JP6074077B2 - 半導体装置 - Google Patents

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Description

本発明は、表示装置に関する。
部分的に画像を書き換えることにより、消費電力を削減することができる表示装置が開
発されている。このような表示装置は、部分的に画像を書き換えるために、一部の走査線
のみを駆動すること(部分駆動ともいう)が可能な走査線駆動回路を有する。
特許文献1では、部分駆動を実現することができる走査線駆動回路(ゲート駆動部)が
開示されている。具体的には、特許文献1で開示される走査線駆動回路(ゲート駆動部)
は、複数の群に分割されている。そして、分割された各群は、それぞれ異なるスタートパ
ルス(走査開始信号)によって動作が制御される。すなわち、特許文献1で開示される走
査線駆動回路(ゲート駆動部)は、各群に入力されるスタートパルス(走査開始信号)を
制御することで部分駆動を実現している。
特開2007−004176号公報
しかしながら、特許文献1で開示される表示装置では、どの領域に対して画像の書き換
えを行うかは、あらかじめ分割される群毎に選択することしかできない。すなわち、任意
の走査線(例えば、走査線毎)に対して画像の書き換えを選択することはできない。また
、特許文献1で開示される表示装置では、走査線駆動回路の駆動に必要な信号数が、当該
走査線駆動回路が分割される群の数に応じて増加する。すなわち、当該走査線駆動回路を
構成する配線数が、当該群の数に応じて増加することになる。また、走査線駆動回路が画
素部と同じ基板に形成される場合、当該群の数に応じて画素部が形成される基板と外部回
路との接続点数が増加することになる。
上述した課題に鑑み、本発明の一形態は、任意の領域のみに対して画像の書き換えが可
能な表示装置を提供することを課題の一とする。また、本発明の一態様は、部分駆動が可
能な表示装置において、配線を含めた回路の構成を簡略化することを課題の一とする。な
お、本発明の一態様は、上記課題の少なくとも一を課題とする。
上述した課題は、走査線駆動回路が複数の走査線のそれぞれに対して選択的に選択信号
を供給することで解決することできる。例えば、走査線駆動回路が複数のパルス出力回路
によって構成されるシフトレジスタを有する場合、当該パルス出力回路がクロック信号を
用いて後段のパルス出力回路に対して選択信号をシフトすると共に、当該クロック信号及
び固定電位を選択的に用いて走査線に対して信号を供給する構成とすることで複数の走査
線に対して選択的に選択信号を供給することが可能である。すなわち、走査線に対する信
号が、クロック信号を用いる場合は選択信号となり、固定電位である場合は非選択信号と
なるように設計することで、走査線に対する選択信号の供給を制御することが可能である
具体的には、本発明の一態様は、m行n列に配設された複数の画素と、前記複数の画素
のうち1行目に配設されたn個の画素に電気的に接続された第1の走査線、乃至、前記複
数の画素のうちm行目に配設されたn個の画素に電気的に接続された第mの走査線と、前
記第1の走査線に電気的に接続された第1のパルス出力回路、乃至、前記第mの走査線に
電気的に接続された第mのパルス出力回路と、を有し、前記第kのパルス出力回路(kは
、2以上m未満の自然数)は、ソース及びドレインの一方がクロック信号を供給する配線
に電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が前記第k+1のパルス出力回路に電気
的に接続された第1のトランジスタと、ソース及びドレインの一方が前記クロック信号又
は固定電位を供給する配線に電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が前記第kの
走査線に電気的に接続された第2のトランジスタと、前記第k−1のパルス出力回路から
入力される信号に応じて、前記第1のトランジスタのゲートの電位及び前記第2のトラン
ジスタのゲートの電位を制御する制御回路と、を有する表示装置である。
なお、本明細書等において、明示的に単数として記載されているものについては、単数
であることが望ましい。ただし、これに限定されず、複数であることも可能である。同様
に、明示的に複数として記載されているものについては、複数であることが望ましい。た
だし、これに限定されず、単数であることも可能である。
本明細書等において、第1、第2、第3などの語句は、様々な要素、部材、領域、層、
区域を他のものと区別して記述するために用いられる。よって、第1、第2、第3などの
語句は、要素、部材、領域、層、区域などの数を限定するものではない。さらに、例えば
、「第1の」を「第2の」又は「第3の」などと置き換えることが可能である。
本発明の一形態の表示装置は、走査線駆動回路が有するシフトレジスタにおける選択信
号のシフトと、走査線に対する選択信号の供給とを独立に制御することが可能である。そ
のため、複数の走査線のそれぞれに対して選択的に選択信号を供給することが可能である
。すなわち、本発明の一態様の表示装置は、任意の領域のみに対して画像の書き換えを行
うことが可能である。
また、本発明の一態様の表示装置は、上記の動作を、クロック信号又は固定電位を示す
信号を供給する配線を設けることによって実現することが可能である。そのため、本発明
の一態様の表示装置は、部分駆動が可能な表示装置でありながら、配線を含めた回路の構
成を簡略化することが可能である。
(A)表示装置の一例を示す図、(B)画素の一例を示す回路図。 (A)走査線駆動回路の構成例を示す図、(B)走査線駆動回路の動作例を示すタイミングチャート、(C)パルス出力回路の構成例を示す図。 (A)パルス出力回路の一例を示す回路図、(B)、(C)パルス出力回路の動作の一例を示すタイミングチャート。 コントローラの構成例を示す図。 トランジスタの一例を示す断面図。 トランジスタの特性を示す図。 トランジスタの特性評価用素子の回路図。 トランジスタの特性評価用素子のタイミングチャート。 トランジスタの特性を示す図。 トランジスタの特性を示す図。 トランジスタの特性を示す図。 (A)、(B)パルス出力回路の一例を示す回路図。 (A)、(B)パルス出力回路の一例を示す回路図。 (A)、(B)パルス出力回路の一例を示す回路図。 (A)〜(C)トランジスタの一例を示す断面図。 (A)〜(F)電子機器の一例を示す図。
以下では、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明
は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形態
および詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。したがって、
本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
(表示装置の一例について)
以下では、本発明の一態様の表示装置について図1〜図16を参照して説明する。
図1(A)は、表示装置の構成例を示す図である。図1(A)に示す表示装置は、画素
部10と、走査線駆動回路11と、信号線駆動回路12と、コントローラ13と、各々が
平行又は略平行に配列され、且つ走査線駆動回路11によって電位が制御されるm本(m
は、2以上の自然数)の走査線14と、各々が平行又は略平行に配設され、且つ信号線駆
動回路12によって電位が制御されるn本(nは、2以上の自然数)の信号線15と、を
有する。さらに、画素部10は、マトリクス状(m行n列)に配設された複数の画素16
を有する。なお、各走査線14は、マトリクス状に配設された複数の画素16のうち、い
ずれかの行に配設された複数の画素16に電気的に接続され、各信号線15は、マトリク
ス状に配設された複数の画素16のうち、いずれかの列に配設された複数の画素16に電
気的に接続される。また、走査線駆動回路11には、コントローラ13から走査線駆動回
路用スタート信号(GSP)、走査線駆動回路用クロック信号(GCK)、走査線駆動回
路用部分クロック信号(PGCK)などの信号、及び高電源電位(Vdd)、低電源電位
(Vss)などの駆動用電源が入力される。また、信号線駆動回路12には、コントロー
ラ13から信号線駆動回路用スタート信号(SP)、信号線駆動回路用クロック信号(S
CK)、データ信号(DATA)などの信号、及び高電源電位(Vdd)、低電源電位(
Vss)などの駆動用電源が入力される。
図1(B)は、図1(A)に示す表示装置が有する画素16の回路図の一例を示す図で
ある。図1(B)に示す画素16は、ゲートが走査線14に電気的に接続され、ソース及
びドレインの一方が信号線15に電気的に接続されたトランジスタ17と、一方の電極が
トランジスタ17のソース及びドレインの他方に電気的に接続され、他方の電極が容量電
位を供給する配線(容量線ともいう)に電気的に接続された容量素子18と、一方の電極
(画素電極ともいう)がトランジスタ17のソース及びドレインの他方及び容量素子18
の一方の電極に電気的に接続され、他方の電極(対向電極ともいう)が対向電位を供給す
る配線に電気的に接続された液晶素子19と、を有する。なお、トランジスタ17は、n
チャネル型のトランジスタである。また、容量電位と対向電位を同一の電位とすることが
可能である。
(走査線駆動回路11の構成例)
図2(A)は、図1(A)に示す表示装置が有する走査線駆動回路11の構成例を示す
図である。図2(A)に示す走査線駆動回路11は、第1の走査線駆動回路用クロック信
