JP6103859B2 - 光電変換装置 - Google Patents

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Description

本発明は、スチルカメラ、ビデオカメラ等の撮影装置、あるいは種々の観察装置などに用いられる焦点検出装置に関し、特にそれらに用いられる固体撮像素子に関するものである。
光電変換素子を用いた固体撮像素子は様々な分野に利用されている。例えば、カメラの自動焦点検出方式として、位相差検出方式というものが一般的に良く知られている。位相差検出方式では、撮影レンズの異なる射出瞳領域を通過した被写体からの光束を、固体撮像素子上に結像させる。固体撮像素子は、一対のラインセンサで構成される。焦点検出装置の制御手段は、光電変換して得られた一対の被写体像の相対位置を演算し(位相差演算)、デフォーカス量を検出する。
光電変換素子は、蓄積時間(光電変換時間)が長くなると暗電流ノイズが発生するため、低輝度下での焦点検出精度が悪くなるという欠点がある。この光電変換素子で発生する暗電流ノイズを補正する技術も提案されている。
例えば、特許文献1では、ラインセンサの一部に光があたらないような暗電流検出部を設けて、予めラインセンサの各画素で発生する暗電流成分と暗電流検出部で発生する暗電流成分の比を記憶しておく。そして、各画素の出力に記憶しておいた係数を掛けることによって各画素の暗電流成分を求め、暗電流補正を行う。
また、光電変換素子は、蓄積可能な電圧(以下飽和電圧という)に制限がある。この飽和電圧を超えた場合、溢れた電荷が近接する別の光電変換素子へ洩れてしまう。そこで、特許文献2では、光電変換素子にオーバーフロードレインスイッチを接続し、溢れた電荷をこのスイッチを介して回路側へ流すことで電荷の流出を防ぐことができる。また、飽和電圧は素子ごとに製造ばらつきがあるため、オーバーフロードレインスイッチのゲート電圧を個体毎に調整する機能を持たせている。
特開平3−10473号公報 特開2000−12820号公報
しかしながら、特許文献1に開示された技術では、光電変換素子で発生する平均暗電流は除去できるが、ランダム成分である暗電流ショットノイズは補正することができない。暗電流ショットノイズの軽減については、発生する暗電流量の絶対値を小さくすることが有効である。
また、図20は、特許文献2に開示された技術の説明図である。フォトダイオード1の空乏化電圧を超えないように、かつ十分飽和電圧が高くなるように転送スイッチ2のゲートオフ電圧を個体毎に調整している。しかしながら、飽和電圧を大きくした場合、オーバーフロードレインスイッチである転送スイッチ2のゲート電圧とフォトダイオード1のカソード電圧差(ゲート−ソース間電圧Vgs)が大きくなってしまう。図21に、転送スイッチ2で発生する暗電流IdkとVgsの関係を示す。Vgsが大きくなる程、発生する暗電流Idkが指数的に増大する。つまり、飽和電圧が大きくなるように転送スイッチ2のゲートオフ電圧を設定した場合、低輝度下で暗電流ノイズが大きくなり、光電変換素子で得られる信号のSNが悪化してしまう。
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、より幅広い輝度環境においても良好な焦点調節および撮影画像を得ることができる固体撮像素子を提供することである。
本発明に係わる光電変換装置は、被写体からの光を光電変換するフォトダイオードと、前記フォトダイオードと接続され、該フォトダイオードをリセット電圧にリセットするリセットスイッチであるオーバーフロードレイン部とを備えるセンサと、前記被写体の輝度に基づいて前記フォトダイオードの飽和電圧を変更するように前記オーバーフロードレイン部を制御する制御手段と、前記リセット電圧を生成するリセット電圧生成手段と、前記オーバーフロードレイン部のゲート電圧を生成するゲート電圧生成手段と、を備え、前記制御手段は、前記リセット電圧あるいは前記ゲート電圧を制御することで前記飽和電圧を変更することを特徴とする。
また、本発明に係わる光電変換装置は、被写体からの光を光電変換するフォトダイオードであって、複数の異なる感度に切り替え可能なフォトダイオードと、前記フォトダイオードと接続されるオーバーフロードレイン部とを備えるセンサと、前記フォトダイオードの感度に基づいて前記フォトダイオードの飽和電圧を変更するように前記オーバーフロードレイン部を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする。
また、本発明に係わる光電変換装置は、被写体からの光を光電変換するフォトダイオードと、前記フォトダイオードと接続され、該フォトダイオードをリセット電圧にリセットするリセットスイッチであるオーバーフロードレイン部とを備えるセンサと、前記センサにおける電荷の蓄積時間に基づいて前記フォトダイオードの飽和電圧を変更するように前記オーバーフロードレイン部を制御する制御手段と、前記リセット電圧を生成するリセット電圧生成手段と、前記オーバーフロードレイン部のゲート電圧を生成するゲート電圧生成手段と、を備え、前記制御手段は、前記リセット電圧あるいは前記ゲート電圧を制御することで前記飽和電圧を変更することを特徴とする。
本発明によれば、より幅広い輝度環境においても良好な焦点調節および撮影画像を得ることができる固体撮像素子を提供することが可能となる。
