JP6121849B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。

従来、被記録媒体に液滴状のインク（以下、単にインク滴という。）を吐出して、被記録媒体に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）を備えたインクジェットプリンタ（液体噴射装置）がある。
一般に、インクジェットヘッドは、複数のノズル孔からなるノズル列を有するノズルプレートと、ノズル孔に連通する複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、各チャネルそれぞれに連通する共通インク室を有するカバープレートと、を備えている。この構成によれば、チャネル内を収縮させてチャネル内の圧力を上昇させることで、チャネル内のインクをノズル孔から吐出させ、被記録媒体上にインク滴を着弾させるようになっている。

近時では、インクジェットヘッドにレーザヘッドを搭載し、このレーザヘッドから出射される光束を用いてインク滴を乾燥させる技術が開発されている。レーザヘッドは、発光部、及び発光部から出射された光束を集光するレンズ等を主に備えている。
この場合、インクジェットヘッドと被記録媒体とを相対移動させながら、ノズル孔からインク滴を吐出するとともに、被記録媒体上におけるインク滴の着弾位置に向けて光束を照射する。発光部から出射される光束は、レンズで集光された後、被記録媒体上に着弾したインク滴に照射される。
これにより、インク滴を瞬時に乾燥させることができるので、被記録媒体上に着弾したインク滴が濡れ拡がるのを抑制し、微細な印字パターンを得ることができるとされている。

しかしながら、上述の構成にあっては、インクジェットヘッドの外側に別体のレーザヘッドを搭載するため、ノズル孔に対するレーザヘッド（レンズ）の位置決め精度が低いという問題がある。また、ノズル孔とレーザヘッドとの間の距離が長くなるため、被記録媒体上におけるレーザヘッドの照射位置が、インク滴の着弾位置まで移動するのに時間がかかる。
その結果、インク滴への光束の照射精度が低く、インク滴の乾燥に時間がかかるため、インク滴が被記録媒体上に濡れ広がるおそれがある。

そこで、例えば下記特許文献１には、ノズルプレートのうち、ノズル孔に隣接する部分に透過液が導入される照射ノズルと、照射ノズルの上方に配設されたレーザアレイと、を備え、照射ノズルの開口端縁に、透過液の表面張力によってノズルプレートに対して被記録媒体側に向けて突出する液体レンズを形成する構成が開示されている。
この構成によれば、ノズルプレートに液体レンズを配設できるので、ノズル孔と照射ノズル（液体レンズ）との位置精度を向上できるとともに、光束の照射位置とインク滴の着弾位置との距離を短縮できるとされている。

特許第４２９７０６６号公報

しかしながら、上述した従来技術のように、液体レンズを用いる場合、正確で安定したレンズ形状を透過液の表面張力により形成することが困難である。この場合、光軸や焦点が不安定になるため、インク滴への光束の照射精度が依然低く、所望の光エネルギーをインク滴に与えることが難しい。

本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、液体に対して所望の光エネルギーを与え、液滴を効果的に乾燥させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することである。

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を提供する。
（１）本発明に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射する複数の噴射孔が並設されるとともに、光透過性を有する噴射孔プレートと、前記噴射孔プレートに積層されるとともに、複数のチャネルが間隔をあけて並設されたアクチュエータプレートと、を備え、前記複数のチャネルは、液体が充填されるとともに、前記噴射孔に各別に連通する複数の噴射チャネルと、隣接する前記噴射チャネル間にそれぞれ形成され、内部が気体で満たされたダミーチャネルと、を有し、前記ダミーチャネル内には、前記ダミーチャネル内に満たされた気体を伝搬媒質として、前記噴射孔から噴射された液体を加熱するための光束が前記噴射孔プレートに向けて伝搬されることを特徴としている。

この構成によれば、ダミーチャネル内を伝搬する光束は、噴射孔プレートを透過して外部に出射される。そして、外部に出射された光束が、噴射孔から噴射された液体、または被記録媒体における液体の着弾位置に照射されることで、液体が加熱されることになる。これにより、液体を乾燥させ、液体の粘度を上昇させることができるので、被記録媒体に着弾した液体が濡れ広がるのを抑制できる。その結果、微細な印字パターンを得ることができる。
特に、本発明の構成によれば、既存のダミーチャネルを光束の導光部として機能させることで、光ファイバ等、別体の導光部材を用いることなく光束の出射位置を噴射孔に接近させることができる。
また、ダミーチャネル内に光束を伝搬させることで、従来のように光束を液体に透過させる場合に比べて、光束の光軸や焦点を安定させることができる。
その結果、光束の照射精度を向上できるため、噴射孔から噴射された液体に対して所望の光エネルギーを与えることができる。よって、液体を効率的に乾燥させ、液体が被記録媒体上に濡れ広がるのを確実に抑制できる。
また、別体のレーザヘッドを用いる構成に比べて、装置の小型化、低コスト化を図ることができる。

（２）上記本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記アクチュエータプレートのうち、前記噴射孔プレート側とは反対側には、光束を出射する光源が搭載され、前記光源は、前記複数のダミーチャネルに各別に対応する複数の発光部がアレイ状に配列されてなるアレイレーザであってもよい。
この構成によれば、アクチュエータプレートのうち、噴射孔プレート側とは反対側に光源を搭載することで、ダミーチャネルと光源との間に別体の導光部を設ける必要がないので、簡素化及び低コスト化を図ることができる。

（３）上記本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記噴射孔プレートのうち、前記ダミーチャネルに対応する部分には、前記ダミーチャネル内を伝搬した光束を集光する光学部が配設されていてもよい。
この構成によれば、光束を集光する光学部を噴射孔プレートに配設することで、液体に対してより効率的に光エネルギーを与えることができる。そのため、液体をより効率的に加熱できる。

