JP2008159348A - 光源光学システム及びそれを用いたプロジェクションディスプレイシステム - Google Patents

光源光学システム及びそれを用いたプロジェクションディスプレイシステム Download PDF

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Abstract

【課題】小型で長寿命かつスペックルノイズの生じない半導体レーザー光源とそれを用いた表示装置。
【解決手段】ディスプレイ照明用の光源光学システムであって、コヒーレント光あるいは部分的コヒーレント光を放射する半導体レーザー2を備え、半導体レーザー2から放射された光束中に、一面が平面で他の面が光の進行方向に段差を有する階段状の面からなる屈折率が1より大きな透明媒体から構成されたエシェロン1が配置されてなる光源光学システム。
【選択図】図1

Description

本発明は、光源光学システム及びそれを用いたプロジェクションディスプレイシステムに関し、特に、液晶平面ディスプレイ、プロジェクタターやリアプロジェクションテレビ等のプロジェクションディスプレイ用の光源に関する。また、本発明は、いわゆるヘッドマウントディスプレイやヘッドアップディスプレイのように直接目の網膜に映像を投影するディスプレイにも応用できる。
液晶平面ディスプレイ(LCD)やプロジェクションディスプレイ等の照明光源として半導体レーザーが使われる。半導体レーザーは、高輝度・単色であり、明るく色再現性の良いディスプレイが可能である。色の表示範囲もCRTのそれよりも広くできる。LCDに使われている蛍光管・冷陰極管に比べて、小型・長寿命である。また、プロジェクションディスプレイに使われる超寿命高圧水銀ランプに比べても、小型・長寿命でかつ発熱が少ないという利点がある。ところが、半導体レーザー光源によって発生する光は干渉性が高く、通常の光源のように安易に用いると、スペックルノイズという斑点状のノイズが表示される画像に重畳して観察される。この欠点を克服するために、レーザー光の光路中に回転拡散板を設けてスペックルノイズを空間的に移動させ、目の残像効果を利用してスペックルノイズを軽減する方法が用いられる。非常によく知られた方法であるが、プロジェクションディスプレイに用いた例としては、特許文献1でも述べられている。また、複数の長さの異なる光ファイバーにレーザー光を入射し、その複数の光ファイバーから射出する光を再び重ね合わせてレーザー光の干渉性を低減することにより、スペックルノイズを軽減する方法も用いられる。これも非常によく知られた方法であるが、プロジェクションディスプレイに用いた例としては、特許文献2にその記述が見受けられる。
米国特許第5,313,479号明細書 米国特許第6,249,381号明細書
しかし、これらの手法は、拡散板を回転させるとか、長さの異なる多数の光ファイバーを用いる等、機械的駆動部分や大きな体積を必要とする等、半導体レーザーの特徴である小型・長寿命の利点を台無しにしてしまう。
本発明は従来技術のこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、小型で長寿命かつスペックルノイズの生じない半導体レーザー光源とそれを用いた表示装置を提供することである。
上記目的を達する本発明の光源光学システムは、ディスプレイ照明用の光源光学システムであって、
コヒーレント光あるいは部分的コヒーレント光を放射する半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードを備え、
前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードから放射された光束中に、一面が平面で他の面が光の進行方向に段差を有する階段状の面からなる屈折率が1より大きな透明媒体から構成されたエシェロンが配置されてなることを特徴とするものである。
この場合、前記エシェロンの段差によって作り出される光路差が、前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードからの光の波長をλとして、mλ(mは整数)であることが望ましい。
また、前記エシェロンの段差によって作り出される光路差が、前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードからの光のコヒーレンス長より大きいことが望ましい。
また、前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードからの光の帯域幅をΔω、光の速度をcとしたとき、前記エシェロンによって作り出される光路差lが、
l≧c/Δω ・・・(2)
の条件を満たすことが望ましい。
また、前記エシェロンの段差の精度が、光の波長をλとして、λ/4より高精度であることが望ましい。
また、前記エシェロンの段差が6μm以上の光路差を生じさせることが望ましい。