本発明の第1の実施形態のカメラの構成を示す図。 本発明の第1の実施形態のカメラの光学構成を示す図。 本発明の第1の実施形態のAFセンサの構成ブロック図。 本発明の第1の実施形態のAFセンサの画素回路を示す図。 本発明の第1の実施形態のAFセンサの動作タイミングチャート。 本発明の第1の実施形態の焦点調節動作を示すフローチャート。 本発明の第1の実施形態の撮影動作を示すフローチャート。 AFセンサにおける信号POUTを示す図。 本発明の第2の実施形態の焦点調節動作を示すフローチャート。 被写体コントラストを示す図。 本発明の第3の実施形態のAFセンサの構成ブロック図。 本発明の第3の実施形態のAFセンサの画素回路を示す図。 本発明の第3の実施形態のAFセンサの動作タイミングチャート。 本発明の第3の実施形態の焦点調節動作を示すフローチャート。 本発明の第4の実施形態のAFセンサの画素回路を示す図。 本発明の第4の実施形態における信号POUTと電圧VBRの関係を示す図。 本発明の第5の実施形態のエリアセンサの回路図。 本発明の第5の実施形態の画素ユニットを示す図。 本発明の第5の実施形態のエリアセンサの動作タイミングチャート。 先行技術の説明図。 暗電流ノイズの特性図。
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係わる撮像装置としてのデジタルカメラの構成を示すブロック図である。カメラ用CPU200には、カメラの各種操作用のスイッチ群214を検知するための信号入力回路204、撮像センサ(撮像素子)206、AEセンサ207が接続されている。また、シャッタマグネット218a、218bを制御するためのシャッタ制御回路208、AFセンサ101も接続されている。また、撮影レンズ300(図2参照)とはレンズ通信回路205を介して信号215の伝送がなされ、焦点位置や絞りの制御を行う。
スイッチ群214は、カメラの電源をオン・オフするための電源スイッチ、レリーズボタン、各種撮影モードを選択するための設定ボタンなど、カメラを操作するための操作部材が設けられた操作部である。これらのスイッチやボタンを操作すると、その操作に応じた信号が信号入力回路204に入力される。
なお、レリーズボタンには、撮影者により操作されるレリーズボタンの第1ストローク操作(半押し操作)によりONするSW1と、レリーズボタンの第2ストローク操作(全押し操作)によりONするSW2とが接続されている。
AFセンサ101は、ラインセンサを備えており、カメラ用CPU200によりAFセンサ101を制御することで、ラインセンサで得られた被写体のコントラスト分布から、デフォーカス量を検出し、撮影レンズ300(図2参照)の焦点位置を制御する。
カメラ用CPU200はAEセンサ207を制御することで、被写体の輝度を検出し、不図示の撮影レンズの絞り値やシャッタスピードを決定する。そして、レンズ通信回路205を介して絞り値を制御し、またシャッタ制御回路208を介してマグネット218a,218bの通電時間を調節することでシャッタスピードを制御し、さらに撮像センサ206を制御することで撮影動作を行う。
カメラ用CPU200内には、カメラ動作を制御するためのプログラムを格納したROM、変数を記憶するためのRAM、種々のパラメータを記憶するためのEEPROM(電気的消去、書き込み可能メモリ)などの記憶回路209が内蔵されている。さらに、時間を計測するためのカウンタ210も内蔵されている。
次に、図2を参照して、カメラの光学構成について説明する。撮影レンズ300を介して入射した被写体からの光束の大部分はクイックリターンミラー305で上方に反射され、ファインダスクリーン303上に被写体像として結像される。カメラのユーザーはこの像をペンタプリズム301、接眼レンズ302を介して観察することができる。撮影光束の一部はクイックリターンミラー305を透過し、後方のサブミラー306で下方へ曲げられて、視野マスク307、フィールドレンズ311、絞り308、二次結像レンズ309を経てAFセンサ101上に結像される。AFセンサは一対のラインセンサを備え、このラインセンサで光電変換して得られる像信号の位相差を演算することで、撮影レンズ300の焦点状態を検出することができる。撮影に際しては、クイックリターンミラー305が跳ね上がり、全光束は撮像センサ206上に結像され、被写体像の露光が行われる。
本実施形態における焦点検出装置(図2において、視野マスク307から二次結像レンズ309までの光学系およびAFセンサ101から構成される)での焦点検出方式は周知の位相差検出方式である。
次に、AFセンサ101の詳細について図3乃至図5を用いて説明する。
図3はAFセンサ101のブロック図である。図3において、AFセンサ101は、AF用CPU100を有し、AF用CPU100は信号φB_RES、φPCH、φPHにより、ラインセンサの蓄積動作および像信号の読み出し動作を制御する。ラインセンサは、位相差検出のための複数の光電変換画素を有し、例えば、約30〜80の画素の出力から第1像、第2像をそれぞれ検出する。
ラインセンサは、センサ画素回路102、ピーク検出回路103、シフトレジスタ104で構成されている。センサ画素回路102は、光電変換された信号電荷を画素毎に蓄積し、蓄積した信号を一時的に記憶する回路に相当する。
ピーク検出回路103は、各画素で蓄積した信号のうち、一番大きい信号POUTを検出する。ピークコンパレータ105は、ピーク検出回路103で検出した信号POUTとVREF(蓄積停止電圧)を比較し、POUT≧VREFになったら信号φSSをLoからHiへ制御する。
シフトレジスタ104は、AF用CPU100からのクロック信号φPH信号に同期して1画素目の信号から順次読み出す画素を選択する。出力アンプ106は、シフトレジスタ104で選択された画素信号Sn(n番目の画素信号)を所定ゲインで増幅し、出力する。