（４）上記本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記アクチュエータプレートは、前記チャネルの並設方向及び延在方向に直交する厚さ方向に分極されるとともに、互いの分極方向を反対に向けて接合された第１アクチュエータプレート及び第２アクチュエータプレートを備え、前記複数のダミーチャネルの内壁面には、駆動電圧を印加する駆動電極がそれぞれ形成され、前記ダミーチャネル内を伝搬する光束は、前記駆動電極で反射されながら、前記噴射孔プレートに導かれてもよい。
この構成によれば、既存の駆動電極を反射膜として用いることで、コスト増を抑制した上で、ダミーチャネル内において、光束を効率的に伝搬できる。

（５）上記本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記アクチュエータプレートのうち、前記噴射孔プレート側とは反対側には、光束を出射する光源が搭載され、前記光源と前記ダミーチャネルとの間には、前記ダミーチャネル内に向けて出射される光束を平行光に変換する平行光変換素子が配設されていてもよい。
この構成によれば、光束が平行光変換素子において、平行光に変換された後、ダミーチャネル内を伝搬するので、ダミーチャネル内でのビーム径の広がりを抑制できる。そのため、光源から噴射孔プレートまでの距離のトレランスが向上し、設計・製造が容易になる。

（７）上記本発明に係る液体噴射装置において、上記本発明の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴としている。
この構成によれば、上記本発明の液体噴射ヘッドを備えているため、微細な印字パターンを得ることができる。

本発明によれば、液体に対して所望の光エネルギーを与え、液滴を効果的に乾燥させることができる。

インクジェットプリンタの概略構成図である。 インクジェットヘッドの斜視図である。 ヘッドチップの斜視図である。 ヘッドチップの分解斜視図である。 アクチュエータプレートとカバープレートとを分解した状態における拡大斜視図である。 図３のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。 アクチュエータプレートを後端面側から見た斜視図である。 図６のＣ−Ｃ線に相当する断面図である。 インクジェットヘッドの動きを説明するための図であって、図６のＤ−Ｄ線に相当するノズルプレート及び被記録媒体の断面図である。 本実施形態の他の構成を示す図であって、図８に相当する断面図である。 本実施形態の他の構成を示す図であって、図８に相当する断面図である。 本実施形態の他の構成を示す図であって、（ａ）は図９に相当する断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＥ矢視図である。 本実施形態の他の構成を示す図であって、図９に相当する断面図である。 本実施形態の他の構成を示す図であって、図９に相当する断面図である。

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、本発明の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の一例として、インク（液体）を利用して記録紙等の被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。

［プリンタ］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、被記録媒体Ｓを搬送する一対の搬送手段２，３と、被記録媒体Ｓに図示しないインク（液体）を吐出するインクジェットヘッド４と、インクジェットヘッド４にインクを供給するインク供給手段５と、インクジェットヘッド４を被記録媒体Ｓの搬送方向（Ｙ方向）と直交する走査方向（Ｘ方向）に走査させる走査手段６と、インクジェットヘッド４から吐出されるインク（インク滴）を加熱するインク滴加熱手段７と、を備えている。なお、被記録媒体Ｓとしては、紙や、樹脂フィルム、ガラス、セラミックス等、種々の材料を用いることができる。

また、本実施形態のプリンタ１には、搬送手段２，３、インクジェットヘッド４、インク供給手段５、走査手段６、及びインク滴加熱手段７等に電気的に接続されて相互に信号を送受信する制御ユニット８が設けられている。なお、図１中符号９は、プリンタ１の外観を構成する筺体９であり、この筺体９に上述した各構成品が搭載されている。また、本実施形態では、Ｙ方向及びＸ方向の２方向に直交する上下方向をＺ方向とする。

一対の搬送手段２，３は、Ｙ方向に間隔をあけて配置されており、一方の搬送手段２がＹ方向の上流側に位置し、他方の搬送手段３がＹ方向の下流側に位置している。これら搬送手段２，３は、Ｘ方向に延設されたグリッドローラ２ａ，３ａと、このグリッドローラ２ａ，３ａに対して平行に配置されるとともに、グリッドローラ２ａ，３ａとの間で被記録媒体Ｓを挟み込むピンチローラ２ｂ，３ｂと、グリッドローラ２ａ，３ａをその軸回りに回転させるモータ等の図示しない駆動機構と、をそれぞれ備えている。
そして、一対の搬送手段２，３のグリッドローラ２ａ，３ａを回転させることで、被記録媒体ＳをＹ方向に沿った矢印Ａ方向に搬送することが可能とされている。

インク供給手段５は、インクが収容されたインクタンク１０と、インクタンク１０及びインクジェットヘッド４間を接続するインク配管１１と、を備えている。
図示の例では、インクタンク１０は、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂ）の四色のインクがそれぞれ収容されたインクタンク１０Ｙ，１０Ｍ，１０Ｃ，１０ＢがＹ方向に並んで配置されている。インク配管１１は、例えば可撓性を有するフレキシブルホースであり、インクジェットヘッド４を支持するキャリッジ１６の動作（移動）に追従可能とされている。

走査手段６は、Ｘ方向に延び、Ｙ方向に間隔をあけて互いに平行に配置された一対のガイドレール１５と、これら一対のガイドレール１５に沿って移動可能に配置されたキャリッジ１６と、このキャリッジ１６をＸ方向に移動させる駆動機構１７と、を備えている。
駆動機構１７は、一対のガイドレール１５の間に配置され、Ｘ方向に間隔をあけて配置された一対のプーリ１８と、これら一対のプーリ１８の間に巻回されてＸ方向に移動する無端ベルト１９と、一方のプーリ１８を回転駆動させる駆動モータ２０と、を備えている。

キャリッジ１６は、無端ベルト１９に連結されており、一方のプーリ１８の回転駆動による無端ベルト１９の移動に伴ってＸ方向に移動可能とされている。また、キャリッジ１６には、複数のインクジェットヘッド４がＸ方向に並んだ状態で搭載されている。図示の例では、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂ）の各インクをそれぞれ吐出する４つのインクジェットヘッド４、すなわちインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂがキャリッジ１６に搭載されている。なお、上述した搬送手段２，３及び走査手段６により、インクジェットヘッド４と被記録媒体Ｓとを相対的に移動させる搬送手段を構成している。