号(GCK1)を供給する配線乃至第4の走査線駆動回路用クロック信号(GCK4)を
供給する配線と、第1の走査線駆動回路用部分クロック信号(PGCK1)を供給する配
線乃至第4の走査線駆動回路用部分クロック信号(PGCK4)を供給する配線と、1行
目に配設された走査線14に電気的に接続された第1のパルス出力回路20_1、乃至、
m行目に配設された走査線14に電気的に接続された第mのパルス出力回路20_mと、
を有する。
図2(B)は、上記信号の具体的な波形の一例を示す図である。図2(B)に示す第1
の走査線駆動回路用クロック信号(GCK1)は、周期的にハイレベルの電位(図2(B
)では、高電源電位(Vdd)と等電位)とロウレベルの電位(図2(B)では、低電源
電位(Vss)と等電位)を繰り返す、デューティー比が1/2の信号である。また、第
2の走査線駆動回路用クロック信号(GCK2)は、第1の走査線駆動回路用クロック信
号(GCK1)から1/4周期分位相がずれた信号である。また、第3の走査線駆動回路
用クロック信号(GCK3)は、第1の走査線駆動回路用クロック信号(GCK1)から
1/2周期位相がずれた信号である(すなわち、第1の走査線駆動回路用クロック信号(
GCK1)の反転信号である)。また、第4の走査線駆動回路用クロック信号(GCK4
)は、第1の走査線駆動回路用クロック信号(GCK1)から3/4周期位相がずれた信
号である(すなわち、第2の走査線駆動回路用クロック信号(GCK2)の反転信号であ
る)。第1の走査線駆動回路用部分クロック信号(PGCK1)は、第1の走査線駆動回
路用クロック信号(GCK1)及び固定電位(図2(B)では、低電源電位(Vss)と
等電位)のいずれかを選択的に示す信号である。なお、第1の走査線駆動回路用部分クロ
ック信号(PGCK1)がいずれの信号(GCK1又は固定電位)を示すかは、コントロ
ーラ13によって制御される。同様に、第2の走査線駆動回路用部分クロック信号(PG
CK2)は、第2の走査線駆動回路用クロック信号(GCK2)及び固定電位のいずれか
を選択的に示す信号であり、第3の走査線駆動回路用部分クロック信号(PGCK3)は
、第3の走査線駆動回路用クロック信号(GCK3)及び固定電位のいずれかを選択的に
示す信号であり、第4の走査線駆動回路用部分クロック信号(PGCK4)は、第4の走
査線駆動回路用クロック信号(GCK4)及び固定電位のいずれかを選択的に示す信号で
ある。
上述した表示装置においては、第1のパルス出力回路20_1乃至第mのパルス出力回
路20_mは、同一の構成を有する回路を適用することができる。ただし、パルス出力回
路が有する複数の端子の電気的な接続関係は、パルス出力回路毎に異なる。具体的な接続
関係について図2(A)、(C)を参照して説明する。
第1のパルス出力回路20_1乃至第mのパルス出力回路20_mのそれぞれは、端子
21〜端子28を有する。なお、端子21〜端子25及び端子27は入力端子であり、端
子26及び端子28は出力端子である。
まず、端子21について述べる。第1のパルス出力回路20_1の端子21は、走査線
駆動回路用スタート信号(GSP)を供給する配線に電気的に接続され、第2のパルス出
力回路20_2〜第mのパルス出力回路20_mの端子21は、前段のパルス出力回路の
端子28に電気的に接続される。
次いで、端子22について述べる。第4a+1のパルス出力回路(a=0、1、2・・
(m−4)/4)の端子22は、第1の走査線駆動回路用クロック信号(GCK1)を供
給する配線に電気的に接続され、第4a+2のパルス出力回路の端子22は、第2の走査
線駆動回路用クロック信号(GCK2)を供給する配線に電気的に接続され、第4a+3
のパルス出力回路の端子22は、第3の走査線駆動回路用クロック信号(GCK3)を供
給する配線に電気的に接続され、第4a+4のパルス出力回路の端子22は、第4の走査
線駆動回路用クロック信号(GCK4)を供給する配線に電気的に接続される。
次いで、端子23について述べる。第4a+1のパルス出力回路の端子23は、第2の
走査線駆動回路用クロック信号(GCK2)を供給する配線に電気的に接続され、第4a
+2のパルス出力回路の端子23は、第3の走査線駆動回路用クロック信号(GCK3)
を供給する配線に電気的に接続され、第4a+3のパルス出力回路の端子23は、第4の
走査線駆動回路用クロック信号(GCK4)を供給する配線に電気的に接続され、第4a
+4のパルス出力回路の端子23は、第1の走査線駆動回路用クロック信号(GCK1)
を供給する配線に電気的に接続される。
次いで、端子24について述べる。第4a+1のパルス出力回路の端子24は、第3の
走査線駆動回路用クロック信号(GCK3)を供給する配線に電気的に接続され、第4a
+2のパルス出力回路の端子24は、第4の走査線駆動回路用クロック信号(GCK4)
を供給する配線に電気的に接続され、第4a+3のパルス出力回路の端子24は、第1の
走査線駆動回路用クロック信号(GCK1)を供給する配線に電気的に接続され、第4a
+4のパルス出力回路の端子24は、第2の走査線駆動回路用クロック信号(GCK2)
を供給する配線に電気的に接続される。
次いで、端子25について述べる。第4a+1のパルス出力回路の端子25は、第1の
走査線駆動回路用部分クロック信号(PGCK1)を供給する配線に電気的に接続され、
第4a+2のパルス出力回路の端子25は、第2の走査線駆動回路用部分クロック信号(
PGCK2)を供給する配線に電気的に接続され、第4a+3のパルス出力回路の端子2
5は、第3の走査線駆動回路用部分クロック信号(PGCK3)を供給する配線に電気的
に接続され、第4a+4のパルス出力回路の端子25は、第4の走査線駆動回路用部分ク
ロック信号(PGCK4)を供給する配線に電気的に接続される。
次いで、端子26について述べる。第xのパルス出力回路(xは、1以上m以下の自然
数)の端子26は、x行目に配設された走査線14に電気的に接続される。
次いで、端子27について述べる。第bのパルス出力回路(bは、1以上m−2以下の
自然数)の端子27は、第b+2のパルス出力回路の端子28に電気的に接続され、第m
−1のパルス出力回路の端子27は、第1の走査線駆動回路用ストップ信号(GSTP1
)を供給する配線に電気的に接続され、第mのパルス出力回路の端子27は、第2の走査
線駆動回路用ストップ信号(GSTP2)を供給する配線に電気的に接続される。なお、
第1の走査線駆動回路用ストップ信号(GSTP1)は、仮に第m+1のパルス出力回路
が設けられていれば、当該第m+1のパルス出力回路の端子28から出力される信号に相
当する信号である。同様に、第2の走査線駆動回路用ストップ信号(GSTP2)は、仮
に第m+2のパルス出力回路が設けられていれば、当該第m+2のパルス出力回路の端子
28から出力される信号に相当する信号である。具体的には、これらの信号は、実際にダ
ミー回路として第m+1のパルス出力回路及び第m+2のパルス出力回路を設けること、
又はコントローラ13が当該信号を直接出力することなどによって走査線駆動回路11に
供給することができる。
各パルス出力回路の端子28の接続関係は既出である。そのため、ここでは前述の説明
を援用することとする。
(パルス出力回路の構成例)
図3(A)は、図2(A)、(C)に示すパルス出力回路の構成例を示す図である。図
3(A)に示すパルス出力回路は、トランジスタ31乃至トランジスタ41を有する。
トランジスタ31は、ソース及びドレインの一方が高電源電位(Vdd)を供給する配
線(以下、高電源電位線ともいう)に電気的に接続され、ゲートが端子21に電気的に接
続される。
トランジスタ32は、ソース及びドレインの一方が低電源電位(Vss)を供給する配
線(以下、低電源電位線ともいう)に電気的に接続され、ソース及びドレインの他方がト
ランジスタ31のソース及びドレインの他方に電気的に接続される。
トランジスタ33は、ソース及びドレインの一方が端子22に電気的に接続され、ソー
ス及びドレインの他方が端子28に電気的に接続される。
トランジスタ34は、ソース及びドレインの一方が低電源電位線に電気的に接続され、
ソース及びドレインの他方が端子28に電気的に接続され、ゲートがトランジスタ32の
ゲートに電気的に接続される。
トランジスタ35は、ソース及びドレインの一方が低電源電位線に電気的に接続され、
ソース及びドレインの他方がトランジスタ32のゲート及びトランジスタ34のゲートに
電気的に接続され、ゲートが端子21に電気的に接続される。
トランジスタ36は、ソース及びドレインの一方が高電源電位線に電気的に接続され、
ソース及びドレインの他方がトランジスタ32のゲート、トランジスタ34のゲート、並
びにトランジスタ35のソース及びドレインの他方に電気的に接続され、ゲートが端子2
7に電気的に接続される。なお、トランジスタ36のソース及びドレインの一方が、低電
源電位(Vss)よりも高電位であり且つ高電源電位(Vdd)よりも低電位である電源
電位(Vcc)を供給する配線に電気的に接続される構成とすることもできる。
トランジスタ37は、ソース及びドレインの一方が高電源電位線に電気的に接続され、
ゲートが端子24に電気的に接続される。なお、トランジスタ37のソース及びドレイン
の一方が、電源電位(Vcc)を供給する配線に電気的に接続される構成とすることもで
きる。
トランジスタ38は、ソース及びドレインの一方がトランジスタ32のゲート、トラン
ジスタ34のゲート、トランジスタ35のソース及びドレインの他方、並びにトランジス
タ36のソース及びドレインの他方に電気的に接続され、ソース及びドレインの他方がト
