JP6075032B2 - 純水製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、供給水から透過水を分離する逆浸透膜モジュールと、透過水を脱塩処理して脱塩水を得る電気脱イオンスタックと、を備える純水製造装置に関する。

半導体の製造工程や電子部品の洗浄、医療器具の洗浄等においては、不純物を含まない高純度の純水が使用される。この種の純水を製造する場合には、純水製造装置が用いられることがある。純水製造装置として、供給水から透過水を分離する逆浸透膜モジュール（以下、「ＲＯ膜モジュール」ともいう）と、逆浸透膜モジュールで分離された透過水を脱塩処理して脱塩水を得る電気脱イオンスタック（以下、「ＥＤＩスタック」ともいう）と、を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このような純水製造装置においては、一般に、地下水や水道水等の原水を、逆浸透膜を用いたＲＯ膜モジュールで多段処理することにより、原水から溶存塩類の大部分が除去された透過水を分離する。その後、透過水をＥＤＩスタックで精製することにより、更に純度を高めている。

特開２００１−２５９３７６号公報

ところで、スパイラル型エレメントを用いるＲＯ膜モジュールでは、有機成分や懸濁物質による膜面の閉塞を防止するため、通常、クロスフロー方式による分離操作が採用されている。このクロスフロー方式では、加圧ポンプにより、透過水の流量に比して５倍以上の流量で供給水を循環させながら、膜の一次側に供給水の浸透圧以上の圧力を加えて分離操作を行う。このとき、ＲＯ膜モジュールから流出する供給水は、濃縮水となっているので、透過水の流量に対する濃縮水の流量の比率で定義される循環比は、５以上に維持される。

ＲＯ膜モジュールの多段処理において、各段の循環比を５以上に維持するためには、吐出量及び吐出圧力の非常に大きな加圧ポンプを備える必要があるが、このような加圧ポンプは、大容量のモータを駆動することから消費電力が大きい。ここで、前述の循環比の条件は、供給水に懸濁物質が含まれることを前提として設定されている。そのため、前段のＲＯ膜モジュールで得られた透過水が清浄であれば、後段のＲＯ膜モジュールでは循環比を低減することができ、ひいては加圧ポンプの消費電力を抑制することができると考えられる。本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、加圧ポンプの動作において省エネを図ることができる純水製造装置を提供することを目的とする。

本発明は、スパイラル型エレメントを有し、クロスフロー方式による分離操作により供給水を透過水と濃縮水とに分離する複数の逆浸透膜モジュールであって、一の逆浸透膜モジュールにより分離された透過水を他の逆浸透膜モジュールにより透過水と濃縮水とに分離可能に直列に接続された複数の逆浸透膜モジュールと、直列に接続された前記複数の逆浸透膜モジュールの最前段の前記逆浸透膜モジュールに向けて供給水を吐出する加圧ポンプと、を備え、前記加圧ポンプは、前記複数の逆浸透膜モジュールの間には配置されず、前記複数の逆浸透膜モジュールの上流側に配置され、前記逆浸透膜モジュールにより分離された透過水の流量に対する濃縮水の流量の比率を前記逆浸透膜モジュールにおける循環比としたときに、最前段に位置する前記逆浸透膜モジュールにおける循環比Ｒ１に対する、最後段に位置する前記逆浸透膜モジュールにおける循環比Ｒ２の比率Ｒ２／Ｒ１が、０．０８≦Ｒ２／Ｒ１≦０．１２の範囲となるように、供給水の流量、透過水の流量、及び濃縮水の流量のうちの少なくとも一つが設定される純水製造装置に関する。

また、前記複数の逆浸透膜モジュールからの透過水を脱塩処理して脱塩水を得る電気脱イオンスタックを備えることが好ましい。

本発明によれば、加圧ポンプの動作において省エネを図ることができる純水製造装置を提供することができる。

一実施形態に係る純水製造装置１の全体構成図である。

本発明の一実施形態に係る純水製造装置１について、図面を参照しながら説明する。図１は、一実施形態に係る純水製造装置１の全体構成図である。純水製造装置１は、例えば、原水（例えば、水道水）から脱塩水を製造する純水製造装置に適用される。純水製造装置で製造された脱塩水は、純水として、需要箇所等に送出される。なお、純水製造装置において、需要箇所等へ純水を供給することを「採水」ともいう。

図１に示すように、純水製造装置１は、活性炭濾過器２と、安全フィルタ３と、供給水貯留タンクとしての原水タンク４と、加圧ポンプ５と、インバータ６と、逆浸透膜モジュールとしての第１ＲＯ膜モジュール１１及び第２ＲＯ膜モジュール１２と、電気脱イオンスタックとしてのＥＤＩスタック２０と、制御部３０と、報知部３１と、入力操作部３２と、直流電源装置３３とを備える。

また、純水製造装置１は、原水補給弁６１と、第１流路切換弁６２と、第２流路切換弁６３と、第３流路切換弁６４と、脱塩水リターン弁６５と、第１ＲＯ弁１０１〜第４ＲＯ弁１０４と、第１ＥＤＩ弁２０１〜第６ＥＤＩ弁２０６と、水位センサ４１と、タンク内電気伝導率センサ４２と、タンク内温度センサ４３と、第１電気伝導率センサ５１と、圧力センサ５２と、第１流量センサ５３と、第２流量センサ５４と、第２電気伝導率センサ５５と、第３流量センサ５６と、第４流量センサ５７と、第１原水圧力センサ５８１と、濃縮水圧力センサ５８２と、第２原水圧力センサ５８３と、第１濃縮水流量センサ５９１と、第２濃縮水流量センサ５９２と、第３濃縮水流量センサ５９３とを備える。

図１では、電気的な接続の経路を省略するが、制御部３０は、原水補給弁６１、第１流路切換弁６２、第２流路切換弁６３、水位センサ４１、タンク内電気伝導率センサ４２、タンク内温度センサ４３、第１電気伝導率センサ５１、第２電気伝導率センサ５５、圧力センサ５２、第１流量センサ５３、第２流量センサ５４、第３流量センサ５６、第４流量センサ５７、第１原水圧力センサ５８１、濃縮水圧力センサ５８２、第２原水圧力センサ５８３と、第１濃縮水流量センサ５９１、第２濃縮水流量センサ５９２、及び第３濃縮水流量センサ５９３と電気的に接続される。また、本実施形態においては、第３流路切換弁６４、脱塩水リターン弁６５、第１ＲＯ弁１０１〜第４ＲＯ弁１０４、及び第１ＥＤＩ弁２０１〜第６ＥＤＩ弁２０６は、手動により開閉状態を切り換えたり、弁開度を調整したりすることが可能な弁である。