＜インクジェットヘッド＞
次に、上述したインクジェットヘッド４について詳述する。図２は、インクジェットヘッド４の斜視図である。なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明では、まとめてインクジェットヘッド４として説明する。
図２に示すように、インクジェットヘッド４は、キャリッジ１６に固定される固定プレート２５と、この固定プレート２５上に固定されたヘッドチップ２６と、インク供給手段５から供給されたインクを、ヘッドチップ２６の後述するインク導入孔４１ａ（図３参照）にさらに供給するインク供給部２７と、ヘッドチップ２６に駆動電圧を印加する制御手段２８と、を備えている。

インクジェットヘッド４は、駆動電圧が印加されることで、各色のインクを所定の吐出量で吐出する。このとき、インクジェットヘッド４が走査手段６によりＸ方向に移動することで、被記録媒体Ｓにおける所定範囲に記録を行うことができ、この走査を搬送手段２，３により被記録媒体ＳをＹ方向に搬送しながら繰り返し行うことで、被記録媒体Ｓの全体に記録を行うことが可能となる。

固定プレート２５には、アルミ等の金属製のベースプレート３０がＺ方向に沿って起立した状態で固定されているとともに、ヘッドチップ２６の後述するインク導入孔４１ａにインクを供給する流路部材３１が固定されている。流路部材３１の上方には、インクを貯留する貯留室を内部に有する圧力緩衝器３２がベースプレート３０に支持された状態で配置されている。そして、流路部材３１と圧力緩衝器３２とはインク連結管３３を介して連結され、圧力緩衝器３２にはインク配管１１が接続されている。

そして、圧力緩衝器３２は、インク配管１１を介してインクが供給されると、インクを内部の貯留室内に一旦貯留した後、所定量のインクをインク連結管３３及び流路部材３１を介してインク導入孔４１ａに供給する。
なお、これら流路部材３１、圧力緩衝器３２及びインク連結管３３により、上述したインク供給部２７を構成している。

また、固定プレート２５には、ヘッドチップ２６を駆動するための集積回路等の制御回路（駆動回路）３５が搭載されたＩＣ基板３６が取り付けられている。この制御回路３５と、ヘッドチップ２６の後述するコモン電極５０及びダミー電極５２と、は、図示しない配線パターンがプリント配線されたフレキシブル基板３７を介して電気接続されている。これにより、制御回路３５は、フレキシブル基板３７を介してコモン電極５０とダミー電極５２との間に駆動電圧を印加することが可能とされる。
そして、これら制御回路３５が搭載されたＩＣ基板３６、及びフレキシブル基板３７により、上述した制御手段２８を構成している。なお、ＩＣ基板３６には、上述した制御ユニット８がフレキシブル基板２１（図１参照）を介して接続される。

（ヘッドチップ）
続いて、ヘッドチップ２６について詳細に説明する。図３はヘッドチップ２６の斜視図であり、図４はヘッドチップ２６の分解斜視図である。
図３、図４に示すように、ヘッドチップ２６は、アクチュエータプレート４０、カバープレート４１、支持プレート４２及びノズルプレート４３を備え、後述する吐出チャネル（噴射チャネル）４５Ａの長手方向（Ｙ方向）端部に臨むノズル孔４３ａからインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプとされている。

図５はアクチュエータプレート４０とカバープレート４１とを分解した状態における拡大斜視図であり、図６は図３のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
図４〜図６に示すように、アクチュエータプレート４０は、分極方向が厚さ方向（Ｘ方向）で異なる第１アクチュエータプレート４０Ａ及び第２アクチュエータプレート４０Ｂの、２枚のプレートを積層した積層プレートとされている（いわゆる、シェブロン方式）。これら第１アクチュエータプレート４０Ａ及び第２アクチュエータプレート４０Ｂは、ともに厚さ方向（Ｘ方向）に分極処理された圧電基板、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）セラミックス基板であり、互いの分極方向を反対に向けた状態で接合されている。

アクチュエータプレート４０は、平面視長方形状のものであり、その長手方向をＹ方向とし、短手方向をＺ方向とする。なお、本実施形態のヘッドチップ２６はエッジシュート対応のため、Ｘ方向、すなわち厚さ方向がプリンタ１におけるインクジェットヘッド４の走査方向に一致し、Ｙ方向、すなわち長手方向が被記録媒体Ｓの搬送方向に一致し、Ｚ方向、すなわち短手方向が走査方向に一致する。
また、本実施形態では、アクチュエータプレート４０におけるＺ方向の両側に位置する側面のうち、ノズルプレート４３に対向する側面を前端面４０ａと称し、この前端面４０ａとはＺ方向の反対側に位置する側面を後端面４０ｂと称する。

図５、図６に示すように、アクチュエータプレート４０の一方の主面（カバープレート４１側に位置する面）４０ｃ（図５，６参照）には、Ｙ方向に所定の間隔をあけて並んだ複数のチャネル４５が形成されている。これら複数のチャネル４５は、一方の主面４０ｃ側に開口した状態でＺ方向に沿って直線状に延びる溝部であり、Ｚ方向の一方側がアクチュエータプレート４０の前端面４０ａ側に開口している。これら複数のチャネル４５の間には、断面矩形状でＺ方向に延びる駆動壁４６が形成され、この駆動壁４６によって各チャネル４５はそれぞれ区分けされている。

また、複数のチャネル４５は、インクが充填される吐出チャネル４５Ａ（いわゆる、コモン溝）と、インクが充填されないダミーチャネル４５Ｂ（いわゆる、アクティブ溝）と、に大別される。そして、これら吐出チャネル４５Ａとダミーチャネル４５Ｂとは、Ｙ方向に交互に並んで配置されている。なお、図示の例において、ダミーチャネル４５Ｂ内は、空気で満たされている。
複数のチャネル４５のうち、吐出チャネル４５Ａは、アクチュエータプレート４０の後端面４０ｂ側に開口することなく、前端面４０ａ側にだけ開口した状態で形成されている。なお、図示の例において、吐出チャネル４５Ａの後端面４０ｂ側は、後端面４０ｂに向かうに従い漸次浅くなっている。一方、ダミーチャネル４５Ｂについては、アクチュエータプレート４０の前端面４０ａ側だけでなく、後端面４０ｂ側にも開口するように形成されている。

