JP6103720B2 - シリンダーキャビネット - Google Patents

Description

本発明は、毒性ガス、可燃性ガス、腐食性ガス等のガスが充填されたガス容器を収納するシリンダーキャビネットに関する。

従来、半導体デバイス製造工場では、シリンダーキャビネットが用いられている。シリンダーキャビネットは、筐体内に、毒性、可燃性、腐食性等を有する反応性の高いガスが充填されたガス容器が設置され、筐体内に設けられた減圧弁により、ガス容器から導出されたガスが所定の圧力となるように圧力を調整し、二次側のガスの消費先（例えば、半導体デバイス製造装置）へ安全に圧力を調整したガスを供給するためのものである。

特許文献１には、少なくとも１以上のガスシリンダー（ガス容器）と、ガス供給配管機器と、を内部に収納したシリンダーキャビネットが開示されている。
特許文献１の第１６図に開示されているように、一般的なシリンダーキャビネットは、高い交換の頻度及び交換作業のし易さの理由から、扉に近い位置にガスシリンダーが配置されている。これらのガスシリンダーの奥側であって、ガスシリンダーの上方に位置する部分には、操作性の観点から、複数のバルブ（弁）等が配置される。

また、一般的なシリンダーキャビネットは、例えば、ガス容器からのガスを消費先へ供給する配管と、該配管に設けられたガスの圧力を調整する減圧弁と、ガスの供給及び停止を操作するための開閉弁と、を有する。
また、減圧弁及び開閉弁としては、自動で制御する自動弁を用いる場合と、自動弁よりもコストの安い手動弁を用いる場合と、がある。大学や企業の実験レベルでは、コスト削減の観点から、自動弁よりも手動弁が好まれている。

特開平２−１４６４００号公報

ところで、近年、狭いスペースにおいて、シリンダーキャビネットを多数設置する要望が高まっている。
また、半導体デバイス製造装置（例えば、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）装置）内にシリンダーキャビネットを組み込みたいという要望がでてきている。
これにより、これまでは、筐体のフットプリント面積の小型化が主に求められていたが、さらには筐体高さ方向の小型化が求められるようになった。

そこで本発明は、高さ方向の小型化を図ることの可能なシリンダーキャビネットを提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、請求項１に係る発明によれば、筐体本体、及び該筐体本体に対して開閉可能な扉を含む筐体と、前記筐体内に配置され、前記扉の内面側に固定された状態でガス容器を収容するガス容器収容部と、前記筐体内から該筐体の外部に引き回されたラインであり、継手を介して一端が前記ガス容器と接続され、該ガス容器内に充填されたガスを前記筐体の外部に供給するガス供給ラインと、前記筐体内に配置された前記ガス供給ラインに設けられ、前記筐体本体に対して閉位置にある前記扉と対向する前記筐体の背面板の内面であって、前記弁の少なくとも一部を、前記ガス容器収容部に収容された前記継手を含む前記ガス容器の上端の位置よりも低い位置に配置された弁と、を有し、前記ガス容器収容部は、収容した前記ガス容器を前記弁から離間させるための離間機構を有していることを特徴とするシリンダーキャビネットが提供される。

また、請求項２に係る発明によれば、前記弁は、１つの手動弁、または少なくとも１つの手動弁を含む複数の弁で構成されていることを特徴とする請求項１記載のシリンダーキャビネットが提供される。

また、請求項３に係る発明によれば、前記ガス容器収容部は、前記扉に固定されており、前記離間機構は、前記扉の下端部と、該扉の下端部と接触する前記筐体本体の底板の端部と、を連結するように設けられ、前記底板の端部を中心として、前記扉及び前記ガス容器収容部をピッチ方向に回動させる回動機構であることを特徴とする請求項１または２記載のシリンダーキャビネットが提供される。

また、請求項４に係る発明によれば、前記扉と前記ガス容器収容部とは、別体とされており、前記離間機構は、前記ガス容器収容部の下端部と、該ガス容器収容部の下端部と接触する前記筐体本体の底板の端部と、を連結するように設けられ、前記底板の端部を中心として、前記ガス容器収容部をピッチ方向に回動させる回動機構であることを特徴とする請求項１または２記載のシリンダーキャビネットが提供される。

また、請求項５に係る発明によれば、前記ガス容器収容部は、前記扉に固定されており、前記離間機構は、前記筐体本体から離間する該筐体本体の奥行方向に前記扉及び前記ガス容器収容部を一体に移動させるスライド機構であることを特徴とする請求項１または２記載のシリンダーキャビネットが提供される。

また、請求項６に係る発明によれば、前記ガス供給ラインのうち、前記筐体内で前記弁と前記ガス容器との間を接続している部分の長さが、前記離間機構により前記ガス容器が前記弁から最も離間させられた際の前記弁と前記ガス容器との間の直線距離の２倍以上の長さであることを特徴とする請求項１ないし５のうち、いずれか１項記載のシリンダーキャビネットが提供される。

本発明のシリンダーキャビネットによれば、弁の少なくとも一部を、ガス容器収容部に収容された継手を含むガス容器の高さよりも低い位置にする配置することで、従来よりも筐体の高さを低くすることが可能（言い換えれば、筐体内の高さを、継手を含むガス容器の高さに近づけることが可能）となる。
また、弁の一部が、ガス容器の奥側直近に配置され、扉を開けただけでは手動操作や交換作業などが行えない場合でも、ガス容器を弁から離間させることで、手動操作や交換作業などが可能となる。
これにより、手動操作や交換作業などに支障がでることなく、従来よりもシリンダーキャビネットの高さ方向の小型化を図ることができる。