ランジスタ37のソース及びドレインの他方に電気的に接続され、ゲートが端子23に電
気的に接続される。
トランジスタ39は、ソース及びドレインの一方がトランジスタ31のソース及びドレ
インの他方並びにトランジスタ32のソース及びドレインの他方に電気的に接続され、ソ
ース及びドレインの他方がトランジスタ33のゲートに電気的に接続され、ゲートが高電
源電位線に電気的に接続される。
トランジスタ40は、ソース及びドレインの一方が端子25に電気的に接続され、ソー
ス及びドレインの他方が端子26に電気的に接続され、ゲートがトランジスタ33のゲー
ト並びにトランジスタ39のソース及びドレインの他方に電気的に接続される。
トランジスタ41は、ソース及びドレインの一方が低電源電位線に電気的に接続され、
ソース及びドレインの他方が端子26に電気的に接続され、ゲートがトランジスタ32の
ゲート、トランジスタ34のゲート、トランジスタ35のソース及びドレインの他方、ト
ランジスタ36のソース及びドレインの他方、並びにトランジスタ38のソース及びドレ
インの一方に電気的に接続される。
なお、以下においては、トランジスタ33のゲート、トランジスタ39のソース及びド
レインの他方、並びにトランジスタ40のゲートが電気的に接続するノードをノードAと
し、トランジスタ32のゲート、トランジスタ34のゲート、トランジスタ35のソース
及びドレインの他方、トランジスタ36のソース及びドレインの他方、トランジスタ38
のソース及びドレインの一方、並びにトランジスタ41のゲートが電気的に接続するノー
ドをノードBとして説明する。
(パルス出力回路の動作例)
上述したパルス出力回路の動作例について図3(B)、(C)を参照して説明する。な
お、図3(B)は、当該パルス出力回路の端子25に入力される、第1の走査線駆動回路
用部分クロック信号(PGCK1)〜第4の走査線駆動回路用部分クロック信号(PGC
K4)のいずれか一が、第1の走査線駆動回路用クロック信号(GCK1)〜第4の走査
線駆動回路用クロック信号(GCK4)のいずれか一となる場合におけるパルス出力回路
の各端子に入力される信号の電位、並びにノードA及びノードBの電位を示しており、図
3(C)は、当該パルス出力回路の端子25に入力される、第1の走査線駆動回路用部分
クロック信号(PGCK1)〜第4の走査線駆動回路用部分クロック信号(PGCK4)
のいずれか一が、固定電位(低電源電位Vss)となる場合におけるパルス出力回路の各
端子に入力される信号の電位、並びにノードA及びノードBの電位を示している。加えて
、図3(B)、(C)では、それぞれの条件下において第1のパルス出力回路20_1の
各端子に入力される信号並びに第1のパルス出力回路20_1の端子26から出力される
信号(Gout1)及び端子28から出力される信号(SRout1)を括弧書きで付記
している。また、第2のパルス出力回路20_2の端子26の出力信号(Gout2)及
び端子28の出力信号(SRout2)、並びに第3のパルス出力回路20_3の端子2
6の出力信号(Gout3)及び端子28の出力信号(SRout3=第1のパルス出力
回路20_1の端子27の入力信号)も付記している。なお、図中において、Goutは
、パルス出力回路の走査線に対する出力信号を表し、SRoutは、当該パルス出力回路
の、後段のパルス出力回路に対する出力信号を表している。
まず、図3(B)を参照して、当該パルス出力回路の端子25に入力される、第1の走
査線駆動回路用部分クロック信号(PGCK1)〜第4の走査線駆動回路用部分クロック
信号(PGCK4)のいずれか一が、第1の走査線駆動回路用クロック信号(GCK1)
〜第4の走査線駆動回路用クロック信号(GCK4)のいずれか一となる場合について説
明する。
期間t1において、パルス出力回路の端子21に高電源電位(Vdd)が入力される。
これにより、トランジスタ31、35がオン状態となる。そのため、ノードAの電位がハ
イレベルの電位(高電源電位(Vdd)からトランジスタ31又はトランジスタ39のし
きい値電圧分下降した電位)に上昇し、且つノードBの電位が低電源電位(Vss)に下
降する。これに付随して、トランジスタ33、40がオン状態となり、トランジスタ32
、34、41がオフ状態となる。以上により、期間t1において、当該パルス出力回路の
端子28から出力される信号は、端子22に入力される信号となり、端子26から出力さ
れる信号は、端子25に入力される信号となる。ここで、期間t1において、当該パルス
出力回路の端子22及び端子25に入力される信号は、共に低電源電位(Vss)である
。そのため、期間t1において、当該パルス出力回路は、後段のパルス出力回路の端子2
1、及び端子26に電気的に接続された走査線に低電源電位(Vss)を出力する。なお
、期間t1における当該パルス出力回路の出力信号には直接関与しないが、端子23に低
電源電位(Vss)が入力されるためトランジスタ38はオフ状態となり、端子24に高
電源電位(Vdd)が入力されるためトランジスタ37はオン状態となり、端子27に低
電源電位(Vss)が入力されるためトランジスタ36はオフ状態となる。
期間t2において、パルス出力回路の端子22及び端子25に高電源電位(Vdd)が
入力される。なお、ノードAの電位(トランジスタ39のソースの電位)は、期間t1に
おいてハイレベルの電位まで上昇している。そのため、トランジスタ39はオフ状態とな
っている。この時、端子22及び端子25に高電源電位(Vdd)が入力されることで、
トランジスタ33のソースとゲート及びトランジスタ40のソースとゲートの容量結合に
よって、ノードAの電位(トランジスタ33のゲート及びトランジスタ40のゲートの電
位)がさらに上昇する(ブートストラップ動作)。また、当該ブートストラップ動作を行
うことによって、端子28及び端子26から出力される電位を低下させることなく、高電
源電位(Vdd)とすることができる。そのため、期間t2において、当該パルス出力回
路は、後段のパルス出力回路の端子21、及び端子26に電気的に接続された走査線に高
電源電位(Vdd)を出力する。なお、期間t2における当該パルス出力回路の出力信号
には直接関与しないが、端子24に低電源電位(Vss)が入力されるためトランジスタ
37はオフ状態となる。
期間t3において、パルス出力回路の端子21に低電源電位(Vss)が入力される。
これにより、トランジスタ31、35がオフ状態となる。この時、ノードAは浮遊状態を
維持する。そのため、トランジスタ33及びトランジスタ40がオン状態を維持する。以
上により、期間t3において、当該パルス出力回路の端子28から出力される信号は、端
子22に入力される信号となり、端子26から出力される信号は、端子25に入力される
信号となる。ここで、期間t3において、当該パルス出力回路の端子22及び端子25に
は、共に高電源電位(Vdd)が入力される。そのため、期間t3において、当該パルス
出力回路は、後段のパルス出力回路の端子21、及び端子26に電気的に接続された走査
線に高電源電位(Vdd)を出力する。なお、期間t3における当該パルス出力回路の出
力信号には直接関与しないが、端子23に高電源電位(Vdd)が入力されるためトラン
ジスタ38はオン状態となる。
期間t4において、パルス出力回路の端子24及び端子27に高電源電位(Vdd)が
入力される。これにより、トランジスタ36、37がオン状態となる。そのため、ノード
Bの電位がハイレベルの電位(高電源電位(Vdd)からトランジスタ36、トランジス
タ37、又はトランジスタ38のしきい値電圧分下降した電位)に上昇する。これに付随
して、トランジスタ32、34、41がオン状態となる。さらに、トランジスタ32がオ
ン状態になることにより、トランジスタ39のソース(ソース及びドレインの一方)の電
位が低電源電位(Vss)となる。これにより、トランジスタ39がオン状態となる。そ
のため、ノードAの電位が低電源電位(Vss)に下降する。これに付随して、トランジ
スタ33、40がオフ状態となる。以上により、期間t4において、当該パルス出力回路
の端子28から出力される信号及び端子26から出力される信号は、低電源電位(Vss
)となる。そのため、期間t4において、当該パルス出力回路は、後段のパルス出力回路
の端子21、及び端子26に電気的に接続された走査線に低電源電位(Vss)を出力す
る。
期間t5以降において、当該パルス出力回路の端子21に高電源電位(Vdd)が入力
されるまで、ノードAが低電源電位(Vss)を維持し、ノードBがハイレベルの電位を
維持する。そのため、当該期間において、当該パルス出力回路は、後段のパルス出力回路
の端子21、及び端子26に電気的に接続された走査線に低電源電位(Vss)を出力す
る。
次いで、図3(C)を参照して、当該パルス出力回路の端子25に入力される、第1の
走査線駆動回路用部分クロック信号(PGCK1)〜第4の走査線駆動回路用部分クロッ
ク信号(PGCK4)のいずれか一が、固定電位(低電源電位Vss)となる場合につい
て説明する。
期間t1において、パルス出力回路の端子21に高電源電位(Vdd)が入力される。
上述したように、期間t1において、当該パルス出力回路の端子28から出力される信号
は、端子22に入力される信号となり、端子26から出力される信号は、端子25に入力
される信号となる。ここで、期間t1において、当該パルス出力回路の端子22及び端子
25に入力される信号は、共に低電源電位(Vss)である。そのため、期間t1におい
て、当該パルス出力回路は、後段のパルス出力回路の端子21、及び端子26に電気的に
接続された走査線に低電源電位(Vss)を出力する。