あるいは、前記エシェロンの段差が125μm以上の光路差を生じさせることが望ましい。
あるいは、前記エシェロンの段差が500μm以上の光路差を生じさせることが望ましい。
また、前記エシェロンの段の幅が前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードからの光の波長より大きいことが望ましい。
また、前記エシェロンとマイクロデバイスの間にコリメータが設けられているが望ましい。
また、前記エシェロンとマイクロデバイスの間にシリンドリカルレンズが設けられていることが望ましい。
また、前記エシェロンとマイクロデバイスの間に凹レンズが設けられていることが望ましい。
また、前記エシェロンとマイクロデバイスの間にマイクロレンズアレイが設けられていることが望ましい。
また、複数の前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードから射出する光を合成する手段を有することが望ましい。
また、前記マイクロデバイスは、その表面上に表示される情報に基づいて可視投影画像を形成するものであることが望ましい。
本発明のプロジェクションディスプレイシステムは、マイクロデバイスの表示を投影することで画像を表示するプロジェクションディスプレイシステムであって、
コヒーレント光あるいは部分的コヒーレント光を放射する半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードを備え、
前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードから放射された光束中に、一面が平面で他の面が光の進行方向に段差を有する階段状の面からなる屈折率が1より大きな透明媒体から構成されたエシェロンが配置されており、
前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードから射出され、前記エシェロンを透過した光束中にマイクロデバイスが配置されてなることを特徴とするものである。
この場合、前記マイクロデバイスが前記エシェロンの各段から射出する光束が合成される位置に配置されていることが望ましい。
もう1つの本発明のプロジェクションディスプレイシステムは、マイクロデバイスの表示を投影することで画像を表示するプロジェクションディスプレイシステムであって、
コヒーレント光あるいは部分的コヒーレント光を放射する赤、緑、青各色の半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードを備え、
前記各々の半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードから放射された光束中、あるいは、前記各半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードから放射された光束が合成された光束中、一面が平面で他の面が光の進行方向に段差を有する階段状の面からなる屈折率が1より大きな透明媒体から構成されたエシェロンが少なくとも一つ配置されており、
前記エシェロンを透過した光束中にマイクロデバイスが少なくとも一つ配置されてなることを特徴とするものである。
この場合、前記赤、緑、青各色の半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードの発光を順次切り替えることによりカラー表示を行うことができる。
そして、前記赤、緑、青各色の半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードの発光の切り替えが540Hz以上であることが望ましい。
また、前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオード各々に対応して前記エシェロンが配置され、前記エシェロン各々に対応して前記マイクロデバイスが配置され、各色の表示を合成する手段を備えていることが望ましい。
また、前記マイクロデバイスは、その表面上に表示される情報に基づいて可視投影画像を形成するものであることが望ましい。
本発明においては、上記のような構成のエシェロンを用いるので、半導体レーザーあるいはスーパールミネッセントダイオードをディスプレイ用の光源として用いても、スペックルノイズが生ぜず、小型で長寿命のディスプレイ用光源を構成することができる。
以下に、まず本発明の光源光学システム及びそれを用いたプロジェクションディスプレイシステムの原理を説明する。
本発明は、図1にその構成を示すように、エシェロン1を用いて、半導体レーザー(Laser Diode:LD)2から射出されるレーザー光のコヒーレンスを低減し、その結果、表示画像にスペックルノイズが重畳しないようにする方法である。エシェロン1とは、図1の光軸に沿った断面図を示すように、一面が平面で他の面に光路を横切る方向に階段状の段差を多数設け、各段差において、光の波長をλとして、mλ(mは整数)の光路差を生じさせ、各段を通った光を重ねる作用を持つ屈折率が1より大きな透明媒体からなる光学素子である。また、干渉性を低減するためには、その光路差は、光のコヒーレンス長以上が好ましい。
