JP2009054723A - 吸着部材、吸着装置および吸着方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基体1の上面に多数の支持用凸部2を形成した吸着部材10であって、支持用凸部2は、円錐台状をなす基部3の表面に該基部3の上面中央部が小凸部4となるように保護層5を形成してなる。これにより、基部3と保護層5からなる小凸部4とが強固に密着されることになり、保護層5の剥離によって発生するパーティクルを極力少なくすることができる。
【選択図】 図1
Description
本発明に係る第1の吸着部材について説明する。図1(a)に本発明の吸着部材の斜視図(斜線部は一部を切り欠いて断面を示す)を示す。図1(b)に(a)の断面Aにおける支持用突起(以下、支持用凸部という)2の拡大断面図を示す。なお、図1(b)における下方部は図示を省略している。
次に、本発明に係る第2の吸着部材について説明する。なお、特に説明しない場合を除いて、上述した第1の吸着部材と同様の態様とする。図2に第2の吸着部材の一部拡大断面図を示す。なお、吸着部材10の外観は、前記第1の吸着部材で説明した図1(a)とほぼ同じであるが、被吸着体を支持する支持用凸部の構造が大きく異なる。
本発明の第3の吸着部材について説明する。なお、特に説明しない場合を除いて、上述した第1の吸着部材と同様とする。図3に吸着部材10の一部拡大断面図を示す。
次に、上記第1,第2の吸着部材のさらに好ましい態様について説明する。図4に小凸部4の頂部の上面周囲を面取り加工した様子の側面図を示す。
本発明の吸着装置は、上述した優れた吸着部材10と、この吸着部材10に被吸着体を吸着させるための吸着手段とを備えてなるものである。ここで、吸着手段は、被吸着体を保持するための作用力として、バネ等の機械的な力、差圧力、静電気力等を用いることのできる手段をいうものする。
公知の方法で炭化珪素からなる成形体を作製し、この成形体を1900〜2100℃、Arガス中で焼結し、直径400mmの炭化珪素焼結体を作製した。支持用凸部2の最終形状は、図1(b)に示す形状とした。
実施例1と同様にして、炭化珪素焼結体を作製した。支持用凸部の最終形状は、図2に示す形状とした。
実施例1と同様にして、炭化珪素焼結体を作製した。支持用凸部の最終形状は図3の形状とした。
一方、比較例として、図6に示す吸着部材20を製作した。図6(a)は吸着部材20斜視図、(b)は(a)の一部拡大断面図をそれぞれ示す。
2,22:支持用突起(支持用凸部)
3,23:基部
4,24:突出部(小凸部)
5,25:保護層
6:小凸部上面周囲
7,27:小凸部上面
10,20: 吸着部材
Claims (10)
- 基体の表面に多数の支持用突起を形成した吸着部材であって、前記支持用突起は、円錐台状をなす基部の上面中央部の上に突出部を有する保護層を備えてなることを特徴とする吸着部材。
- 基体の表面に多数の支持用突起を形成した吸着部材であって、前記支持用突起は、上面中央部に突出部を形成した円錐台状をなす基部に、少なくとも前記突出部の表面を覆う保護層を形成してなることを特徴とする吸着部材。
- 基体の表面に多数の支持用突起を形成した吸着部材であって、前記支持用突起は、上部を細長円柱状とし下部を円錐状に広がる形状とした基部の表面に保護層を形成してなることを特徴とする吸着部材。
- 前記保護層を化学的気相成長法で形成したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の吸着部材。
- 前記保護層が炭化珪素を主成分とすることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の吸着部材。
- 前記基体および前記基部が炭化珪素を主成分とする炭化珪素質焼結体であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の吸着部材。
- 前記支持用突起の頂部が面取りされていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の吸着部材。
- 請求項1乃至7のいずれかに記載の吸着部材と、被吸着体を該吸着部材に吸着させるための吸着手段とを備えてなる吸着装置。
- 被吸着体を吸着するための吸気孔を備えてなる請求項1乃至7のいずれかに記載の吸着部材と、前記吸気孔から吸気を行わせるための吸気手段とを備えてなる吸着装置。
- 請求項1乃至7のいずれかに記載の吸着部材を用いて、被吸着体を前記支持用突起で支持するようにしたことを特徴とする吸着方法。
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