また、純水製造装置１は、原水ラインＬ１と、第１透過水ラインＬ２と、第２透過水ラインＬ３と、第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５と、第１ＲＯ濃縮水排出ラインＬ４１と、第２ＲＯ濃縮水リターンラインＬ６と、第２ＲＯ透過水リターンラインＬ７と、第２ＲＯ透過水排出ラインＬ４２と、脱塩水ラインＬ８と、脱塩水リターンラインＬ９と、ＥＤＩ濃縮水リターンラインＬ１０と、ＥＤＩ濃縮水排出ラインＬ４３と、ＥＤＩ電極水排出ラインＬ４４と、を備える。なお、本明細書における「ライン」とは、流路、径路、管路等の流体の流通が可能なラインの総称である。

原水ラインＬ１には、原水Ｗ１（供給水）が流通する。原水ラインＬ１は、原水Ｗ１を、第１ＲＯ膜モジュール１１へ流通させるラインである。原水ラインＬ１は、第１原水ラインＬ１１と、第２原水ラインＬ１２と、を有する。

第１原水ラインＬ１１は、原水Ｗ１の供給源（不図示）と原水タンク４とをつなぐラインである。第１原水ラインＬ１１の上流側の端部は、原水Ｗ１の供給源（不図示）に接続されている。また、第１原水ラインＬ１１の下流側の端部は、原水タンク４に接続されている。

第１原水ラインＬ１１には、上流側から順に、原水補給弁６１、第１原水圧力センサ５８１、活性炭濾過器２、安全フィルタ３、及び原水タンク４が設けられている。原水補給弁６１は、第１原水ラインＬ１１を開閉可能な弁である。原水補給弁６１は、制御部３０と電気的に接続されている。原水補給弁６１の開閉動作は、制御部３０からの流路開閉信号により制御される。

活性炭濾過器２は、原水Ｗ１に含まれる塩素成分（主として遊離塩素）を除去する機器である。活性炭濾過器２は、圧力タンク内に活性炭からなる濾材床を有している。活性炭濾過器２は、原水Ｗ１に含まれる塩素成分を分解除去するほか、有機成分を吸着除去したり、懸濁物質を捕捉したりして原水Ｗ１を浄化する。活性炭濾過器２は、後述するＲＯ膜モジュールにおいて膜面の閉塞を引き起こす原因となる有機成分や懸濁物質を確実に除去するため、濾材床の高さＨは、２５０ｍｍ≦Ｈ≦１０００ｍｍの範囲に設定されている。また、同様の理由にて、濾過操作における原水Ｗ１の空間速度ＳＶ（Ｓｐａｃｅ Ｖｅｌｏｃｉｔｙ）は、５０ｈ^−１≦ＳＶ≦６０ｈ^−１の範囲に設定される。

安全フィルタ３は、活性炭濾過器２により濾過された原水Ｗ１に含まれる微粒子を除去するフィルタである。安全フィルタ３は、ハウジング内にフィルタエレメントが収容されて構成される。フィルタエレメントとしては、例えば、濾過精度が１〜５０μｍの不織布フィルタエレメントや糸巻きフィルタエレメント等が用いられる。原水タンク４は、活性炭濾過器２及び安全フィルタ３を経て浄化された原水Ｗ１を供給水として貯留し、加圧ポンプ５へ原水Ｗ１を供給するタンクである。

ここで、活性炭濾過器２に供給する原水Ｗ１は、水道法第４条に基づく「水質基準に関する省令」（平成１５年５月３０日厚生労働省令第１０１号）で規定する水質基準を満足していることが望ましい。このような水質基準を満たす水道水は、有機物（ＴＯＣ量）や濁度等が予め所定値以下に抑制されている。そのため、活性炭濾過器２及び安全フィルタ３を経て浄化された水道水は、有機成分や懸濁物質をほとんど含まず、ＲＯ膜モジュールにおいて膜面の閉塞を起こし難い。

第２原水ラインＬ１２は、原水タンク４と第１ＲＯ膜モジュール１１とをつなぐラインである。第２原水ラインＬ１２の上流側の端部は、原水タンク４に接続されている。また、第２原水ラインＬ１２の下流側の端部は、第１ＲＯ膜モジュール１１の一次側入口ポート（原水Ｗ１の入口）に接続されている。第２原水ラインＬ１２は、供給水としての原水Ｗ１を第１ＲＯ膜モジュール１１に流通させる。

第２原水ラインＬ１２には、上流側から順に、加圧ポンプ５、第１ＲＯ弁１０１、第２原水圧力センサ５８３、及び第１ＲＯ膜モジュール１１が設けられている。第１ＲＯ弁１０１は、第２原水ラインＬ１２における加圧ポンプ５と第１ＲＯ膜モジュール１１との間に設けられている。第１ＲＯ弁１０１は、第２原水ラインＬ１２を流通する原水Ｗ１の流量を調整可能な弁である。

加圧ポンプ５は、第２原水ラインＬ１２を流通する供給水としての原水Ｗ１を吸入し、第１ＲＯ膜モジュール１１へ向けて吐出して圧送する装置である。加圧ポンプ５には、インバータ６から周波数（又は電圧）が変換された駆動電力が供給される。加圧ポンプ５は、供給された駆動電力の周波数（以下、「駆動周波数」ともいう）、又は駆動電力の電圧（以下、「駆動電圧」ともいう）に応じた回転速度で駆動される。

インバータ６は、加圧ポンプ５に、周波数が変換された駆動電力を供給する電気回路（又はその回路を持つ装置）である。インバータ６は、制御部３０と電気的に接続されている。インバータ６には、制御部３０から指令信号が入力される。インバータ６は、制御部３０により入力された指令信号（電流値信号又は電圧値信号）に対応する駆動周波数（又は駆動電圧）の駆動電力を加圧ポンプ５に出力して加圧ポンプ５を駆動する。即ち、制御部３０は、インバータ６から出力される駆動周波数又は駆動電圧を制御可能である。