本発明の第１の実施の形態に係るシリンダーキャビネットの斜視図であり、筐体本体に対して扉が閉じた状態（閉位置にある状態）を模式的に示す図である。 図１に示すシリンダーキャビネットを構成する筐体及びガス容器収容部を透過させた状態で、シリンダーキャビネットの内部の概略構成を示した斜視図であり、かつ筐体本体に対して扉が閉じた状態を模式的に示す図である。 図２に示すシリンダーキャビネットを構成する扉及びガス容器収容部が、扉の下端を中心として、筐体本体に対してピッチ方向に開いた状態を模式的に示す斜視図である。 図３に示すシリンダーキャビネットの構成要素のうち、筐体及びガス容器収容部のみを図示した斜視図である。 本発明の第２の実施の形態に係るシリンダーキャビネットの斜視図であり、筐体本体に対して扉が閉じた状態（閉位置にある状態）を模式的に示す図である。 図５に示すシリンダーキャビネットを構成する筐体及びガス容器収容部を透過させた状態で、シリンダーキャビネットの内部の概略構成を示した斜視図であり、かつ筐体本体に対して扉が閉じた状態を模式的に示す図である。 図６に示すシリンダーキャビネットを構成する扉が開き、かつガス容器収容部の下端を中心として、筐体本体に対してガス容器収容部がピッチ方向に傾いた状態を模式的に示す斜視図である。 本発明の第３の実施の形態に係るシリンダーキャビネットを構成する筐体及びガス容器収容部を透過させた状態で、シリンダーキャビネットの内部の概略構成を示した斜視図であり、かつ筐体本体に対して扉が閉じた状態（閉位置にある状態）を模式的に示す図である。 図８に示すシリンダーキャビネットを構成する扉及びガス容器収容部が、筐体の奥行方向に対して筐体本体から離間した状態を模式的に示す斜視図である。 図９に示すシリンダーキャビネットの構成要素のうち、筐体及びガス容器収容部のみを図示した斜視図である。

以下、図面を参照して本発明を適用した実施の形態について詳細に説明する。なお、以下の説明で用いる図面は、本発明の実施形態の構成を説明するためのものであり、図示する各部の大きさや厚さや寸法等は、実際のシリンダーキャビネットの寸法関係とは異なる場合がある。

（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るシリンダーキャビネットの斜視図であり、筐体本体に対して扉が閉じた状態（閉位置にある状態）を模式的に示す図である。図２は、図１に示すシリンダーキャビネットを構成する筐体及びガス容器収容部を透過させた状態で、シリンダーキャビネットの内部の概略構成を示した斜視図であり、かつ筐体本体に対して扉が閉じた状態を模式的に示す図である。
図３は、図２に示すシリンダーキャビネットを構成する扉及びガス容器収容部が、扉の下端を中心として、筐体本体に対してピッチ方向に開いた状態を模式的に示す斜視図である。図４は、図３に示すシリンダーキャビネットの構成要素のうち、筐体及びガス容器収容部のみを図示した斜視図である。

図２及び図３では、実際には、厚さを有する筐体１１を平面で図示する。図２及び図３では、一例として、ガス容器収容部１２に同じ高さとされた２つのガス容器（第１及び第２のガス容器１３，１４）を収容させる場合を例に挙げて図示している。図２及び図３では、図１及び図４に示す回動機構２４の図示を省略する。
図３に点線で示す扉１１−２及び扉本体３４は、扉１１−２及び扉本体３４がピッチ方向Ｐに９０度回転することで、シリンダーキャビネット１０が載置される床面上に扉１１−２及び扉本体３４が載置された状態を模式的に示している。

図１〜図４において、Ｘ方向は、筐体１１の奥行方向を示しており、Ｙ方向は、Ｘ方向と直交する筐体１１の幅方向を示しており、Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向と直交する筐体１１の高さ方向を示している。図３に示すＰは、扉１１−２の開閉方向であるピッチ方向（以下、「ピッチ方向Ｐ」という）を示している。
また、図１〜図４において、同一構成部分には、同一符号を付す。

図１〜図４を参照するに、第１の実施の形態のシリンダーキャビネット１０は、筐体１１と、ガス容器収容部１２と、ガス供給ライン１６と、手動弁である第１の開閉弁１８と、手動弁である第１の減圧弁１９と、手動弁である第２の開閉弁２１と、手動弁である第２の減圧弁２２と、離間機構である回動機構２４と、を有する。

筐体１１は、筐体本体１１−１と、扉１１−２と、を有する。筐体本体１１−１は、底板２６と、第１の側板２７と、第２の側板２８と、背面板２９と、天井板３１と、を有する。
底板２６、第１の側板２７、第２の側板２８、背面板２９、及び天井板３１は、矩形とされた板状の部材である。第１及び第２の側板２７，２８は、その下端が底板２６と接続されている。また、第１及び第２の側板２７，２８は、Ｙ方向において、対向するように配置されている。

背面板２９は、その下端が底板２６と接続されるとともに、左端が第１の側板２７と接続され、かつ右端が第２の側板２８と接続されている。背面板２９の高さは、第１及び第２の側板２７，２８と等しくなるように構成されている。
背面板２９は、筐体本体１１−１に対して扉１１−２が閉じた状態（図１及び図２に示す状態）において、扉１１−２と対向している。背面板２９は、扉１１−２と対向する内面２９ａを有する。

天井板３１は、底板２６と同様な形状とされており、第１の側板２７の上端、第２の側板２８の上端、及び背面板２９の上端と接続されている。天井板３１は、底板２６と対向するように配置されている。
天井板３１は、その角部付近を貫通する貫通穴３１Ａを有する。貫通穴３１Ａは、ガス供給ライン１６を筐体１１から外部へ貫通させるための穴である。ガス供給ライン１６が挿入された貫通穴３１Ａには、筐体１１内を気密するためのシール部材（図示せず）が設けられていてもよい。

