JP2016196126A - 噴射孔プレートの製造方法、噴射孔プレート、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】噴射孔を短時間で所望の形状に形成できる噴射孔プレートの製造方法、噴射孔プレート、液体噴射ヘッド、液体噴射装置を提供する。【解決手段】インクを噴射するノズル孔を有するノズルプレートの製造方法であって、母材６１の上面６１ａに、椀状部５５を等方性エッチングにより形成する椀状部形成工程と、母材６１の下面において、母材６１の厚さ方向で椀状部５５と重なる部分に凹部５１，５２を形成する凹部形成工程と、椀状部５５内及び凹部５１，５２内を連通させる連通部５６を形成する連通部形成工程と、を有し、椀状部５５及び連通部５６によりノズル孔を構成することを特徴とする。【選択図】図１７

Description

本発明は、噴射孔プレートの製造方法、噴射孔プレート、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。

従来、紙等の被記録媒体に液滴状のインクを吐出して、被記録媒体に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタがある。上述したインクジェットヘッドは、複数のノズル孔が形成されたノズルプレートと、圧電材料からなり、ノズル孔に連通する複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、を有している。

下記特許文献１には、ノズルプレートをシリコン単結晶基板により形成する構成が開示されている。この構成によれば、シリコン単結晶基板のうち、インクの吐出面側からドライエッチングを行って同径部を形成し、導入面側からウェットエッチングを行って同径部に連通するテーパ部を形成することで、ノズル孔を高精度に形成できるとされている。

特願２００２−２０５４０４号公報

ところで、インクジェットヘッドの製造工程において、ノズルプレートとアクチュエータプレートとを組み付ける際には、ノズルプレート及びアクチュエータプレートを加熱しながら接合や接着するのが一般的である。
しかしながら、上述した特許文献１のようにノズルプレートにシリコン単結晶基板を用いる場合には、ノズルプレートとアクチュエータプレートとの熱膨張率の違いによってノズル孔とチャネルとの位置ずれが生じ易く、歩留まりが低下するという課題がある。

そこで、アクチュエータプレートの材料と熱膨張率が近い材料として、ホウケイ酸ガラス等をノズルプレートの材料として用いることが検討されている。
しかしながら、ホウケイ酸ガラスは加工性が低く、ノズル孔を短時間で所望の形状に形成することが難しい。

具体的に、ノズル孔を等方性エッチングで形成する場合には、サイドエッチングの影響により、ノズル孔の導入面側の内径がノズルプレートの板厚よりも大きくなる。そのため、ノズル孔のピッチが大きくなり、高密度記録化に対応することが難しい。なお、ノズルプレートの板厚を薄くした場合には、ノズルプレートの強度や剛性が低下し、ノズルプレートの取り扱いが難しくなる。その結果、作業効率や歩留まりの低下に繋がる。また、ノズル孔の吐出面側の内径はノズルプレートの板厚に依存するため、同じエッチングレートで等方性エッチングを行った場合、板厚ばらつきに起因してノズル孔の吐出口の内径にばらつきが生じる。
一方、異方性エッチングのうち、ウェットエッチングはホウケイ酸ガラスのようなアモルファス材料には使用できず、ドライエッチングはエッチングレートが遅く、加工時間が長くなるという課題がある。

本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、噴射孔を短時間で所望の形状に形成できる噴射孔プレートの製造方法、噴射孔プレート、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することである。

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明に係る噴射孔プレートの製造方法は、液体を噴射する噴射孔を有する噴射孔プレートの製造方法であって、母材の一面に、液体の導入口となる一面側凹部を等方性エッチングにより形成する一面側凹部形成工程と、前記母材の他面において、前記母材の厚さ方向で前記一面側凹部と重なる部分に他面側凹部を形成する他面側凹部形成工程と、前記一面側凹部内及び前記他面側凹部内を連通させるとともに、液体の噴射口となる連通部を形成する連通部形成工程と、を有し、前記一面側凹部及び前記連通部により前記噴射孔を構成することを特徴とする。

この構成によれば、母材に他面側凹部を形成することで、母材全体の板厚を確保した上で、噴射孔の形成領域の板厚を薄くできる。そのため、母材の強度や剛性を確保し、作業効率や歩留まりの向上を図ることができる。
また、母材のうち、噴射孔の形成領域の板厚を薄くすることで、等方性エッチングにより一面側凹部を形成する際に、母材全体の板厚に依存せずに、一面側凹部を所望の形状に形成できる。この場合、導入口の内径が母材全体の板厚よりも小径の噴射孔を形成でき、噴射孔の狭ピッチ化が可能になるので、高密度記録化を図ることができる。また、一面側凹部を等方性エッチングにより形成することで、ホウケイ酸ガラス等の加工性の低い材料であっても、短時間で噴射孔を形成することができる。
特に、母材の両面に一面側凹部及び他面側凹部を各別に形成することで、母材のうち一面側凹部と他面側凹部間に位置する部分には、薄肉の残存部が形成される。そして、連通部形成工程では、母材の残存部に対して加工を施すので、例えば等方性エッチングにより噴射孔を一括で形成する場合に比べて、アスペクト比（内径に対する深さの比）の小さい連通部を形成できる。さらに、母材の板厚ばらつきに起因する噴射口の内径ばらつきを抑制できる。そのため、噴射孔を所望の形状に形成することができる。

また、本発明に係る噴射孔プレートの製造方法において、前記連通部形成工程は、ドライエッチングにより行ってもよい。
この場合には、深さ方向において内径が一様とされたストレート形状の連通部を高精度に形成することができる。この場合、母材の残存部のみに対してドライエッチングを行うため、母材全体をドライエッチングにより加工する場合に比べて加工時間の短縮を図ることができる。しかも、ドライエッチングにより連通部を形成することで、エッチングの加工面側のみにマスクパターンを形成すればよいので、作業効率の向上を図ることができる。