コヒーレンス長lc は、光速をc、LD2からのレーザー光の帯域幅をΔωとして、
c =c/Δω ・・・(1)
と表すことができる。
したがって、エシェロン1の各段差によって作り出す光路差lは、
l≧c/Δω ・・・(2)
の条件を満たすことが望ましい。
LD2から射出したレーザー光は、ビームエキスパンダ3によって光束径を広げられた平行光束になってエシェロン1に入射する。LD2の射出光は、楕円状の光束広がりを示すので、ビームエキスパンダ3の他に、シリンドリカルレンズを光路中に加えてその広がりを補償するようにしてもよい。
また、使用するエシェロン1の大きさ(光軸に直交する方向の大きさ)によっては、ビームエキスパンダ3で広げるのではなく、ビーム径を縮小するようにしてもよい。
また、ビームエキスパンダ3のレンズ作用の一部をエシェロン1に持たせてもよい(例えば、エシェロン1の平面側の面に曲率を付ける。)。エシェロン1の各段差は、それによって生じるレーザー光の光路差が波長の整数倍になるように構成されるが、各段差が等しい必要はない。各段差の精度は、レーザー光が効率良くエシェロンを透過し、その平行性を大きく損ねないためには、波長の1/4程度以下が必要である。エシェロン1から射出したレーザー光は、適切な距離進むと、それぞれの段から射出した光が光束上で合成され干渉性の低下したレーザー光となる。この光を、LCDやプロジェクションディスプレイの空間光変調素子(Spatial Light Modulator:SLM)に入射させることにより、スペックルのない映像を得ることができる。
通常のLDの帯域幅Δωは0.5nm、スーパールミネッセントダイオード(Super Luminescent Diode:SLD)の帯域幅Δωは50nm、マルチモードLDの帯域幅Δωは2nm程度である。可視光領域では、それぞれのコヒーレンス長lc は次のようになる。
┌──────────┬──────────────┬─────┐
│ │ Δω │ lc
├──────────┼──────────────┼─────┤
│LD │0.5nm: 6×1011Hz│500μm│
├──────────┼──────────────┼─────┤
│LD(マルチモード)│ 2nm:2.4×1012Hz│125μm│
├──────────┼──────────────┼─────┤
│SLD │ 50nm: 5×1013Hz│ 6μm│
└──────────┴──────────────┴─────┘
なお、上記の表のΔωの計算においては、波長500nmで、c=3×108 m/sとした。
したがって、LD2として通常のLDを用いたときには、500μm以上の光路長変化を生じさせるエシェロン1の段差が必要である。LD2としてマルチモードLDを用いたときには、125μm以上、LD2の代わりにSLDを用いたときには、6μm以上の光路長変化を生じさせる段差が必要である。
次に、本発明の実施例を説明する。図2に本発明の光源光学系を、マイクロデバイスを用いたプロジェクションディスプレイの光源として用いた場合の例を示す。ここで言う、マイクロデバイス(MD)とは、透過型で用いる液晶デバイス(液晶表示素子)や反射で用いる反射型液晶デバイス(LCOS)、微小なマイクロミラーアレイで構成されるデバイス等のSLMのことである。また、画像を表示するSLMの代わりに画像のフーリエ変換の位相を表示し、回折によって画像を投影するホログラフィックプロジェクションのための空間光位相変調素子の照明にも用いることができる。
エシェロン1の各段差を通過したレーザー光4(あるいは、SLDの光。以後、レーザー光4にはSLDの光も含むものとする。)は、それぞれが回折によって広がる。適切な距離進むと、全ての段差からの広がったレーザー光が一つに重なることになる。その位置付近にMD(SLM)5を配置するのが良い。すなわち、各段差から射出するレーザー光が合成される位置にMD5を設けることが好ましい。
一般に、エシェロン1を構成する各段の開口の幅をL、波長をλとすると、回折光の広がり角θは、
θ=λ/L ・・・(3)
で表される。
MD5を照明する幅をDとすると、エシェロン1とMD(SLM)5の距離をsとして、
sθ=D ・・・(4)
の条件で、効率良くMD(SLM)5を照明することができる。すなわち、上記2つの式(3)、(4)より、
D/s=λ/L ・・・(5)
の関係が導かれる。ここで、Lはエシェロン1の段の幅であるが、それに垂直な方向(図1、図2の紙面に垂直な方向)の光束の広がりも考慮する必要がある。また、距離sを短くするためにレンズ等の光学系を用いてもよい。SLMであるMD5の照明幅Dを10mm、MD5までの距離sを100mmとすると、可視光波長550nmに対してLは5.5μmとなる。このLは光の波長λに対して十分大きいので、0次光(直進光)以外の不要な回折光は生じない。そのため、光を略100%利用できる。