期間t2において、パルス出力回路の端子22に高電源電位(Vdd)が入力される。
上述したように、ブートストラップ動作を行うことによって、端子28から出力される電
位を低下させることなく、高電源電位(Vdd)とすることができる。ただし、上述した
説明とは異なり、端子25に入力される信号は低電源電位(Vss)から変化しない。そ
のため、当該パルス出力回路の端子26から出力される信号は低電源電位(Vss)のま
まである。
期間t3において、パルス出力回路の端子21に低電源電位(Vss)が入力される。
上述したように、期間t3において、当該パルス出力回路の端子28から出力される信号
は、端子22に入力される信号となり、端子26から出力される信号は、端子25に入力
される信号となる。ここで、期間t3において、当該パルス出力回路の端子22には高電
源電位(Vdd)が入力され、端子25には低電源電位(Vss)が入力される。そのた
め、期間t3において、当該パルス出力回路は、後段のパルス出力回路の端子21に高電
源電位(Vdd)を出力し、端子26に電気的に接続された走査線に低電源電位(Vss
)を出力する。
期間t4において、パルス出力回路の端子24及び端子27に高電源電位(Vdd)が
入力される。上述したように、期間t4において、当該パルス出力回路の端子28から出
力される信号及び端子26から出力される信号は、低電源電位(Vss)となる。そのた
め、期間t4において、当該パルス出力回路は、後段のパルス出力回路の端子21、及び
端子26に電気的に接続された走査線に低電源電位(Vss)を出力する。
期間t5以降において、当該パルス出力回路の端子21に高電源電位(Vdd)が入力
されるまで、ノードAが低電源電位(Vss)を維持し、ノードBがハイレベルの電位を
維持する。そのため、当該期間において、当該パルス出力回路は、後段のパルス出力回路
の端子21、及び端子26に電気的に接続された走査線に低電源電位(Vss)を出力す
る。
(パルス出力回路及び該パルス出力回路を有する走査線駆動回路について)
上述したパルス出力回路では、端子25に入力される信号に応じて、期間t2及び期間
t3において走査線に選択信号(高電源電位(Vdd))を出力するか否かが選択される
。具体的には、当該パルス出力回路は、端子25に入力される信号が第1の走査線駆動回
路用クロック信号である場合は、選択信号を出力し、固定電位(低電源電位(Vss))
である場合は、非選択信号を出力する回路である。また、当該パルス出力回路は、上記の
動作とは無関係に選択信号を後段のパルス出力回路へとシフトする機能をも有する。すな
わち、当該パルス出力回路を複数用いることでシフトレジスタを構成することが可能であ
る。
本明細書で開示される表示装置は、走査線駆動回路が当該シフトレジスタを有する。そ
のため、当該表示装置は、選択信号の供給を走査線毎に制御することが可能である。すな
わち、本明細書で開示される表示装置は、任意の領域のみに対して画像の書き換えを行う
ことが可能な表示装置である。
また、本明細書で開示される表示装置は、上記の動作を、第1の走査線駆動回路用クロ
ック信号(GCK1)又は固定電位(低電源電位(Vss))を示す信号を供給する配線
〜第4の走査線駆動回路用クロック信号(GCK4)又は固定電位(低電源電位(Vss
))を示す信号を供給する配線を設けることによって実現することが可能である。そのた
め、本明細書で開示される表示装置は、部分駆動が可能な表示装置でありながら、配線を
含めた回路の構成を簡略化することが可能な表示装置である。
なお、当該配線にクロック信号及び固定電位のいずれを供給するかは、コントローラ1
3によって制御される。以下に、コントローラ13の具体的な構成及び当該配線に対して
出力する信号の選択方法の一例について示す。
(コントローラ13の構成例)
図4は、通常モード、部分駆動モード、及び待機モードの3つのモードを有するコント
ローラ13の構成例を示す図である。なお、通常モードとは、上述した第1の走査線駆動
回路用部分クロック信号(PGCK1)〜第4の走査線駆動回路用部分クロック信号(P
GCK4)が期間によらず、第1の走査線駆動回路用クロック信号(GCK1)〜第4の
走査線駆動回路用クロック信号(GCK4)と同一の信号となるモードである。また、部
分駆動モードとは、上述した第1の走査線駆動回路用部分クロック信号(PGCK1)〜
第4の走査線駆動回路用部分クロック信号(PGCK4)が、第1の走査線駆動回路用ク
ロック信号(GCK1)〜第4の走査線駆動回路用クロック信号(GCK4)と同一の信
号又は固定電位となるモードである。また、待機モードとは、走査線駆動回路11及び信
号線駆動回路12に対してクロック信号などが供給されないモードである。図4に示すコ
ントローラ13は、信号生成回路131と、記憶回路132と、比較回路133と、選択
回路134と、表示制御回路135とを有する。
信号生成回路131は、走査線駆動回路11及び信号線駆動回路12を動作させ、画素
部10に画像を形成するための信号を生成する回路である。具体的には、画素部10にマ
トリクス状に配列された複数の画素に対して入力される画像信号(Data)、走査線駆
動回路11又は信号線駆動回路12の動作を制御する信号(例えば、スタート信号(SP
)、クロック信号(CK)など)、並びに電源電圧である高電源電位(Vdd)及び低電
源電位(Vss)などを生成し、出力する回路である。なお、図4に示すコントローラ1
3においては、信号生成回路131は、記憶回路132に対して画像信号(Data)を
出力し、表示制御回路135に対して走査線駆動回路11又は信号線駆動回路12の動作
を制御する信号を出力する。また、信号生成回路131から記憶回路132に対して出力
される画像信号(Data)がアナログ信号である場合には、A/Dコンバータなどを介
して、当該画像信号(Data)をデジタル信号に変換することもできる。
記憶回路132は、画素部10において、第1の画像を形成するための画像信号乃至第
nの画像(nは、自然数)を形成するための画像信号を記憶するための複数のメモリ13
6を有する。なお、メモリ136は、DRAM(Dynamic Random Acc
ess Memory)、SRAM(Static Random Access Me
mory)などの記憶素子を用いて構成すればよい。また、メモリ136は、画素部10
において形成される画像毎に画像信号を記憶する構成であればよく、メモリ136の数は
、特定の数に限定されない。加えて、複数のメモリ136が記憶する画像信号は、比較回
路133及び選択回路134により選択的に読み出される。
比較回路133は、記憶回路132に記憶された第kの画像(kは、1以上n未満の自
然数)を形成するための画像信号及び第k+1の画像を形成するための画像信号を選択的
に読み出して、当該画像信号の比較を行い、差分を検出する回路である。なお、第kの画
像及び第k+1の画像は、画素部10において連続して表示される画像である。比較回路
133での画像信号の比較により、差分を検出する。当該差分に応じて、コントローラ1
3のモードが通常モード、部分駆動モード、及び待機モードのいずれとなるかが判断され
る。
選択回路134は、比較回路133で検出された差分を基に、画素部10への画像信号
の出力を選択する回路である。具体的には、選択回路134は、比較回路133で、通常
モードと判断された場合は1フレーム分の画像信号を出力し、部分駆動モードと判断され
た場合は選択的に画像信号を出力し、待機モードと判断された場合は画像信号を出力しな
い回路である。
表示制御回路135は、スタート信号(SP)、クロック信号(CK)、高電源電位(
Vdd)、及び低電源電位(Vss)などの制御信号の走査線駆動回路11及び信号線駆
動回路12への供給を制御する回路である。
具体的には、比較回路133により通常モードと判断された場合には、選択回路134
から供給された画像信号(Data)を信号線駆動回路12に出力するとともに、走査線
駆動回路11及び信号線駆動回路12に対して、制御信号(スタート信号(SP)、クロ
ック信号(CK)、高電源電位(Vdd)、及び低電源電位(Vss)など)を供給する
。なお、この時に、走査線駆動回路11に供給される第1の走査線駆動回路用部分クロッ
ク信号(PGCK1)〜第4の走査線駆動回路用部分クロック信号(PGCK4)は、第
1の走査線駆動回路用クロック信号(GCK1)〜第4の走査線駆動用クロック信号(G
CK4)と同一の信号となる。
また、比較回路133により部分駆動モードと判断された場合には、選択回路134か
ら供給された画像信号(Data)を信号線駆動回路12に選択的に出力するとともに、
走査線駆動回路11及び信号線駆動回路12に対して、制御信号(スタート信号(SP)
、クロック信号(CK)、高電源電位(Vdd)、及び低電源電位(Vss)など)を供
給する。なお、この時に、走査線駆動回路11に供給される第1の走査線駆動回路用部分
クロック信号(PGCK1)〜第4の走査線駆動回路用部分クロック信号(PGCK4)
は、選択的に出力される画像信号(Data)に応じて、第1の走査線駆動回路用クロッ
ク信号(GCK1)〜第4の走査線駆動回路用クロック信号(GCK4)と同一の信号又
は固定電位を選択的に示す信号となる。
また、比較回路133により待機モードと判断された場合には、選択回路134から画
像信号(Data)が供給されないとともに、走査線駆動回路11及び信号線駆動回路1
2に対して、制御信号(スタートパルス信号(SP)、クロック信号(CK)、高電源電
位(Vdd)、及び低電源電位(Vss)など)を供給しない。すなわち、比較回路13