吐出チャネル４５Ａの内壁面、すなわちＹ方向に向かい合う一対の側壁面及び底壁面には、コモン電極５０が形成されている。このコモン電極５０は、吐出チャネル４５Ａに沿ってＺ方向に延び、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上に形成されたコモン端子５１（図５参照）に導通している。
なお、各コモン端子５１はそれぞれ電気的に独立するようにパターン形成されている。また、本実施形態のコモン電極５０は、上述したように吐出チャネル４５Ａにおける内壁面の全体に形成されているので、一対の側壁面上に形成された側面電極５０ａと、底壁面上に形成され、側面電極５０ａ同士を接続する底面電極５０ｂと、で断面Ｕ字状に形成された電極とされている。

一方、ダミーチャネル４５Ｂの内壁面のうち、Ｙ方向に向かい合う一対の側壁面には、その全面に亘ってダミー電極５２がそれぞれ形成されている。これらダミー電極５２は、ダミーチャネル４５Ｂに沿ってＺ方向に延び、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上に形成されたダミー端子５３（図５参照）に導通している。

なお、ダミー端子５３は、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上における後端面４０ｂ側に形成されており、吐出チャネル４５Ａを挟んだ両側に位置するダミー電極５２同士（異なるダミーチャネル４５Ｂ内に形成されたダミー電極５２同士）を接続するように形成されている。この際、ダミー端子５３は、一方の主面４０ｃ上において、コモン端子５１よりも後端面４０ｂ側に離間した位置でＹ方向に延びることで、ダミー電極５２同士をブリッジ状に繋いでいる。

なお、本実施形態のダミー電極５２は、上述したコモン電極５０と同様に、ダミーチャネル４５Ｂの内壁面全体に一旦形成された後、内壁面における底壁面上に形成された電極部分がレーザ加工やダイシング加工等によって分断されることで、ダミーチャネル４５Ｂの一対の側壁面にそれぞれ電気的に切り離された状態で形成される。

図３、図４に示すように、上述したカバープレート４１は、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上に重ね合されている。このカバープレート４１には、インク導入孔４１ａがＹ方向に長い平面視矩形状に形成されている。
図６に示すように、このインク導入孔４１ａには、上述した流路部材３１（図２参照）を介して供給されてきたインクを吐出チャネル４５Ａ内に導入させ、かつダミーチャネル４５Ｂ内への導入を規制する複数のスリット５５ａが形成されたインク導入板５５が形成されている。つまり、複数のスリット５５ａは、吐出チャネル４５Ａに対応する位置に形成され、各吐出チャネル４５Ａ内にのみインクを充填することが可能とされる。

なお、カバープレート４１は、例えばアクチュエータプレート４０と同じＰＺＴセラミックス基板で形成され、アクチュエータプレート４０と同じ熱膨張をさせることで、温度変化に対する反りや変形を抑制している。但し、この場合に限られず、アクチュエータプレート４０とは異なる材料でカバープレート４１を形成しても構わないが、熱膨張係数が近い材料を用いることが好ましい。

図３、図４に示すように、支持プレート４２は、重ね合されたアクチュエータプレート４０及びカバープレート４１を支持するともに、ノズルプレート４３を同時に支持している。支持プレート４２には、Ｙ方向に沿って嵌合孔４２ａが形成されており、重ね合されたアクチュエータプレート４０及びカバープレート４１を嵌合孔４２ａ内に嵌め込んだ状態で支持している。この際、支持プレート４２は、アクチュエータプレート４０の前端面４０ａと面一となるように組み合わされている。

ノズルプレート４３は、支持プレート４２及びアクチュエータプレート４０の前端面４０ａに、例えば接着等により固定されている。
ノズルプレート４３は、光透過性を有する材料、例えばポリイミド等の樹脂材料からなるフィルム状とされている。なお、樹脂材料の他に、ガラス等により形成してもよく、また後述するレーザ光源６０として、波長が赤外領域のものを利用する場合には、赤外光に対して透明な材料であるシリコンにより形成しても構わない。

また、ノズルプレート４３には、Ｙ方向に所定の間隔をあけて複数のノズル孔４３ａが一列に並んだ状態で形成されている。これらノズル孔４３ａは、複数の吐出チャネル４５Ａに対してそれぞれ対向する位置に形成されており、各吐出チャネル４５Ａ内に連通する。なお、通常時にノズル孔４３ａからインクが吐出されないように、各ノズル孔４３ａにおいて適切なメニスカスが保たれている。

（インク滴加熱手段）
図７はアクチュエータプレート４０を後端面４０ｂ側から見た斜視図であり、図８は図６のＣ−Ｃ線に相当する断面図である。
ここで、図７、図８に示すように、上述したインク滴加熱手段７は、光束を出射するレーザ光源６０と、ノズルプレート４３に形成されるとともに、レーザ光源６０から出射された光束を導光する光学部６２と、を有している。

レーザ光源６０は、各ダミーチャネル４５Ｂに対応して複数の発光部６０ａがアレイ状に配列された、いわゆる半導体アレイレーザ等により構成されている。なお、本実施形態では、レーザ光源６０として、ＶＣＳＥＬ（垂直共振器面発光レーザ）が好適に用いられている。
レーザ光源６０は、アクチュエータプレート４０の後端面４０ｂ上において、各発光部６０ａがダミーチャネル４５Ｂ内に各別に露出するように固定されている。本実施形態では、図６に示すように、Ｚ方向から見た平面視において、吐出チャネル４５Ａ内に連通するノズル孔４３ａと、ダミーチャネル４５Ｂ内に露出する発光部６０ａと、がＹ方向に沿って並設されている。そして、一の発光部６０ａは、一の発光部６０ａに対してＹ方向の一方側に隣接する一のノズル孔４３ａ（吐出チャネル４５Ａ）に対応しており、一のノズル孔４３ａから吐出されるインク滴を加熱しうるように構成されている。