このように、エシェロン1の段の幅Lは波長λより大きいことが望ましい。すなわち、 L≧λ ・・・(6)
図3に、シリンドリカルレンズを使った例の斜視図を示す。ビームエキスパンダ3でエシェロン1の大きさの平行光束にされたレーザー光6はエシェロン1に入射する。エシェロン1の段の狭い幅によって回折されレーザー光束は縦方向に広がる(図3に符号7aで示す。)。既に述べたように、エシェロン1の光路長の異なるそれぞれの段差から射出したレーザー光は、回折の広がりによりそれぞれが重ね合わされ干渉性を失う。横方向は、エシェロン1の開口幅が大きいので、回折による広がりはほとんどなく、平行光束でエシェロン1を射出する。したがって、横方向はシリンドリカルレンズ(横方向のパワーが負、縦方向のパワーが0)8によって光束を広げる(図3にシリンドリカルレンズ8によって広がった光を符号7bで示す。)。縦横それぞれ適切に広がった光束7a、7bは、コリメータ9によって再び平行光束とされ、MD等のSLMを照明する。なお、段の幅Lを波長λより非常に大きい値に選ぶことも可能である。この場合、エシェロン1の段の幅Lによる大きな回折は期待できないので、シリンドリカルレンズ8の代わりに凹レンズ(負レンズ)を用いる。
図4に、半導体レーザー2の特性をより上手に用いた例の斜視図を示す。半導体レーザー2の射出開口が長方形をしており、射出光束10の広がりが縦と横とでは大きく異なっている。図4の紙面内を縦方向とすると、縦方向の広がりが少ないように半導体レーザー2を配置する。すなわち、半導体レーザー2の射出開口の長辺方向にエシェロン1の段が分布するようにしている。この縦方向の少ない広がりは、エシェロン1の狭い段によって回折され広がりを大きくする(図4に符号11aで示す。)。横方向の広がりは半導体レーザー光10の大きな広がりのままエシェロン1を透過する(図4に符号11bで示す。)。その結果、コリメータ9には縦横略同様の広がり各レーザー光束11a、11bが入射することになる。もちろん、エシェロン1の光路差の違う各段を通過したレーザー光が重なるので、干渉性が除かれたビームとしてコリメータ9を射出する。この射出光でSLM(MD)を照明することにより、明るくスペックルノイズのない美しい映像を表示することができる。
SLM(MD)を射出した光は不図示の投影レンズに入射して、SLM(MD)に表示された画像はスクリーンに拡大投影されるが、投影レンズの開口が大きい場合、コリメータから射出する光を拡散する必要がある。図5に、光束を拡散するためにコリメータ9の後方(射出側)にマイクロレンズアレイ12を配置した例の斜視図を示す。コリメータ9から出た平行光束はマイクロレンズアレイ12で拡散され、投影レンズの開口を満たすように入射し、スクリーン上にむらなくSLM(MD)に表示された画像を拡大投影する。図3に示したシリンドリカルレンズ8を用いた例に、マイクロレンズアレイ12を同様に配置してもよい。あるいは、図2で示した基本的な光学系のエシェロン1の後方に直接配置してもよい。
図6に、SLM(MD)を3枚用いたプロジェクションディスプレイシステムの例の平面図を示す。この場合、用いられるMD5は透過型液晶表示素子である。図1、図2、図3で詳述した半導体レーザー2、ビームエキスパンダ3、エシェロン1、シリンドリカルレンズ8、コリメータ9で構成される光学モジュール20によって各MD5が照明される。光学モジュール20は図4、図5で詳述した光学モジュールでもよい。光学モジュール20とMD5は、それぞれ赤(R)、緑(G)、青(B)の三原色用に3つ用意されている。これらの3色を合成するXプリズム13によりフルカラー画像が生成され、投影レンズ14により、映像が図示しないスクリーンに投影される。
図7に、赤、緑、青の3色の半導体レーザー2R、2G、2Bを重ねる例の斜視図を示している。半導体レーザー2R、2G、2Bの射出開口が長方形をしており、半導体レーザー2R、2G、2Bの横方向(紙面内を縦方向とし、紙面の奥行き方向を横方向とする。)の広がりは大きく、それぞれの半導体レーザー2R、2G、2Bを近接しておくことにより、半導体レーザー2R、2G、2Bからの光束10R、10G、10Bをほとんど重ねることができる。したがって、この図7の光源光学モジュール20を用いることによってフルカラーの映像表示ができる。このカラー映像表示は、一般的にカラーシーケンシャルと呼ばれているもので、赤、緑、青を順次切り替えて表示を行うものに用いる。通常のTVの場合、60Hzの映像であり、各色は180Hzで切り替えることになる。ただし、カラーブレーク現象を避けるために、少なくともその3倍程度で色を切り替える必要がある。すなわち、540Hz以上で各色を切り替えることが望ましい。なお、色の切り替えは、各色の半導体レーザー2R、2G、2BのON/OFFで行う。緑色については、赤外半導体レーザーの射出側に非線形光学材料を配置し、高調波で緑色を発振を行う。