扉１１−２は、扉本体３４と、ガス容器収容部底板３５と、を有する。扉本体３４は、背面板２９と同様な形状とされた矩形の部材である。筐体本体１１−１に対して扉１１−２が閉じた状態において、扉本体３４は、背面板２９と対向するように配置されている。
筐体本体１１−１に対して開閉可能な状態で、筐体本体１１−１を構成する背面板２９と対向するように設けられている。
扉本体３４は、筐体本体１１−１に対して扉１１−２が閉じた状態において、扉本体３４及び筐体本体１１−１に設けられたロック機構（図示していない）により、ロックされることで、筐体１１内に閉空間を形成する。

ガス容器収容部底板３５は、扉本体３４の下端と固定されており、扉本体３４と直交する方向に延在した板状の部材である。筐体本体１１−１に対して扉１１−２が閉じた状態において、ガス容器収容部底板３５は、筐体本体１１−１の底板２６上に配置される。

このように、扉本体３４とガス容器収容部１２とが固定された扉１１−２を用いることで、扉１１−２を開けると同時に、ガス容器収納部１２をピッチ方向に傾いた状態にすることができる。

上記筐体１１は、扉１１−２のみが開閉可能な構成とされており、かつ第１の側板２７、第２の側板２８、及び背面板２９には、配管等を筐体１１内に導入するための貫通穴が設けられていない構成とされている。
筐体１１内を監視する場合、筐体１１の材料としては、例えば、透明或いは半透明な材料（例えば、アクリル樹脂）を用いることができる。なお、筐体１１内を監視しない場合には、他の材料（例えば、鉄板、ステンレス鋼板等）を用いることができる。
筐体１１の高さは、例えば、ガス容器収容部１２に収容するガス容器のうち、最も高いガス容器の高さよりも６０ｍｍ程度高い高さにすることができる。

なお、図１〜図４には、図示していないが、筐体１１内の空気或いは漏洩ガスを排気するためのダンパーを、天井板３１または底板２６に設けてもよい。
また、図１〜図４では、一例として、扉１１−２を例に挙げて説明したが、扉１１−２の形状は、これに限定されない。例えば、上記説明した扉１１−２に替えて、ガス容器収容部１２を構成要素から除いた扉（つまり、扉本体３４のみで構成された扉）を用いてもよい。この場合、第１及び第２のガス容器１３，１４は、ベルトなどによって扉本体３４に直接固定される。

また、図１〜図４には、図示していないが、扉本体３４の外面３４ａ側に、取手部（図示せず）を設けるとよい。このような取手部（図示せず）を設けることで、第１及び第２のガス容器１３，１４を収容するガス容器収容部１２が固定された扉１１−２の開閉作業を容易に行うとことができる。

ガス容器収容部１２は、扉本体３４の内面側に、扉本体３４の下端の位置で扉１１−２に固定されている。ガス容器収容部１２は、第１及び第２のガス容器１３，１４の下部を収容する部材である。第１及び第２のガス容器１３，１４の上部は、ガス容器収容部１２から露出されている。
ガス容器収容部１２は、箱形状とされた収容部である。ガス容器収容部１２を構成するガス容器収容部上板３７には、第１のガス容器１３の下部を挿入するための第１の貫通穴３８と、第２のガス容器１４の下部を挿入するための第２の貫通穴３９と、が設けられている。

なお、図示してはいないが、ガス容器収容部１２内には、第１及び第２のガス容器１３，１４の下端部の位置を規制するガス容器固定機構が設けられている。ガス容器固定機構としては、例えば、第１及び第２の貫通穴３８，３９が形成されたガス容器収容部上板３７と同様な構成とされた板部材を用いることができる。
上記構成とされたガス容器収容部１２の材料としては、例えば、強度や耐久性に優れた材料である鉄板、ステンレス鋼板等を用いることができる。

また、第１の実施の形態では、一例として、ガス容器収容部１２に２つのガス容器（具体的には、第１及び第２のガス容器１３，１４）を収容させる場合を例に挙げて説明したが、ガス容器収容部１２に収容させるガス容器の数は、１つ以上であればよく、図２及び図３に示すガス容器の数に限定されない。

ここで、ガス供給ライン１６を説明する前に、第１及び第２のガス容器１３，１４について説明する。
第１及び第２のガス容器１３，１４は、最高で４２ＭＰａ程度の耐圧性を有する耐圧容器（例えば、ボンベ）である。第１及び第２のガス容器１３，１４としては、例えば、マンガン鉱製のガス容器、アルミ合金製のガス容器、ＦＲＰ（繊維強化プラスチック（Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ）製のガス容器等を用いることができる。

第１のガス容器１３には、ガス供給ライン１６の一端（具体的には、第１の分岐ガス供給ライン１６−２の一端）の継手（図示せず）が接続される接続口が設けられている。第２のガス容器１４には、ガス供給ライン１６の一端（具体的には、第２の分岐ガス供給ライン１６−３の一端）の継手（図示せず）が接続される接続口が設けられている。
第１及び第２のガス容器１３，１４には、例えば、毒性ガス、可燃性ガス、腐食性ガス等のガスを充填することができる。第１及び第２のガス容器１３，１４の内容量は、例えば、０．３５Ｌ〜５０Ｌの範囲内で適宜設定することができる。
上記第１及び第２のガス容器１３，１４は、その下部がガス容器収容部１２に収容された状態で、ベルト（図示せず）によりガス容器収容部１２に固定されている。