また、レーザ光源６０は、図示しないレーザ駆動回路に接続されており、上述した制御ユニット８から送信される画像データに基づいて制御される。レーザ駆動回路は、レーザ光源６０の発光部６０ａをそれぞれ独立して駆動する。これにより、レーザ光源６０の各発光部６０ａから出射された光束が、各ダミーチャネル４５Ｂ内に直接供給されるようになっている。

図７に示すように、光学部６２は、ノズルプレート４３の外面のうち、ダミーチャネル４５Ｂに対応する位置（具体的には、Ｚ方向から見た平面視で各発光部６０ａと重なる位置）にそれぞれ形成されている。光学部６２は、例えばホットエンボス加工等により形成されたものであって、ノズルプレート４３の厚さ方向（Ｚ方向）に窪む凹部６２ａと、凹部６２ａ内に形成されたレンズ部６２ｂと、を有している。レンズ部６２ｂは、凹部６２ａの底面からノズルプレート４３の外面側に向けて突の半球状に形成され、各発光部６０ａから出射される光束を集光した後、インクジェットヘッド４の外部に出射する。その後、インクジェットヘッド４の外部に出射された光束は、被記録媒体Ｓに照射されるようになっている。なお、レンズ部６２ｂのレンズ径は、発光部６０ａから出射される光束のうち、レンズ部６２ｂ（ノズルプレート４３）に入射するときのビーム径と同等、若しくはビーム径以上に設定されている。

また、光学部６２は、ホットエンボス加工の他、エキシマレーザ加工や、グレースケールマスクを用いたエッチング等、種々の方法により形成しても構わない。また、エッチング等を採用した場合には、ノズル孔４３ａと光学部６２とを一括して形成することも可能である。すなわち、ノズルプレート４３のうち、ノズル孔４３ａの形成領域に対してはノズルプレート４３の両面からハーフエッチングを行い、光学部６２の形成領域に対してはノズルプレート４３の外面側からのみハーフエッチングを行うことで、ノズル孔４３ａと光学部６２とを一括して形成できる。これにより、ノズル孔４３ａに対して光学部６２を高精度に位置決めすることができる。

［プリンタの動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｓに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
図１に示すように、例えば、一対の搬送手段２，３により被記録媒体ＳをＹ方向に搬送させながら、走査手段６によりキャリッジ１６を介して各インクジェットヘッド４をＸ方向に往復移動させる。そしてこの間に、各インクジェットヘッド４より４色のインクを被記録媒体Ｓに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。

ここで、各インクジェットヘッド４の動きについて、以下に詳細に説明する。
キャリッジ１６（図１参照）によって往復移動が開始されると、制御ユニット８は例えばヘッドチップ２６の制御回路３５、及びレーザ光源６０のレーザ駆動回路に対して画像データを送信する。
まず、ヘッドチップ２６の制御回路３５は送信された画像データに基づいて、各吐出チャネル４５Ａのコモン端子５１及びダミー端子５３のうち、駆動させる吐出チャネル４５Ａのコモン端子５１及びダミー端子５３間に電圧を印加する。すると、駆動壁４６に厚みすべり変形が生じ、駆動壁４６のうち、吐出チャネル４５Ａを画成する駆動壁４６がダミーチャネル４５Ｂ側へ突出するように変形する。すなわち、本実施形態のアクチュエータプレート４０は、厚さ方向（Ｘ方向）に分極処理された２枚のアクチュエータプレート４０Ａ，４０Ｂが積層されているため、駆動電圧を印加することで、駆動壁４６のＺ方向中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル４５Ａがあたかも膨らむように変形する。

図９は、インクジェットヘッド４の動きを説明するための図であって、図６のＤ−Ｄ線に相当するノズルプレート４３及び被記録媒体Ｓの断面図である。なお、図９では、ノズルプレート４３のうち、一の発光部６０ａと、一の発光部６０ａに対応する一のノズル孔４３ａのみを代表して示している。
このように、図７、図９（ａ）に示すように、２つの駆動壁４６の圧電厚み滑り効果による変形によって、吐出チャネル４５Ａの容積が増大する。そして、吐出チャネル４５Ａの容積が増大したことにより、インク導入孔４１ａ内まで導かれているインクが吐出チャネル４５Ａ内に誘導される。そして、吐出チャネル４５Ａの内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル４５Ａの内部に伝搬し、この圧力波がノズル孔４３ａに到達したタイミングで、コモン端子５１とダミー端子５３に印加した駆動電圧をゼロにする。これにより、駆動壁４６の変形が元に戻り、一旦増大した吐出チャネル４５Ａの容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル４５Ａの内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、インクをノズル孔４３ａから吐出させることができる。この際、インクはノズル孔４３ａを通過する際に、液滴状のインク滴となって吐出される。

一方、図９（ｂ）に示すように、レーザ駆動回路は、制御ユニット８から送信される画像データに基づいて、レーザ光源６０の各発光部６０ａのうち、インク滴が吐出されるノズル孔４３ａに対応する発光部６０ａを駆動し、発光部６０ａから光束を出射させる。このように、制御ユニット８から入力される画像データに基いて各発光部６０ａの動作が制御されることで、複数の発光部６０ａのそれぞれに対して選択的に光エネルギーを印加して、各発光部６０ａから光束を各別に出射させることが可能とされている。

なお、レーザ駆動回路は、インクジェットヘッド４の制御回路３５から、実際にインクジェットヘッド４が駆動しているか否かの信号を受信し、この受信信号に基づいて、各発光部６０ａに駆動信号を送信するように構成されていてもよい。このように構成することで、制御ユニット８からレーザ駆動回路に画像データが送信されているにも関わらず、何らかの要因によりインクジェットヘッド４が駆動していない場合、光束が空出射されることを防止できる。

