KR101827737B1 - 일체형 독가스 공급 및 잔 가스 정제 캐비닛 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 독가스 실린더를 용이하게 교체할 수 있고, 배관에 잔존하는 가스를 정제 후 공기 중에 배출할 수 있도록 설계 제작된 일체형 독성가스 공급 및 잔 가스 정제 캐비닛에 관한 것이며, 상세하게는 독가스 실린더(가스용기)를 교체할 때 배관 내 잔존하는 독가스가 공기 중에 그대로 배출될 때 발생할 수 있는 안전사고를 예방하고 대기 오염을 방지하기 위하여 배관 내 잔존하는 가스를 흡착필터로 정제하여 대기에 방출한 후에 교체할 수 있도록 구성하고, 캐비닛 내부에 독가스 실린더를 용이하게 교체할 수 있도록 캐비닛의 하부에 가스 용기 교체 시 무거운 가스 실린더를 보다 용이하게 캐비닛 내부 또는 외부로 넣고 뺄 수 있도록 가스 실린더가 위치하는 바닥면에 안내 레일을 설치하여 용이하게 이동할 수 있도록 설계 제작된 일체형 독성가스 공급 및 잔 가스 정제 캐비닛에 관한 것이다.

Description

일체형 독가스 공급 및 잔 가스 정제 캐비닛{Integral poison gas supply and remaining gas purification cabinet}
본 발명은 독가스 실린더를 용이하게 교체할 수 있고, 배관에 잔존하는 가스를 정제 후 공기 중에 배출할 수 있도록 설계 제작된 일체형 독성가스 공급 및 잔 가스 정제 캐비닛에 관한 것이며, 상세하게는 독가스 실린더(가스용기)를 교체할 때 배관 내 잔존하는 독가스가 공기 중에 그대로 배출될 때 발생할 수 있는 안전사고를 예방하고 대기 오염을 방지하기 위하여 배관 내 잔존하는 가스를 흡착필터로 정제하여 대기에 방출한 후에 교체할 수 있도록 구성하고, 캐비닛 내부에 독가스 실린더를 용이하게 교체할 수 있도록 캐비닛의 하부에 가스 용기 교체 시 무거운 가스 실린더를 보다 용이하게 캐비닛 내부 또는 외부로 넣고 뺄 수 있도록 가스 실린더가 위치하는 바닥면에 안내 레일을 설치하여 용이하게 이동할 수 있도록 설계 제작된 일체형 독성가스 공급 및 잔 가스 정제 캐비닛에 관한 것이다.
기존 독성 가스캐비닛(가스공급 장치)의 경우에 생산(실험)장비로 가스를 공급하는 용도로 사용되었으며, 실린더(가스통)의 교체 전 배관 내에 남아 있는 잔존가스(독성가스)를 처리하기 위하여 별도의 가스 중화처리 시스템(가스 스크라바)을 설치하여 배관에 잔존하는 가스를 처리하는 방식으로 시공하고 있다.
이러한 시공 방법은 학교나 연구실 같은 경우에 설치할 공간이 협소하여 설치에 어려움이 있고 별도의 캐비닛을 더 구매하여야 하므로 비용이 증가하는 문제점이 있다.
또한 기존 가스 캐비닛(가스공급장치)의 경우에 가스 실린더(가스용기)를 교체할 경우에 설치하기 위해선 가스 용기를 약 20이상 기울여 캐비닛 안으로 굴려서 이동하는 방식으로 설치해 왔었다.
이 경우에 사용자가 힘이 부족한 여성 연구원이거나 용기를 다룰 줄 모르는 미숙한 사용자의 경우에 설치하는데 많은 어려움을 겪는 문제점이 있다.
<선행기술자료>
선행기술자료1 : 공개특허공보 10-2002-0025328
선행기술자료2 : 공개실용신안공보 20-2000-0017110
본 발명이 해결하려는 과제는 하나의 캐비닛에 가스 스크라바 기능을 부가하여 별도의 가스 스크라바 캐비닛을 설치할 필요가 없도록 설계 제작함으로써 기존 시스템과 대비하여 저렴한 비용으로 구매할 수 있고 설치 공간을 감소시킬 수 있는 가스 캐비닛을 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하려는 또 다른 과제는 캐비닛의 하부에 가스 용기 교체시 무거운 가스 실린더를 보다 용이하게 가스 캐비닛 내부 또는 외부로 넣고 빼낼 수 있도록 가스 실린더가 위치하는 가스 실린더 이동용 프레임를 캐비닛 하부에 설치하여 안내 레일을 따라 용이하게 이동할 수 있도록 설계 제작된 가스 캐비닛을 제공하는데 있다.