また、本発明に係る噴射孔プレートの製造方法において、前記連通部形成工程は、前記母材の両面にマスク材を形成するマスク材形成工程と、前記マスク材のうち、前記母材の一方の面側に位置する前記マスク材をパターニングして前記連通部のマスクパターンを形成するマスクパターン形成工程と、前記マスクパターンをマスクとしてウェットエッチングを行い、前記連通部を形成する連通部エッチング工程と、を有していてもよい。
この場合には、連通部形成工程をウェットエッチングにより行うことで、連通部を短時間で高精度に形成することができる。なお、連通部をウェットエッチングにより行う場合には、残存部の板厚を一定に維持した状態でエッチング量を多くすることで、連通部をストレート形状に近づけることができる。

また、本発明に係る噴射孔プレートの製造方法において、前記連通部形成工程は、レーザ加工により行ってもよい。
この場合には、ストレート形状の連通部を高精度に形成できる。また、母材の残存部のみに対してレーザ光を照射することで、レーザ光の強度や照射時間を抑えることができ、母材のうち、連通部の周囲に与える熱の影響を抑えることができる。
また、レーザ加工により連通部を形成することで、エッチング等で連通部を形成する場合と異なり、母材にマスクパターンを形成する必要がない。そのため、作業効率の向上を図ることができる。また、一面側凹部や他面側凹部の内形寸法（母材の厚さ方向から見た平面視の大きさ）や表面形状の関係でマスクパターンが形成できないような場合であっても、連通部を形成することができる。

また、本発明に係る噴射孔プレートの製造方法において、前記他面側凹部形成工程では、前記母材の厚さ方向から見た平面視の大きさが前記一面側凹部よりも大きくなるように前記他面側凹部を形成してもよい。
この構成によれば、母材の厚さ方向から見た平面視において、他面側凹部の大きさ（内形寸法）を一面側凹部よりも大きく形成することで、噴射孔（一面側凹部及び連通部）から噴射される液体の流通が他面側凹部によって阻害されるのを抑制できる。これにより、液体の噴射性能を向上させることができる。

また、本発明に係る噴射孔プレートの製造方法において、前記連通部形成工程では、前記他面側から前記連通部を形成してもよい。
この場合には、母材のうち、一面側凹部よりも内形寸法が大きい他面側凹部側から連通部を形成することで、一面側凹部側から連通部を形成する場合に比べて、作業効率や歩留まりの向上を図ることができる。

また、本発明に係る噴射孔プレートの製造方法において、複数の前記噴射孔が間隔をあけて一列並設されて噴射孔列を構成し、前記他面側凹部形成工程では、前記母材の厚さ方向から見た平面視で前記噴射孔列全体と重なり合う大きさで前記他面側凹部を形成してもよい。
この場合には、噴射孔列と重なり合う大きさで他面側凹部を形成することで、各噴射孔ごとに他面側凹部を形成する場合に比べて簡素化を図るとともに、作業効率を向上させることができる。

また、本発明に係る噴射孔プレートの製造方法において、前記母材は、ホウケイ酸ガラスを用いてもよい。
この場合には、母材の材料として、アクチュエータプレートを構成する圧電材料と熱膨張率が近いホウケイ酸ガラスを用いることで、アクチュエータプレートとの組付時において、噴射孔とアクチュエータプレートのチャネルとの位置ずれを抑えることができる。そのため、歩留まりを向上させることができる。

本発明に係る噴射孔プレートは、上記本発明の噴射孔プレートの製造方法により製造されていることを特徴とする。
この場合には、上記本発明の噴射孔プレートの製造方法により製造されているため、所望の形状の噴射孔を狭ピッチで形成することができる。
また、噴射孔のうち、連通部のみを小径に形成することができるので、噴射孔全体を小径に形成する場合に比べて流路抵抗を小さくでき、液体が噴射孔を通過する際のエネルギー損失を低減できる。
さらに、連通部を形成することで、等方性エッチングにより噴射孔を一括で形成する場合に比べ、噴射孔の噴射口側の開口縁が先鋭形状になるのを抑制できる。そのため、噴射口側の開口縁の欠け等の損傷を抑制して、長期に亘って安定した噴射性能を維持できる。

本発明に係る液体噴射ヘッドは、上記本発明の噴射孔プレートと、液体が充填されるとともに前記噴射孔の前記一面側凹部内に連通するチャネルを有するアクチュエータプレートと、を備えていることを特徴とする。
この場合には、上記本発明の噴射孔プレートを備えているので、信頼性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。

本発明に係る液体噴射装置は、上記本発明の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする。
この場合には、上記本発明の液体噴射ヘッドを備えているので、信頼性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。

本発明によれば、噴射孔を短時間で所望の形状に形成できる。

インクジェットプリンタの概略構成図である。 インクジェットヘッドの斜視図である。 吐出部を下方から見た斜視図である。 吐出部を下方から見た分解斜視図である。 ノズルプレートの断面図である。 ノズルプレートの製造方法を説明するための工程図である。 ノズルプレートの製造方法（椀状部形成工程）を説明するための工程図である。 ノズルプレートの製造方法（椀状部形成工程）を説明するための工程図である。 ノズルプレートの製造方法（椀状部形成工程）を説明するための工程図である。 ノズルプレートの製造方法（椀状部形成工程）を説明するための工程図である。 ノズルプレートの製造方法（椀状部形成工程）を説明するための工程図である。 ノズルプレートの製造方法（凹部形成工程）を説明するための工程図である。 ノズルプレートの製造方法（凹部形成工程）を説明するための工程図である。 ノズルプレートの製造方法（凹部形成工程）を説明するための工程図である。 ノズルプレートの製造方法（凹部形成工程）を説明するための工程図である。 ノズルプレートの製造方法（連通部形成工程）を説明するための工程図である。 ノズルプレートの製造方法（連通部形成工程）を説明するための工程図である。 第１変形例に係るノズルプレートの製造方法を説明するための工程図である。 第１変形例に係るノズルプレートの製造方法を説明するための工程図である。 第２変形例に係るノズルプレートの製造方法を説明するための工程図である。 第２変形例に係るノズルプレートの製造方法を説明するための工程図である。 実施形態の他の構成に係るノズルプレートの平面図である。 実施形態の他の構成に係るノズルプレートの平面図である。

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。本実施形態では、本発明の液体噴射装置の一例として、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