図8に、3色を合成する他の構成を示す。グレーティング(回折格子)15によって、半導体レーザー2R、2G、2Bからの赤、緑、青のレーザー光を一つの光束に合成することができる。その他、プリズムやダイクロイックミラー等、公知の手段を用いることができる。
なお、半導体レーザーやSLDの発光は、連続(CW)でもパルス発光でもよい。また、半導体レーザーは面発光タイプを用いてもよい。また、半導体レーザーを複数並べたレーザーアレイを用いてもよい。また、以上の説明では、LDは各色当たり1つとして説明したが、複数のLDからなるレーザーダイオードアレイを適用することも可能である。
次に、本発明の光源光学システムに用いるエシェロン1の作製方法の例を説明する。図9(a)のエシェロン1は、光束の入射方向に直交する方向に、長さの異なる多数の平行平面板21の一端を揃え、他端が階段状になるように、重ね合わせて構成するものであり、平行平面板21の長さの差が光路差mλを生じる段差となり、平行平面板21の厚さが各段の開口の幅Lとなる。
図9(b)のエシェロン1は、光束の入射方向に平行な方向に、長さの異なる多数の平行平面板21の一端を揃え、他端が階段状になるように重ね合わせて構成するものであり、平行平面板21の長さの差が各段の開口の幅Lとなり、平行平面板21の厚さが光路差mλを生じる段差となる。なお、この場合に、平行平面板21間の接触はオプティカルコンタクトが望ましい。
本発明の光源光学システムの基本構成を示す図である。 本発明の光源光学系をプロジェクションディスプレイの光源として用いた場合の例を示す図である。 シリンドリカルレンズを使った例の斜視図である。 半導体レーザーの特性を用いた例の斜視図である。 光束を拡散するためにマイクロレンズアレイを配置した例の斜視図である。 SLMを3枚用いたプロジェクションディスプレイシステムの例の平面図である。 3色の半導体レーザーを重ねる例の斜視図である。 3色を合成する他の構成を示す図である。 エシェロンの作製方法の例を説明するための図である。
符号の説明
1…エシェロン
2…半導体レーザー(LD)
2R、2G、2B…半導体レーザー
3…ビームエキスパンダ
4…レーザー光
5…マイクロデバイス(MD)
6…レーザー光
7a…回折されて縦方向に広がる光
7b…シリンドリカルレンズによって広がった光
8…シリンドリカルレンズ
9…コリメータ
10、10R、10G、10B…半導体レーザーの射出光束
11a…回折されて広がる光
11b…半導体レーザーから広がったままの光
12…マイクロレンズアレイ
13…Xプリズム
14…投影レンズ
15…グレーティング(回折格子)
20…光学モジュール
21…平行平面板

Claims (22)

  1. ディスプレイ照明用の光源光学システムであって、
    コヒーレント光あるいは部分的コヒーレント光を放射する半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードを備え、
    前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードから放射された光束中に、一面が平面で他の面が光の進行方向に段差を有する階段状の面からなる屈折率が1より大きな透明媒体から構成されたエシェロンが配置されてなることを特徴とする光源光学システム。
  2. 請求項1において、前記エシェロンの段差によって作り出される光路差が、前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードからの光の波長をλとして、mλ(mは整数)であることを特徴とする光源光学システム。
  3. 請求項2において、前記エシェロンの段差によって作り出される光路差が、前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードからの光のコヒーレンス長より大きいことを特徴とする光源光学システム。
  4. 請求項1又は2において、前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードからの光の帯域幅をΔω、光の速度をcとしたとき、前記エシェロンによって作り出される光路差lが、
    l≧c/Δω ・・・(2)
    の条件を満たすこと特徴とする光源光学システム。
  5. 請求項1又は2において、前記エシェロンの段差の精度が、光の波長をλとして、λ/4より高精度であること特徴とする光源光学システム。
  6. 請求項1又は2において、前記エシェロンの段差が6μm以上の光路差を生じさせること特徴とする光源光学システム。
  7. 請求項1又は2において、前記エシェロンの段差が125μm以上の光路差を生じさせること特徴とする光源光学システム。