본 발명의 과제 해결 수단은 독가스 실린더(가스용기)를 교체할 때 배관 내 잔존하는 독가스가 공기 중에 그대로 배출될 때 발생할 수 있는 안전사고를 예방하고 대기 오염을 방지하기 위하여 배관 내 잔존하는 가스를 정제하는 흡착필터를 사용하여 잔존하는 독가스를 제거하여 배출할 수 있도록 벤트라인의 가장자리에 흡착필터를 설치하여 가스 실린더 교체 시 배관에 잔존하는 독가스를 제거할 수 있는 일체형 독성가스 공급 및 잔 가스 정제 캐비닛을 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 과제 해결 수단은 독가스 실린더(가스용기)를 교체할 경우에 독가스의 종류에 따라 흡착필터의 종류를 달리하여 설계 제작하는 일체형 독성가스 공급 및 잔 가스 정제 캐비닛을 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 과제 해결 수단은 캐비닛 내부에 독가스 실린더를 용이하게 교체할 수 있도록 가스 실린더가 위치하는 가스 실린더 이동용 프레임의 바닥면과 측면에 각각 안내 레일을 하나 이상 설치하여 가스 실린더가 위치하는 바닥면이 안내 레일을 따라 캐비닛이 밖에서 내부로 또는 내부에서 밖으로 설정된 거리를 이동할 수 있도록 설계 제작된 일체형 독성가스 공급 및 잔 가스 정제 캐비닛을 제공하는데 있다.
본 발명은 캐비닛 내부에 가스 스크라바 기능을 부가하여 별도의 가스 스크라바 캐비닛을 설치할 필요가 없어 기존 시스템과 대비하여 저렴한 비용으로 캐비닛을 구매할 수 있고 설치시간 및 설치 공간을 줄일 수 있는 유리한 효과가 있다.
본 발명의 또 다른 효과는 가스 실린더가 위치하는 바닥면을 안내레일을 따라 내부에서 밖으로 또는 밖에서 내부로 이동할 수 있도록 캐비닛 하부 및 측면에 안내 레일을 설치하여 가스 용기 교체 시 무거운 가스 실린더를 보다 용이하게 가스 캐비닛 내부로 넣거나 뺄 수 있는 유리한 효과가 있다.
도 1은 독가스 실린더와 독가스를 필요로 하는 설비로 가스를 공급하기 위한 라인(배관)이 체결되는 있는 독가스 실린더 체결부를 포함한 전체 라인을 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따라 배관에 잔존하는 독가스를 정제하기 위하여 벤트라인의 가장자리에 라인과 체결 고정되는 흡착필터를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 가스 실린더가 위치하는 캐비닛 하부면을 정면에서 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 가스 실린더가 위치하는 캐비닛 하부면을 측면에서 도시한 단면도이다.
본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용에 대하여 살펴본다.
본 발명에 따른 캐비닛은 독가스 실린더(가스용기)를 교체할 때 배관 내 잔존하는 독가스가 공기 중에 그대로 배출될 때 발생할 수 있는 안전사고를 예방하고 대기 오염을 방지하기 위하여 배관 내에 잔존하는 독가스를 벤트라인의 가장자리에 설치된 흡착필터로 독가스를 흡착시켜 제거할 수 있도록 흡착재가 내장된 흡착필터를 설치하여 독가스가 정제된 공기를 외부로 배출할 수 있도록 하는데 있다.
또한 본 발명은 무거운 독가스 실린더를 캐비닛 내부에서 외부로 또는 외부에서 내부로 용이하게 교체할 수 있도록 가스 실린더의 바닥면이 위치하는 캐비닛 바닥면 하부와 측면 각각에 하나 이상의 안내 레일을 설치하여 캐비닛 밖에서 내부로 또는 내부에서 밖으로 용이하게 가스 실린더를 이동할 수 있도록 설계 제작하는데 있다.
본 발명에 따른 구체적인 실시 예를 살펴본다.
<실시 예>
본 발명에 따른 실시 예를 도면에 기초하여 구체적으로 살펴본다. 도 1은 본 발명에 따른 캐비닛 내부의 배관을 도시한 것이다.
본 명세서에서는 독가스 실린더를 전재로 하는 것이므로 '독가스 실린더'와 '가스 실린더'를 동일한 의미로 혼용 사용되며, 상부와 하부 등 위치를 나타내는 표현은 도면을 기초로 기재한 것입니다.