［プリンタ］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、プリンタ１は、紙等の被記録媒体Ｓを搬送する一対の搬送機構２，３と、被記録媒体Ｓにインク滴を噴射するインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）４と、インクジェットヘッド４にインクを供給するインク供給手段５と、被記録媒体Ｓの搬送方向（主走査方向）と直交する方向（副走査方向）にインクジェットヘッド４を走査させる走査手段６と、を備えている。なお、以下の説明においては、上述した主走査方向をＸ方向、副走査方向をＹ方向、そしてＸ方向、及びＹ方向に直交する方向をＺ方向として説明する。

一対の搬送機構２，３は、それぞれＹ方向に延びるグリッドローラ２ａ，３ａと、グリッドローラ２ａ，３aとそれぞれに平行に延びるピンチローラ２ｂ，３ｂと、グリッドローラ２ａ，３ａをその軸回りに回転動作させるモータ等の図示しない駆動機構と、を備えている。

インク供給手段５は、インクが収容されたインクタンク１０と、インクタンク１０とインクジェットヘッド４とを接続するインク配管１１と、を備えている。
インクタンク１０は、例えばイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂ）の４種類のインクが各別に収容されたインクタンク１０Ｙ，１０Ｍ，１０Ｃ，１０Ｂを備えている。なお、インクは、４種類に限られるものではなく、さらに多色であってもよく、単色であってもよい。
インク配管１１は、例えば可撓性を有するフレキシブルホースであり、インクジェットヘッド４を支持するキャリッジ１６の動作（移動）に追従可能とされている。

走査手段６は、Ｙ方向に延び、かつＸ方向に間隔をあけて互いに平行に配置された一対のガイドレール１４，１５と、一対のガイドレール１４，１５に沿って移動可能に配置されたキャリッジ１６と、キャリッジ１６をＹ方向に移動させる駆動機構１７と、を備えている。なお、走査手段６及び上述した搬送機構２，３により、インクジェットヘッド４と被記録媒体Ｓとを相対的に移動させる移動機構を構成している。
駆動機構１７は、一対のガイドレール１４，１５の間に配置され、Ｙ方向に間隔をあけて配置された一対のプーリ１８と、一対のプーリ１８間に巻回されてＹ方向に走行する無端ベルト１９と、一方のプーリ１８を回転駆動させる駆動モータ２０と、を備えている。

キャリッジ１６は、無端ベルト１９に連結されており、一方のプーリ１８の回転駆動による無端ベルト１９の移動に伴ってＹ方向に移動可能とされている。また、キャリッジ１６には、複数のインクジェットヘッド４がＹ方向に並んだ状態で搭載されている。図示の例では、４種類のインク各色をそれぞれ吐出する４つのインクジェットヘッド４（すなわち、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）が、キャリッジ１６に搭載されている。

＜インクジェットヘッド＞
次に、上述したインクジェットヘッド４について詳述する。図２はインクジェットヘッド４の斜視図である。なお、上述した各インクジェットヘッド４は、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明では、一のインクジェットヘッド４について説明する。
図２に示すように、インクジェットヘッド４は、キャリッジ１６に固定される固定プレート２１と、この固定プレート２１上に固定された吐出部２２と、インク供給手段５から供給されるインクを、吐出部２２の後述する共通インク室４６にさらに供給するインク供給部２３と、吐出部２２に駆動電圧を印加するヘッド駆動部２４と、を備えている。

固定プレート２１には、アルミ等の金属製の支持プレート２５がＺ方向に沿って起立した状態で固定されているとともに、吐出部２２にインクを供給する流路部材２６が固定されている。支持プレート２５には、インクを貯留する貯留室を内部に有する圧力緩衝器２７が支持されている。圧力緩衝器２７は、上述したインク配管１１を通してインクタンク１０に接続される一方、インク連結管２８を通して流路部材２６に接続されている。この場合、圧力緩衝器２７は、インク配管１１を通してインクが供給されると、インクを内部の貯留室内に一旦貯留した後、所定量のインクをインク連結管２８及び流路部材２６を通して吐出部２２に供給する。なお、これら流路部材２６、圧力緩衝器２７及びインク連結管２８により、上述したインク供給部２３を構成している。

また、支持プレート２５には、吐出部２２を駆動するための集積回路等の制御回路３１が搭載されたＩＣ基板２９が取り付けられている。このＩＣ基板２９は、フレキシブルプリント基板３０（以下、ＦＰＣ３０という）を介して、吐出部２２に電気的に接続されている。そして、これら制御回路３１が搭載されたＩＣ基板２９、及びＦＰＣ３０により、上述したヘッド駆動部２４を構成している。

図３は吐出部２２を下方から見た斜視図であり、図４は吐出部２２を下方から見た分解斜視図である。
図３、図４に示すように、吐出部２２は、複数のノズル孔（第１ノズル孔４８ａ及び第２ノズル孔４９ａ）からなるノズル列４８，４９が二列に亘って形成された二列タイプの吐出部２２である。具体的に、吐出部２２は、Ｙ方向に積層された第１ヘッドチップ３１Ａ及び第２ヘッドチップ３１Ｂと、各ヘッドチップ３１Ａ，３１Ｂをまとめて支持するノズルキャップ３２と、各ヘッドチップ３１Ａ，３１Ｂに固定されたノズルプレート（噴射孔プレート）３３と、を備えている。なお、各ヘッドチップ３１Ａ，３１Ｂは、後述する吐出チャネル４３ａを通してインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプとされている。したがって、本実施形態の吐出部２２は、Ｚ方向が上下方向に一致した状態で設置される。以下、Ｚ方向に沿うノズルプレート３３側を下側（下方）、ノズルプレート３３側とは反対側を上側（上方）という場合がある。また、以下の説明では、主に第１ヘッドチップ３１Ａについて説明し、第２ヘッドチップ３１Ｂにおける第１ヘッドチップ３１Ａと対応する箇所には同一の符号を付して説明を省略する。

第１ヘッドチップ３１Ａは、Ｙ方向に積層されたアクチュエータプレート４１及びカバープレート４２を主に備えている。
アクチュエータプレート４１は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成され、その分極方向が厚さ方向（Ｙ方向）に沿って一方向に設定されている。