なお、第１の実施の形態では、図２及び図３に示すように、一例として、第１及び第２のガス容器１３，１４の高さを同じ高さとした場合を例に挙げて説明したが、高さの異なるガス容器をガス容器収容部１２に収容させてもよい。

ガス供給ライン１６は、主ガス供給ライン１６−１と、第１の分岐ガス供給ライン１６−２と、第２の分岐ガス供給ライン１６−３と、を有する。
主ガス供給ライン１６−１は、他端（ガス供給ライン１６の他端）がガスの消費先と接続されている。主ガス供給ライン１６−１の一部は、貫通穴３１Ａを介して、筐体１１内に導入されている。主ガス供給ライン１６−１の一端は、筐体１１内に配置されており、かつ２つに分岐されている。

先に説明したように、第１及び第２のガス容器１３，１４に充填されるガスは、毒性、可燃性、腐食性等の反応性の高いガスである。このため、ガス供給ライン１６としては、例えば、金属製の配管（例えば、ステンレス製の鋼管）を用いることが好ましい。
なお、図１〜図４には、図示していないが、ガス供給ライン１６に、開閉弁を設けてもよい。

第１及び第２の分岐ガス供給ライン１６−２，１６−３は、主ガス供給ライン１６−１の一端から分岐されたラインである。
第１の分岐ガス供給ライン１６−２は、一端（ガス供給ライン１６の一端）が第１のガス容器１３の接続口（図示せず）と継手（図示せず）を介して接続されている。第１の分岐ガス供給ライン１６−２の一部は、背面板２９の内面２９ａに配置されている。

第１の分岐ガス供給ライン１６−２としては、例えば、金属製の配管（例えば、ステンレス製の鋼管）を用いることが好ましい。第１の分岐ガス供給ライン１６−２の外径は、例えば、３．１８〜９．５３ｍｍの範囲内で適宜設定することができる。

第１の分岐ガス供給ライン１６−２のうち、第１のガス容器１３と第１の減圧弁１９との間は、第１のガス容器１３が傾斜した際に、第１の分岐ガス供給ライン１６−２が折れたり、切断されたりすることが予想される。
そこで、第１の分岐ガス供給ライン１６−２（ガス供給ライン１６の一部）のうち、筐体１１内で第１のガス容器１３と第１の減圧弁１９との間を接続している部分の長さは、回動機構２４（離間機構）により、第１のガス容器１３が第１の減圧弁１９から最も離間させられた状態において、第１の減圧弁１９と第１のガス容器１３（具体的には、第１のガス容器１３のうち、第１の分岐ガス供給ライン１６−２が接続されている部分）との間の直線距離の２倍以上の長さとするとよい。

これにより、第１のガス容器１３と第１の減圧弁１９との間に配置された第１の分岐ガス供給ライン１６−２にフレキシブル性を持たせることが可能となるので、第１の減圧弁１９から第１のガス容器１３が離間させられた際に発生する衝撃を緩衝できるとともに、第１のガス容器１３が傾斜させられた際に、第１の分岐ガス供給ライン１６−２が折れたり、切断されたりすることを防止できる。
また、第１のガス容器１３と第１の減圧弁１９との間の配管形状は、例えば、コイル状にすることができる。

なお、同様な理由により、第２の分岐ガス供給ライン１６−３（ガス供給ライン１６の一部）のうち、筐体１１内で第２のガス容器１４と第２の減圧弁２２との間を接続している部分の長さは、回動機構２４（離間機構）により、第２のガス容器１４が第２の減圧弁２２から最も離間させられた状態において、第２の減圧弁２２と第２のガス容器１４（具体的には、第２のガス容器１４のうち、第２の分岐ガス供給ライン１６−３が接続されている部分）との間の直線距離の２倍以上の長さとするとよい。
また、第２のガス容器１４と第２の減圧弁２２との間の配管形状は、例えば、コイル状にすることができる。
また、第１の分岐ガス供給ライン１６−２のうち、第１の分岐ガス供給ライン１６−２の分岐位置と第１の開閉弁１８との間に位置する部分に、逆止弁（図示せず）を設けてもよい。

第２の分岐ガス供給ライン１６−３は、一端（ガス供給ライン１６の一端）が第２のガス容器１４の接続口（図示せず）と継手（図示せず）を介して接続されている。第２の分岐ガス供給ライン１６−３の一部は、背面板２９の内面２９ａに配置されている。

第２の分岐ガス供給ライン１６−３としては、先に説明した第１の分岐ガス供給ライン１６−２と同様な構成とされたライン（配管）を用いることができる。
また、第２の分岐ガス供給ライン１６−３のうち、第２の分岐ガス供給ライン１６−３の分岐位置と第２の開閉弁２１との間に位置する部分に、逆止弁（図示せず）を設けるとよい。
上記構成とされたガス供給ライン１６は、第１及び第２のガス容器１３，１４に充填されたガスをガスの消費先に供給するためのラインである。

なお、第１の実施の形態では、２つの分岐ガス供給ライン（具体的には、第１の分岐ガス供給ライン１６−２、及び第２の分岐ガス供給ライン１６−３）を設けた場合を例に挙げて説明したが、分岐ガス供給ラインの数は、ガス容器収容部１２に収容するガス容器の数に応じて適宜選択することができる。

例えば、ガス容器収容部１２に１つのガス容器を収容させる場合には、主ガス供給ライン１６−１を分岐させることなく、該ガス容器に接続させることができる。また、例えば、ガス容器収容部１２に３つのガス容器を収容させる場合には、３つの分岐ガス供給ラインを設け、各分岐ガス供給ラインを、それぞれの継手を介して各ガス容器に接続させる。