본 발명은 '일체형 독가스 공급 및 잔 가스 정제 캐비닛'관한 것으로 명세서 상에 기재된 '캐비닛'은 본 발명에 따른 '일체형 독가스 공급 및 잔 가스 정제 캐비닛'을 의미한다.
도 1은 독가스 실린더(도1의 12)와 독가스를 필요로 하는 설비로 가스를 공급하기 위한 라인(배관)이 체결되어 있는 독가스 실린더 체결부(도1의 20)를 포함한 전체 라인을 도시한 것이다.
도 1에서 붉은 색 화살표는 독가스가 필요한 설비로 독가스를 공급하는 흐름을 나타내고, 푸른색 화살표는 잔존 독가스를 흡착필터를 통해서 벤트시키는 흐름을 나타낸다.
도 1에 도시된 바와 같이, 잔존하는 독가스를 흡착필터를 통해서 외부로 배출하기 위하여 벤트용 가스를 주입하기 위하여 벤트용 가스라인(도1의 13, 배관)이 흡착필터(도1의 17) 하부에 설치된 벤트 라인(도1의 14) 일측에 체결 고정된다.
캐비닛의 상부(즉 도1의 상부)에는 벤트용 가스라인(도1의 13, 배관), 독가스 흡착필터(도1의 17)를 거쳐서 외부로 배출시키는 벤트라인(도1의 14), 독가스를 필요로 하는 설비로 공급하기 위한 가스공급라인(도1의 15, 배관) 및 배관 내부의 독가스를 청소하기 위한 청소용 가스라인(도1의 16)이 설치되어 있다.
도 1에서와 같이, 독가스 공급라인에 부착된 독가스를 제거하기 위하여 독가스 실린더와 3 방향 제어 밸브 사이의 독가스 공급라인 일측에 청소용 가스라인이 설치되어 있다.
도 1에서, 청소용 가스라인(도1의 16)에는 청소용 가스(예를 들어 N2 가스)를 공급하거나 또는 차단하기 위한 제어 밸브(도1의 19)가 가스공급라인(도1의 15)과 인접하여 설치되어 있다.
도 1에서, 벤트 라인(도1의 13)과 가스공급라인(도1의 15)이 서로 연결되는 부분에는 3 방향 제어 밸브(도1의 18)가 설치되어 있다.
3 방향 제어 밸브(도1의 18)는 벤트라인(도1의 13)과 가스공급라인(도1의 15)을 제어할 때 사용되며, 가스를 외부로 벤트(배출)시킬 경우에는 가스공급라인(도1의 15)을 차단하고 벤트 라인(도1의 13)을 개방하여 벤트용 가스라인(도1의 13)으로 벤트용 가스(N2)를 주입하여 독가스를 외부로 배출하며, 독가스를 설비로 공급할 경우에는 가스공급라인(도1의 15)을 개방하고 벤트라인(도1의 13)을 차단하여 독가스를 설비 측으로 공급하도록 구성되어 있다.
이 때 청소용 가스라인((도1의 16)은 제어 밸브(도1의 19)에 의하여 닫힌 상태를 유지한다.
도 1에서 본 발명에 따른 독가스 실린더 교체 시 독가스가 잔존하는 배관은 독가스 실린더(도1의 12) 입구(체결부(도1의20))에서 가스공급라인(도1의 15)에 설치된 3 방향 제어 밸브(도1의18) 및 청소용 가스라인(도1의 16)에 설치된 제어 밸브(도1의 19)사이이다.
본 발명에 따른 독가스 실린더를 교체할 경우에 이루어지는 절차는 a) 먼저 가스공급라인(도1의 15) 및 청소용 가스라인(도1의 16)에 설치된 각각의 제어 밸브를 닫고, 도 1의 3 방향 제어 밸브(도1의 18)에서 벤트 라인 측 밸브를 개방한 후 벤트용 가스라인을 이용하여 벤트용 가스를 공급하여 라인에 잔존하는 독가스를 벤트 라인을 통해서 외부로 벤트(배출)시킨다.
b) 벤트 후 라인에 부착된 잔존 독가스를 제거하기 위하여 3 방향 제어 밸브(도1의 18)를 이용하여 벤트라인과 가스공급라인을 차단하고, 청소용 가스라인의 제어 밸브(도1의 19)를 열어서 청소용 가스를 주입하여 약 100 psig로 가압한 상태에서 청소용 가스라인의 제어 밸브(도1의 19)를 닫는다.
c) 청소용 가스라인과 가스공급라인을 차단한 상태에서 3 방향 제어 밸브(도1의18)를 이용하여 벤트라인을 개방하여 벤트용 가스를 주입하여 가압된 청소용 가스를 흡착필터(도1의17)를 거쳐서 외부로 배출시킨다.
d) 외부로 배출시킨 상태에서 독가스 실린더를 교체한다.