最前段の逆浸透膜モジュールとしての第１ＲＯ膜モジュール１１は、加圧ポンプ５により圧送された原水Ｗ１を、溶存塩類が除去された第１透過水Ｗ２と、溶存塩類が濃縮された第１濃縮水Ｗ３と、に分離する。第１ＲＯ膜モジュール１１は、単一又は複数のスパイラル型ＲＯ膜エレメントを圧力容器（ベッセル）に収容して構成される。当該ＲＯ膜エレメントに使用されるＲＯ膜としては、架橋芳香族ポリアミド系複合膜などが例示される。架橋芳香族ポリアミド系複合膜からなるＲＯ膜エレメントとしては、東レ社製：型式名「ＴＭＧ２０−４００」、ウンジン・ケミカル社製：型式名「ＲＥ８０４０−ＢＬＦ」、日東電工社製：型式名「ＥＳＰＡ１」等が市販されており、これらのエレメントを好適に用いることができる。

第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５は、第１ＲＯ膜モジュール１１で分離された第１濃縮水Ｗ３の一部を原水タンク４へ流通させて返送するラインである。第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５は、上流側第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５１と、下流側第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５２と、を有する。

上流側第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５１の上流側の端部は、第１ＲＯ膜モジュール１１の一次側出口ポート（第１濃縮水Ｗ３の出口）に接続されている。上流側第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５１の下流側の端部は、分岐部Ｊ１１において、下流側第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５２及び第１ＲＯ濃縮水排出ラインＬ４１に分岐されている。

下流側第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５２の上流側の端部は、分岐部Ｊ１１に接続されている。下流側第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５２の下流側の端部は、原水タンク４に接続されている。下流側第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５２には、第２ＲＯ弁１０２が設けられている。第２ＲＯ弁１０２は、下流側第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５２を流通する第１濃縮水Ｗ３の流量を調整可能な弁である。

第１ＲＯ濃縮水排出ラインＬ４１は、第１ＲＯ膜モジュール１１で分離された第１濃縮水Ｗ３の残部を、第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５の途中から装置の外へ排出するように流通させるラインである。第１ＲＯ濃縮水排出ラインＬ４１の上流側の端部は、分岐部Ｊ１１に接続されている。第１ＲＯ濃縮水排出ラインＬ４１の下流側は、例えば、排水ピット（不図示）に接続又は開口している。第１ＲＯ濃縮水排出ラインＬ４１には、第３ＲＯ弁１０３が設けられている。第３ＲＯ弁１０３は、第１ＲＯ濃縮水排出ラインＬ４１を介して装置の外へ排出される第１濃縮水Ｗ３の排水流量を調整可能な弁である。

第１透過水ラインＬ２は、第１ＲＯ膜モジュール１１と第２ＲＯ膜モジュール１２とを直列に接続し、第１ＲＯ膜モジュール１１で分離された第１透過水Ｗ２を第２ＲＯ膜モジュール１２に流通させるラインである。第１透過水ラインＬ２の上流側の端部は、第１ＲＯ膜モジュール１１の二次側ポート（第１透過水Ｗ２の出口）に接続されている。第１透過水ラインＬ２の下流側の端部は、第２ＲＯ膜モジュール１２の一次側入口ポート（第１透過水Ｗ２の入口）に接続されている。

最後段の逆浸透膜モジュールとしての第２ＲＯ膜モジュール１２は、第１ＲＯ膜モジュール１１で分離されて加圧ポンプ５により圧送された第１透過水Ｗ２を、第１透過水Ｗ２よりも溶存塩類が除去された第２透過水Ｗ４と、溶存塩類が濃縮された第２濃縮水Ｗ５と、に分離する。第２ＲＯ膜モジュール１２は、単一又は複数のスパイラル型ＲＯ膜エレメントを圧力容器（ベッセル）に収容して構成される。第１ＲＯ膜モジュール１１においても、第２ＲＯ膜モジュール１２と同様のＲＯ膜エレメントを使用することができる。

第２ＲＯ濃縮水リターンラインＬ６は、第２ＲＯ膜モジュール１２で分離された第２濃縮水Ｗ５を原水タンク４へ流通させて返送するラインである。第２ＲＯ濃縮水リターンラインＬ６の上流側の端部は、第２ＲＯ膜モジュール１２の一次側出口ポート（第２濃縮水Ｗ５の出口）に接続されている。第２ＲＯ濃縮水リターンラインＬ６の下流側の端部は、原水タンク４に接続されている。第２ＲＯ濃縮水リターンラインＬ６には、第４ＲＯ弁１０４が設けられている。第４ＲＯ弁１０４は、第２ＲＯ濃縮水リターンラインＬ６を流通する第２濃縮水Ｗ５の流量を調整可能な弁である。

第２透過水ラインＬ３は、第２ＲＯ膜モジュール１２で分離された第２透過水Ｗ４をＥＤＩスタック２０に流通させるラインである。第２透過水ラインＬ３は、前段側透過水ラインＬ３１と、中段側透過水ラインＬ３２と、脱塩室流入ラインＬ３２１と、濃縮室流入ラインＬ３２２と、電極室流入ラインＬ３２３と、を有する。

前段側透過水ラインＬ３１の上流側の端部は、第２ＲＯ膜モジュール１２の二次側ポート（第２透過水Ｗ４の出口）に接続されている。前段側透過水ラインＬ３１の下流側の端部は、第１流路切換弁６２を介して、中段側透過水ラインＬ３２及び第２ＲＯ透過水リターンラインＬ７に接続されている。

第１流路切換弁６２は、第２ＲＯ膜モジュール１２で分離された第２透過水Ｗ４を、中段側透過水ラインＬ３２を介してＥＤＩスタック２０へ向けて流通させる流路（採水側流路）、又は、第２ＲＯ透過水リターンラインＬ７を介して第３流路切換弁６４へ向けて流通させる流路（循環側流路及び排水側流路）に切り換え可能な弁である。第１流路切換弁６２は、例えば、電動式や電磁式の三方弁により構成される。第１流路切換弁６２は、制御部３０と電気的に接続されている。第１流路切換弁６２における流路の切り換えは、制御部３０からの流路切換信号により制御される。

第２ＲＯ透過水リターンラインＬ７は、第２ＲＯ膜モジュール１２で分離された第２透過水Ｗ４を、第１ＲＯ膜モジュール１１の上流側の原水タンク４へ返送するラインである。第２ＲＯ透過水リターンラインＬ７は、上流側第２ＲＯ透過水リターンラインＬ７１と、下流側第２ＲＯ透過水リターンラインＬ７２と、を有する。