また、第１の実施の形態では、第１及び第２の分岐ガス供給ライン１６−２、１６−３が筐体１１内で分岐している場合を例に挙げて説明したが、それぞれの分岐ガス供給ラインが、筐体１１のそれぞれの貫通穴を介して筐体１１の外に導かれ、それぞれのガスの消費先に接続されていてもよい。この場合、第１及び第２のガス容器１３，１４に、異なるガスが充填されている状態において、両方のガスを同時にそれぞれのガスの消費先に供給することができる。
さらには、複数の分岐ガス供給ラインが筐体１１内で分岐した主ガス供給ラインと、独立した他の分岐ガス供給ラインとが、それぞれの貫通穴を介して筐体１１の外に導かれ、それぞれのガスの消費先に接続されていてもよい。

第１の開閉弁１８は、第１の分岐ガス供給ライン１６−２に設けられている。第１の開閉弁１８は、第２のガス容器１４と対向する背面板２９の内面２９ａに配置されている。これにより、第１の開閉弁１８は、ガス容器収容部１２に収容された第２のガス容器１４の上端の位置（高さ）よりも低い位置に配置されている。
第１の開閉弁１８が開かれると、第１の減圧弁１９により、第１のガス容器１３内のガスが減圧されてガスの消費先に供給される。
上記第１の開閉弁１８は、手動弁であるため、必要に応じて、シリンダーキャビネット１０の使用者が手動操作する。

第１の減圧弁１９は、第１の開閉弁１８と第１のガス容器１３の接続口（図示せず）との間に位置する第１の分岐ガス供給ライン１６−２に設けられている。
第１の減圧弁１９は、その一部が第１のガス容器１３と対向する背面板２９の内面２９ａに配置されており、残部が第１のガス容器１３の上端の位置（高さ）よりも上方に位置する背面板２９の内面２９ａに配置されている。

第１の減圧弁１９により、第１のガス容器１３から導出されたガスの圧力を所定の圧力に減圧させた後、第１の開閉弁１８側に位置する第１の分岐ガス供給ライン１６−２にガスを供給する。
上記第１の減圧弁１９は、手動弁であるため、必要に応じて、シリンダーキャビネット１０の使用者が手動操作する。
なお、第１の実施の形態では、一例として、１つの第１の減圧弁１９（図３参照）を設けた場合を例に挙げて説明したが、複数の第１の減圧弁１９を直列に配列させてもよい。

第２の開閉弁２１は、第２の分岐ガス供給ライン１６−３に設けられている。第２の開閉弁２１は、第２のガス容器１４と対向する背面板２９の内面２９ａに配置されている。これにより、第１の開閉弁１８は、ガス容器収容部１２に収容された第２のガス容器１４の上端の位置（高さ）よりも低い位置に配置されている。第２の開閉弁２１は、第１の開閉弁１８の下方に配置されている。
第２の開閉弁２１が開かれると、第２のガス容器１４内のガスは、ガスの消費先に供給される。

第２の減圧弁２２は、第２の開閉弁２１と第２のガス容器１４の接続口（図示せず）との間に位置する第２の分岐ガス供給ライン１６−３に設けられている。
第２の減圧弁２２は、第１のガス容器１３と対向する背面板２９の内面２９ａに配置されている。第２の減圧弁２２は、第１の減圧弁１９の下方に配置されている。

第２の減圧弁２２により、第２のガス容器１４から導出されたガスの圧力を所定の圧力に減圧させた後、第２の開閉弁２１側に位置する第２の分岐ガス供給ライン１６−３にガスを供給する。
上記第２の開閉弁２１及び第２の減圧弁２２は、手動弁であるため、必要に応じて、シリンダーキャビネット１０の使用者が手動操作する。
なお、第１の実施の形態では、一例として、１つの第２の減圧弁２２（図３参照）を設けた場合を例に挙げて説明したが、複数の第２の減圧弁２２を直列に配列させてもよい。

つまり、シリンダーキャビネット１０では、ガス容器収容部１２に収容され、かつ同じ高さとされた第１及び第２のガス容器１３，１４の上端の位置よりも低い位置（第１及び第２のガス容器１３，１４の高さよりも低い位置）に、第１の開閉弁１８全体、第２の開閉弁２１全体、第２の減圧弁２２全体、第１の減圧弁１９の一部が配置された構成とされている。

このような位置に、第１の開閉弁１８、第２の開閉弁２１、第２の減圧弁２２、及び第１の減圧弁１９を配置することで、ガス容器の高さよりも高い位置に弁を配置した従来のシリンダーキャビネットと比較して、筐体１１の高さを低くすることが可能となる。
これにより、筐体１１の高さを低くして、シリンダーキャビネット１０の高さ方向の小型化を図ることができる。

回動機構２４は、扉本体３４の下端部（扉１１−２の下端部）と、扉本体３４の下端部と接触する筐体本体１１−１の底板２６の端部と、を連結するように設けられている。
回動機構２４は、筐体本体１１−１の底板２６の端部を中心として、扉１１−２及びガス容器収容部１２をピッチ方向Ｐに傾けさせるための機構である。
回動機構２４としては、例えば、蝶番や、ステー等を用いることができる。

このような構成とされた回動機構２４を有することで、扉１１−２を開いた際、扉１１−２とともに、第１及び第２のガス容器１３，１４を収容するガス容器収容部１２を一体に、筐体本体１１−１から離間させることが可能となる。
これにより、第１の開閉弁１８、第１の減圧弁１９、第２の開閉弁２１、及び第２の減圧弁２２（以下、これら４つの手動弁を単に、「手動弁Ａ」という）の前面側に、使用者が第１の開閉弁１８、第１の減圧弁１９、第２の開閉弁２１、及び第２の減圧弁２２を手動操作するための空間を形成することができる。