また、発光部に入力される駆動信号としては、光束の出射時間（発光部６０ａの駆動時間）や、出射タイミング等を含んでいる。なお、本実施形態において、各発光部６０ａの出射タイミングは、ノズル孔４３ａからインク滴が吐出される吐出タイミングと同時、または吐出タイミングの前後のうち、何れを選択しても構わない。

レーザ光源６０の発光部６０ａから出射された光束は、ダミーチャネル４５Ｂ内に供給された後、ダミーチャネル４５Ｂ内に満たされた空気を伝搬媒質として、ビーム径が広がりながら、ダミーチャネル４５Ｂ内をノズルプレート４３に向けて伝搬する。そして、ノズルプレート４３まで伝搬した光束は、ノズルプレート４３を透過して、光学部６２に入射する。そして、光束は光学部６２のレンズ部６２ｂで集光された後、インクジェットヘッド４の外部に向けて出射され、被記録媒体Ｓに照射される。これにより、被記録媒体Ｓが加熱されるため、被記録媒体Ｓ上に着弾したインク滴が加熱される。その結果、インク滴の溶剤が乾燥することで、インク滴の粘度が上昇することになる。

そして、図９（ｃ）に示すように、インク滴が被記録媒体Ｓ上に着弾することで、上述したように被記録媒体Ｓに文字や画像等を記録することができる。この場合、インク滴は、被記録媒体Ｓを介して加熱されたことにより粘度が上昇するので、被記録媒体Ｓに着弾した後、被記録媒体Ｓ上に濡れ広がるのを抑制できる。その結果、微細な印字パターンを得ることができる。

ここで、本実施形態では、ダミーチャネル４５Ｂ内に満たされた空気を伝搬媒質として、ノズルプレート４３に向けて光束を伝搬させる構成とした。
この構成によれば、既存のダミーチャネル４５Ｂを光束の導光部として機能させることで、光ファイバ等、別体の導光部材を用いることなく光束の出射位置をノズル孔４３ａに接近させることができる。
また、ダミーチャネル４５Ｂ内に光束を伝搬させることで、従来のように光束を液体に透過させる場合に比べて、光束の光軸や焦点を安定させることができる。
その結果、光束の照射精度を向上できるため、所望の光エネルギーをインク滴に与えることができる。よって、インク滴を効率的に乾燥させ、インク滴が被記録媒体Ｓ上に濡れ広がるのを確実に抑制できる。
また、既存のダミーチャネル４５Ｂを光束の導光部として機能させることで、別体のレーザヘッドを用いる構成に比べて、装置の小型化、低コスト化を図ることができる。

しかも、アクチュエータプレート４０の後端面４０ｂ上に、ダミーチャネル４５Ｂに対応して発光部６０ａを有するレーザ光源６０を搭載することで、ダミーチャネル４５Ｂとレーザ光源６０との間に別体の導光部を設ける必要がないので、簡素化及び低コスト化を図ることができる。

さらに、本実施形態では、光束を集光する光学部６２をノズルプレート４３に形成しているため、インク滴（被記録媒体Ｓ）に対してより効率的に光エネルギーを与えることができる。そのため、インク滴をより効率的に加熱できる。
また、ノズルプレート４３自体に光学部６２を形成することで、ノズル孔４３ａに対する光学部６２の位置決め精度を向上させることができるとともに、光束の光軸や焦点を安定させることができる。

また、本実施形態のプリンタ１においては、上述したインクジェットヘッド４を備えているため、微細な印字パターンを得ることができる。

なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
また、上述した実施形態では、インクジェットヘッド４が複数搭載された複数色用のプリンタ１について説明したが、これに限られない。例えば、インクジェットヘッド４が一つの単色用のプリンタ１としても構わない。

また、本発明の実施形態で用いられるインクとしては、水性インクや油性インク、ＵＶインク、微細金属粒子インク、炭素インク（カーボンブラック、カーボンナノチューブ、フラーレン、グラフェン）等、種々の材料を用いることができる。なお、上述したインクのうち、水性インクや油性インク、ＵＶインクは複数色用のプリンタ１に好適に用いられ、微細金属粒子インク、炭素インクは単色用のプリンタ１に好適に用いられる。
また、上述した実施形態では、半導体アレイレーザをレーザ光源６０に用いる構成について説明したが、これに限らず、ＹＡＧレーザや、炭酸ガスレーザ等を用いても構わない。
さらに、上述した実施形態では、発光部６０ａをノズル数と同数設ける構成について説明したが、これに限られない。例えば、複数のノズル孔４３ａに対して１つの発光部６０ａを設けてもよい。

さらに、レーザ光源６０（発光部６０ａ）の出射側端面に、発光部６０ａから出射される光束を平行光に変換する平行光変換素子（例えば、コリメートレンズ等）が配設されていても構わない。
この構成によれば、発光部６０ａから出射された光束が平行光変換素子において、平行光に変換された後、ダミーチャネル４５Ｂ内を伝搬するので、ダミーチャネル４５Ｂ内でのビーム径の広がりを抑制できる。そのため、レーザ光源６０からノズルプレート４３（光学部６２）までの距離のトレランスが向上し、設計・製造が容易になる。また、光学部６２のレンズ径を小さくできるので、設計の自由度を向上させることができる。
また、上述した実施形態では、ダミーチャネル４５Ｂ内が空気で満たされている構成について説明したが、これに限らず、空気以外の気体であっても構わない。

また、ダミーチャネル４５Ｂ内において、光束を反射させながら伝搬させても構わない。この場合、ダミーチャネル４５Ｂの内壁面を平滑にし、これを反射面として機能させてもよく、内壁面に反射膜を形成しても構わない。例えば、反射膜として、内壁面に金属膜を形成して、光束を金属反射させたり、空気よりも屈折率の小さい誘電体を内壁面に形成して、光束を全反射させたりしても構わない。
ここで、上述した実施形態では、ダミーチャネル４５Ｂの内壁面のうち、Ｙ方向に向かい合う一対の側壁面に、その全面に亘ってダミー電極５２がそれぞれ形成されているため、このダミー電極５２を反射膜として機能させても構わない。これにより、既存のダミー電極５２を反射膜として用いることで、コスト増を抑制した上で、ダミーチャネル４５Ｂ内において、光束を効率的に伝搬できる。