アクチュエータプレート４１の表面４１ａ（Ｙ方向のカバープレート４２側に位置する面）には、Ｘ方向に間隔をあけて複数のチャネル４３が並設されている。これら複数のチャネル４３は、表面４１ａ側に開口した状態でＺ方向に沿って直線状に延設されるとともに、アクチュエータプレート４１の下端面で開口している。アクチュエータプレート４１のうち、各チャネル４３間に位置する部分は、各チャネル４３を画成する駆動壁４４を構成している。

各チャネル４３は、インクが充填される吐出チャネル４３ａと、インクが充填されないダミーチャネル４３ｂと、を有している。そして、これら吐出チャネル４３ａ及びダミーチャネル４３ｂは、Ｘ方向に交互に並んで配置されている。各チャネル４３内面（駆動壁４４）には、図示しない駆動電極が形成されている。駆動電極は、アクチュエータプレート４１の上端部において、表面４１ａ上に引き出され、上述したＦＰＣ３０に接続されている。

カバープレート４２は、裏面４２ａ（Ｙ方向でアクチュエータプレート４１側に位置する面）がアクチュエータプレート４１の表面４１ａ上に接合された板状とされ、各チャネル４３を閉塞している。カバープレート４２は、表面４２ｂ（Ｙ方向でアクチュエータプレート４１側とは反対側の面）に形成された凹状の共通インク室４６と、共通インク室４６及び吐出チャネル４３ａをそれぞれ連通させる複数のスリット４７と、を有している。

共通インク室４６は、カバープレート４２の上端部に位置し、アクチュエータプレート４１側に向けて窪む溝であり、Ｘ方向に沿って延設されている。
スリット４７は、共通インク室４６のうち、Ｘ方向で吐出チャネル４３ａに対応する位置に形成され、共通インク室４６内と吐出チャネル４３ａ内とを連通している。

第２ヘッドチップ３１Ｂは、上述した第１ヘッドチップ３１Ａと同様にアクチュエータプレート４１及びカバープレート４２がＹ方向に積層されて構成されている。そして、各ヘッドチップ３１Ａ，３１Ｂは、アクチュエータプレート４１の裏面４１ｂ同士が接合されることで、一体的に構成されている。

第２ヘッドチップ３１Ｂの吐出チャネル４３ａ及びダミーチャネル４３ｂは、第１ヘッドチップ３１Ａの吐出チャネル４３ａ及びダミーチャネル４３ｂの配列ピッチに対して半ピッチずれて配列され、各ヘッドチップ３１Ａ，３１Ｂの吐出チャネル４３ａ同士、及びダミーチャネル４３ｂ同士が互い違い（千鳥状）に配列されている。

ノズルキャップ３２は、Ｚ方向から見た平面視外形が長方形状を呈している。ノズルキャップ３２には、Ｚ方向に貫通する嵌合孔３２ａが形成され、上述した各ヘッドチップ３１Ａ，３１Ｂがまとめて嵌合されている。図示の例において、各ヘッドチップ３１Ａ，３１Ｂは、その下端面がノズルキャップ３２の下端面と面一となるように組み合わされている。

＜ノズルプレート＞
ノズルプレート３３は、例えばホウケイ酸ガラスや石英ガラス等のガラス材料からなる板材であり、ノズルキャップ３２及び各ヘッドチップ３１Ａ，３１Ｂの下端面に接着等により固定されている。なお、ノズルプレート３３の厚さは、例えば７０μｍ程度とされている。

ノズルプレート３３の下面には、上方に向けて窪む凹部（他面側凹部）５１，５２がＹ方向に間隔をあけて２列形成されている。これら凹部５１，５２は、Ｚ方向から見た平面視でＸ方向を長手方向とする長方形状とされ、互いに平行に延設されている。各凹部５１，５２のうち、第１凹部５１は上述した第１ヘッドチップ３１Ａの全チャネル４３にＺ方向で対向し、第２凹部５２は第２ヘッドチップ３１Ｂの全チャネル４３にＺ方向で対向している。なお、凹部５１，５２は、深さが例えば４０μｍ程度とされている。すなわち、凹部５１，５２は、その頂部がノズルプレート３３におけるＺ方向の中央部に位置し、ノズルプレート３３をＺ方向に貫通していない。

ノズルプレート３３のうち、上述した第１凹部５１とＺ方向で重なる部分には、第１ヘッドチップ３１Ａから液滴を吐出するための第１ノズル孔４８ａがＸ方向に間隔をあけて複数並設されている。これら第１ノズル孔４８ａは、第１ヘッドチップ３１Ａの吐出チャネル４３ａにＺ方向で対向する位置に各別形成され、吐出チャネル４３ａ内と第１凹部５１内とを連通している。なお、各第１ノズル孔４８ａは、Ｘ方向に一列に並んで第１ノズル列４８を構成している。本実施形態において、上述した第１凹部５１は、Ｚ方向から見た平面視の大きさ（内形寸法）が第１ノズル列４８よりも大きく形成され、第１ノズル列４８全体とＺ方向で重なり合っている。

ノズルプレート３３のうち、上述した第２凹部５２とＺ方向で重なる部分には、第２ヘッドチップ３１Ｂから液滴を吐出するための第２ノズル孔４９ａがＸ方向に間隔をあけて複数並設されている。これら第２ノズル孔４９ａは、第２ヘッドチップ３１Ｂの吐出チャネル４３ａにＺ方向で対向する位置に各別形成され、吐出チャネル４３ａ内と第２凹部５２内とを連通している。したがって、各ダミーチャネル４３ｂは、ノズル孔４８ａ，４９ａには連通しておらず、ノズルプレート３３により下方から覆われている。なお、各第２ノズル孔４９ａは、Ｘ方向に一列に並んで第２ノズル列４９を構成している。本実施形態において、上述した第２凹部５２は、Ｚ方向から見た平面視の内形寸法が第２ノズル列４９よりも大きく形成され、第２ノズル列４９全体とＺ方向で重なり合っている。