手動弁Ａを使用者が手動操作する場合、背面板２９に対する扉本体３４の傾斜角度（以下、単に「扉本体３４の傾斜角度」という）は、例えば、４５度〜９０度の範囲内で適宜設定するとよい。
扉本体３４の傾斜角度が４５度よりも小さいと、手動弁Ａの前面側に、手動弁Ａを操作するために必要な空間を十分に確保することが困難となってしまう。

また、扉本体３４の傾斜角度を４５度以上９０度未満とする場合には、扉本体３４の傾斜角度を維持するための角度保持機構（図示せず）を別途設ける必要がある。該角度保持機構（図示せず）としては、例えば、第１の側板２７と扉本体３４とを連結する第１のチェーン（図示せず）と、第２の側板２８と扉本体３４とを連結する第２のチェーン（図示せず）と、を有する一対のチェーン（図示せず）を用いることができる。

なお、扉本体３４の傾斜角度を９０度とする場合には、シリンダーキャビネットが設置される床面上に扉本体３４が載置されるため、上記角度保持機構を設ける必要がない。また、扉本体３４の傾斜角度を９０度とする場合、手動弁Ａの前面側の空間を最も大きくすることができるため、手動弁Ａの手動操作を容易に行うことができる。

上記構成とされたシリンダーキャビネット１０において、第１及び第２のガス容器１３，１４内に異なるガスを充填する場合には、手動弁Ａを手動操作することで、第１のガス容器１３内に充填されたガス、或いは、第２のガス容器１４内に充填されたガスのどちらか一方のガスを、ガスの消費先に供給することができる。
また、第１及び第２のガス容器１３，１４内に同じガスを充填する場合、第１のガス容器１３内のガスが無くなった際、第２の開閉弁２１及び第２の減圧弁２２を開けることで、ガス容器の交換を行うことなく、第２のガス容器１４内に充填されたガスを、ガスの消費先に供給することができる。

第１の実施の形態のシリンダーキャビネット１０では、基本的に、筐体１１内に収容された第１及び第２のガス容器１３，１４からガスの消費先にガスを供給する場合、扉１１−２は、筐体本体１１−１に対して閉じられている。
扉１１−２は、第１及び第２のガス容器１３，１４の交換時、手動弁Ａの開閉時、供給するガスの種類の切り替え時、及び供給するガスの圧力の調整時等に開かれる。

次に、手動弁Ａを手動操作する場合を例に挙げて、シリンダーキャビネット１０の操作方法について説明する。ここでは、扉本体３４の傾斜角度を９０度とした場合を例に挙げて説明する。

次に、手動弁Ａを操作する場合を例に挙げて、シリンダーキャビネット１０の操作方法について説明する。ここでは、扉本体３４の傾斜角度を９０度とした場合を例に挙げて説明する。

始めに、第１及び第２の側板２７，２８に扉本体３４がロックされている場合には、そのロックを外して、扉１１−２を開くことが可能な状態にする。
次いで、扉本体３４に設けられた取手部（図示せず）を持って、扉１１−２、ガス容器収容部１２、及びガス容器収容部１２に固定された第１及び第２のガス容器１３，１４を一体的に、ピッチ方向Ｐに回転させ、扉本体３４を床面（シリンダーキャビネット１０が載置された床面）上に載置する。つまり、図３に点線で示す扉本体３４の状位置まで扉本体３４を回動させる。

これにより、手動弁Ａの前面に、十分な空間（具体的には、筐体本体１１−１内に使用者が手を入れて、手動弁Ａを手動操作することの可能な空間）が形成される。次いで、使用者が上記空間内に手を入れて、手動弁Ａの手動操作を行う。
その後、筐体本体１１−１に対して、扉１１−２を閉じて、第１及び第２の側板２７，２８に扉本体３４をロックすることで、手動弁Ａの手動操作に伴うシリンダーキャビネット１０の操作が完了する。

第１の実施の形態のシリンダーキャビネット１０によれば、筐体本体１１−１、及び筐体本体１１−１に対して開閉可能な扉１１−２を含む筐体１１と、筐体１１内に配置され、扉１１−２の内面側に固定された状態で第１及び第２のガス容器１３，１４を収容するガス容器収容部１２と、筐体１１内から筐体１１の外部に引き回されたラインであり、継手を介して一端が第１及び第２のガス容器１３，１４と接続され、ガス容器１３，１４内に充填されたガスを筐体１１の外部に供給するガス供給ライン１６と、筐体１１内に配置されたガス供給ライン１６に設けられ、筐体本体１１−１に対して閉位置にある扉１１−２と対向する筐体１１の背面板２９の内面２９ａであって、ガス容器収容部１２に収容された継手を含む第１及び第２のガス容器１３，１４の上端の位置（第１及び第２のガス容器１３，１４の高さ）よりも低い位置に配置された手動弁Ａを有し、ガス容器収容部１２は、収容した第１及び第２のガス容器１３，１４を手動弁Ａから離間させるための回動機構２４を有していることを特徴とする。

このように、手動弁Ａの少なくとも一部を、ガス容器収容部１２に収容された第１及び第２のガス容器１３，１４の上端の位置（高さ）よりも低い位置に配置することで、従来よりも筐体１１の高さを低くすることが可能（言い換えれば、筐体１１内の高さを第１及び第２のガス容器１３，１４の高さに近づけることが可能）となる。
また、手動弁Ａの一部が、第１及び第２のガス容器１３、１４の奥側直近に配置され、扉１１−２を開けただけでは手動操作や交換作業などが行えない場合でも、第１及び第２のガス容器１３、１４を弁から離間させることで、手動操作や交換作業などが可能となる。
これにより、シリンダーキャビネット１０の高さ方向の小型化を図ることができる。

