-6A BR112015002939B1 (pt) | 2014-02-24 | 2014-05-22 | calibrador de espessura de raios x |
PCT/JP2014/002677 WO2015125178A1 (ja) | 2014-02-24 | 2014-05-22 | X線厚さ計 |
EP14830489.2A EP3112801B1 (en) | 2014-02-24 | 2014-05-22 | X-ray thickness gauge |
TW103118433A TWI490449B (zh) | 2014-02-24 | 2014-05-27 | X-ray thickness gauge |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014032740A JP6122796B2 (ja) | 2014-02-24 | 2014-02-24 | X線厚さ計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015158405A JP2015158405A (ja) | 2015-09-03 |
JP6122796B2 true JP6122796B2 (ja) | 2017-04-26 |
Family
ID=53877724
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014032740A Active JP6122796B2 (ja) | 2014-02-24 | 2014-02-24 | X線厚さ計 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3112801B1 (ja) |
JP (1) | JP6122796B2 (ja) |
KR (1) | KR101691315B1 (ja) |
CN (1) | CN105008001B (ja) |
BR (1) | BR112015002939B1 (ja) |
TW (1) | TWI490449B (ja) |
WO (1) | WO2015125178A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6888905B2 (ja) * | 2015-12-10 | 2021-06-18 | 株式会社東芝 | 検出信号におけるa/dコンバータの雑音を低減した厚み計装置 |
WO2019230010A1 (ja) * | 2018-06-01 | 2019-12-05 | 株式会社東芝 | 予兆データサーバ及びx線厚み測定システム |
KR102015792B1 (ko) * | 2018-12-26 | 2019-08-29 | 주식회사 메디코어스 | 정량화 엑스선 시스템의 온도에 따른 오차 보정 방법 |
CN110360974B (zh) * | 2019-06-27 | 2021-08-10 | 广东美的厨房电器制造有限公司 | 食物厚度估测方法及相关装置 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58150809A (ja) | 1982-02-25 | 1983-09-07 | Toshiba Corp | 非接触放射線厚み計及びその校正方法 |
JPS6079207A (ja) * | 1983-10-06 | 1985-05-07 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 放射線板厚測定方法 |
JP2878829B2 (ja) * | 1990-11-29 | 1999-04-05 | 株式会社東芝 | 放射線厚さ計 |
JPH0582285A (ja) | 1991-09-19 | 1993-04-02 | Toshiba Corp | X線管用冷却器 |
JPH0555013U (ja) * | 1991-12-24 | 1993-07-23 | 横河電機株式会社 | X線透過方式によるシート状物質測定装置 |
JP4075166B2 (ja) * | 1998-11-30 | 2008-04-16 | 松下電器産業株式会社 | X線基板検査装置 |
JP2000292140A (ja) * | 1999-04-05 | 2000-10-20 | Toshiba Corp | 放射線厚さ計 |
US6792075B2 (en) * | 2002-08-21 | 2004-09-14 | Hypernex, Inc. | Method and apparatus for thin film thickness mapping |
JP4087274B2 (ja) * | 2003-04-01 | 2008-05-21 | 株式会社東芝 | X線厚さ測定装置 |
CN201041484Y (zh) * | 2007-04-10 | 2008-03-26 | 北京北科合作仪器厂 | 金属带材x射线测厚仪c型架冷却装置 |
CN100588901C (zh) * | 2007-05-09 | 2010-02-10 | 北京北科合作仪器厂 | 一种使用x射线连续高精度测量金属带材的装置 |
ITUD20080072A1 (it) * | 2008-04-04 | 2009-10-05 | Danieli Automation Spa | Misuratore di spessore per lamiere e relativo procedimento di misura |
JP2010032387A (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-12 | Yamabun Denki:Kk | 温度測定方法、温度測定装置、温度制御方法、温度制御装置、補正方法、及び補正装置 |
JP5570135B2 (ja) * | 2009-03-30 | 2014-08-13 | 株式会社神戸製鋼所 | 放射線板厚測定装置 |
US8077827B2 (en) * | 2010-02-23 | 2011-12-13 | Test Research, Inc. | Method for thickness calibration and measuring thickness of material |
JP2011242254A (ja) * | 2010-05-18 | 2011-12-01 | Nippon Steel Corp | 鋼板の板厚測定装置およびその校正方法 |
JP5220836B2 (ja) * | 2010-12-20 | 2013-06-26 | 株式会社山文電気 | 温度測定装置及び温度測定方法 |
CN102607476B (zh) * | 2012-01-05 | 2016-07-13 | 黑龙江省科学院技术物理研究所 | 可调节高精度x射线测厚仪及测试方法 |
JP2013156137A (ja) * | 2012-01-30 | 2013-08-15 | Toshiba Corp | 厚さ測定装置、厚さ測定方法及び制御プログラム |
-
2014
- 2014-02-24 JP JP2014032740A patent/JP6122796B2/ja active Active
- 2014-05-22 WO PCT/JP2014/002677 patent/WO2015125178A1/ja active Application Filing
- 2014-05-22 CN CN201480001939.8A patent/CN105008001B/zh active Active
- 2014-05-22 EP EP14830489.2A patent/EP3112801B1/en active Active
- 2014-05-22 BR BR112015002939-6A patent/BR112015002939B1/pt active IP Right Grant
- 2014-05-22 KR KR1020157001794A patent/KR101691315B1/ko active IP Right Grant
- 2014-05-27 TW TW103118433A patent/TWI490449B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20150110454A (ko) | 2015-10-02 |
CN105008001A (zh) | 2015-10-28 |
EP3112801B1 (en) | 2018-01-10 |
KR101691315B1 (ko) | 2016-12-29 |
TWI490449B (zh) | 2015-07-01 |
BR112015002939B1 (pt) | 2021-02-09 |
CN105008001B (zh) | 2017-06-20 |
WO2015125178A1 (ja) | 2015-08-27 |
TW201533424A (zh) | 2015-09-01 |
BR112015002939A2 (pt) | 2017-10-10 |
EP3112801A1 (en) | 2017-01-04 |
EP3112801A4 (en) | 2017-07-05 |
JP2015158405A (ja) | 2015-09-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160317 |
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RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20160422 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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