次に、各ノズル孔４８ａ，４９ａについて詳述する。図５は、ノズルプレート３３の断面図である。なお、第１ノズル孔４８ａ及び第２ノズル孔４９ａは、それぞれ同様の構成とされている。そのため、以下の説明では第１ノズル孔４８ａについて説明し、第２ノズル孔４９ａにおいて第１ノズル孔４８ａと同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
図５に示すように、第１ノズル孔４８ａは、ノズルプレート３３の上面（導入面）から下方に向けて窪む椀状部（一面側凹部）５５と、椀状部５５内と第１凹部５１内とを連通させる連通部５６と、を有している。

椀状部５５は、下方に向けて凸の半球状とされ、下方に向かうに従い内径が漸次縮小している。椀状部５５は、その上端開口部（導入口）が対応する吐出チャネル４３ａ内に向けて開口している。なお、椀状部５５は、深さが例えば３０μｍ程度とされ、上端開口部の内径が７０μｍ〜７５μｍ程度とされている。
連通部５６は、椀状部５５の底部から下方に向けて延設されている。連通部５６は、その上端開口部が椀状部５５の下端開口部に連通し、下端開口部（噴射口）が第１凹部５１の頂部上で開口している。なお、連通部５６は、上方に向かうに従い内径が漸次縮小するとともに、その内周面が上方に向けて凸の曲面状を呈している。但し、連通部５６は、Ｚ方向の全体に亘って内径が一様なストレート形状を呈していても構わない。また、連通部５６は、深さが例えば５μｍ以下とされ、内径が２５μｍ〜３０μｍ程度とされている。

［プリンタの動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｓに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク１０にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。
このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、搬送機構２，３のグリッドローラ２ａ，３ａが回転することで、これらグリッドローラ２ａ，３ａ及びピンチローラ２ｂ，３ｂ間に被記録媒体ＳをＸ方向に向けて搬送する。また、これと同時に駆動モータ２０がプーリ１８を回転させて無端ベルト１９を走行させる。これにより、キャリッジ１６がガイドレール１４，１５にガイドされながらＹ方向に往復移動する。
そしてこの間に、各インクジェットヘッド４より４色のインクを記録紙Ｓに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。

ここで、各インクジェットヘッド４の動きについて、以下に詳細に説明する。
ＦＰＣ３０を介して各ヘッドチップ３１Ａ，３１Ｂの駆動電極間に電圧が印加されると、吐出チャネル４３ａを画成する２つ駆動壁４４に厚み滑り変形が生じる。すると、これら２つの駆動壁４４は、Ｙ方向の中間部分を中心にしてダミーチャネル４３ｂ側へ突出するようにＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル４３ａがあたかも膨らむように変形する。

このように、２つの駆動壁４４の圧電厚み滑り効果による変形によって、吐出チャネル４３ａの容積が増大する。そして、吐出チャネル４３ａの容積が増大したことにより、共通インク室４６内に貯留されたインクが吐出チャネル４３ａ内に誘導される。そして、吐出チャネル４３ａの内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル４３ａの内部に伝播し、この圧力波がノズル孔４８ａ，４９ａに到達したタイミングで、駆動電極間に印加した電圧をゼロにする。これにより、駆動壁４４が復元し、一旦増大した吐出チャネル４３ａの容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル４３ａの内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、液滴状のインクがノズル孔４８ａ，４９ａを通って外部に吐出されることで、上述したように被記録媒体Ｓに文字や画像等を記録することができる。

［ノズルプレートの製造方法］
次に、本実施形態のノズルプレート３３の製造方法について説明する。図６〜図１７は、ノズルプレート３３の製造方法を説明するための工程図であり、ノズルプレート３３となる母材６１の断面図である。
本実施形態のノズルプレート３３の製造方法は、ノズルプレート３３となる母材６１の上面６１ａから椀状部５５を形成する椀状部形成工程（一面側凹部形成工程）と、母材６１の下面６１ｂから凹部５１，５２を形成する凹部形成工程（他面側凹部形成工程）と、凹部５１，５２内及び椀状部５５内を連通させる連通部５６を形成する連通部形成工程と、を有している。なお、母材６１は、例えばホウケイ酸ガラスからなる板材であって、厚さが７０μｍ程度とされている。

椀状部形成工程では、まず図６に示す母材６１の上面６１ａに、椀状部形成用のエッチングマスク６２（図９参照）を形成する（エッチングマスク形成工程）。具体的には、図７に示すように、スパッタリング等により母材６１の両面６１ａ，６１ｂに、金属膜６３，６４を形成する。金属膜６３，６４のうち、上面６１ａ側の金属膜６３は後述する椀状部エッチング工程においてエッチングマスク６２として機能する。一方、下面６１ｂ側の金属膜６４は、椀状部エッチング工程において保護膜として機能し、後述する凹部エッチング工程においてエッチングマスク７１として機能する。なお、金属膜６３，６４は、クロム等からなる下地層上に金等からなる上地層が積層された積層膜とされている。

次に、図８に示すように、金属膜６３，６４上の全面に亘ってフォトレジスト膜６５を形成する。その後、フォトリソ技術を用いてフォトレジスト膜６５をパターニングし、上面６１ａ側のフォトレジスト膜６５に、椀状部５５に対応する開口部６５ａを形成する。これにより、開口部６５ａを通して金属膜６３が露出する。
続いて、図９に示すように、フォトレジスト膜６５を介して金属膜６３をエッチングする。このとき、金属膜６３のうち、フォトレジスト膜６５の開口部６５ａを通して露出した部分が選択的にエッチングされる。これにより、母材６１の上面６１ａ側には、椀状部５５に対応する開口部６３ａを有するとともに、開口部６３ａを通して母材６１を露出させるエッチングマスク６２が形成される。

次に、図１０に示すように、上述したエッチングマスク６２をマスクとして、母材６１をエッチングする（椀状部エッチング工程）。椀状部エッチング工程では、ＨＦ水溶液等を用いたウェットエッチングにより等方性エッチングを行う。すると、母材６１のうち、開口部６３ａを通して露出した部分が選択的にエッチングされる。これにより、母材６１には、下方に向けて凸の半球状を呈する椀状部５５が形成される。なお、椀状部エッチング工程でのエッチング量は、母材６１の厚さの半分程度（３０μｍ程度）に設定する。