飽和制御回路107は、ピークコンパレータ105の停止電圧VREF、センサ画素回路102のリセット電圧VRES、リセットスイッチのゲートオフ電圧VBRを生成するための回路(リセット電圧生成回路、ゲート電圧生成回路)である。
また、AF用CPU100は、外部(ここでは、カメラ用CPU200)とのインターフェイス端子を備えている。入力信号φCS、φSCLK、φMOSIによりAF用CPU100と通信することで、カメラ用CPU200から蓄積開始タイミング、画素信号読出しタイミング、飽和量を制御することができる。また、蓄積動作中であっても、強制的に蓄積停止を指示することができる。
一方、出力信号φAFHはVoutから出力される画素出力の同期信号であり、このタイミングに従って、画素出力をカメラ用CPU200内のA/D変換器(不図示)でAD変換する。AF用CPU100は、蓄積動作中はφB_TEをHi、蓄積停止中はφB_TEをLoに制御する。カメラ用CPU200は、信号φB_TEをモニターすることで、蓄積中か否を判断することができる。
センサ画素回路102の具体的な回路図を図4に示す。センサ画素回路102はフォトダイオードPD、容量CFD、CS、電流源1、電流源2、MOSトランジスタM1,M2,M3,M4,M5、スイッチMOSトランジスタSWRES、SWCHで構成される。スイッチMOSトランジスタSWRES(オーバーフロードレイン素子)は、オン時はフォトダイオードと容量CFDをリセット電圧VRESにリセットする。一方、オフ時はオーバーフロードレインスイッチとして動作し、フォトダイオードPD(アノード側)の電位が同スイッチのゲートオフ電圧(電圧VBR)を超えないようにしている。電圧VBR、VRESは飽和制御回路107で生成され、飽和電圧や飽和量を制御することができる。ここで、飽和電圧=VBR、飽和量=VBR−VRESとする。
この例では、カメラ用CPU200からの通信により、飽和量としてHとLの2種類が設定可能である。飽和量はH>Lとする。飽和制御回路107は、飽和量Hの時はVBR_Hを生成し、飽和量Lの時はVBR_Lを生成する。VBR_H>VBR_Lとする。
スイッチMOSトランジスタSWCHは、メモリ容量CSへ画素信号を記憶するためのスイッチであり、オフ時にそれまで蓄積した画素信号を記憶する。スイッチMOSトランジスタSWRES、SWCHはそれぞれ信号φB_RES、φPCHでそれぞれオン/オフ制御される。容量CFDは、フォトダイオード、MOSトランジスタ、スイッチ、配線等で生ずる寄生容量である。
上記回路の動作について図5のタイミングチャートを用いて説明する。
まず、AF用CPU100は、時刻T0でB_RESをLo、PCHをHiにすることで、SWRES、SWCHを共にオンする。時刻T0からT1期間でフォトダイオードPDと容量CFD、容量CSをリセットする。時刻T1で、B_RESをHiにすることで、SWRESをオフする。この時から、フォトダイオードで光電変換された電荷は、容量CFDで蓄積され、電圧変換される。電圧変換された信号(信号電圧)は、M1〜M4およびM5で構成されたバッファアンプを通して画素出力Snから出力される。蓄積中、AF用CPU100はφB_TEをHiにする。
各画素出力Snは、ピーク検出回路103とシフトレジスタ104に接続されている。ピーク検出回路103では、各画素出力Snのうち一番大きな信号POUTを出力する。信号POUTは、電圧VRESレベルから被写体輝度BV(輝度情報)に応じた傾きで成長する。この例では、時刻T2で信号POUTの電圧VOUTが電圧VREFに達する。ピークコンパレータ105からの信号φSSがLoからHiに制御される。AF用CPU100は、信号φSSをモニターし、Hiになった時点で信号φPCHをLoにすることで、SWCHをオフし、画素信号を容量CSへ記憶する。同時に、φB_TEをLoにする。
ここで、電圧VREFは蓄積停止判定レベルであり、飽和制御回路107は、電圧VREFを飽和電圧である電圧VBRよりも低い電圧に設定する。
第1の実施形態のカメラにおける焦点調節動作を、図6のフローチャートを用いて説明する。
図6は、SW1が押された以降の動作を示したフローチャートである。
S101では、カメラ用CPU200は、AEセンサ207からの出力から被写体輝度BVを算出する。S102では、カメラ用CPU200は、S101で算出した被写体輝度BVが飽和切替え輝度より低いか否かを判定する。被写体輝度BVが飽和切替え輝度よりも低い場合は、S103でカメラ用CPU200は、信号φCS、φSCLK、φMOSIによりAF用CPU100と通信し、AFセンサ101の飽和量をL(第2の値)に設定する。
一方、被写体輝度BVが飽和切替え輝度以上(所定値以上)の場合は、S104で、カメラ用CPU200は、AFセンサ101の飽和量をH(第1の値、H>L)に設定する。
S105では、カメラ用CPU200は、信号φCS、φSCLK、φMOSIによりAF用CPU100と通信し、AFセンサ101の蓄積を開始する。AF用CPU100は、S103あるいはS104で設定された飽和量に従って、飽和制御回路107で各種電圧設定して蓄積動作を開始する。また、カメラ用CPU200は、カウンタ210を一旦リセットした後、カウントアップを開始する。
S106では、カメラ用CPU200は、信号φB_TEの状態を判定し、AFセンサ101の蓄積状態を判定する。B_TEがLoの場合は、AFセンサ101の蓄積が終了していると判定し、S109に進む。一方、B_TEがHiの場合は、AFセンサ101の蓄積動作が継続していると判定し、S107に進む。