3により待機モードと判断された場合には、走査線駆動回路11及び信号線駆動回路12
の動作を完全に停止させる。
ただし、待機モードと判断される期間が短い場合には、高電源電位(Vdd)及び低電
源電位(Vss)を供給し続ける構成とすることもできる。なお、高電源電位(Vdd)
及び低電源電位(Vss)が供給されるとは、ある配線の電位が高電源電位(Vdd)又
は低電源電位(Vss)に固定されることである。そのため、ある電位状態にある当該配
線が、高電源電位(Vdd)又は低電源電位(Vss)に変化することになる。当該電位
の変化には電力消費が伴うため、頻繁に高電源電位(Vdd)及び低電源電位(Vss)
の供給の停止及び再供給を行うことで、結果的に、消費電力が増大する可能性がある。そ
のような場合には、高電源電位(Vdd)及び低電源電位(Vss)を供給し続ける構成
とすることが好ましい。なお、上述した説明において、信号を「供給しない」とは、当該
信号を供給する配線において所定の電位とは異なる電位が供給される、又は当該配線に電
気的に接続されるノードが浮遊状態になることを指すこととする。
また、待機モードが長期化する、又は部分駆動モードにおいて特定の領域に含まれる走
査線が長期間に渡って非選択状態となる場合は、液晶素子19に対して長期間に渡って直
流の電圧が印加され続けることになる。これは、焼き付けの原因となりかねない。そのた
め、モードによらず所定のフレーム毎又は所定の期間毎に液晶素子に印加される電圧の極
性を反転することが好ましい。
コントローラ13において、上述したように走査線駆動回路11及び信号線駆動回路1
2の動作を制御することで表示装置の消費電力を低減することが可能である。
(画素16に設けられるトランジスタ17の一例)
上述した表示装置の画素16に設けられるトランジスタ17は、長期間に渡ってオフ状
態を維持する可能性がある。そのため、トランジスタ17として、オフ特性に優れる(オ
フ電流が少ない)トランジスタが好ましい。以下では、トランジスタ17として好ましい
トランジスタの一例について図5を参照して説明する。具体的には、酸化物半導体層を具
備するトランジスタについて説明する。当該トランジスタは、当該酸化物半導体層を高純
度化することで、オフ電流を極めて少なくすることが可能である(以下に詳述する)。そ
のため、特定の画素に対して長期間画像信号が入力されない可能性がある本明細書で開示
される表示装置の画素16に設けられるトランジスタ17として好ましいトランジスタで
ある。また、当該トランジスタを用いて上述のパルス出力回路を構成することもできる。
すなわち、トランジスタ31〜41として当該トランジスタを適用することもできる。そ
の場合、製造プロセス数の低減によるコストの低減及び歩留まりの向上が図れる。
図5に示すトランジスタ211は、絶縁表面を有する基板220上に設けられたゲート
層221と、ゲート層221上に設けられたゲート絶縁層222と、ゲート絶縁層222
上に設けられた酸化物半導体層223と、酸化物半導体層223上に設けられたソース層
224a及びドレイン層224bとを有する。また、図5においては、トランジスタ21
1を覆い、酸化物半導体層223に接する絶縁層225と、絶縁層225上に設けられた
保護絶縁層226とが図示されている。
図5に示すトランジスタ211は、上記の通り、半導体層として酸化物半導体層223
を具備する。酸化物半導体層223に用いる酸化物半導体としては、四元系金属酸化物で
あるIn−Sn−Ga−Zn−O系、三元系金属酸化物であるIn−Ga−Zn−O系、
In−Sn−Zn−O系、In−Al−Zn−O系、Sn−Ga−Zn−O系、Al−G
a−Zn−O系、Sn−Al−Zn−O系、二元系金属酸化物であるIn−Zn−O系、
Sn−Zn−O系、Al−Zn−O系、Zn−Mg−O系、Sn−Mg−O系、In−M
g−O系、または単元系金属酸化物であるIn−O系、Sn−O系、Zn−O系などを用
いることができる。また、上記酸化物半導体にSiOを含んでもよい。ここで、例えば
、In−Ga−Zn−O系酸化物半導体とは、少なくともInとGaとZnを含む酸化物
であり、その組成比に特に制限はない。また、InとGaとZn以外の元素を含んでもよ
い。
また、酸化物半導体層223は、化学式InMO(ZnO)(m>0)で表記され
る薄膜を用いることができる。ここで、Mは、Ga、Al、MnおよびCoから選ばれた
一または複数の金属元素を示す。例えばMとして、Ga、Ga及びAl、Ga及びMn、
またはGa及びCoなどを選択することができる。
また、酸化物半導体としてIn−Zn−O系の材料を用いる場合、用いるターゲットの
組成比は、原子数比で、In:Zn=50:1〜1:2(モル数比に換算するとIn
:ZnO=25:1〜1:4)、好ましくはIn:Zn=20:1〜1:1(モル数比
に換算するとIn:ZnO=10:1〜1:2)、さらに好ましくはIn:Zn=
15:1〜1.5:1(モル数比に換算するとIn:ZnO=15:2〜3:4)
とする。例えば、In−Zn−O系酸化物半導体の形成に用いるターゲットは、原子数比
がIn:Zn:O=X:Y:Zのとき、Z>1.5X+Yとする。
上述した酸化物半導体は、電気的特性変動を抑止するため、変動要因となる水素、水分
、水酸基又は水素化物(水素化合物ともいう)などの不純物を意図的に排除することで高
純度化し、電気的にI型(真性)化された酸化物半導体である。
よって酸化物半導体中の水素は少なければ少ないほどよい。また、高純度化された酸化
物半導体層中には水素や酸素欠損等に由来するキャリアが極めて少なく(ゼロに近い)、
キャリア密度は1×1012/cm未満、好ましくは1×1011/cm未満である
。即ち、酸化物半導体層の水素や酸素欠損等に由来するキャリア密度を限りなくゼロに近
くする。酸化物半導体層中に水素や酸素欠損等に由来するキャリアが極めて少ないため、
トランジスタがオフ状態のときのリーク電流(オフ電流)を少なくすることができる。ま
た、水素や酸素欠損等に由来する不純物準位が少ないことにより、光照射、温度変化、バ
イアス印加等による電気特性の変動及び劣化を少なくすることができる。なお、オフ電流
は少なければ少ないほど好ましい。上記酸化物半導体を半導体層として用いたトランジス
タは、チャネル幅(w)1μmあたりの電流値が100zA(ゼプトアンペア)以下、好
ましくは10zA以下、更に好ましくは1zA以下である。さらに、pn接合がなく、ホ
ットキャリア劣化がないため、トランジスタの電気的特性がこれら要因の影響を受けない
このように酸化物半導体層に含まれる水素を徹底的に除去することにより高純度化され
た酸化物半導体をチャネル形成領域に用いたトランジスタは、オフ電流を極めて小さくす
ることができる。つまり、トランジスタの非導通状態において、酸化物半導体層は絶縁体
とみなせて回路設計を行うことができる。一方で、酸化物半導体層は、トランジスタの導
通状態においては、非晶質シリコンで形成される半導体層よりも高い電流供給能力を見込
むことができる。
絶縁表面を有する基板220として、例えば、バリウムホウケイ酸ガラスやアルミノホ
ウケイ酸ガラスなどのガラス基板を用いることができる。
トランジスタ211において、下地膜となる絶縁膜を基板220とゲート層221の間
に設けてもよい。下地膜は、基板からの不純物元素の拡散を防止する機能があり、窒化シ
リコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、又は酸化窒化シリコン膜から選ばれた
一又は複数の膜による積層構造により形成することができる。
ゲート層221の材料は、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステン、ア
ルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料またはこれらを主成分とする合金
材料を用いて、単層でまたは積層して形成することができる。
ゲート絶縁層222は、プラズマCVD法又はスパッタリング法等を用いて、酸化シリ
コン層、窒化シリコン層、酸化窒化シリコン層、窒化酸化シリコン層、酸化アルミニウム
層、窒化アルミニウム層、酸化窒化アルミニウム層、窒化酸化アルミニウム層、又は酸化
ハフニウム層を単層で又は積層して形成することができる。例えば、第1のゲート絶縁層
としてプラズマCVD法により膜厚50nm以上200nm以下の窒化シリコン層(Si
(y>0))を形成し、第1のゲート絶縁層上に第2のゲート絶縁層として膜厚5n
m以上300nm以下の酸化シリコン層(SiO(x>0))を積層することができる
ソース層224a、ドレイン層224bに用いる導電膜としては、例えば、Al、Cr
、Cu、Ta、Ti、Mo、Wから選ばれた元素、または上述した元素を成分とする合金
か、上述した元素を組み合わせた合金膜等を用いることができる。また、Al、Cuなど
の金属層の下側又は上側の一方または双方にTi、Mo、Wなどの高融点金属層を積層さ
せた構成としても良い。また、Al膜に生ずるヒロックやウィスカーの発生を防止する元
素(Si、Nd、Scなど)が添加されているAl材料を用いることで耐熱性を向上させ
ることが可能となる。
また、ソース層224a、ドレイン層224b(これらと同じ層で形成される配線層を
含む)となる導電膜としては導電性の金属酸化物で形成しても良い。導電性の金属酸化物
としては酸化インジウム(In)、酸化スズ(SnO)、酸化亜鉛(ZnO)、
酸化インジウム酸化スズ合金(In―SnO、ITOと略記する)、酸化インジ
ウム酸化亜鉛合金(In―ZnO)またはこれらの金属酸化物材料に酸化シリコン
を含ませたものを用いることができる。