次に、図１１に示すように、フォトレジスト膜６５及びエッチングマスク６２（上面６１ａ側の金属膜６３）を除去する（除去工程）。これにより、母材６１の下面６１ｂ上のみに金属膜６４が残存した状態となる。
以上により、椀状部形成工程が終了する。

図１２に示すように、凹部形成工程では、まず母材６１の上面６１ａに保護膜となる金属膜６６を形成する。なお、金属膜６６は、上述した金属膜６３，６４と同様に、クロム等からなる下地層上に金等からなる上地層が積層された積層膜とされている。

次に、図１３に示すように、母材６１の下面６１ｂに凹部形成用のエッチングマスク７１を形成する。エッチングマスク７１は、上述した椀状部形成用のエッチングマスク６２と同様の方法により形成することができる。すなわち、金属膜６４，６６上にフォトレジスト膜７２を形成した後、このフォトレジスト膜７２をパターニングすることで、凹部５１，５２に対応する開口部７２ａを下面６１ｂ側のフォトレジスト膜７２に形成する。その後、フォトレジスト膜７２を介して金属膜６４をエッチングする。これにより、母材６１の下面６１ｂ側に、凹部５１，５２に対応する開口部６４ａを有するとともに、開口部６４ａを通して母材６１を露出させるエッチングマスク７１が形成される。

次に、図１４に示すように、上述したエッチングマスク７１をマスクとして、母材６１をエッチングする（凹部エッチング工程）。凹部エッチング工程では、上述した椀状部エッチング工程と同様に、ＨＦ水溶液等を用いたウェットエッチングにより等方性エッチングを行う。すると、母材６１のうち、開口部６４ａを通して露出した部分が選択的にエッチングされる。これにより、母材６１には、上方に向けて窪む凹部５１，５２が形成される。凹部エッチング工程でのエッチング量は、母材６１を貫通させず、母材６１のうち、椀状部５５の底部及び凹部５１，５２の頂部間に位置する部分に残存部Ｒが形成されるように設定する。なお、本実施形態における凹部エッチング工程でのエッチング量は、母材６１の厚さの半分程度（４０μｍ程度）とされ、残存部Ｒが５μｍ以下程度残るように設定されている。

次に、図１５に示すように、フォトレジスト膜７２及びエッチングマスク７１（下面６１ｂ側の金属膜６４）を除去する（除去工程）。これにより、母材の上面６１ａ上のみに金属膜６６が残存した状態となる。
以上により、凹部形成工程が終了する。

図１６に示すように、連通部形成工程では、まず母材の下面６１ｂ側に連通部形成用のエッチングマスク（マスクパターン）７５を形成する（図１７参照）。エッチングマスク７５は、上述した椀状部や凹部形成用のエッチングマスク６２，７１と同様の方法により形成することができる。すなわち、母材６１の下面６１ｂ上に金属膜７６を形成した後、母材６１の両面に図示しないフォトレジスト膜を形成する。次いで、母材６１の下面６１ｂ側に位置するフォトレジスト膜をパターニングすることで、連通部５６に対応する開口部をフォトレジスト膜に形成する。その後、図１７に示すように、フォトレジスト膜を介して金属膜７６をエッチングすることで、母材６１の下面６１ｂ側に、連通部５６に対応する開口部７６ａを有するとともに、開口部７６ａを通して母材６１を露出させるエッチングマスク７５が形成される。なお、エッチングマスク７５の形成後、フォトレジスト膜を除去する。

次に、上述したエッチングマスク７５をマスクとして、母材６１をエッチングする（連通部エッチング工程）。連通部エッチング工程では、上述した椀状部エッチング工程や凹部エッチング工程と同様に、ＨＦ水溶液等を用いたウェットエッチングにより等方性エッチングを行う。すると、母材６１のうち、開口部７６ａを通して露出した部分が選択的にエッチングされる。これにより、母材６１の残存部Ｒがエッチングされ、各椀状部５５内と凹部５１，５２内とを連通させる連通部５６が形成される。そして、この連通部５６と椀状部５５とにより、ノズル孔４８ａ，４９ａが形成される。

その後、フォトレジスト膜、エッチングマスク７５及び金属膜６６を除去する。
以上により、連通部形成工程が終了し、図５に示す本実施形態のノズルプレート３３が完成する。

このように、本実施形態では、母材６１の上面６１ａから椀状部５５を形成する椀状部形成工程と、母材６１の下面６１ｂから凹部５１，５２を形成する凹部形成工程と、凹部５１，５２内及び椀状部５５内を連通させる連通部５６を形成する連通部形成工程と、を有する構成とした。
この構成によれば、母材６１（ノズルプレート３３）に凹部５１，５２を形成することで、母材６１全体の板厚を確保した上で、ノズル孔４８ａ，４９ａの形成領域の板厚を薄くできる。そのため、母材６１の強度や剛性を確保し、作業効率や歩留まりの向上を図ることができる。
また、母材６１のうち、ノズル孔４８ａ，４９ａの形成領域の板厚を薄くすることで、等方性エッチングにより椀状部５５を形成する際に、母材６１全体の板厚に依存せずに、椀状部５５を所望の形状に形成できる。この場合、導入口の内径が母材６１全体の板厚よりも小径のノズル孔４８ａ，４９ａを形成でき、ノズル孔４８ａ，４９ａの狭ピッチ化が可能になるので、高密度記録化を図ることができる。また、椀状部５５を等方性エッチングにより形成することで、ホウケイ酸ガラス等の加工性の低い材料であっても、短時間でノズル孔４８ａ，４９ａを形成することができる。

特に、連通部形成工程において、母材６１の残存部Ｒに対して連通部５６を形成するため、等方性エッチングによりノズル孔４８ａ，４９ａを一括で形成する場合に比べて、アスペクト比の小さい連通部５６を形成できる。さらに、母材６１の板厚ばらつきに起因するノズル孔４８ａ，４９ａの吐出口の内径ばらつきを抑制できる。そのため、ノズル孔４８ａ，４９ａを所望の形状に形成することができる。