S107では、カメラ用CPU200は、カウンタの値がt2以上か否かを判定する。内部カウンタ値がt2以上の場合は、S108で、カメラ用CPU200は、信号φCS、φSCLK、φMOSIによりAF用CPU100と通信し、AFセンサ101の蓄積動作を強制終了する。t2は強制終了時間であり、暗闇状態でAFセンサ101の蓄積動作がピークコンパレータの判定で終了しない場合や、蓄積動作中の被写体ブレによりAF性能が悪化するのを防ぐため、予め設定された時間で強制的に蓄積動作を終了させる。一方、t2未満の場合は、S106のB_TEの判定動作に戻る。
S109では、カメラ用CPU200は、信号φCS、φSCLK、φMOSIによりAF用CPU100と通信し、画素信号の読出し動作を行う。AFセンサ101からの出力信号φAHFに同期して、VOUT端子から出力される画素信号をAD変換する。
S110では、算出手段としてのカメラ用CPU200は、S109で得たAFセンサ101の画素信号から、公知の技術である相関演算によるデフォーカス量を算出する。
S111では、カメラ用CPU200は、S110で算出したデフォーカス量から焦点状態を判定する。このデフォーカス量が所望の範囲内、例えば(1/4)Fδ以内(F:レンズの絞り値、δ:定数:20μm、したがってF2.0のレンズの開放絞りでは10μm)であるならば合焦と判断し、S113へ進む。
一方、デフォーカス量が所望の範囲(例えば(1/4)Fδ)より大きいならば、S112でレンズ駆動手段としてのカメラ用CPU200は、S110で算出したデフォーカス量に対応する量のレンズ駆動をレンズ通信回路204を介して撮像レンズに指示する。そして、カメラ用CPU100は処理をS101に戻し、合焦状態と判定されるまで前述の動作を繰り返す。
S113では、カメラ用CPU200はスイッチSW2の状態を検出し、ONの場合は、S201からの撮像動作(A)を開始する。一方、スイッチSW2がOFFの場合、カメラ用CPU200はS114でスイッチSW1の状態を検出する。S114でSW1が依然としてONであればカメラ用CPU200はS101からの処理を繰り返し、SW1がOFFになっていれば、AF動作を終了する。
次に、S201からの撮像動作(A)について図7のフローチャートを用いて説明する。
S201で、カメラ用CPU200はS101で算出した被写体輝度BVと設定されたISO感度SVを加算して露出値EVを求める。そして、カメラ用CPU200は、例えば予め定められたプログラム線図を用いるなど公知の方法で、露出値EVに対応する絞り値AVおよびシャッタ速度TVを決定する。
S202でカメラ用CPU200は、クイックリターンミラー305を撮像光路から退避させると同時に、レンズ通信回路204を通じて撮像レンズ300に対し、絞りをS301で決定した絞り値AVに対応する開口とするように指示する。
その後、クイックリターンミラー305が撮像光路から完全に退避するとS203でカメラ用CPU200はシャッタ制御回路208を介して電磁石218a、218bの通電時間よりシャッタスピードを制御し、撮像センサ206を露光する。
S204でカメラ用CPU200は、クイックリターンミラー305を撮像光路中の位置に戻し、撮像動作を終了する。
ここで、図6のS102〜S104の飽和量の設定動作について説明する。
図8(a)は、高輝度時の蓄積信号POUTを示した図である。被写体が高輝度の場合は、AFセンサ101の飽和量を飽和量Hに設定している。飽和量Hは、フォトダイオードの空乏化電圧やM1,M2,M3,M4,M5で構成されるバッファアンプのDレンジを考慮したできるだけ大きな飽和量を設定する。また、電圧VREF_Hは電圧VBR_Hよりも所定量、低い電圧を設定する。被写体輝度が十分明るい場合は、強制終了時間t2前の時間t1でPOUTは電圧VREF_Hに達する。
一方、図8(b)は、低輝度時の蓄積信号POUTを示した図である。被写体が低輝度の場合は、信号POUTが電圧VREF_Hに達する前に、蓄積時間が強制終了時間t2に達する。低輝度になる程、得られる信号量が減少するため大きな飽和量は必要ない。そこで、飽和量Lは飽和量Hよりも低く設定することで、暗電流ノイズを抑制しSNを改善する。電圧VREF_Lは電圧VBR_Lよりも所定量、低い電圧を設定する。なお、時間t2で信号POUTが電圧VREF_Lになる被写体輝度を予め測定し、飽和量切替え輝度として記憶する。
以上説明したように、飽和制御回路107は電圧VBRを変えることでAFセンサ101の飽和量を制御することできる。また、被写体輝度BVに応じて飽和量を切替える(S102〜S104)ことで、適切な飽和量で蓄積制御することができ、低輝度下では暗電流ノイズを抑制することで精度良く焦点調節することができる。更に、飽和量に対応して、電圧VREFを切替えることで、設定した飽和量に達する前に蓄積動作を停止することができる。
なお、第1の実施形態では電圧VBRを変えることで飽和量を制御しているが、電圧VRESを変えても同様の効果が得られる。
(第2の実施形態)
第1の実施形態では、AEセンサ207の出力から被写体輝度BVを算出し、そのBV値に基づいてAFセンサ101の飽和量を切替えている。これに対して第2の実施形態では、AFセンサ101の出力信号に基づいてAFセンサ101の飽和量を切替える方法について説明する。カメラやAFセンサの構成は第1の実施形態と同じであり、説明は省略する。
第2の実施形態のカメラにおける焦点調節動作を、図9のフローチャートを用いて説明する。図9は、SW1が押された以降の動作を示したフローチャートである。
S301では、カメラ用CPU200は、SW1が押されてからAF動作が2回目以降か否かを判定する。AF動作が2回目以降の場合は、S302へ進みカメラ用CPU200内に記憶されている画素信号とその時の蓄積時間から被写体輝度BVを算出する。一方、AF動作が1回目の場合は、S305へ進み、カメラ用CPU200は、AFセンサ101の飽和量をHに設定する。