上流側第２ＲＯ透過水リターンラインＬ７１の上流側の端部は、第１流路切換弁６２に接続されている。上流側第２ＲＯ透過水リターンラインＬ７１の下流側の端部は、第３流路切換弁６４に接続されている。

第３流路切換弁６４は、上流側第２ＲＯ透過水リターンラインＬ７１を流通される第２透過水Ｗ４を、下流側第２ＲＯ透過水リターンラインＬ７２を介して原水タンク４へ向けて流通させる流路（循環側流路）、又は、第２ＲＯ透過水排出ラインＬ４２を介して装置の外へ向けて排出させるように流通させる流路（排水側流路）に切り換え可能な弁である。第３流路切換弁６４は、手動により開閉状態を切り換え可能な弁である。

下流側第２ＲＯ透過水リターンラインＬ７２の上流側の端部は、第３流路切換弁６４に接続されている。下流側第２ＲＯ透過水リターンラインＬ７２の下流側の端部は、原水タンク４に接続されている。

第２ＲＯ透過水排出ラインＬ４２は、第２ＲＯ膜モジュール１２で分離された第２透過水Ｗ４を、第２ＲＯ透過水リターンラインＬ７に合流させて装置の外へ排出するように流通させるラインである。第２ＲＯ透過水排出ラインＬ４２の上流側の端部は、第３流路切換弁６４に接続されている。第３流路切換弁６４の下流側は、例えば、排水ピット（不図示）に接続又は開口している。

第２ＲＯ透過水排出ラインＬ４２は、接続部Ｊ１２において、第１ＲＯ濃縮水排出ラインＬ４１に合流されている。接続部Ｊ１２は、第１ＲＯ濃縮水排出ラインＬ４１における第３ＲＯ弁１０３よりも下流側に配置されている。第２ＲＯ透過水排出ラインＬ４２における接続部Ｊ１２よりも下流側の部分は、第１ＲＯ濃縮水排出ラインＬ４１における接続部Ｊ１２よりも下流側の部分と共通する。

中段側透過水ラインＬ３２の上流側の端部は、第１流路切換弁６２に接続されている。中段側透過水ラインＬ３２の下流側の端部は、分岐部Ｊ４において、脱塩室流入ラインＬ３２１、濃縮室流入ラインＬ３２２及び電極室流入ラインＬ３２３に分岐されている。

脱塩室流入ラインＬ３２１、濃縮室流入ラインＬ３２２及び電極室流入ラインＬ３２３の下流側の端部は、ＥＤＩスタック２０の一次側ポート（脱塩室２１、濃縮室２２及び電極室２３の各入口側）に接続されている。

ＥＤＩスタック２０は、第２ＲＯ膜モジュール１２で第１透過水Ｗ２から分離された第２透過水Ｗ４を脱塩処理して、脱塩水Ｗ６と濃縮水Ｗ７と電極水Ｗ８とを得る水処理機器である。ＥＤＩスタック２０は、直流電源装置３３と電気的に接続されている。ＥＤＩスタック２０には、直流電源装置３３から直流電圧が入力される。ＥＤＩスタック２０は、直流電源装置３３から入力された直流電圧により、通電され、動作される。

直流電源装置３３は、直流電圧をＥＤＩスタック２０の一対の電極間に印加する。直流電源装置３３は、制御部３０と電気的に接続されている。直流電源装置３３は、制御部３０により入力された指令信号に応答して、直流電圧をＥＤＩスタック２０に出力する。

ＥＤＩスタック２０は、一対の電極間に、陽イオン交換膜及び陰イオン交換膜（不図示）が交互に配置される。ＥＤＩスタック２０の内部は、これらイオン交換膜により、脱塩室２１、濃縮室２２及び電極室２３に区画される。脱塩室２１には、イオン交換体（不図示）が充填される。脱塩室２１に充填されるイオン交換体としては、例えば、イオン交換樹脂やイオン交換繊維等が用いられる。なお、図１では、ＥＤＩスタック２０の内部に区画された複数の脱塩室２１、濃縮室２２、及び電極室２３を模式的に示す。

脱塩室２１の入口側には、第２透過水Ｗ４を流入させる脱塩室流入ラインＬ３２１が接続されている。脱塩室２１の出口側には、脱塩室２１においてイオンが除去されて排出された脱塩水Ｗ６を流通させる脱塩水ラインＬ８が接続されている。濃縮室２２の入口側には、第２透過水Ｗ４を流入させる濃縮室流入ラインＬ３２２が接続されている。濃縮室２２の出口側には、イオンが濃縮されて排出された濃縮水Ｗ７を流通させるＥＤＩ濃縮水リターンラインＬ１０が接続されている。電極室２３の入口側には、第２透過水Ｗ４を流入させる電極室流入ラインＬ３２３が接続されている。電極室２３の出口側には、電極水Ｗ８を流通させる電極水排出ラインＬ４４が接続されている。

脱塩室流入ラインＬ３２１には、第１ＥＤＩ弁２０１が設けられている。濃縮室流入ラインＬ３２２には、第２ＥＤＩ弁２０２が設けられている。電極室流入ラインＬ３２３には、第３ＥＤＩ弁２０２が設けられている。第１ＥＤＩ弁２０１は、脱塩室流入ラインＬ３２１を流通する第２透過水Ｗ４の流量（即ち、脱塩室２１を流通する脱塩水Ｗ６の流量）を調整可能な弁である。第２ＥＤＩ弁２０２は、濃縮室流入ラインＬ３２２を流通する第２透過水Ｗ４の流量（即ち、濃縮室２２を流通する濃縮水Ｗ７の流量）を調整可能な弁である。第３ＥＤＩ弁２０３は、電極室流入ラインＬ３２３を流通する第２透過水Ｗ４の流量（即ち、電極室２３を流通する電極水Ｗ８の流量）を調整可能な弁である。

脱塩室２１、濃縮室２２及び電極室２３それぞれには、第２透過水ラインＬ３を流通する第２透過水Ｗ４が流入される。第２透過水Ｗ４に含まれる残留イオンは、脱塩室２１内に充填されたイオン交換体（不図示）により捕捉され、脱塩水Ｗ６となる。脱塩水Ｗ６は、脱塩水ラインＬ８（後述）を介して需要箇所へ送出される。また、脱塩室２１内のイオン交換体に捕捉された残留イオンは、付与された電気エネルギーにより濃縮室２２に移動する。そして、残留イオンを含む水は、濃縮室２２からＥＤＩ濃縮水リターンラインＬ１０及びＥＤＩ濃縮水排出ラインＬ４３（後述）を介して濃縮水Ｗ７として排出される。また、電極室２３に流入された第２透過水Ｗ４は、電極室２３からＥＤＩ電極水排出ラインＬ４４を介して電極水Ｗ８として装置の外へ排出される。