また、連通部形成工程（連通部エッチング工程）をウェットエッチングにより行うことで、連通部５６を短時間で高精度に形成することができる。なお、連通部５６をウェットエッチングにより行う場合であっても、残存部Ｒの板厚を一定に維持した状態でエッチング量を多くすることで、連通部５６をストレート形状（Ｚ方向の全体に亘って内径が一様な形状）に近づけることができる。

また、本実施形態では、Ｚ方向から見た平面視において、凹部５１，５２の内形寸法をノズル孔４８ａ，４９ａよりも大きくすることで、ノズル孔４８ａ，４９ａから吐出されるインクの流通が凹部５１，５２によって阻害されるのを抑制できる。これにより、インクの吐出性能を向上させることができる。
さらに、母材６１の下面６１ｂ側から連通部エッチング工程を行うことで、椀状部５５よりも内形寸法が大きい凹部５１，５２の頂部上にエッチングマスク７５の開口部７６ａを形成することができる。この場合、椀状部５５の底部上に開口部を形成する場合に比べて、より簡単にエッチングマスク７５を形成することができ、作業効率や歩留まりの向上を図ることができる。

さらに、アクチュエータプレート４１と熱膨張率が近いホウケイ酸ガラスを用いてノズルプレート３３を形成することで、アクチュエータプレート４１との組付時において、ノズル孔４８ａ，４９ａと吐出チャネル４３ａとの位置ずれを抑えることができる。そのため、歩留まりを向上させることができる。

また、凹部形成工程において、各ノズル列４８，４９を各別に覆うように凹部５１，５２を形成することで、各ノズル孔４８ａ，４９ａを凹部により各別に覆う場合に比べて簡素化を図るとともに、作業効率を向上させることができる。一方、各ノズル列４８，４９を一括して覆うように凹部を形成する構成に比べて、ノズルプレート３３の強度や剛性を確保できる。

そして、本実施形態のノズルプレート３３は、上述した製造方法により製造されているため、所望の形状のノズル孔４８ａ，４９を狭ピッチで形成することができる。
また、ノズル孔４８ａ，４９ａのうち、連通部５６のみを小径に形成することができるので、ノズル孔４８ａ，４９ａ全体を小径に形成する場合に比べて流路抵抗を小さくでき、インクがノズル孔４８ａ，４９ａを通過する際のエネルギー損失を低減できる。
さらに、連通部５６を形成することで、等方性エッチングによりノズル孔４８ａ，４９ａを一括で形成する場合に比べ、ノズル孔４８ａ，４９ａの吐出口側の開口縁が先鋭形状になるのを抑制できる。そのため、ノズル孔４８ａ，４９における吐出口側の開口縁の欠け等の損傷を抑制して、長期に亘って安定した吐出性能を維持できる。

また、本実施形態のインクジェットヘッド４及びプリンタ１によれば、上述したノズルプレート３３を備えているため、信頼性に優れたインクジェットヘッド４及びプリンタ１を提供できる。

（第１変形例）
次に、上述した実施形態の第１変形例について説明する。図１８、図１９は、第１変形例に係るノズルプレート３３の製造方法を説明するための工程図であって、図５に相当する部分の断面図である。第１変形例では、連通部形成工程において、連通部５６をドライエッチングにより形成する点で上述した実施形態と相違している。
図１８に示すように、本変形例の連通部形成工程では、まず母材６１の下面６１ｂ側に、上述した実施形態と同様の方法によりエッチングマスク７５を形成する。なお、本変形例では、少なくとも母材６１の下面６１ｂ側（エッチングの加工面側）のみにエッチングマスク７５が形成されていれば構わない。すなわち、本変形例では、図１４に示す凹部エッチング工程の後、除去工程においてフォトレジスト膜７２及び金属膜６４，６６を全て除去している。但し、除去工程において、少なくともフォトレジスト膜７２及び金属膜６４が除去されれば、金属膜６６は残存していても構わない。

次に、図１９に示すように、連通部エッチング工程において、エッチングマスク７５をマスクとして、母材６１をエッチングする。具体的には、ＣＣＰ（Ｃａｐａｃｉｔｉｖｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｐｌａｓｍａ）や、ＩＣＰ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｐｌａｓｍａ）、ＮＬＤ（Ｎｅｕｔｒａｌ Ｌｏｏｐ Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ）等を用いたドライエッチングを行う。すると、母材６１のうち、開口部７６ａを通して露出した部分が上方に向けて直線的にエッチングされる。これにより、母材６１の残存部Ｒがエッチングされ、各椀状部５５内と凹部５１，５２内とを連通させる連通部５６が形成される。

この構成によれば、上述した実施形態と同様の作用効果を奏するとともに、ストレート形状の連通部５６を高精度に形成することができる。この場合、残存部Ｒのみに対してドライエッチングを行うため、母材６１全体をドライエッチングにより加工する場合に比べて加工時間の短縮を図ることができる。しかも、ドライエッチングにより連通部５６を形成することで、エッチングの加工面側のみにエッチングマスク７５を形成すればよいので、作業効率の向上を図ることができる。

（第２変形例）
次に、上述した実施形態の第２変形例について説明する。図２０、図２１は、第２変形例に係るノズルプレート３３の製造方法を説明するための工程図であって、図５に相当する部分の断面図である。第２変形例では、母材６１に対して連通部５６をレーザ加工により形成する点で上述した実施形態と相違している。なお、本変形例では、図１４に示す凹部エッチング工程の後、フォトレジスト膜７２及び金属膜６４，６６を全て除去している。
図２０に示すように、本変形例の連通部形成工程では、母材６１の残存部Ｒのうち、連通部５６の形成領域に対して母材６１の下面６１ｂ側からレーザ光Ｌを照射する。すると、残存部Ｒのうち、レーザ光Ｌの照射部分が溶融し、残存部Ｒが貫通する。これにより、図２１に示すように、凹部５１，５２内と椀状部５５内とを連通させる連通部５６が形成される。なお、本変形例で用いるレーザ装置としては、例えば炭酸ガスレーザや紫外線レーザ等が好適に用いられる。

