JP6085152B2 - 真空チャック - Google Patents
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Description
図1および図2に示されている本発明の一実施形態としての真空チャックは、略円盤状の基体1と、基体1の縁部に沿って上面10から上方に円環状に突出しているリブ11と、基体1の上面10から上方に突出している複数のピン12と、基体1の上面10から基体1を上下に貫通して真空吸引装置(図示略)に接続される複数の吸引孔20とを備えている。真空チャックは、緻密質セラミックスまたはガラスにより構成されている。
図1に示されている構成の真空チャックは、以下の手順にしたがって製造される。
炭化珪素の粉末に、ホウ素を含有する化合物および炭素を含有する化合物が添加され、分散剤、バインダおよび溶媒が加えられた上で、当該原料がミルを用いて混合されることでスラリーが得られる。このスラリーを用いてスプレードライ法により得られた顆粒がCIPにより成形されることにより成形体が作製される。CIPに代えてまたは先立って金型を用いて顆粒がプレス成形されてもよい。成形体が所定の形状に加工された上で、真空またはアルゴン雰囲気中で焼成されることにより、略円盤状(φ300[mm]×t10[mm])の基体1が作製される。
表1に示されているように、基体1の上面10の表面粗さRa(1)、吸引孔20の表面粗さRa(2)、ピントップ表面粗さRaおよびピン12の高さbの吸引孔20の径aに対する比のそれぞれが異なる比較例1〜9の静電チャックが作製された。
Claims (1)
- 基体と、前記基体の上面から上方に均一に突出してトップにおいてウエハに当接する複数のピンと、前記基体の上面から前記基体を貫通して真空吸引装置に接続される吸引孔とを備え、緻密質セラミックスまたはガラスにより構成されている真空チャックであって、
前記基体の上面の表面粗さRa(1)と、前記吸引孔の表面粗さRa(2)との組み合わせを表わすプロットが、Ra(1)≦0.3[μm]およびRa(2)≦0.8[μm]により表わされる指定範囲に含まれ、
前記吸引孔の横断面が円形状であり、前記ピンの突出高さbの前記吸引孔の径aに対する比が0.5以下であり、かつ、
前記ピンのトップの表面粗さが0.1[μm]以下であることを特徴とする真空チャック。
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