絶縁層225は、代表的には酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム
膜、または酸化窒化アルミニウム膜などの無機絶縁膜を用いることができる。
保護絶縁層226は、窒化シリコン膜、窒化アルミニウム膜、窒化酸化シリコン膜、窒
化酸化アルミニウム膜などの無機絶縁膜を用いることができる。
また、保護絶縁層226上にトランジスタ起因の表面凹凸を低減するために平坦化絶縁
膜を形成してもよい。平坦化絶縁膜としては、ポリイミド、アクリル、ベンゾシクロブテ
ン等の有機材料を用いることができる。また上記有機材料の他に、低誘電率材料(low
−k材料)等を用いることができる。なお、これらの材料で形成される絶縁膜を複数積層
させることで、平坦化絶縁膜を形成してもよい。
<トランジスタのオフ電流について>
次いで、高純度化された酸化物半導体層を具備するトランジスタのオフ電流を求めた結
果について説明する。
まず、高純度化された酸化物半導体層を具備するトランジスタのオフ電流が十分に小さ
いことを考慮して、チャネル幅Wが1mと十分に大きいトランジスタを用意してオフ電流
の測定を行った。チャネル幅Wが1mのトランジスタのオフ電流を測定した結果を図6に
示す。図6において、横軸はゲート電圧VG、縦軸はドレイン電流IDである。ドレイン
電圧VDが+1Vまたは+10Vの場合、ゲート電圧VGが−5Vから−20Vの範囲で
は、トランジスタのオフ電流は、検出限界である1×10−12A以下であることがわか
った。また、トランジスタのオフ電流(ここでは、チャネル幅1μmあたりの値)は1a
A/μm(1×10−18A/μm)以下となることがわかった。
次に、高純度化された酸化物半導体層を具備するトランジスタのオフ電流をさらに正確
に求めた結果について説明する。上述したように、高純度化された酸化物半導体層を具備
するトランジスタのオフ電流は、測定器の検出限界である1×10−12A以下であるこ
とがわかった。そこで、特性評価用素子を作製し、より正確なオフ電流の値(上記測定に
おける測定器の検出限界以下の値)を求めた結果について説明する。
はじめに、電流測定方法に用いた特性評価用素子について、図7を参照して説明する。
図7に示す特性評価用素子は、測定系800が3つ並列に接続されている。測定系80
0は、容量素子802、トランジスタ804、トランジスタ805、トランジスタ806
、トランジスタ808を有する。トランジスタ804、トランジスタ808には、高純度
化された酸化物半導体層を具備するトランジスタを適用した。
測定系800において、トランジスタ804のソース及びドレインの一方と、容量素子
802の一方の端子と、トランジスタ805のソース及びドレインの一方は、電源(V2
を与える電源)に接続されている。また、トランジスタ804のソース及びドレインの他
方と、トランジスタ808のソース及びドレインの一方と、容量素子802の他方の端子
と、トランジスタ805のゲートとは、電気的に接続されている。また、トランジスタ8
08のソース及びドレインの他方と、トランジスタ806のソース及びドレインの一方と
、トランジスタ806のゲートとは、電源(V1を与える電源)に電気的に接続されてい
る。また、トランジスタ805のソース及びドレインの他方と、トランジスタ806のソ
ース及びドレインの他方とは、出力端子に電気的に接続されている。
なお、トランジスタ804のゲートには、トランジスタ804のオン状態と、オフ状態
を制御する電位Vext_b2が供給され、トランジスタ808のゲートには、トランジ
スタ808のオン状態と、オフ状態を制御する電位Vext_b1が供給される。また、
出力端子からは電位Voutが出力される。
次に、上記の特性評価用素子を用いた電流測定方法について説明する。
まず、オフ電流を測定するために電位差を付与する初期期間の概略について説明する。
初期期間においては、トランジスタ808のゲートに、トランジスタ808をオン状態と
する電位Vext_b1を入力して、トランジスタ804のソース及びドレインの他方と
電気的に接続されるノード(つまり、トランジスタ808のソース及びドレインの一方、
容量素子802の他方の端子、及びトランジスタ805のゲートに電気的に接続されるノ
ード)であるノードAに電位V1を与える。ここで、電位V1は、例えば高電位とする。
また、トランジスタ804はオフ状態としておく。
その後、トランジスタ808のゲートに、トランジスタ808をオフ状態とする電位V
ext_b1を入力して、トランジスタ808をオフ状態とする。トランジスタ808を
オフ状態とした後に、電位V1を低電位とする。ここでも、トランジスタ804はオフ状
態としておく。また、電位V2は電位V1と同じ電位とする。以上により、初期期間が終
了する。初期期間が終了した状態では、ノードAとトランジスタ804のソース及びドレ
インの一方との間に電位差が生じ、また、ノードAとトランジスタ808のソース及びド
レインの他方との間に電位差が生じることになるため、トランジスタ804及びトランジ
スタ808には僅かに電荷が流れる。つまり、オフ電流が発生する。
次に、オフ電流の測定期間の概略について説明する。測定期間においては、トランジス
タ804のソース及びドレインの一方の電位(V2)、並びにトランジスタ808のソー
ス及びドレインの他方の電位(V1)は低電位に固定しておく。一方で、測定期間中は、
上記ノードAの電位は固定しない(フローティング状態とする)。これにより、トランジ
スタ804、トランジスタ808に電荷が流れ、時間の経過と共にノードAに保持される
電荷量が変動する。そして、ノードAに保持される電荷量の変動に伴って、ノードAの電
位が変動する。つまり、出力端子の出力電位Voutも変動する。
上記電位差を付与する初期期間、および、その後の測定期間における各電位の関係の詳
細(タイミングチャート)を図8に示す。
初期期間において、まず、電位Vext_b2を、トランジスタ804がオン状態とな
るような電位(高電位)とする。これによって、ノードAの電位はV2すなわち低電位(
VSS)となる。なお、ノードAに低電位(VSS)を与えるのは必須ではない。その後
、電位Vext_b2を、トランジスタ804がオフ状態となるような電位(低電位)と
して、トランジスタ804をオフ状態とする。そして、次に、電位Vext_b1を、ト
ランジスタ808がオン状態となるような電位(高電位)とする。これによって、ノード
Aの電位はV1、すなわち高電位(VDD)となる。その後、Vext_b1を、トラン
ジスタ808がオフ状態となるような電位とする。これによって、ノードAがフローティ
ング状態となり、初期期間が終了する。
その後の測定期間においては、電位V1及び電位V2を、ノードAに電荷が流れ込む、
またはノードAから電荷が流れ出すような電位とする。ここでは、電位V1及び電位V2
を低電位(VSS)とする。ただし、出力電位Voutを測定するタイミングにおいては
、出力回路を動作させる必要が生じるため、一時的にV1を高電位(VDD)とすること
がある。なお、V1を高電位(VDD)とする期間は、測定に影響を与えない程度の短期
間とする。
上述のようにして電位差を与え、測定期間が開始されると、時間の経過と共にノードA
に保持される電荷量が変動し、これに従ってノードAの電位が変動する。これは、トラン
ジスタ805のゲートの電位が変動することを意味するから、時間の経過と共に、出力端
子の出力電位Voutの電位も変化することとなる。
得られた出力電位Voutから、オフ電流を算出する方法について、以下に説明する。
オフ電流の算出に先だって、ノードAの電位VAと、出力電位Voutとの関係を求め
ておく。これにより、出力電位VoutからノードAの電位VAを求めることができる。
上述の関係から、ノードAの電位VAは、出力電位Voutの関数として次式のように表
すことができる。
また、ノードAの電荷QAは、ノードAの電位VA、ノードAに接続される容量CA、
定数(const)を用いて、次式のように表される。ここで、ノードAに接続される容
量CAは、容量素子802の容量と他の容量の和である。
ノードAの電流IAは、ノードAに流れ込む電荷(またはノードAから流れ出す電荷)
の時間微分であるから、ノードAの電流IAは次式のように表される。
このように、ノードAに接続される容量CAと、出力端子の出力電位Voutから、ノ
ードAの電流IAを求めることができる。
以上に示す方法により、オフ状態においてトランジスタのソースとドレイン間を流れる
リーク電流(オフ電流)を測定することができる。
ここでは、チャネル長L=10μm、チャネル幅W=50μmの、高純度化された酸化
物半導体層を具備するトランジスタ804、高純度化された酸化物半導体層を具備するト
ランジスタ808を作製した。また、並列された各測定系800において、容量素子80
2の各容量値を、100fF、1pF、3pFとした。
なお、上述した測定では、VDD=5V、VSS=0Vとした。また、測定期間におい
ては、電位V1を原則としてVSSとし、10〜300secごとに、100msecの
期間だけVDDとしてVoutを測定した。また、素子に流れる電流Iの算出に用いられ
るΔtは、約30000secとした。
図9に、上記電流測定に係る経過時間Timeと、出力電位Voutとの関係を示す。
図9より、時間の経過にしたがって、電位が変化している様子が確認できる。
図10には、上記電流測定によって算出された室温(25℃)におけるオフ電流を示す
。なお、図10は、トランジスタ804又はトランジスタ808のソース−ドレイン電圧
