JP6109833B2 - レーザ処理設備においてスペックルを低減させるための装置および方法 - Google Patents
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Claims (23)
- 可干渉光のエネルギー均一性を向上させるための装置であって、
合成像を生成するために位置決めされた複数のレンズと、
1つまたは複数の第1の表面および複数の第2の表面を有する屈折媒体であって、各第2の表面は、前記1つまたは複数の第1の表面から複数の距離をおいて配置され、前記屈折媒体は、前記1つまたは複数の第1の表面において前記合成像を受けるように、および前記複数の第2の表面からエネルギーフィールドを送出するように、位置決めされるか、または、前記屈折媒体は、前記複数の第2の表面において前記合成像を受けるように、および前記1つまたは複数の第1の表面から前記エネルギーフィールドを送出するように、位置決めされる、屈折媒体と、を備え、
前記屈折媒体は、複数のプレートであり、
前記複数のプレートは、前記第1の表面に平行な第1の方向にずらして配置されている、装置。 - 前記複数のレンズは、マイクロレンズアレイである、請求項1に記載の装置。
- 各プレートが、前記可干渉光の可干渉長さより大きい厚さを有する、請求項1に記載の装置。
- 前記1つまたは複数の第1の表面および前記複数の第2の表面以外の前記屈折媒体の表面が、反射性材料で被覆される、請求項1に記載の装置。
- 前記エネルギーフィールドを送出する前記屈折媒体の各表面が、拡散性を有する、請求項1に記載の装置。
- 均一な照明フィールドを発生させるための装置であって、
光路に沿って放射を投射するレーザと、
前記光路に対して垂直な平面に沿って配設された複数のレンズと、
前記光路に沿って配設された屈折光学系であって、前記屈折光学系は、前記光路に交差する第1の表面および前記光路に交差する第2の表面を有し、前記第1の表面は、前記光路に対して垂直な平面を画定し、前記第2の表面は、前記光路に対して垂直な平面をそれぞれ画定する複数の小面を備え、いずれの2つの小面も第1の表面から同じ距離ではなく、前記複数のレンズは、前記レーザと前記屈折光学系との間に配設される、屈折光学系と、を備え、
前記屈折光学系は、複数のプレートであり、
前記複数のプレートは、前記第1の表面に平行な第1の方向にずらして配置されている、装置。 - 前記第1の表面からの各小面の距離が、前記レーザの可干渉長さより大きい量だけ前記第1の表面からの全ての他の小面の距離と異なる、請求項6に記載の装置。
- 前記複数のレンズと前記屈折光学系との間の距離が、前記複数のレンズの中のいずれかの焦点距離よりも大きい、請求項6に記載の装置。
- 第2のレーザと、前記レーザおよび前記第2のレーザと前記複数のレンズとの間のビームコンバイナとをさらに備える、請求項6に記載の装置。
- 前記屈折光学系により送出された放射を受けるように配設されたパルス成形器をさらに備える、請求項6に記載の装置。
- 前記レーザからの照射により処理されるべき工作物を受けるための作業表面をさらに備え、前記作業表面は、前記レーザの前記光路に対して実質的に垂直に配設される、請求項6に記載の装置。
- 可干渉光のエネルギー均一性を向上させるための装置であって、
合成像を生成するために位置決めされた複数のレンズと、
前記可干渉光用の複数の通過経路を有する屈折媒体であって、前記通過経路は、前記屈折媒体中に複数の通過時間を有する、屈折媒体と、を備え、
前記屈折媒体は、前記合成像を1つまたは複数の第1の表面で受けるように位置決めされ、
前記屈折媒体は、複数のプレートであり、
前記複数のプレートは、前記第1の表面に平行な第1の方向にずらして配置されている、装置。 - 前記通過経路は、異なる屈折率を有する複数の材料を含む、請求項12に記載の装置。
- 前記通過経路は、複数の異なる距離を有する、請求項12に記載の装置。
- 各プレートは、前のプレートに対して均一な距離だけずらして配置されている、請求項1に記載の装置。
- 前記プレートの少なくとも一部は、前記第1の表面に平行で、かつ前記第1の方向に垂直な第2の方向にずらして配置されている、請求項1に記載の装置。
- 前記プレートの全ては、ある程度まで重畳している、請求項1に記載の装置。
- 各プレートは、前のプレートに対して均一な距離だけずらして配置されている、請求項6に記載の装置。
- 前記プレートの少なくとも一部は、前記第1の表面に平行で、かつ前記第1の方向に垂直な第2の方向にずらして配置されている、請求項6に記載の装置。
- 前記プレートの全ては、ある程度まで重畳している、請求項6に記載の装置。
- 各プレートは、前のプレートに対して均一な距離だけずらして配置されている、請求項12に記載の装置。
- 前記プレートの少なくとも一部は、前記第1の表面に平行で、かつ前記第1の方向に垂直な第2の方向にずらして配置されている、請求項12に記載の装置。
- 前記プレートの全ては、ある程度まで重畳している、請求項12に記載の装置。
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