なお、第１の実施の形態では、同じ高さとされた第１及び第２のガス容器１３，１４の上端の位置（高さ）よりも低い位置に、第１の開閉弁１８全体、第２の開閉弁２１全体、第２の減圧弁２２全体、第１の減圧弁１９の一部を配置した場合を例に挙げて説明したが、手動弁Ａの全体を第１及び第２のガス容器１３，１４の上端の位置よりも低い位置に配置してもよい。この場合、シリンダーキャビネット１０の高さ方向をさらに小型化することができる。

また、第１の実施の形態では、シリンダーキャビネット１０が手動弁Ａのみを有する場合を例に挙げて説明したが、自動弁が含まれていてもよい。

（第２の実施の形態）
図５は、本発明の第２の実施の形態に係るシリンダーキャビネットの斜視図であり、筐体本体に対して扉が閉じた状態（閉位置にある状態）を模式的に示す図である。図５において、図１〜図４に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。
図６は、図５に示すシリンダーキャビネットを構成する筐体及びガス容器収容部を透過させた状態で、シリンダーキャビネットの内部の概略構成を示した斜視図であり、かつ筐体本体に対して扉が閉じた状態を模式的に示す図である。図６において、図１〜図５に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。
図７は、図６に示すシリンダーキャビネットを構成する扉が開き、かつガス容器収容部の下端を中心として、筐体本体に対してガス容器収容部がピッチ方向に傾いた状態を模式的に示す斜視図である。図７において、図１〜図６に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。

第２の実施の形態のシリンダーキャビネット４５は、第１の実施の形態のシリンダーキャビネット１０を構成する筐体１１に替えて、筐体４６を有するとともに、回動機構２４の配設位置を変え、さらに蝶番４７を有すること以外は、シリンダーキャビネット１０と同様な構成とされている。

筐体４６は、第１の実施の形態で説明した筐体１１を構成する扉１１−２に替えて、図１に示す扉本体３４と同様な構成とされた扉５１を有すること以外は、筐体１１と同様に構成される。
扉５１は、閉位置において、図示していないロック機構により、筐体本体１１−１に対して固定されていてもよい。
蝶番４７は、扉５１の左側の端部と該端部と接触する第１の側板２７の端部とを連結するように１つ以上（一例として、図５では２つの蝶番４７を図示した）設けられている。これにより、扉５１は、筐体本体１１−１に対して、開閉可能な構成とされている。

回動機構２４は、扉５１が閉位置において、扉５１と対向するガス容器収容部１２の下端であるガス容器収容部底板３５と、底板２６の端部と、を連結するように設けられている。
これにより、第１及び第２のガス容器１３，１４を収容するガス容器収容部１２は、底板２６の端部を中心として、ピッチ方向Ｐに回動可能な構成とされている。
第２の実施の形態では、一例として、ガス容器が２本同時に回動可能な構成になっているが、ガス容器収容部１２が分割され、ガス容器を１本ずつ回動可能な構成であってもよい。
なお、図示していないが、ガス容器収容部１２に、ガス容器収容部１２をピッチ方向Ｐに回動させやすくするための取手部を設けてもよい。

次に、第２の実施の形態のシリンダーキャビネット４５を用いて、第１の実施の形態で説明した手動弁Ａを手動操作する方法について説明する。
始めに、扉５１が筐体本体１１−１にロックされている場合には、そのロックを解除する。次いで、筐体本体１１−１の前方にガス容器収容部１２を移動させることが可能な状態まで扉５１を開ける。

次いで、ガス容器収容部１２を所定の傾斜角度となるように、ピッチ方向Ｐに回動させる。このとき、底板２６に対するガス容器収容部１２の所定の傾斜角度が９０度よりも小さい場合、ガス容器収容部１２と筐体本体１１−１とをチェーン等で連結することで、該所定の傾斜角度を維持させる。また、所定の傾斜角度が９０度の場合には、床面上にガス容器収容部１２が載置されるため、上記チェーン等が不要となる。

次いで、使用者による手動弁Ａの手動操作を行う。手動弁Ａの手動操作が終了後、ガス容器収容部１２をピッチ方向Ｐに回動させて、底板２６上にガス容器収容部１２を載置させた後、扉５１を閉じて、扉５１を筐体本体１１−１にロックさせることで、手動弁Ａの手動操作に伴うシリンダーキャビネット４５の操作の作業が終了する。

第２の実施の形態のシリンダーキャビネット４５によれば、扉５１とガス容器収容部１２とを別体とし、ガス容器収容部１２を筐体本体１１−１から離間するピッチ方向Ｐに回動させることで、手動弁Ａの前面に、手動弁Ａを手動操作するための空間を形成することが可能となる。
よって、上記構成とされた第２の実施の形態のシリンダーキャビネット４５は、第１の実施の形態のシリンダーキャビネット１０と同様な効果を得ることができる。

なお、第２の実施の形態では、扉５１の左側に、扉５１を開閉させるための蝶番４７を設けた場合を例に挙げて説明したが、扉５１の右側に蝶番４７を設けてもよい。
また、蝶番を扉５１の上端部に配置させることで、扉５１を上に押し上げる構成としてもよい。さらに、扉５１として、例えば、シャッターやアコーディオンカーテン等を用いてもよい。