S302では、カメラ用CPU200は、記憶した前回のAFセンサ101の情報から被写体輝度BVを算出する。図8(a)、(b)は、高輝度時と低輝度時の信号POUTを示している。信号POUTは、被写体輝度BVに対応した割合で成長している。したがって、輝度BVに対応した(信号POUT−電圧VRES)/蓄積時間tを予め測定し、記憶しておく。前回のAFセンサ101からの画素信号の最大値(POUTに相当)と蓄積時間tから被写体輝度BVを算出する。
更に、画素信号からコントラストPBを算出する。コントラストPBは、画素信号の最も低い電圧(信号BOUT)と最も高い電圧(信号POUT)の差である。
S303では、カメラ用CPU200は、S302で算出したコントラストPBを判定する。PBがPB1以上(所定値以上)ある場合は、被写体コントラストが十分大きく、暗電流ノイズの影響が少ないと判断し、S306へ進み、AFセンサ101の飽和量をHに設定する。PB判定について図10を用いて説明する。
図10(a)は、被写体コントラストが高い場合の画素信号を示している。コントラストPBは、画素信号の最も低い電圧(信号BOUT)と最も高い電圧(信号POUT)の差であり、この例では、コントラストPBをPB1とする。一方、図10(b)は、被写体コントラストが低い場合の画素信号を示しており、コントラストPBはPB2とする。
図10(a)と図10(b)の信号POUTは同じであるため、被写体輝度BVは同じであるが、PB1>PB2のため、相関演算によるデフォーカス量を算出する際、PB1の方がより暗電流などのノイズ影響を受けにくい。
一方、PBが所定値(PB1)より小さい場合は、S304以降の被写体輝度BVによる飽和量の切替え判定に進む。
S304では、カメラ用CPU200は、S302で算出した被写体輝度BVを判定する。被写体輝度BVが飽和切替え輝度よりも低い場合は、S304でカメラ用CPU200は、信号φCS、φSCLK、φMOSIによりAF用CPU100と通信し、AFセンサ101の飽和量をLに設定する。一方、輝度BVが飽和切替え輝度以上の場合は、S306で、カメラ用CPU200は、AFセンサ101の飽和量をH(H>L)に設定する。
S307では、カメラ用CPU200は、信号φCS、φSCLK、φMOSIによりAF用CPU100と通信し、AFセンサ101の蓄積を開始する。AF用CPU100は、S305あるいはS306で設定された飽和量に従って、飽和制御回路107で各種電圧設定して蓄積動作を開始する。また、カメラ用CPU200は、カウンタ210を一旦リセットした後、カウントアップを開始する。
S308では、カメラ用CPU200は、信号φB_TEの状態を判定し、AFセンサ101の蓄積状態を判定する。B_TEがLoの場合は、AFセンサ101の蓄積が終了していると判定し、S311に進む。一方、B_TEがHiの場合は、AFセンサ101の蓄積動作が継続していると判定し、S309に進む。
S309では、カメラ用CPU200は、カウンタがt2以上か否かを判定する。カウンタがt2以上の場合は、S310で、信号φCS、φSCLK、φMOSIによりAF用CPU100と通信し、AFセンサ101の蓄積動作を強制終了する。更に、カメラ用CPU200は、カウンタ210を停止する。一方、t2未満の場合は、S308のB_TEの判定に戻る。
S311では、カメラ用CPU200は、信号φCS、φSCLK、φMOSIによりAF用CPU100と通信し、画素信号の読出し動作を行う。AFセンサ101からの出力信号φAHFに同期して、VOUT端子から出力される画素信号をAD変換する。
S312では、カメラ用CPU200は、S310で読出した画素信号とカウンタで測定した蓄積時間を記憶する。
S313では、算出手段としてのカメラ用CPU200は、S311で得たAFセンサ101の画素信号から、公知の技術である相関演算によるデフォーカス量を算出する。
S314では、カメラ用CPU200は、S313で算出したデフォーカス量から焦点状態を判断する。このデフォーカス量が所望の範囲内、例えば(1/4)Fδ以内であるならば合焦と判断し、S316へ進む。
一方、デフォーカス量が所望の範囲(例えば(1/4)Fδ)より大きいならば、S315でレンズ駆動手段としてのカメラ用CPU200は、S313で算出したデフォーカス量に対応する量のレンズ駆動量をレンズ通信回路204を介して撮像レンズに指示する。そして、カメラ用CPU200は処理をS301に戻し、合焦状態と判断されるまで前述の動作を繰り返す。
S316では、カメラ用CPU200はスイッチSW2の状態を検出し、ONの場合は、S201からの撮像動作を開始する。一方、スイッチSW2がOFFの場合、カメラ用CPU200はS317でスイッチSW1の状態を検出する。S317でSW1が依然としてONであればカメラ用CPU200はS301からの処理を繰り返し、SW1がOFFになっていれば、AF動作を終了する。
S201からの撮影動作については、第1の実施形態と同じであり、説明を省略する。
以上説明したように、第2の実施形態によれば、AFセンサ101からの情報を基に飽和量を設定しているので、より正確な飽和量を設定することができる。
(第3の実施形態)
第3の実施形態では、第1の実施形態のAFセンサ101に感度切替え機能が追加されたAFセンサ301で構成されている。
図11は、AFセンサ301のブロック図である。AFセンサ301は、AF用CPU300を有し、AF用CPU300は信号φB_RES、φB_SEN、φPCH、φPHにより、ラインセンサの感度、および蓄積動作、像信号の読み出し動作を制御する。センサ画素回路302は、感度切替え機能があり、光電変換された信号電荷を画素毎に蓄積し、蓄積した信号を一時的に記憶する回路に相当する。他の構成は、図3と同様の構成である。