Vと、オフ電流Iとの関係を表すものである。図10から、ソース−ドレイン電圧が4V
の条件において、オフ電流は約40zA/μmであることが分かった。また、ソース−ド
レイン電圧が3.1Vの条件において、オフ電流は10zA/μm以下であることが分か
った。なお、1zAは10−21Aを表す。
さらに、上記電流測定によって算出された85℃の温度環境下におけるオフ電流につい
て図11に示す。図11は、85℃の温度環境下におけるトランジスタ804又はトラン
ジスタ808のソース−ドレイン電圧Vと、オフ電流Iとの関係を表すものである。図1
1から、ソース−ドレイン電圧が3.1Vの条件において、オフ電流は100zA/μm
以下であることが分かった。
以上により、高純度化された酸化物半導体層を具備するトランジスタでは、オフ電流が
十分に小さくなることが確認された。
(表示装置の変形例)
上述した構成を有する表示装置は、本発明の一態様であり、当該表示装置と異なる点を
有する表示装置も本発明には含まれる。
<パルス出力回路の変形例>
例えば、パルス出力回路として、図3(A)に示したパルス出力回路に、ソース及びド
レインの一方が高電源電位線に電気的に接続され、ソース及びドレインの他方がトランジ
スタ32のゲート、トランジスタ34のゲート、トランジスタ35のソース及びドレイン
の他方、トランジスタ36のソース及びドレインの他方、トランジスタ38のソース及び
ドレインの一方、並びにトランジスタ41のゲートに電気的に接続され、ゲートがリセッ
ト端子(Reset)に電気的に接続されたトランジスタ50を付加した構成(図12(
A)参照)を適用することが可能である。なお、当該リセット端子には、垂直帰線期間に
おいてハイレベルの電位が入力され、その他の期間においてはロウレベルの電位が入力さ
れる。すなわち、トランジスタ50は、垂直帰線期間においてオン状態となるトランジス
タである。これにより、垂直帰線期間において、各ノードの電位を初期化することができ
るので、誤動作を防止することが可能となる。
また、パルス出力回路として、図3(A)に示したパルス出力回路から、トランジスタ
36を削除した構成(図12(B)参照)を適用することも可能である。これにより、パ
ルス出力回路を構成するトランジスタ数を低減することができる。そのため、当該パルス
出力回路のレイアウト面積の縮小、歩留まりの向上などを図ることができる。
また、パルス出力回路として、図3(A)に示したパルス出力回路から、トランジスタ
39を削除した構成(図13(A)参照)を適用することも可能である。これにより、パ
ルス出力回路を構成するトランジスタ数を低減することができる。そのため、当該パルス
出力回路のレイアウト面積の縮小、歩留まりの向上などを図ることができる。
また、パルス出力回路として、図3(A)に示したパルス出力回路に、ソース及びドレ
インの一方がトランジスタ33のゲート並びにトランジスタ39のソース及びドレインの
他方に電気的に接続され、ソース及びドレインの他方がトランジスタ40のゲートに電気
的に接続され、ゲートが高電源電位線に電気的に接続されたトランジスタ51を付加した
構成(図13(B)参照)を適用することが可能である。なお、トランジスタ51は、図
3(B)、(C)に示した期間t2、t3においてオフ状態となる。そのため、トランジ
スタ51を付加した構成とすることで、期間t2、t3において、トランジスタ33のゲ
ートとトランジスタ40のゲートの電気的な接続を遮断することが可能となる。以下に、
当該パルス出力回路にトランジスタ51が設けられる構成(図13(B)参照)と設けら
れない構成(図3(A)参照)を比較し、前者の構成の利点を詳述する。
まず、トランジスタ51が設けられない場合について説明する。端子25に入力される
信号が高電源電位(Vdd)と低電源電位(Vss)を繰り返す場合は、期間t2、t3
において、端子28の出力信号及び端子26の出力信号は、共に高電源電位(Vdd)と
なる。この際、トランジスタ33、40のゲートの電位(ノードAの電位)は、トランジ
スタ33のソースとゲートの容量結合及びトランジスタ40のソースとゲートの容量結合
によって、高電源電位(Vdd)よりも高電位となる。一方、端子25に入力される信号
が低電源電位(Vss)に固定される場合は、期間t2、t3において、端子28の出力
信号は、高電源電位(Vdd)となり、端子26の出力信号は、低電源電位(Vss)と
なる。この際、トランジスタ33、40のゲートの電位(ノードAの電位)は、トランジ
スタ33のソースとゲートの容量結合のみによって、高電源電位(Vdd)よりも高電位
となる必要がある。加えて、トランジスタ40は、走査線を駆動するため、トランジスタ
36と比較してチャネル幅が大きくなるように設計されることが多い。すなわち、トラン
ジスタ40のゲートは、当該容量結合によって電位を上昇させる際に大きな負荷となる。
そのため、パルス出力回路を動作させるためには、トランジスタ33のチャネル長に対す
るチャネル幅(W/L)を大きくする必要がある。
これに対し、トランジスタ51が設けられる場合、期間t2、t3においてトランジス
タ33のゲートとトランジスタ40のゲートの電気的な接続が遮断される。そのため、ト
ランジスタ33のゲートの電位のみを容量結合によって上昇させることができる。すなわ
ち、当該容量結合における負荷を低減することができる。そのため、パルス出力回路を良
好に動作させることが可能になる。また、トランジスタ36のチャネル長に対するチャネ
ル幅(W/L)を大きくする必要がないので、レイアウト面積の縮小を図ることができる
なお、図13(B)では、トランジスタ51のゲートが高電源電位線に電気的に接続さ
れる構成について示したが、当該ゲートがブロック端子(Block)に電気的に接続さ
れる構成(図14(A)参照)又は端子25に電気的に接続される構成(図14(B)参
照)とすることが可能である。なお、ブロック端子(Block)には、端子25に、第
1の走査線駆動回路用クロック信号(GCK1)〜第4の走査線駆動回路用クロック信号
(GCK4)のいずれかと同一の信号が入力される際に、ハイレベルの電位が入力され、
固定電位(低電源電位(Vss))が入力される際に、ロウレベルの電位が入力されると
よい。すなわち、トランジスタ51は、端子25に、第1の走査線駆動回路用クロック信
号(GCK1)〜第4の走査線駆動回路用クロック信号(GCK4)のいずれかと同一の
信号が入力される際にオン状態となり、固定電位(低電源電位(Vss))が入力される
際にオフ状態となるように制御すればよい。これにより、トランジスタ33ゲートとトラ
ンジスタ40のゲートの電気的な接続が遮断されるタイミングを早くすることができる。
また、トランジスタ51のゲートが端子25に電気的に接続される構成(図14(B)参
照)は、信号を新たに追加する必要がない点が好ましい。
<トランジスタの変形例>
また、上述した表示装置においては、画素16に設けられるトランジスタ17として、
チャネルエッチ型と呼ばれるボトムゲート構造のトランジスタ211を適用する構成(図
5参照)について示したが、トランジスタ17は当該構成に限定されない。例えば、図1
5(A)〜(C)に示すトランジスタを適用することが可能である。
図15(A)に示すトランジスタ510は、チャネル保護型(チャネルストップ型とも
いう)と呼ばれるボトムゲート構造の一つである。
トランジスタ510は、絶縁表面を有する基板220上に、ゲート層221、ゲート絶
縁層222、酸化物半導体層223、酸化物半導体層223のチャネル形成領域を覆うチ
ャネル保護層として機能する絶縁層511、ソース層224a、及びドレイン層224b
を含む。また、ソース層224a、ドレイン層224b、及び絶縁層511を覆い、保護
絶縁層226が形成されている。
図15(B)に示すトランジスタ520はボトムゲート型のトランジスタであり、絶縁
表面を有する基板である基板220上に、ゲート層221、ゲート絶縁層222、ソース
層224a、ドレイン層224b、及び酸化物半導体層223を含む。また、ソース層2
24a及びドレイン層224bを覆い、酸化物半導体層223に接する絶縁層225が設
けられている。絶縁層225上にはさらに保護絶縁層226が形成されている。
トランジスタ520においては、ゲート絶縁層222は基板220及びゲート層221
上に接して設けられ、ゲート絶縁層222上にソース層224a、ドレイン層224bが
接して設けられている。そして、ゲート絶縁層222、及びソース層224a、ドレイン
層224b上に酸化物半導体層223が設けられている。
図15(C)に示すトランジスタ530は、トップゲート構造のトランジスタの一つで
ある。トランジスタ530は、絶縁表面を有する基板220上に、絶縁層531、酸化物
半導体層223、ソース層224a、及びドレイン層224b、ゲート絶縁層222、ゲ
ート層221を含み、ソース層224a、ドレイン層224bにそれぞれ配線層532a
、配線層532bが接して設けられ電気的に接続している。
なお、絶縁層511、531は、代表的には酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸
化アルミニウム膜、または酸化窒化アルミニウム膜などの無機絶縁膜を用いることができ
る。また、配線層532a、配線層532bに用いる導電膜としては、例えば、Al、C
r、Cu、Ta、Ti、Mo、Wから選ばれた元素、または上述した元素を成分とする合
金か、上述した元素を組み合わせた合金膜等を用いることができる。また、Al、Cuな
どの金属層の下側又は上側の一方または双方にTi、Mo、Wなどの高融点金属層を積層