脱塩水ラインＬ８は、ＥＤＩスタック２０で得られた脱塩水Ｗ６を純水として需要箇所に向けて送出するラインである。脱塩水ラインＬ８は、上流側脱塩水ラインＬ８１と、下流側脱塩水ラインＬ８２と、を有する。

上流側脱塩水ラインＬ８１の上流側の端部は、ＥＤＩスタック２０の二次側ポート（脱塩室２１の出口側）に接続されている。上流側脱塩水ラインＬ８１の下流側の端部は、第２流路切換弁６３を介して、下流側脱塩水ラインＬ８２及び脱塩水リターンラインＬ９（後述）に接続されている。

第２流路切換弁６３は、ＥＤＩスタック２０の脱塩室２１で得られた脱塩水Ｗ６を、下流側脱塩水ラインＬ８２を介して需要箇所に向けて送出させる流路（採水側流路）、又は、脱塩水リターンラインＬ９を介して原水タンク４に向けて流通させる流路（循環側流路）に切り換え可能な弁である。第２流路切換弁６３は、例えば、電動式や電磁式の三方弁により構成される。第２流路切換弁６３は、制御部３０と電気的に接続されている。第２流路切換弁６３における流路の切り換えは、制御部３０からの流路切換信号により制御される。

第２流路切換弁６３は、制御部３０により採水側流路に切り換えられることにより、ＥＤＩスタック２０で得られた脱塩水Ｗ６を脱塩水ラインＬ８から需要箇所に供給するように送り出す処理を実行可能な送出手段として機能する。

下流側脱塩水ラインＬ８２の上流側の端部は、第２流路切換弁６３に接続されている。下流側脱塩水ラインＬ８２の下流側の端部は、需要箇所の装置等（不図示）に接続されている。

脱塩水リターンラインＬ９は、ＥＤＩスタック２０の脱塩室２１で得られた脱塩水Ｗ６を、脱塩水ラインＬ８の途中から、第１ＲＯ膜モジュール１１の上流側の原水タンク４へ返送するラインである。本実施形態においては、脱塩水リターンラインＬ９の上流側の端部は、第２流路切換弁６３に接続されている。脱塩水リターンラインＬ９の下流側の端部は、原水タンク４に接続されている。脱塩水リターンラインＬ９は、ＥＤＩスタック２０の脱塩室２１で得られた脱塩水Ｗ６を原水タンク４へ返送する。脱塩水リターンラインＬ９には、脱塩水リターン弁６５が設けられている。

ＥＤＩ濃縮水リターンラインＬ１０は、ＥＤＩスタック２０の濃縮室２２から排出された濃縮水Ｗ７を、脱塩水リターンラインＬ９に合流させて原水タンク４に返送するラインである。ＥＤＩ濃縮水リターンラインＬ１０の上流側の端部は、ＥＤＩスタック２０の二次側ポート（濃縮室２２の出口側）に接続されている。ＥＤＩ濃縮水リターンラインＬ１０の下流側の端部は、原水タンク４に接続されている。

ＥＤＩ濃縮水リターンラインＬ１０は、接続部Ｊ１３において、脱塩水リターンラインＬ９に合流されている。接続部Ｊ１３は、脱塩水リターンラインＬ９における原水タンク４と脱塩水リターン弁６５との間に配置されている。ＥＤＩ濃縮水リターンラインＬ１０における接続部Ｊ１３よりも下流側の部分は、脱塩水リターンラインＬ９における接続部Ｊ１３から原水タンク４までの部分と共通する。ＥＤＩ濃縮水リターンラインＬ１０における接続部Ｊ１３よりも上流側には、第５ＥＤＩ弁２０５が設けられている。

ＥＤＩ濃縮水排出ラインＬ４３は、ＥＤＩスタック２０の濃縮室２２から排出された濃縮水Ｗ７を、ＥＤＩ濃縮水リターンラインＬ１０の途中から装置の外に排出するように流通させるラインである。ＥＤＩ濃縮水排出ラインＬ４３の上流側の端部は、接続部Ｊ９に接続されている。接続部Ｊ９は、ＥＤＩ濃縮水リターンラインＬ１０における濃縮室２２と第５ＥＤＩ弁２０５と間に配置されている。ＥＤＩ濃縮水排出ラインＬ４３の下流側は、例えば、排水ピット（不図示）に接続又は開口している。ＥＤＩ濃縮水排出ラインＬ４３には、第６ＥＤＩ弁２０６が設けられている。

電極水排出ラインＬ４４は、ＥＤＩスタック２０の電極室２３から排出された電極水Ｗ８を装置の外に排出するように流通させるラインである。電極水排出ラインＬ４４の上流側の端部は、ＥＤＩスタック２０の電極室２３に接続されている。電極水排出ラインＬ４４は、接続部Ｊ１０において、ＥＤＩ濃縮水排出ラインＬ４３に合流されている。接続部Ｊ１０は、ＥＤＩ濃縮水排出ラインＬ４３における第６ＥＤＩ弁２０６よりも下流側に配置されている。電極水排出ラインＬ４４における接続部Ｊ１０よりも下流側の部分は、ＥＤＩ濃縮水排出ラインＬ４３における接続部Ｊ１０よりも下流側の部分と共通する。

水位センサ４１は、原水タンク４に貯留される原水Ｗ１の水位を測定する機器である。水位センサ４１は、原水タンク４の内部の下方側に配置されている。また、水位センサ４１は、制御部３０と電気的に接続されている。水位センサ４１で測定された原水タンク４の水位は、制御部３０へ検出信号として送信される。本実施形態においては、水位センサ４１は、連続式レベルセンサであり、例えば、静電容量式センサ、圧力式センサ、超音波式センサ等が用いられる。図１では、水位センサ４１として、原水タンク４の底部に近い外壁面に圧力式センサを設けた例を示す。なお、水位センサ４１は、連続式レベルセンサには制限されず、例えば、レベルスイッチであってもよい。レベルスイッチは、予め設定された液面位置の検出器であり、例えば、複数の液面位置を検出するように構成されている。レベルスイッチとしては、例えば、フロート式や電極式のものが用いられる。