図12は、センサ画素回路302の具体的な回路図である。図12は、図4のセンサ画素回路102に低感度用の容量CLとその容量CLを選択する感度切替えスイッチのスイッチMOSトランジスタSWSENSが追加されている。スイッチMOSトランジスタSWSENSは、高感度時にオフし、オーバーフロードレインスイッチとして動作し、フォトダイオードPDの電位が同スイッチのゲートオフ電圧(電圧VBR)を超えないように制御される。
上記回路の動作について図13のタイミングチャートを用いて説明する。
低感度モードの動作を図13(a)に示す。まず、AF用CPU300は、時刻T0でB_RESとB_SENSをLo、PCHをHiにすることで、SWRES、SWSENS、SWCHを共にオンする。時刻T0からT1期間でフォトダイオードPDと容量CFD、容量CL、容量CSをリセットする。時刻T1で、B_RESをHiにすることで、SWRESをオフする。この時から、フォトダイオードで光電変換された電荷は、容量CFDとそれと並列に接続された容量CLで積分され、電圧変換される。電圧変換された信号は、M1〜M4およびM5で構成さえたバッファアンプを通して画素出力Snから出力される。蓄積中、AF用CPUはφB_TEをHiにする。
各画素出力Snは、ピーク検出回路103とシフトレジスタ104に接続されている。ピーク検出回路103では、各画素出力Snのうち一番大きな信号POUTを出力する。信号POUTは、電圧VRESレベルから被写体輝度に応じた傾きで成長する。時刻T2で信号POUTが電圧VREF_Hに達すると、ピークコンパレータ105からの信号φSSがLoからHiに制御される。AF用CPU300は、信号φSSをモニターし、Hiになった時点で信号φPCHをLoにすることで、SWCHをオフし、画素信号は容量CSへ記憶される。同時に、φB_TEをLoにする。低感度モードでは飽和量Hとし、図8(a)と同様の電圧設定を行うものとする。
一方、高感度モードの動作を図13(b)に示す。まず、AF用CPU300は、時刻T0でB_RESとB_SENSをLo、PCHをHiにすることで、SWRES、SWSENS、SWCHを共にオンする。T0からT1期間でフォトダイオードPDと容量CFD、容量CL、容量CSをリセットする。時刻T1でB_RESとB_SENSをHiにすることで、SWRESとSWSENSをオフする。この時から、フォトダイオードで光電変換された電荷は、容量CFDのみで蓄積され、電圧変換される。高感度時は積分容量が小さくなるため電荷変換係数が大きくなる。この図13(b)は、(a)に比べて輝度が十分低い場合であり、信号POUTは低感度モードよりも小さな傾きで成長している。時刻T2で信号POUTが電圧VREF_Lに達するとピークコンパレータ105からの信号φSSがLoからHiに制御される。AF用CPU300は、信号φSSをモニターし、Hiになった時点で信号φPCHをLoにすることで、SWCHをオフし、画素信号は容量CSへ記憶される。同時に、φB_TEをLoにする。高感度モードでは飽和量Lとし、図8(b)と同様の電圧設定を行うものとする。
感度切替えについては、撮影者によるスイッチ群214(図1)の設定で行うものとする。撮影者は、野外など明るい場所での撮影は低感度モードに設定する。一方、室内や夜間などの低輝度下で撮影は、高感度モードに設定する。
第3の実施形態のカメラにおける焦点調節動作を、図14のフローチャートを用いて説明する。
図14は、SW1が押された以降の動作を示したフローチャートである。
S401では、カメラ用CPU200は、スイッチ群214の設定を検出し、感度モードを判定する。低感度モードの場合、S402でカメラ用CPU200は、信号φCS、φSCLK、φMOSIによりAF用CPU300と通信し、AFセンサ301の飽和量をHに設定する。
一方、高感度モードの場合は、S403で、カメラ用CPU200は、AFセンサ301の飽和量をL(H>L)に設定する。飽和量HとLでの電圧VBRおよび電圧VREFの設定については、第1の実施形態と同じように設定する。S404からS413の動作については、第1の実施形態の図6と同じである。
以上説明したように、本実施形態では、設定された感度に応じて飽和量を切替えている(S401〜S403)。低輝度下の撮影時も暗電流ノイズを抑制することで精度良く焦点調節することができる。また、AFセンサ300の感度を切替える手段として、出力アンプ106のゲインを変えても同様の効果が得られる。
(第4の実施形態)
第4の実施形態は、信号POUTに追従して飽和量を制御するAFセンサ401で構成される。
図15は、AFセンサ401のブロック図である。図15において、AFセンサ401は、AF用CPU400を有し、AF用CPU400は信号φB_RES、φPCH、φPHにより、ラインセンサの蓄積動作および像信号の読み出し動作を制御する。
ラインセンサは、センサ画素回路402、ピーク検出回路403、シフトレジスタ404で構成されている。センサ画素回路402は、光電変換された信号電荷を画素毎に蓄積し、蓄積した信号を一時的に記憶する回路に相当する。
ピーク検出回路403は、各画素で蓄積した信号のうち、一番大きい値POUTを検出し、AF用CPU400とピークコンパレータ405へ出力する。ピークコンパレータ405は、ピーク検出回路403で検出したPOUTとVREF(蓄積停止電圧)を比較し、POUT≧VREFになったら信号φSSをLoからHiへ制御する。