본 발명에 따른 독가스 실린더를 교체할 경우에 이루어지는 절차는 본 발명에 따른 독가스 실린더를 교체하는 방법에 해당한다.
흡착필터(도1의17)는 도1에서와 같이 벤트라인(도1의14)의 가장자리에 설치된다.
청소용 가스라인 가장자리에는 청소용 가스를 제어하기 위한 제어 밸브(도1의 19)가 설치되어 있다. 청소용 가스라인 가장자리의 위치는 도 1에서와 같이 가스공급라인과 인접한 라인(배관)을 의미한다.
도 1의 흡착필터(도1의 17)에는 표1에 기재된 다양한 독가스의 종류에 따라 흡착제를 선택하여 충진하여 사용할 수 있다. 표 1은 본 발명에 따른 흡착필터에 충진될 수 있는 흡착제를 나타낸 것이다.
표 1
Figure 112017049806346-pat00001
흡착제는 통상의 흡착제를 사용하되, 표 1에서와 같이 흡착 대상이 되는 가스의 종류에 따라 서로 다른 흡착제를 선택 사용할 수 있다.
흡착제는 통상적으로 널리 이용되는 제올라이트 또는 활성탄을 포함하는 다양한 종류의 다공성 물질이 포함될 수 있다.
흡착제는 표 1에서 보는 것과 같이 일정 크기의 알갱이 형태(직경이 3 내지 5 정도이고, 길이가 5 내지 15 정도)로 형성되어 있다. 물론 정제율과 필터의 길이 등을 고려하여 이 수치를 벗어날 수도 있다.
도 2는 본 발명에 따라 배관에 잔존하는 독가스를 정제하기 위하여 벤트라인의 가장자리에 체결 고정되는 흡착필터를 도시한 것이다.
도 2에서와 같이, 흡착필터의 측면 원통형 프레임은 서스 재질로 제작되며, 상하 단부에는 매쉬 형상으로 형성되며, 매쉬에 형성된 구멍의 크기는 독가스 정제용 흡착제의 크기보다 작아서 흡착제가 빠져 나가지 않도록 설계 제작되어 있다.
원통형 부분과 매쉬 부분은 용접으로 접합하는 것이 바람직하다.
보다 용이한 접합을 위하여 원통형 양측 가장자리에는 중앙 부분이 오려진 서스 재질의 도넛형 디스크를 이용하여 도넛형 디스크의 내측 또는 외측에 매쉬를 접합하여 이를 가장자리에 용접으로 접합 처리할 수 있다.
흡착필터(도1의17)는 흡착 성능이 떨어질 경우에 흡착필터 체결부(도1의21,22)을 해지하여 교환할 수 있다.
흡착필터의 성능 체크는 흡착필터(도1의17)의 전단에 설치된 압력계(도1의23, 압력센서)에 의하여 측정되며, 사용자 요구에 따라 압력계(pressure gauge_아날로그방식)및 P.T(pressure transmitter_디지털 방식)로 설치할 수 있다.
흡착필터에 충진된 흡착제의 성능이 떨어져 수명이 다 하면 압력계 수치가 -2 내지 영(zero) psig 정도에 가깝게 되며, 이 때 흡착제를 교체하여야 한다. 바람직하게는 영(zero) psig이다.
잔존 가스 벤트(vent)시에는 -12 내지 -15 psig 정도이다.
도 2에서, 흡착필터(도1의17) 내부의 상부와 하부에는 흡착필터를 둘러싸고 있는 상부 및 하부에 설치된 외부 프레임과 구멍이 형성된 매쉬사이에 가스가 이동할 수 있는 공간(표면적, 도 2의 34,35)이 넓게 형성되어 독가스의 정제 속도를 높이고 가스의 흐름을 신속하게 할 수 있도록 구성하는 것이 바람직하다. 상기 공간은 흡착필터의 원통형 프레임의 내부 직경에 의하여 형성되는 표면적에 해당하며, 이 표면적은 벤트 라인의 직경보다 훨씬 크기 때문에 독가스의 정제 속도를 높이고 가스의 흐름을 신속하게 할 수 있는 효과가 있다.