  8. 請求項1又は2において、前記エシェロンの段差が500μm以上の光路差を生じさせること特徴とする光源光学システム。
  9. 請求項1又は2において、前記エシェロンの段の幅が前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードからの光の波長より大きいこと特徴とする光源光学システム。
  10. 請求項1又は2において、前記エシェロンとマイクロデバイスの間にコリメータが設けられていること特徴とする光源光学システム。
  11. 請求項1又は2において、前記エシェロンとマイクロデバイスの間にシリンドリカルレンズが設けられていること特徴とする光源光学システム。
  12. 請求項1又は2において、前記エシェロンとマイクロデバイスの間に凹レンズが設けられていること特徴とする光源光学システム。
  13. 請求項1又は2において、前記エシェロンとマイクロデバイスの間にマイクロレンズアレイが設けられていること特徴とする光源光学システム。
  14. 請求項1又は2において、複数の前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードから射出する光を合成する手段を有すること特徴とする光源光学システム。
  15. 前記マイクロデバイスは、その表面上に表示される情報に基づいて可視投影画像を形成することを特徴とする請求項10から14の何れか1項記載の光源光学システム。
  16. マイクロデバイスの表示を投影することで画像を表示するプロジェクションディスプレイシステムであって、
    コヒーレント光あるいは部分的コヒーレント光を放射する半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードを備え、
    前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードから放射された光束中に、一面が平面で他の面が光の進行方向に段差を有する階段状の面からなる屈折率が1より大きな透明媒体から構成されたエシェロンが配置されており、
    前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードから射出され、前記エシェロンを透過した光束中にマイクロデバイスが配置されてなることを特徴とするプロジェクションディスプレイシステム。
  17. 請求項16において、前記マイクロデバイスが前記エシェロンの各段から射出する光束が合成される位置に配置されていること特徴とするプロジェクションディスプレイシステム。
  18. マイクロデバイスの表示を投影することで画像を表示するプロジェクションディスプレイシステムであって、
    コヒーレント光あるいは部分的コヒーレント光を放射する赤、緑、青各色の半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードを備え、
    前記各々の半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードから放射された光束中、あるいは、前記各半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードから放射された光束が合成された光束中、一面が平面で他の面が光の進行方向に段差を有する階段状の面からなる屈折率が1より大きな透明媒体から構成されたエシェロンが少なくとも一つ配置されており、
    前記エシェロンを透過した光束中にマイクロデバイスが少なくとも一つ配置されてなることを特徴とするプロジェクションディスプレイシステム。
  19. 請求項18において、前記赤、緑、青各色の半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードの発光を順次切り替えることによりカラー表示を行うことを特徴とするプロジェクションディスプレイシステム。
  20. 請求項19において、前記赤、緑、青各色の半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオードの発光の切り替えが540Hz以上であることを特徴とするプロジェクションディスプレイシステム。
  21. 請求項20において、前記半導体レーザー又はスーパールミネッセントダイオード各々に対応して前記エシェロンが配置され、前記エシェロン各々に対応して前記マイクロデバイスが配置され、各色の表示を合成する手段を備えていることを特徴とするプロジェクションディスプレイシステム。
  22. 前記マイクロデバイスは、その表面上に表示される情報に基づいて可視投影画像を形成することを特徴とする請求項16から20の何れか1項記載のプロジェクションディスプレイシステム。
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