シフトレジスタ404は、AF用CPU400からのクロック信号φPH信号に同期して1画素目の信号から順次読み出す画素を選択する。出力アンプ406は、シフトレジスタ404で選択された画素信号Sn(n番目の画素信号)を所定ゲインで増幅し、出力する。飽和制御回路407は、ピークコンパレータ405の比較電圧VREF、センサ画素回路402のリセット電圧VRES、リセットスイッチのゲートオフ電圧VBRを生成するための回路である。
電圧VBRと電圧POUTについて図16を用いて説明する。図16では、信号POUTは、電圧VRESから被写体輝度BVに対応した割合で成長する。AF用CPU400は信号POUTに対して所定余裕量をオフセットした電圧VBRを生成するように飽和制御回路407を制御する。つまり、電圧VBRは電圧VBR_Sから信号POUTと同じ傾きとなる。t3で信号POUTがVREF_Hに達して蓄積停止する。以降、電圧VBRは電圧VBR_Hで最大値になる。
以上説明したように、信号POUTに応じて電圧VBRを追従させることで、いかなる輝度でも飽和量を最適に設定することができる。
(第5の実施形態)
第5の実施形態では、2次元配列されたイメージャ―タイプの固体撮像素子である撮像センサ206の動作について説明する。
図17は、第5の実施形態における撮像センサ206の概略的回路構成図を示したもので、特開平09−046596号報等に開示された技術を用いて製造される。同図は2次元C−MOSエリアセンサの2列×4行画素の範囲を示したものであるが、撮像素子として利用する場合は、当図に示した画素を多数配置し、高解像度画像の取得を可能としている。
図17において、1はMOSトランジスタゲートとゲート下の空乏層からなる光電変換素子の光電変換部、2はフォトゲート、3は転送スイッチMOSトランジスタ、4はリセット用MOSトランジスタ、5はソースフォロワアンプMOSトランジスタである。また、6は水平選択スイッチMOSトランジスタ、7はソースフォロワの負荷MOSトランジスタ、8は暗出力転送MOSトランジスタ、9は明出力転送MOSトランジスタである。さらに、10は暗出力蓄積容量CTN、11は明出力蓄積容量CTS、12は水平転送MOSトランジスタ、13は水平出力線リセットMOSトランジスタ、14は差動出力アンプ、15は水平走査回路、16は垂直走査回路である。
図18に画素部の断面図を示す。図18において、17はP型ウェル、18はゲート酸化膜、19は一層目ポリSi、20は二層目ポリSi、21はn+ フローティングディフュージョン部(FD)である。FD21は別の転送MOSトランジスタを介して別の光電変換部と接続される。図18において、2つの転送MOSトランジスタ3のドレインとFD部21を共通化して微細化とFD部21の容量低減による感度向上を図っているが、Al配線でFD部21を接続しても良い。また、転送MOSトランジスタ3はオフ時にオーバーフロードレインMOSとして動作する。
次に、図19のタイミングチャートを用いて動作を説明する。このタイミングチャートは全画素独立出力の場合である。
まず垂直走査回路16からのタイミング出力によって、制御パルスφLをHiとして垂直出力線をリセットする。また制御パルスφR0,φPG00,φPGe0をHiとし、リセット用MOSトランジスタ4をオンとし、フォトゲート2の一層目ポリSi19をHiとしておく。時刻T0において、制御パルスφS0をHiとし、選択スイッチMOSトランジスタ6をオンさせ、第1,第2ラインの画素部を選択する。次に制御パルスφR0をLoとし、FD部21のリセットを止め、FD部21をフローティング状態とし、ソースフォロワアンプMOSトランジスタ5のゲート・ソース間をスルーとした後、時刻T1において制御パルスφTNをHiとし、FD部21の暗電圧をソースフォロワ動作で蓄積容量CTN10に出力させる。
次に、第1ラインの画素の光電変換出力を行うため、第1ラインの制御パルスφTX00をHiとして転送スイッチMOSトランジスタ3を導通した後、時刻T2 において制御パルスφPG00をLoとして下げる。この時フォトゲート2の下に拡がっていたポテンシャル井戸を上げて、光発生キャリアをFD部21に完全転送させるような電圧関係が好ましい。
時刻T2 でフォトダイオードの光電変換部1からの電荷がFD部21に転送されることにより、FD部21の電位が光に応じて変化することになる。この時ソースフォロワアンプMOSトランジスタ5がフローティング状態であるので、FD部21の電位を時刻T3 において制御パルスφTs をHiとして蓄積容量CTS11に出力する。この時点で第1ラインの画素の暗出力と光出力はそれぞれ蓄積容量CTN10とCTS11に蓄積されおり、時刻T4 の制御パルスφHCを一時Hiとして水平出力線リセットMOSトランジスタ13を導通して水平出力線をリセットし、水平転送期間において水平走査回路15の走査タイミング信号により水平出力線に画素の暗出力と光出力を出力させる。この時、蓄積容量CTN10とCTS11の差動増幅器14によって、差動出力VOUTを取れば、画素のランダムノイズ、固定パターンノイズを除去したS/Nの良い信号が得られる。また画素30−12、30−22の光電荷は画素30−11、30−21と同時に夫々の蓄積容量CTN10とCTS11に蓄積されるが、その読み出しは水平走査回路15からのタイミングパルスを1画素分遅らして水平出力線に読み出して差動増幅器14から出力させる。