タンク内電気伝導率センサ４２は、原水タンク４に貯留される原水Ｗ１の電気伝導率を測定する機器である。タンク内電気伝導率センサ４２は、原水タンク４の内部の下方側に配置されている。

第１電気伝導率センサ５１は、第２透過水ラインＬ３を流通する第２透過水Ｗ４の電気伝導率を測定する機器である。第１電気伝導率センサ５１は、接続部Ｊ１において、第２透過水ラインＬ３に接続されている。接続部Ｊ１は、第２透過水ラインＬ３における第２ＲＯ膜モジュール１２と第１流路切換弁６２との間に配置されている。第２電気伝導率センサ５５は、脱塩水ラインＬ８を流通する脱塩水Ｗ６の電気伝導率を測定する機器である。第２電気伝導率センサ５５は、接続部Ｊ６において、脱塩水ラインＬ８に接続されている。接続部Ｊ６は、脱塩水ラインＬ８におけるＥＤＩスタック２０と第４ＥＤＩ弁２０４との間に配置されている。

タンク内電気伝導率センサ４２、第１電気伝導率センサ５１及び第２電気伝導率センサ５５は、制御部３０と電気的に接続されている。タンク内電気伝導率センサ４２で測定された原水Ｗ１の電気伝導率、第１電気伝導率センサ５１で測定された第２透過水Ｗ４の電気伝導率及び第２電気伝導率センサ５５で測定された脱塩水Ｗ６の電気伝導率は、制御部３０へ検出信号として送信される。

タンク内温度センサ４３は、原水タンク４に貯留された供給水としての原水Ｗ１の温度を測定する機器である。タンク内温度センサ４３は、原水タンク４の下方側に配置されている。タンク内温度センサ４３は、制御部３０と電気的に接続されている。タンク内温度センサ４３で測定された原水Ｗ１の温度は、制御部３０へ検出信号として送信される。

第１流量センサ５３は、第２透過水ラインＬ３を流通する第２透過水Ｗ４の流量を測定する機器である。第１流量センサ５３は、接続部Ｊ３において、第２透過水ラインＬ３に接続されている。接続部Ｊ３は、第２透過水ラインＬ３における第２ＲＯ膜モジュール１２と第１流路切換弁６２との間に配置されている。第２流量センサ５４は、脱塩水ラインＬ８を流通する脱塩水Ｗ６の流量を測定する機器である。第２流量センサ５４は、脱塩水ラインＬ８を流通する脱塩水Ｗ６の流量を測定することにより、脱塩室２１を流通する水の流量を測定する。第２流量センサ５４は、接続部Ｊ５において、脱塩水ラインＬ８に接続されている。接続部Ｊ５は、脱塩水ラインＬ８におけるＥＤＩスタック２０と第４ＥＤＩ弁２０４との間に配置されている。

第３流量センサ５６は、濃縮室流入ラインＬ３２２を流通する第２透過水Ｗ４の流量を測定する機器である。第３流量センサ５６は、濃縮室流入ラインＬ３２２を流通する第２透過水Ｗ４の流量を測定することにより、濃縮室２２を流通する水の流量を測定する。第３流量センサ５６は、接続部Ｊ７において、濃縮室流入ラインＬ３２２に接続されている。接続部Ｊ７は、濃縮室流入ラインＬ３２２におけるＥＤＩスタック２０と第２ＥＤＩ弁２０２との間に配置されている。第４流量センサ５７は、電極室流入ラインＬ３２３を流通する第２透過水Ｗ４の流量を測定する機器である。第４流量センサ５７は、電極室流入ラインＬ３２３を流通する第２透過水Ｗ４の流量を測定することにより、電極室２３を流通する水の流量を測定する。第４流量センサ５７は、接続部Ｊ８において、電極室流入ラインＬ３２３に接続されている。接続部Ｊ８は、電極室流入ラインＬ３２３におけるＥＤＩスタック２０の電極室２３と第３ＥＤＩ弁２０３との間に配置されている。

第１濃縮水流量センサ５９１は、下流側第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５２を流通する第１濃縮水Ｗ３の流量を測定する機器である。第１濃縮水流量センサ５９１は、接続部Ｊ２２において、下流側第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５２に接続されている。接続部Ｊ２２は、下流側第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５２における第２ＲＯ弁１０２と、原水タンク４との間に配置されている。第２濃縮水流量センサ５９２は、第１ＲＯ濃縮水排出ラインＬ４１を流通する第１濃縮水Ｗ３の流量を測定する機器である。第２濃縮水流量センサ５９２は、接続部Ｊ２３において、第１ＲＯ濃縮水排出ラインＬ４１に接続されている。接続部Ｊ２３は、第１ＲＯ濃縮水排出ラインＬ４１における第３ＲＯ弁１０３と、接続部Ｊ１２との間に配置されている。第３濃縮水流量センサ５９３は、第２ＲＯ濃縮水リターンラインＬ６を流通する第２濃縮水Ｗ５の流量を測定する機器である。第３濃縮水流量センサ５９３は、接続部Ｊ２４において、第２ＲＯ濃縮水リターンラインＬ６に接続されている。接続部Ｊ２４は、第２ＲＯ濃縮水リターンラインＬ６における第４ＲＯ弁１０４と、第２ＲＯ膜モジュール１２との間に配置されている。

第１流量センサ５３、第２流量センサ５４、第３流量センサ５６、第４流量センサ５７、第１濃縮水流量センサ５９１、第２濃縮水流量センサ５９２、及び第３濃縮水流量センサ５９３は、制御部３０と電気的に接続されている。第１流量センサ５３で測定された第２透過水Ｗ４の流量、第２流量センサ５４で測定された脱塩水Ｗ６の流量、第３流量センサ５６で測定された第２透過水Ｗ４の流量、第４流量センサ５７で測定された第２透過水Ｗ４の流量、第１濃縮水流量センサ５９１で測定された第１濃縮水Ｗ３の返送流量、第２濃縮水流量センサ５９２で測定された第１濃縮水Ｗ３の排出流量、及び第３濃縮水流量センサ５９３で測定された第２濃縮水Ｗ５の返送流量は、制御部３０へ検出信号として送信される。

圧力センサ５２は、第２透過水ラインＬ３を流通する第２透過水Ｗ４の圧力を測定する機器である。圧力センサ５２は、接続部Ｊ２において、第２透過水ラインＬ３に接続されている。圧力センサ５２は、制御部３０と電気的に接続されている。接続部Ｊ２は、第２ＲＯ膜モジュール１２と第１流路切換弁６２との間に配置されている。圧力センサ５２で測定された第２透過水Ｗ４の圧力は、制御部３０へ検出信号として送信される。