また、上述した実施形態では、ヘッドチップ２６自体にレーザ光源６０を搭載した構成について説明したが、これに限らず、ヘッドチップ２６から離れた場所（例えば筺体９側）にレーザ光源６０を配置しても構わない。この場合には、図１０に示すように、レーザ光源６０の各発光部６０ａから出射される光束を光ファイバ７０により伝搬させても構わない。図１０に示す光ファイバ７０は、レーザ光源６０（発光部）から出射された光束を全反射条件で導くコア７０ａと、コア７０ａの屈折率より低い屈折率の材料からなり、コア７０ａに密着してコア７０ａを封止するクラッド７０ｂと、を有する、いわゆるステップインデックス型（ＳＩ型）の光ファイバである。そして、光ファイバ７０は、その出射側端面をダミーチャネル４５Ｂ内に向けた状態で、アクチュエータプレート４０の後端面４０ｂ上に固定されている。

この構成によれば、レーザ光源６０の各発光部６０ａから出射された光束は、コア７０ａとクラッド７０ｂとの間で全反射を繰り返しながら光ファイバ７０内を出射側端面に向けて伝搬する。光ファイバ７０内を出射側端面まで伝搬した光束は、ダミーチャネル４５Ｂ内に向けて出射された後、上述した実施形態と同様にダミーチャネル４５Ｂ内を伝搬する。これにより、ヘッドチップ２６にレーザ光源６０を直接搭載する必要がないので、ヘッドチップ２６の小型化を図るとともに、レーザ光源６０で発生する熱がヘッドチップ２６に伝達されるのを抑制できる。

また、図１１に示すように、ＳＩ型の光ファイバ７０の出射側端面に、グレーデッドインデックスファイバ（以下、ＧＩファイバ）７１を接続しても構わない。ＧＩファイバ（平行光変換素子）７１は、光束を伝搬するフィールド内において、その中心の屈折率が外周の屈折率より大きくなっており、中心から径方向外側に向かうにつれ、連続的に屈折率が減少する光ファイバである。これにより、ＧＩファイバ７１内において、光束は正弦波的な光路で伝搬する。つまり、ＧＩファイバ７１の長さを調整することで、ＧＩファイバ７１から出射される光束の出射角を調整することができる。本実施形態では、光ファイバ７０のコア７０ａから出射した光束が、ＧＩファイバ７１により平行光となって出射するようにＧＩファイバ７１の長さが設定されている。なお、光ファイバ７０のコア７０ａから出射した光束が、ＧＩファイバ７１により集光するような出射角で出射するように、ＧＩファイバ７１の長さを設定しても構わない。

さらに、光ファイバ７０を用いる場合、レーザ光源６０とダミーチャネル４５Ｂとの間を、各発光部６０ａに対応する光ファイバ７０によってそれぞれ接続してもよい。また、各発光部６０ａから引き出された光ファイバ（合波用光ファイバ）が接続される合波器を筺体９（制御ユニット８）側に設け、各インクジェットヘッド４側に分波器を設け、これら合波器と分波器との間を１本の連結用光ファイバにより接続する構成としても構わない。

この場合、レーザ光源６０の各発光部６０ａは、それぞれレーザ光の波長が異なるように構成されている。また、合波器としては、いわゆるアレイ導波路回析格子（ＡＷＧ：Ａｒｒａｙｅｄ Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ Ｇｒａｔｉｎｇ）を用いることが可能であり、合波器に供給される異なる波長の光束を合波して、波長多重レーザ光として出力するようになっている。
一方、分波器についても、ＡＷＧを用いることが可能であり、連結用光ファイバを伝搬して合波器から供給された波長多重レーザ光を、それぞれ波長の異なる光束として出力するようになっている。分波器には、各吐出チャネル４５Ａ内に導かれる光ファイバ（分波用光ファイバ）が接続されており、これら分波用光ファイバから波長の異なる光束が出射されるようになっている。

この構成によれば、レーザ光源６０に複数の発光部６０ａを設けつつ、レーザ光源６０とダミーチャネル４５Ｂとの間に配索される連結用光ファイバの本数を１本とすることができる。よって、筐体９内に無駄に光ファイバが配索されてしまうことを防止し、プリンタ１を小型化できると共に、インクジェットヘッド４を走査させる走査手段６の負荷を低減できる。なお、合波器及び分波器の個数は１つに限られるものではなく、複数ずつ設けてもよい。

また、光ファイバ７０に代えて、半導体プロセスにより製造された光導波路を用いても構わない。この場合、まず光導波路を配置する基台上に、クラッドの構成材料を塗布した後、フォトリソグラフィ技術などによりパターニングする。続いて、クラッド上にコアの構成材料を塗布した後、パターニングし、再びクラッドの構成材料を塗布する。その後、パターニングすることで、光導波路を製造することが可能である。

さらに、図１２に示すように、ノズルプレート４３の外面にノズル孔４３ａと光学部６２との間を仕切るインクガード７４を形成しても構わない。具体的に、インクガード７４は、ノズルプレート４３の外面から厚さ方向に窪む溝状とされ、光学部６２の周囲を取り囲むように形成されている。
この構成によれば、ノズルプレート４３の外面に付着したインクが光学部６２に到達するのを抑制できるので、光学部６２が汚れるのを抑制できる。なお、インクガード７４は、ノズル孔４３ａと光学部６２との間を仕切る構成であれば、適宜設計変更が可能である。