この構成によれば、上述した実施形態と同様の作用効果を奏するとともに、ストレート形状の連通部５６を高精度に形成できる。この場合、残存部Ｒのみに対してレーザ光Ｌを照射するので、レーザ光Ｌの強度や照射時間を抑えることができ、母材６１のうち、連通部５６の周囲に与える熱の影響を抑えることができる。
また、レーザ加工により連通部５６を形成することで、エッチング等で連通部５６を形成する場合と異なり、母材６１にエッチングマスクを形成する必要がない。そのため、作業効率の向上を図ることができる。また、凹部５１，５２の内形寸法や表面形状の関係でエッチングマスクが形成できないような場合であっても、連通部５６を形成することができる。

なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上述した実施形態では、ウェットエッチングによって椀状部５５を形成する構成について説明したが、これに限られない。すなわち、等方性エッチングであれば、ドライエッチングにより椀状部５５を形成しても構わない。
また、上述した実施形態では、ウェットエッチングによって凹部５１，５２を形成する構成について説明したが、これに限らず、加工時間等を考慮して適宜変更が可能である。この場合、例えば等方性のドライエッチングや、機械加工により凹部５１，５２を形成しても構わない。

また、上述した実施形態では、凹部５１，５２がノズル列４８，４９全体に各別に重なり合うように構成したが、これに限られない。例えば図２２に示すように、全ノズル孔４８ａ，４９ａとＺ方向で重なり合うように凹部８０を形成しても構わない。また、図２１、図２３に示すように、各ノズル孔４８ａ，４９ａごとに凹部８１を形成してもよく、複数のノズル孔４８ａ，４９ａごとに凹部を形成しても構わない。
さらに、上述した実施形態では、Ｚ方向から見た平面視において、凹部５１，５２の内形寸法が少なくともノズル孔４８ａ，４９ａよりも大きい構成について説明したが、これに限られない。凹部５１，５２の内形寸法は、ノズル孔４８ａ，４９ａ（連通部５６）と同等であっても構わない

さらに、上述した実施形態では、凹部５１，５２側から連通部５６を形成する場合について説明したが、これに限らず、椀状部５５側から連通部５６を形成しても構わない。
また、ノズルプレート３３の材料として、ホウケイ酸ガラスや石英ガラス等のガラス材料に限らず、種々の材料を適用することができる。

また、上述した実施形態では、複数のヘッドチップ３１Ａ，３１Ｂが積層された構成について説明したが、これに限らず、単層のヘッドチップであっても、本発明を適用することができる。

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせても構わない。

１…プリンタ（液体噴射装置）
２…搬送機構（移動機構）
４…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
６…走査手段（移動機構）
３３…ノズルプレート（噴射孔プレート）
４１…アクチュエータプレート
４３ａ…吐出チャネル
４８…第１ノズル列（噴射孔列）
４８ａ…第１ノズル孔（噴射孔）
４９…第２ノズル列（噴射孔列）
４９ａ…第２ノズル孔（噴射孔）
５１…第１凹部（他面側凹部）
５２…第２凹部（他面側凹部）
５５…椀状部（一面側凹部）
５６…連通部
６１…母材
６１ａ…上面（一面）
６１ｂ…下面（他面）
７５…エッチングマスク（マスクパターン）
７６…金属膜（マスク材）
８０，８１…凹部（他面側凹部）

Claims (11)

1. 液体を噴射する噴射孔を有する噴射孔プレートの製造方法であって、
   母材の一面に、液体の導入口となる一面側凹部を等方性エッチングにより形成する一面側凹部形成工程と、
   前記母材の他面において、前記母材の厚さ方向で前記一面側凹部と重なる部分に他面側凹部を形成する他面側凹部形成工程と、
   前記一面側凹部内及び前記他面側凹部内を連通させるとともに、液体の噴射口となる連通部を形成する連通部形成工程と、を有し、
   前記一面側凹部及び前記連通部により前記噴射孔を構成することを特徴とする噴射孔プレートの製造方法。
2. 前記連通部形成工程は、ドライエッチングにより行うことを特徴とする請求項１記載の噴射孔プレートの製造方法。
3. 前記連通部形成工程は、
   前記母材の両面にマスク材を形成するマスク材形成工程と、
   前記マスク材のうち、前記母材の一方の面側に位置する前記マスク材をパターニングして前記連通部のマスクパターンを形成するマスクパターン形成工程と、
   前記マスクパターンをマスクとしてウェットエッチングを行い、前記連通部を形成する連通部エッチング工程と、を有していることを特徴とする請求項１記載の噴射孔プレートの製造方法。
4. 前記連通部形成工程は、レーザ加工により行うことを特徴とする請求項１記載の噴射孔プレートの製造方法。
5. 前記他面側凹部形成工程では、前記母材の厚さ方向から見た平面視の大きさが前記一面側凹部よりも大きくなるように前記他面側凹部を形成することを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載の噴射孔プレートの製造方法。
6. 前記連通部形成工程では、前記他面側から前記連通部を形成することを特徴とする請求項５記載の噴射孔プレートの製造方法。
7. 複数の前記噴射孔が間隔をあけて一列並設されて噴射孔列を構成し、
   前記他面側凹部形成工程では、前記母材の厚さ方向から見た平面視で前記噴射孔列全体と重なり合う大きさで前記他面側凹部を形成することを特徴とする請求項５又は請求項６記載の噴射孔プレートの製造方法。
8. 前記母材は、ホウケイ酸ガラスを用いることを特徴とする請求項１から請求項７の何れか１項に記載の噴射孔プレートの製造方法。
9. 請求項１から請求項８の何れか１項に記載の噴射孔プレートの製造方法により製造されていることを特徴とする噴射孔プレート。
10. 請求項９記載の噴射孔プレートと、
    液体が充填されるとともに前記噴射孔の前記一面側凹部内に連通するチャネルを有するアクチュエータプレートと、を備えていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
11. 請求項１０記載の液体噴射ヘッドと、
    前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする液体噴射装置。

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