第１原水圧力センサ５８１は、第１原水ラインＬ１１を流通する原水Ｗ１の圧力を測定する機器である。第１原水圧力センサ５８１は、接続部Ｊ２１において、第１原水ラインＬ１１に接続されている。第１原水圧力センサ５８１は、制御部３０と電気的に接続されている。接続部Ｊ２１は、原水補給弁６１と活性炭濾過器２との間に配置されている。第１原水圧力センサ５８１で測定された原水Ｗ１の圧力は、制御部３０へ検出信号として送信される。

濃縮水圧力センサ５８２は、上流側第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５１を流通する第１濃縮水Ｗ３の圧力を測定する機器である。濃縮水圧力センサ５８２は、接続部Ｊ２５において、上流側第１ＲＯ濃縮水リターンラインＬ５１に接続されている。濃縮水圧力センサ５８２は、制御部３０と電気的に接続されている。接続部Ｊ２５は、第１ＲＯ膜モジュール１１と分岐部Ｊ１１との間に配置されている。濃縮水圧力センサ５８２で測定された第１濃縮水Ｗ３の圧力は、制御部３０へ検出信号として送信される。

第２原水圧力センサ５８３は、第２原水ラインＬ１２を流通する原水Ｗ１の圧力を測定する機器である。接続部Ｊ２７において、第２原水ラインＬ１２に接続されている。第２原水圧力センサ５８３は、制御部３０と電気的に接続されている。接続部Ｊ２７は、第１ＲＯ弁１０１と第１ＲＯ膜モジュール１１との間に配置されている。第２原水圧力センサ５８３で測定された原水Ｗ１の圧力は、制御部３０へ検出信号として送信される。

報知部３１は、所定の警報を報知する。報知部３１は、制御部３０に電気的に接続されている。報知は、例えば、表示、音声、発光などのうちの一つ以上である。つまり、報知部３１は、表示器（液晶ディスプレイ等）、ブザーやスピーカー、ランプなどのうちの一つ以上から構成される。

入力操作部３２は、装置の運転モードに係る選択（例えば、運転／停止の選択、警報の解除など）や、装置の運転条件に係る各種設定について、ユーザーや管理者の入力操作を受け付ける入力インターフェースである。この入力操作部３２は、ディスプレイとボタンスイッチを組み合わせた操作パネルや、ディスプレイ上で直接操作するタッチパネル等により構成される。入力操作部３２は、制御部３０と電気的に接続されている。入力操作部３２から入力された情報は、制御部３０に送信される。

制御部３０は、ＣＰＵ及びメモリを含むマイクロプロセッサ（不図示）により構成される。制御部３０において、マイクロプロセッサのメモリには、純水製造装置１を制御するための各種プログラムが記憶される。また、マイクロプロセッサのメモリには、例えば、第２透過水Ｗ４及び脱塩水Ｗ６の電気伝導率の閾値や、ＥＤＩスタック２０から排出される脱塩水Ｗ６、濃縮水Ｗ７及び電極水Ｗ８の流量の閾値に関するデータ等が記憶される。

制御部３０において、マイクロプロセッサのＣＰＵは、メモリから読み出した所定のプログラムに従って、タッチパネルにおける表示等の各種の制御を実行する。また、制御部３０において、マイクロプロセッサには、時間の計時等を管理するインテグレーテッドタイマユニットが組み込まれている。

次に、本実施形態に係る純水製造装置１の運転時の流量設定について説明する。先ず、最前段に位置する逆浸透膜モジュール、即ち第１ＲＯ膜モジュール１１について、当該第１ＲＯ膜モジュール１１により分離された第１透過水Ｗ２の流量に対する第１濃縮水Ｗ３の流量の比率を、第１ＲＯ膜モジュール１１における循環比Ｒ１と定義する。また、最後段に位置する逆浸透膜モジュール、即ち第２ＲＯ膜モジュール１２について、当該第２ＲＯ膜モジュール１２により分離された第２透過水Ｗ４の流量に対する第２濃縮水Ｗ５の流量の比率を、第２ＲＯ膜モジュール１２における循環比Ｒ２と定義する。

なお、最前段に位置する逆浸透膜モジュールは、複数のモジュールで構成されていてもよい。即ち、モジュールの一次側（原水Ｗ１及び第１濃縮水Ｗ３の流通側）が直列接続され、且つモジュールの二次側（第１透過水Ｗ２の流通側）が並列接続された複数のモジュールから構成されていてもよい。この場合、一次側膜表面での流速が最も低くなる最下流のモジュールから流出する第１透過水Ｗ２と第１濃縮水Ｗ３の各流量を用いて、最前段に位置する逆浸透膜モジュールの循環比Ｒ１を定義する。

同様に、最後段に位置する逆浸透膜モジュールも、複数のモジュールで構成されていてもよい。即ち、モジュールの一次側（第１透過水及び第２濃縮水の流通側）が直列接続され、且つモジュールの二次側（第２透過水Ｗ４の流通側）が並列接続された複数のモジュールから構成されていてもよい。この場合、一次側膜表面での流速が最も低くなる最下流のモジュールから流出する第２透過水Ｗ４と第２濃縮水Ｗ５の各流量を用いて、最後段に位置する逆浸透膜モジュールの循環比Ｒ２を定義する。

続いて、循環比Ｒ１に対する循環比Ｒ２の比率Ｒ２／Ｒ１が０．０８≦Ｒ２／Ｒ１≦０．１２の範囲となるように、原水Ｗ１（供給水）の流量、第１透過水Ｗ２の流量、第１濃縮水Ｗ３の流量、第２透過水Ｗ４の流量、及び第２濃縮水Ｗ５の流量が設定される。具体的には、第１流量センサ５３、第１濃縮水流量センサ５９１、第２濃縮水流量センサ５９２、及び第３濃縮水流量センサ５９３による流量の検出に基づいて、第１ＲＯ弁１０１、第２ＲＯ弁１０２、第３ＲＯ弁１０３、及び第４ＲＯ弁１０４が調整されると共に、加圧ポンプ５の回転速度が調整されることにより、各流量が設定される。