また、上述した実施形態では、ノズルプレート４３にレンズ状の光学部６２を形成した場合について説明したが、これに限らず、プリズム形状やミラー形状等に形成しても構わない。
例えば、図１３に示す光学部７５は、ノズル孔４３ａに向けて傾斜する傾斜面７５ａを有するプリズム形状とされている。この構成によれば、光学部７５内に入射した光束は、傾斜面７５ａにおいて反射された後、外部に向けて出射される。この場合、例えば光学部７５の傾斜面において、光束をノズル孔４３ａ側に向けて反射させることで、インク滴の吐出軌跡と光束を接近させることができる。

また、図１４に示すように、レンズ状の光学部７６を、ノズル孔４３ａ側に向けて傾斜するように形成しても構わない。この構成によれば、光学部７６内に入射した光束の光軸を曲げつつ、集光させることができる。すなわち、光学部は、光束を外部に向けて導光（例えば、集光や、屈折、反射等）するような構成であれば、適宜設計変更が可能である。
さらに、ノズルプレート４３の内面に、光学部（例えば、光学部６２）を形成しても構わない。この場合には、光学部が外部に曝されないので、光学部にインク滴等が付着するのを抑制できる。
また、光学部６２を設けない構成としてもよく、ノズルプレート４３に別体の光学部を設けても構わない。

さらに、上述した実施形態では、被記録媒体Ｓ上に光束を照射し、被記録媒体Ｓを介してインク滴を加熱する構成について説明したが、これに限らず、インク滴に光束を照射して、インク滴を直接加熱する構成にしても構わない。インク滴を直接加熱する方法としては、ノズル孔４３ａから吐出されたインク滴に対して、飛翔中に光束を照射してもよく、被記録媒体Ｓ上への着弾後に光束を照射しても構わない。これらの場合には、上述した図１３や、図１４に示すように、ノズルプレート４３から出射される光束の光軸が、対応するノズル孔４３ａから吐出されるインク滴の吐出軌跡と交わるように構成することが好ましい。

さらに、上述した実施形態では、エッジシュートタイプのヘッドチップ２６を例に挙げて説明したが、この場合に限定されず、吐出チャネル４５Ａの長手方向中央に臨むノズル孔４３ａからインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプとしても構わない。
この場合には、例えばアクチュエータプレート４０の他方の主面側にノズルプレート４３を重ね合せ、吐出チャネル４５Ａの長手方向中央部分にノズル孔４３ａに連通する連通口を形成する等すれば良い。
また、インクに加わる圧力の方向と、インク滴の吐出方向と、を同一方向とした、いわゆるルーフシュートタイプのヘッドチップ２６に本発明を適用しても構わない。

また、上述した実施形態では、２枚のアクチュエータプレート４０Ａ，４０Ｂを積層した、いわゆるシェブロン方式のアクチュエータプレート４０を用いる場合について説明したが、これに限られない。例えば、分極方向が厚さ方向に一方向のアクチュエータプレートを用いても構わない。この場合には、駆動壁４６の高さ方向中央部までコモン電極及びダミー電極を形成することで、駆動壁４６を屈曲変形させることができる。

さらに、上述した実施形態では、吐出チャネル４５Ａとダミーチャネル４５Ｂとが交互に並んだ、いわゆるアイソレートタイプのヘッドチップ２６について説明したが、これに限られない。例えば、吐出チャネル４５Ａが連続的に配列された、いわゆるシェアードウォールタイプのヘッドチップ２６を採用することも可能である。

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせても構わない。

１…インクジェットプリンタ（液体噴射装置）
２，３…搬送手段（移動機構）
４，４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
６…走査手段（移動機構）
４０…アクチュエータプレート
４０Ａ…第１アクチュエータプレート
４０Ｂ…第２アクチュエータプレート
４１…カバープレート
４３…ノズルプレート（噴射孔プレート）
４３ａ…ノズル孔（噴射孔）
４５Ａ…吐出チャネル（噴射チャネル）
４５Ｂ…ダミーチャネル
５２…ダミー電極
６０…レーザ光源（光源）
６０ａ…発光部
６２…光学部
７１…グレーデッドインデックスファイバ（平行光変換素子）
Ｓ…被記録媒体

Claims (6)

1. 液体を噴射する複数の噴射孔が並設されるとともに、光透過性を有する噴射孔プレートと、
   前記噴射孔プレートに積層されるとともに、複数のチャネルが間隔をあけて並設されたアクチュエータプレートと、を備え、
   前記複数のチャネルは、
   液体が充填されるとともに、前記噴射孔に各別に連通する複数の噴射チャネルと、
   隣接する前記噴射チャネル間にそれぞれ形成され、内部が気体で満たされたダミーチャネルと、を有し、
   前記ダミーチャネル内には、前記ダミーチャネル内に満たされた気体を伝搬媒質として、前記噴射孔から噴射された液体を加熱するための光束が前記噴射孔プレートに向けて伝搬されることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記アクチュエータプレートのうち、前記噴射孔プレート側とは反対側には、光束を出射する光源が搭載され、
   前記光源は、前記複数のダミーチャネルに各別に対応する複数の発光部がアレイ状に配列されてなるアレイレーザであることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記噴射孔プレートのうち、前記ダミーチャネルに対応する部分には、前記ダミーチャネル内を伝搬した光束を集光する光学部が配設されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記アクチュエータプレートは、前記チャネルの並設方向及び延在方向に直交する厚さ方向に分極されるとともに、互いの分極方向を反対に向けて接合された第１アクチュエータプレート及び第２アクチュエータプレートを備え、
   前記複数のダミーチャネルの内壁面には、駆動電圧を印加する駆動電極がそれぞれ形成され、
   前記ダミーチャネル内を伝搬する光束は、前記駆動電極で反射されながら、前記噴射孔プレートに導かれることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記アクチュエータプレートのうち、前記噴射孔プレート側とは反対側には、光束を出射する光源が搭載され、
   前記光源と前記ダミーチャネルとの間には、前記ダミーチャネル内に向けて出射される光束を平行光に変換する平行光変換素子が配設されていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 請求項１記載の液体噴射ヘッドと、
   前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする液体噴射装置。

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