도 1에서와 같이, 흡착필터(도1의17)를 하나의 캐비닛 내부에 설치할 경우에 별도의 가스 스크라바를 설치할 필요가 없어서 설치공간을 줄이고, 설치비용을 절감할 수 있는 유리한 효과가 있습니다.
또한 본 발명은 무거운 독가스 실린더를 캐비닛 내부에서 외부로 또는 외부에서 내부로 용이하게 교체할 수 있도록 캐비닛 하부의 가스 실린더가 위치하는 가스 실린더 이동용 프레임의 바닥면과 측면 각각에 하나 이상의 안내 레일을 설치하여 캐비닛 밖에서 내부로 또는 내부에서 밖으로 이동할 수 있도록 설계 제작하는데 있다.
즉, 가스 실린더의 바닥면이 위치하는 장소의 캐비닛 바닥면을 낮게 설계 제작하되, 바닥면의 하부 및 측면에 안내 레일을 설치하여 해당 바닥면이 캐비닛 외부에서 내부로 또는 내부에서 외부로 용이하게 이동할 수 있도록 설계 제작되어 있다.
도 3은 본 발명에 따른 가스 실린더가 위치하는 캐비닛 하부면을 정면에서 도시한 단면도이다.
도 3에서 도면 부호 49와 50은 안내레일과 체결된 가스 실린더 이동용 프레임(도3의48)을 외부에서 내부로 또는 내부에서 외부로 용이하게 이동할 수 있도록 구성된 안내레일의 예를 나타낸 것이다.
도면 부호 49는 하부에 위치하는 안내레일(41,42)에 채용되는 하나의 예(실제 물품)이며, 최대한 이동길이를 길게 형성하기 위하여 캐비닛 내측에서 외측으로 이동할 수 있도록 고정 설치된다.
도면 부호 50은 측면에 위치하는 안내레일(43 내지 46)에 채용되는 하나의 예(실제 물품)이며, 가스 실린더가 위치하는 가스 실린더 이동용 프레임(도3의48)과 체결되어 이를 지지하는 역할을 한다.
안내레일은 바닥면과 측면 각각에 하나 이상 설치될 수 있다.
안내레일은 독가스 실린더의 무게와 안전을 고려하여 측면에 2개와 바닥면에 2개가 설치되는 것이 바람직하다.
도면 부호 47은 가스 실린더를 고정하기 위한 체인 또는 끈이 가스 실린더 이동용 프레임(도3의48)의 후면에 설치되어 있다.
도 4는 본 발명에 따른 가스 실린더가 위치하는 캐비닛 하부면을 측면에서 도시한 단면도이다.
상기 도 3과 도 4에서 알 수 있듯이 가스 실린더 이동용 프레임(도3의48)을 최대한 낮게 설계 제작함으로써 도 4에서와 같이 수직면을 기준으로 8.18도 정도 경사지게하면 가스 실린더 이동용 프레임(도3의48) 상에 가스 실린더의 바닥면을 위치시킬 수 있다.
안내레일과 체결된 가스 실린더 이동용 프레임(도3의48)의 바닥면에 가스 실린더를 위치시킨 후 고정용 체인 또는 끈으로 고정한 후 밀어서 캐비닛 내부로 이동시켜 위치시킬 수 있도록 구성되어 있다.
종래의 경우에 가스 실린더를 20도 이상 기울려 거치대 상부에 위치시킬 수 있고, 위치시킨 후 다시 지그재그로 이동시켜야 하는 어려움이 있었다.
본 발명에 따라 새로이 제작된 캐비닛은 독가스 흡착을 위한 흡착필터와 독가스 실린더를 용이하게 교체할 수 있도록 안내레일과 체결된 가스 실린더 이동용 프레임(도3의48)을 동시에 구비하고 있으므로 경제적이면서 사용자들이 편리하게 이용할 수 있다.