例えば、この設定により、第１ＲＯ膜モジュール１１に吐出される原水Ｗ１の流量が６．４ｍ^３／ｈとされる。また、第１ＲＯ膜モジュール１１により分離されて、第２ＲＯ膜モジュール１２に流通される第１透過水Ｗ２の流量が２．０ｍ^３／ｈとされる。更に、第１ＲＯ膜モジュール１１により分離された第１濃縮水Ｗ３の流量が４．４ｍ^３／ｈとされる。この設定例では、第１ＲＯ膜モジュール１１における循環比Ｒ１は、４．４／２．０＝２．２である。

一方、第２ＲＯ膜モジュール１２により分離されて、ＥＤＩスタック２０に流通される第２透過水Ｗ４の流量が１．６ｍ^３／ｈとされる。また、第２ＲＯ膜モジュール１２により分離された第２濃縮水Ｗ５の流量が０．４ｍ^３／ｈとされる。この設定例では、第２ＲＯ膜モジュール１２における循環比Ｒ２は、０．４／１．６＝０．２５である。従って、比率Ｒ２／Ｒ１の値は、０．２５／２．２＝０．１１となる。

上述した本実施形態に係る純水製造装置１によれば、例えば、以下のような効果が奏される。純水製造装置１では、複数の逆浸透膜モジュールの最前段に位置する第１ＲＯ膜モジュール１１により分離された第１透過水Ｗ２の流量に対する第１濃縮水Ｗ３の流量の比率を、第１ＲＯ膜モジュール１１における循環比Ｒ１と定義する。また、複数の逆浸透膜モジュールの最後段に位置する第２ＲＯ膜モジュール１２により分離された第２透過水Ｗ４の流量に対する第２濃縮水Ｗ５の流量の比率を、第２ＲＯ膜モジュール１２における循環比Ｒ２と定義する。そして、比率Ｒ２／Ｒ１が０．０８≦Ｒ２／Ｒ１≦０．１２の範囲となるように、原水Ｗ１（供給水）の流量、第１透過水Ｗ２の流量、第１濃縮水Ｗ３の流量、第２透過水Ｗ４の流量、及び第２濃縮水Ｗ５の流量が設定される。このため、最後段の循環比Ｒ２を、最前段の循環比Ｒ１の８〜１２％に抑制しながら加圧ポンプ５を駆動させることにより、２つの循環比Ｒ１、Ｒ２を同水準に維持する場合に比べて、加圧ポンプ５の駆動電力を抑制することができる。この結果、加圧ポンプ５駆動時の省エネを図ることができる。

また、純水製造装置１は、第１ＲＯ膜モジュール１１及び第２ＲＯ膜モジュール１２よりなる複数の逆浸透膜モジュールからの第２透過水Ｗ４を脱塩処理して脱塩水Ｗ６を得るＥＤＩスタック２０を備える。このため、加圧ポンプ５駆動時の省エネを図りつつ、より高純度の純水を製造することができる。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明した。しかし、本発明は、上述した実施形態に限定されることなく、種々の形態で実施することができる。例えば、原水Ｗ１（供給水）の流量、第１透過水Ｗ２の流量、第１濃縮水Ｗ３の流量、第２透過水Ｗ４の流量、及び第２濃縮水Ｗ５の流量の値は、上述の実施形態における流量の値に限定されない。即ち、循環比Ｒ１に対する循環比Ｒ２の比率Ｒ２／Ｒ１が０．０８≦Ｒ２／Ｒ１≦０．１２の範囲となるように、各流量が設定されればよい。

また、実施形態においては、原水Ｗ１（供給水）、第１透過水Ｗ２の流量、第１濃縮水Ｗ３の流量、第２透過水Ｗ４の流量、及び第２濃縮水Ｗ５の流量を同時に設定する場合について説明したが、これに限定されない。即ち、これら５つの流量全てが設定されなくてもよく、原水Ｗ１（供給水）、第１透過水Ｗ２の流量、第１濃縮水Ｗ３の流量、第２透過水Ｗ４の流量、及び第２濃縮水Ｗ５の流量のうちの少なくとも一つが設定されればよい。

また、純水製造装置１はＥＤＩスタック２０を備えていたが、これに限定されない。純水製造装置１は、ＥＤＩスタック２０を備えていなくてもよい。

また、実施形態においては、純水製造装置１は、前段の透過水が後段の供給水となるように、第１ＲＯ膜モジュール１１及び第２ＲＯ膜モジュール１２が直列に２段で配置された構成とされたが、これに制限されない。例えば、純水製造装置１は、逆浸透膜モジュールが直列に３段以上接続された構成とされてもよい。

１ 純水製造装置
５ 加圧ポンプ
１１ 第１ＲＯ膜モジュール（逆浸透膜モジュール）
１２ 第２ＲＯ膜モジュール（逆浸透膜モジュール）
２０ ＥＤＩスタック（電気脱イオンスタック）
Ｗ１ 原水（供給水）
Ｗ２ 第１透過水
Ｗ３ 第１濃縮水
Ｗ４ 第２透過水
Ｗ５ 第２濃縮水
Ｗ６ 脱塩水

Claims (2)

1. スパイラル型エレメントを有し、クロスフロー方式による分離操作により供給水を透過水と濃縮水とに分離する複数の逆浸透膜モジュールであって、一の逆浸透膜モジュールにより分離された透過水を他の逆浸透膜モジュールにより透過水と濃縮水とに分離可能に直列に接続された複数の逆浸透膜モジュールと、
   直列に接続された前記複数の逆浸透膜モジュールの最前段の前記逆浸透膜モジュールに向けて供給水を吐出する加圧ポンプと、を備え、
   前記加圧ポンプは、前記複数の逆浸透膜モジュールの間には配置されず、前記複数の逆浸透膜モジュールの上流側に配置され、
   前記逆浸透膜モジュールにより分離された透過水の流量に対する濃縮水の流量の比率を前記逆浸透膜モジュールにおける循環比としたときに、最前段に位置する前記逆浸透膜モジュールにおける循環比Ｒ１に対する、最後段に位置する前記逆浸透膜モジュールにおける循環比Ｒ２の比率Ｒ２／Ｒ１が、０．０８≦Ｒ２／Ｒ１≦０．１２の範囲となるように、供給水の流量、透過水の流量、及び濃縮水の流量のうちの少なくとも一つが設定される純水製造装置。
2. 前記複数の逆浸透膜モジュールからの透過水を脱塩処理して脱塩水を得る電気脱イオンスタックを備える請求項１に記載の純水製造装置。

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