蓄積容量CTS11に明出力を出力した後、制御パルスφR0をHiとしてリセット用MOSトランジスタ4を導通しFD部21を電源VDDにリセットする。第1ラインの水平転送が終了した後、第2ラインの読み出しを行う。第2ラインの読み出しは、制御パルスφTXe0,制御パルスφPGe0を同様に駆動させ、制御パルスφTN、φTSに夫々Hiパルスを供給して、蓄積容量CTN10とCTS11に夫々光電荷を蓄積し、暗出力及び明出力を取り出す。以上の駆動により、第1,第2ラインの読み出しが夫々独立に行える。この後、垂直走査回路を走査させ、同様に第2n+1,第2n+2(n=1,2,…)の読み出しを行えば全画素独立出力が行える。即ち、n=1の場合は、まず制御パルスφS1をハイとし、次にφR1をLoとし、続いて制御パルスφTN、φTX01をHiとし、制御パルスφPG01をLo、制御パルスφTSをHi、制御パルスφHCを一時Hiとして画素30−31,30−32の画素信号を読み出す。続いて、制御パルスφTXe1,φPGe1及び上記と同様に制御パルスを印加して、画素30−41,30−42の画素信号を読み出す。
制御パルスφPGのHi電圧と、φPGのTXのLo電圧(オフ電圧)の差により飽和量を制御することができる。完全転送タイプの撮像素子は、光電変換された電荷は画素部のポテンシャル井戸で積分されるため、蓄積中に信号POUTはモニターできない。しかし、第1の実施形態と同様、AEセンサから被写体輝度を判定することで飽和量を切替える。あるいは、第2の実施形態と同様、前回の撮像センサ206の画像信号からの出力信号により、飽和量を切替える。これにより、よりSNの良い画像信号を得ることができる。

Claims (11)

  1. 被写体からの光を光電変換するフォトダイオードと、前記フォトダイオードと接続され、該フォトダイオードをリセット電圧にリセットするリセットスイッチであるオーバーフロードレイン部とを備えるセンサと、
    前記被写体の輝度に基づいて前記フォトダイオードの飽和電圧を変更するように前記オーバーフロードレイン部を制御する制御手段と、
    前記リセット電圧を生成するリセット電圧生成手段と、
    前記オーバーフロードレイン部のゲート電圧を生成するゲート電圧生成手段と、を備え
    前記制御手段は、前記リセット電圧あるいは前記ゲート電圧を制御することで前記飽和電圧を変更することを特徴とする光電変換装置。
  2. 前記フォトダイオードで生成された電荷の蓄積中に、前記センサから出力される信号電圧が停止電圧に達したときに電荷の蓄積を停止する蓄積制御手段をさらに備え、
    前記停止電圧は、前記飽和電圧よりも小さくなるように設定されることを特徴とする請求項に記載の光電変換装置。
  3. 前記制御手段は、前記被写体の輝度が第1の所定値以上の場合は、前記飽和電圧を第1の値に設定し、前記被写体の輝度が前記第1の所定値より低い場合は、前記飽和電圧を前記第1の値よりも小さい第2の値に設定することを特徴とする請求項1又は2に記載の光電変換装置。
  4. 前記制御手段は、前記被写体のコントラストが第2の所定値以上の場合は、前記飽和電圧を前記第1の値に設定することを特徴とする請求項に記載の光電変換装置。
  5. 前記被写体の輝度は、前記センサにおける電荷の蓄積時間に基づいて判定されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光電変換装置。
  6. 前記被写体のコントラストは、前記センサから出力される信号に基づいて判定されることを特徴とする請求項に記載の光電変換装置。
  7. 被写体からの光を光電変換するフォトダイオードであって、複数の異なる感度に切り替え可能なフォトダイオードと、前記フォトダイオードと接続されるオーバーフロードレイン部とを備えるセンサと、
    前記フォトダイオードの感度に基づいて前記フォトダイオードの飽和電圧を変更するように前記オーバーフロードレイン部を制御する制御手段と、
    を備えることを特徴とする光電変換装置。
  8. 前記オーバーフロードレイン部は、前記フォトダイオードをリセット電圧にリセットするリセットスイッチであって、
    前記リセット電圧を生成するリセット電圧生成手段と、
    前記オーバーフロードレイン部のゲート電圧を生成するゲート電圧生成手段とをさらに備え、
    前記制御手段は、前記リセット電圧あるいは前記ゲート電圧を制御することで前記飽和電圧を変更することを特徴とする請求項に記載の光電変換装置。
  9. 前記フォトダイオードで生成された電荷の蓄積中に、前記センサから出力される信号電圧が停止電圧に達したときに電荷の蓄積を停止する蓄積制御手段をさらに備え、
    前記停止電圧は、前記飽和電圧よりも小さくなるように設定されることを特徴とする請求項7又は8に記載の光電変換装置。
  10. 前記制御手段は、前記フォトダイオードの感度が第1の感度の場合は、前記飽和電圧を第1の値に設定し、前記フォトダイオードの感度が前記第1の感度よりも高い第2の感度の場合は、前記飽和電圧を前記第1の値よりも小さい第2の値に設定することを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の光電変換装置。
  11. 被写体からの光を光電変換するフォトダイオードと、前記フォトダイオードと接続され、該フォトダイオードをリセット電圧にリセットするリセットスイッチであるオーバーフロードレイン部とを備えるセンサと、
    前記センサにおける電荷の蓄積時間に基づいて前記フォトダイオードの飽和電圧を変更するように前記オーバーフロードレイン部を制御する制御手段と、
    前記リセット電圧を生成するリセット電圧生成手段と、
    前記オーバーフロードレイン部のゲート電圧を生成するゲート電圧生成手段と、を備え
    前記制御手段は、前記リセット電圧あるいは前記ゲート電圧を制御することで前記飽和電圧を変更することを特徴とする光電変換装置。
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