（第３の実施の形態）
図８は、本発明の第３の実施の形態に係るシリンダーキャビネットを構成する筐体及びガス容器収容部を透過させた状態で、シリンダーキャビネットの内部の概略構成を示した斜視図であり、かつ筐体本体に対して扉が閉じた状態（閉位置にある状態）を模式的に示す図である。図８において、図１〜図４に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。
図９は、図８に示すシリンダーキャビネットを構成する扉及びガス容器収容部が、筐体の奥行方向に対して筐体本体から離間した状態を模式的に示す斜視図である。図９において、図１〜図４、及び図８に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。
図１０は、図９に示すシリンダーキャビネットの構成要素のうち、筐体及びガス容器収容部のみを図示した斜視図である。図１０において、図１〜図４、図８、及び図９に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。

図８〜図１０を参照するに、第３の実施の形態のシリンダーキャビネット５５は、第１の実施の形態のシリンダーキャビネット１０を構成する回動機構２４に替えて、スライド機構５７を離間機構として有すること以外は、シリンダーキャビネット１０と同様な構成とされている。
スライド機構５７は、Ｘ方向に対して、第１及び第２のガス容器１３，１４を収容するガス容器収容部１２、並びに扉１１−２を一体的に移動させるための機構である。

スライド機構５７としては、例えば、アウターレール及びインナーレールを有するスライドレールを用いることができる。

なお、図８〜図１０に図示してはいないが、扉本体３４の外面側に扉１１−２及びガス容器収容部１２を引き出すための取手部を設けてもよい。このような取手部を設けることで、使用者は、扉１１−２及びガス容器収容部１２よりなる構造体を、筐体本体１１−２の外側に容易に引き出すことができるとともに、該構造体を筐体本体１１内に容易に収納させることができる。

上記構成とされた第３の実施の形態のシリンダーキャビネット５５は、第１の実施の形態のシリンダーキャビネット１０と同様な効果を得ることができる。
また、第３の実施の形態では、扉１１−２とガス容器収容部１２とは一体であったが、第２の実施の形態のように、扉１１−２とガス容器収容部１２とが別体であってもよい。

以上、本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

本発明は、毒性ガス、可燃性ガス、腐食性ガス等のガスが充填されたガス容器を収納するシリンダーキャビネットに適用可能である。

１０，４５，５５…シリンダーキャビネット、１１，４６…筐体、１１−１…筐体本体、１１−２，５１…扉、１２…ガス容器収容部、１３…第１のガス容器、１４…第２のガス容器、１６…ガス供給ライン、１６−１…主ガス供給ライン、１６−２…第１の分岐ガス供給ライン、１６−３…第２の分岐ガス供給ライン、１８…第１の開閉弁、１９…第１の減圧弁、２１…第２の開閉弁、２２…第２の減圧弁、２４…回動機構、２６…底板、２７…第１の側板、２８…第２の側板、２９…背面板、２９ａ…内面、３１…天井板、３１Ａ…貫通穴、３４…扉本体、３４ａ…外面、３５…ガス容器収容部底板、３７…ガス容器収容部上板、３８…第１の貫通穴、３９…第２の貫通穴、４７…蝶番、５７…スライド機構、Ｐ…ピッチ方向

Claims (6)

1. 筐体本体、及び該筐体本体に対して開閉可能な扉を含む筐体と、
   前記筐体内に配置され、前記扉の内面側に固定された状態でガス容器を収容するガス容器収容部と、
   前記筐体内から該筐体の外部に引き回されたラインであり、継手を介して一端が前記ガス容器と接続され、該ガス容器内に充填されたガスを前記筐体の外部に供給するガス供給ラインと、
   前記筐体内に配置された前記ガス供給ラインに設けられ、前記筐体本体に対して閉位置にある前記扉と対向する前記筐体の背面板の内面であって、
   前記弁の少なくとも一部を、前記ガス容器収容部に収容された前記継手を含む前記ガス容器の上端の位置よりも低い位置に配置された弁と、
   を有し、
   前記ガス容器収容部は、収容した前記ガス容器を前記弁から離間させるための離間機構を有していることを特徴とするシリンダーキャビネット。
2. 前記弁は、１つの手動弁、または少なくとも１つの手動弁を含む複数の弁で構成されて
   いることを特徴とする請求項１記載のシリンダーキャビネット。
3. 前記ガス容器収容部は、前記扉に固定されており、
   前記離間機構は、前記扉の下端部と、該扉の下端部と接触する前記筐体本体の底板の端部と、を連結するように設けられ、前記底板の端部を中心として、前記扉及び前記ガス容器収容部をピッチ方向に回動させる回動機構であることを特徴とする請求項１または２記載のシリンダーキャビネット。
4. 前記扉と前記ガス容器収容部とは、別体とされており、
   前記離間機構は、前記ガス容器収容部の下端部と、該ガス容器収容部の下端部と接触する前記筐体本体の底板の端部と、を連結するように設けられ、前記底板の端部を中心として、前記ガス容器収容部をピッチ方向に回動させる回動機構であることを特徴とする請求項１または２記載のシリンダーキャビネット。
5. 前記ガス容器収容部は、前記扉に固定されており、前記離間機構は、前記筐体本体から離間する該筐体本体の奥行方向に前記扉及び前記ガス容器収容部を一体に移動させるスライド機構であることを特徴とする請求項１または２記載のシリンダーキャビネット。
6. 前記ガス供給ラインのうち、前記筐体内で前記弁と前記ガス容器との間を接続している部分の長さが、前記離間機構により前記ガス容器が前記弁から最も離間させられた際の前記弁と前記ガス容器との間の直線距離の２倍以上の長さであることを特徴とする請求項１ないし５のうち、いずれか１項記載のシリンダーキャビネット。

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