본 발명은 독가스 실린더를 용이하게 교체할 수 있고, 배관에 잔존하는 가스를 정제 후 공기 중에 배출할 수 있도록 설계 제작된 일체형 독성가스 공급 및 잔 가스 정제 캐비닛에 관한 것이며, 상세하게는 독가스 실린더(가스용기)를 교체할 때 배관 내 잔존하는 독가스가 공기 중에 그대로 배출될 때 발생할 수 있는 안전사고를 예방하고 대기 오염을 방지하기 위하여 배관 내 잔존하는 가스를 흡착필터로 정제하여 대기에 방출한 후에 교체할 수 있도록 구성하고, 캐비닛 내부에 독가스 실린더를 용이하게 교체할 수 있도록 캐비닛의 하부에 가스 용기 교체 시 무거운 가스 실린더를 보다 용이하게 캐비닛 내부 또는 외부로 넣고 뺄 수 있도록 가스 실린더가 위치하는 바닥면에 안내 레일을 설치하여 용이하게 이동할 수 있도록 설계 제작된 일체형 독성가스 공급 및 잔 가스 정제 캐비닛을 제공하여 별도의 가스 스크라바를 구매함에 의한 비용을 줄이고 가스 실린더의 교체를 용이하게 하는 유리한 효과가 있으므로 산업상 이용가능성이 매우 높다.
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11; 캐비닛 12; 가스 실린더
13; 벤트용 가스라인(배관) 14; 벤트 라인
15; 가스공급라인(설비측) 16; 청소용 가스라인
17; 흡착필터 18; 3 방향 제어 밸브
19; 제어 밸브 20; 가스 실린더 체결부
21, 22; 흡착필터 체결부 23; 압력계(압력 센서)
31; 흡착제 32; 흡착필터의 상부 확대도
33; 흡착필터의 하부 확대도 34,35; 가스(기체) 이동 공간
41,42; 캐비닛 바닥에 설치된 안내레일
43-46; 캐비닛 측면에 설치된 안내레일
47; 캐비닛 고정용 체인
48; 안내레일과 체결된 가스 실린더 이동용 프레임
49; 바닥에 설치되는 안내레일의 예
50; 측면에 설치되는 안내레일의 예
51; 바닥
55; 외부로 이동시 56; 내부로 이동시

Claims (9)

  1. 독가스 실린더가 위치하는 캐비닛에 있어서,
    독가스 실린더를 교체할 경우에 독가스 실린더와 3 방향 제어 밸브 사이의 독가스 공급라인에 잔존하는 독가스를 제거하기 위하여 벤트 라인의 가장자리에 알갱이 형상의 흡착제가 충진된 독가스 제거용 흡착필터가 체결 고정되고,
    독가스 공급라인에 잔존하는 독가스를 흡착필터를 통과시켜 외부로 배출하기 위하여 벤트용 가스를 주입하기 위한 벤트용 가스라인이 흡착필터(도1의 17) 하부에 설치된 벤트 라인 일측에 체결 고정되며,
    독가스 공급라인에 부착된 독가스를 제거하기 위하여 독가스 실린더와 3 방향 제어 밸브 사이의 독가스 공급라인 일측에 청소용 가스라인이 체결 고정되고,
    독가스 공급라인과 벤트 라인사이에는 가스의 흐름을 제어하기 위하여 가스가 이동하는 통로를 제어할 수 있도록 3 방향 제어 밸브(도 1의18)가 설치되며,
    청소용 가스라인 가장자리에는 청소용 가스를 제어하기 위한 제어밸브(도 1의19)가 설치된 독가스 실린더가 캐비닛 일측에 위치한 캐비닛.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    흡착필터의 흡착제는 독가스의 종류에 따라 해당 독가스에 대해 흡착 성능이 높은 흡착제로 충진됨을 특징으로 하는 독가스 실린더가 캐비닛 일측에 위치한 캐비닛.
  4. 청구항 1에 있어서,
    흡착필터는 교환할 수 있도록 흡착필터의 상부와 하부에 체결수단에 의하여 체결되고,
    흡착필터의 상부와 하부는 흡착제의 크기보다 작은 구멍이 형성되어 흡착제가 빠져나가지 않으면서 독가스가 용이하게 이동할 수 있는 매쉬가 설치됨을 특징으로 하는 독가스 실린더가 캐비닛 일측에 위치한 캐비닛.
  5. 청구항 1에 있어서,
    흡착필터(도1의17) 내부의 상부와 하부에는 흡착필터를 둘러싸고 있는 상부 및 하부에 위치한 외부 프레임과 구멍이 형성된 매쉬사이에 가스가 이동할 수 있는 공간(도 2의 34,35)이 벤트 라인 직경보다 넓게 형성되어 독가스의 정제 속도 및 가스의 흐름을 높일 수 있도록 제작되고,
    흡착필터의 전단에 설치된 압력계(도1의23)를 이용하여 흡착필터의 교환시기를 알 수 있도록 제작된 독가스 실린더가 캐비닛 일측에 위치한 캐비닛.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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