させた構成としても良い。また、Al膜に生ずるヒロックやウィスカーの発生を防止する
元素(Si、Nd、Scなど)が添加されているAl材料を用いることで耐熱性を向上さ
せることが可能となる。
(表示装置を搭載した各種電子機器について)
以下では、本明細書で開示される表示装置を搭載した電子機器の例について図16を参
照して説明する。
図16(A)は、ノート型のパーソナルコンピュータを示す図であり、本体2201、
筐体2202、表示部2203、キーボード2204などによって構成されている。
図16(B)は、携帯情報端末(PDA)を示す図であり、本体2211には表示部2
213と、外部インターフェイス2215と、操作ボタン2214等が設けられている。
また、操作用の付属品としてスタイラス2212がある。
図16(C)は、電子ペーパーの一例として、電子書籍2220を示す図である。電子
書籍2220は、筐体2221および筐体2223の2つの筐体で構成されている。筐体
2221および筐体2223は、軸部2237により一体とされており、該軸部2237
を軸として開閉動作を行うことができる。このような構成により、電子書籍2220は、
紙の書籍のように用いることが可能である。
筐体2221には表示部2225が組み込まれ、筐体2223には表示部2227が組
み込まれている。表示部2225および表示部2227は、続き画面を表示する構成とし
てもよいし、異なる画面を表示する構成としてもよい。異なる画面を表示する構成とする
ことで、例えば右側の表示部(図16(C)では表示部2225)に文章を表示し、左側
の表示部(図16(C)では表示部2227)に画像を表示することができる。
また、図16(C)では、筐体2221に操作部などを備えた例を示している。例えば
、筐体2221は、電源2231、操作キー2233、スピーカー2235などを備えて
いる。操作キー2233により、頁を送ることができる。なお、筐体の表示部と同一面に
キーボードやポインティングデバイスなどを備える構成としてもよい。また、筐体の裏面
や側面に、外部接続用端子(イヤホン端子、USB端子、またはACアダプタおよびUS
Bケーブルなどの各種ケーブルと接続可能な端子など)、記録媒体挿入部などを備える構
成としてもよい。さらに、電子書籍2220は、電子辞書としての機能を持たせた構成と
してもよい。
また、電子書籍2220は、無線で情報を送受信できる構成としてもよい。無線により
、電子書籍サーバから、所望の書籍データなどを購入し、ダウンロードする構成とするこ
とも可能である。
なお、電子ペーパーは、情報を表示するものであればあらゆる分野に適用することが可
能である。例えば、電子書籍以外にも、ポスター、電車などの乗り物の車内広告、クレジ
ットカード等の各種カードにおける表示などに適用することができる。
図16(D)は、携帯電話機を示す図である。当該携帯電話機は、筐体2240および
筐体2241の二つの筐体で構成されている。筐体2241は、表示パネル2242、ス
ピーカー2243、マイクロフォン2244、ポインティングデバイス2246、カメラ
用レンズ2247、外部接続端子2248などを備えている。また、筐体2240は、当
該携帯電話機の充電を行う太陽電池セル2249、外部メモリスロット2250などを備
えている。また、アンテナは筐体2241内部に内蔵されている。
表示パネル2242はタッチパネル機能を備えており、図16(D)には映像表示され
ている複数の操作キー2245を点線で示している。なお、当該携帯電話は、太陽電池セ
ル2249から出力される電圧を各回路に必要な電圧に昇圧するための昇圧回路を実装し
ている。また、上記構成に加えて、非接触ICチップ、小型記録装置などを内蔵した構成
とすることもできる。
表示パネル2242は、使用形態に応じて表示の方向が適宜変化する。また、表示パネ
ル2242と同一面上にカメラ用レンズ2247を備えているため、テレビ電話が可能で
ある。スピーカー2243およびマイクロフォン2244は音声通話に限らず、テレビ電
話、録音、再生などが可能である。さらに、筐体2240と筐体2241はスライドし、
図16(D)のように展開している状態から重なり合った状態とすることができ、携帯に
適した小型化が可能である。
外部接続端子2248はACアダプタやUSBケーブルなどの各種ケーブルと接続可能
であり、充電やデータ通信が可能になっている。また、外部メモリスロット2250に記
録媒体を挿入し、より大量のデータの保存および移動に対応できる。また、上記機能に加
えて、赤外線通信機能、テレビ受信機能などを備えたものであってもよい。
図16(E)は、デジタルカメラを示す図である。当該デジタルカメラは、本体226
1、表示部(A)2267、接眼部2263、操作スイッチ2264、表示部(B)22
65、バッテリー2266などによって構成されている。
図16(F)は、テレビジョン装置を示す図である。テレビジョン装置2270では、
筐体2271に表示部2273が組み込まれている。表示部2273により、映像を表示
することが可能である。なお、ここでは、スタンド2275により筐体2271を支持し
た構成を示している。
テレビジョン装置2270の操作は、筐体2271が備える操作スイッチや、別体のリ
モコン操作機2280により行うことができる。リモコン操作機2280が備える操作キ
ー2279により、チャンネルや音量の操作を行うことができ、表示部2273に表示さ
れる映像を操作することができる。また、リモコン操作機2280に、当該リモコン操作
機2280から出力する情報を表示する表示部2277を設ける構成としてもよい。
なお、テレビジョン装置2270は、受信機やモデムなどを備えた構成とするのが好適
である。受信機により、一般のテレビ放送の受信を行うことができる。また、モデムを介
して有線または無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向(送信者から
受信者)または双方向(送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など)の情報通信を行
うことが可能である。
10 画素部
11 走査線駆動回路
12 信号線駆動回路
13 コントローラ
14 走査線
15 信号線
16 画素
17 トランジスタ
18 容量素子
19 液晶素子
20_1〜20_m パルス出力回路
20_x パルス出力回路
21〜28 端子
31〜41 トランジスタ
50、51 トランジスタ
131 信号生成回路
132 記憶回路
133 比較回路
134 選択回路
135 表示制御回路
136 メモリ
211 トランジスタ
220 基板
221 ゲート層
222 ゲート絶縁層
223 酸化物半導体層
224a ソース層
224b ドレイン層
225 絶縁層
226 保護絶縁層
510 トランジスタ
511 絶縁層
520 トランジスタ
530 トランジスタ
531 絶縁層
532a 配線層
532b 配線層
800 測定系
802 容量素子
804 トランジスタ
805 トランジスタ
806 トランジスタ
808 トランジスタ
2201 本体
2202 筐体
2203 表示部
2204 キーボード
2211 本体
2212 スタイラス
2213 表示部
2214 操作ボタン
2215 外部インターフェイス
2220 電子書籍
2221 筐体
2223 筐体
2225 表示部
2227 表示部
2231 電源
2233 操作キー
2235 スピーカー
2237 軸部
2240 筐体
2241 筐体
2242 表示パネル
2243 スピーカー
2244 マイクロフォン
2245 操作キー
2246 ポインティングデバイス
2247 カメラ用レンズ
2248 外部接続端子
2249 太陽電池セル
2250 外部メモリスロット
2261 本体
2263 接眼部
2264 操作スイッチ
2265 表示部(B)
2266 バッテリー
2267 表示部(A)
2270 テレビジョン装置
2271 筐体
2273 表示部
2275 スタンド
2277 表示部
2279 操作キー
2280 リモコン操作機

Claims (4)

  1. 複数のパルス出力回路を有し、
    前記複数のパルス出力回路の一は、第1乃至第10のトランジスタを有し、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第6のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第8のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第4のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第6のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第9のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第7のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
    前記第10のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第1のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第10のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第3のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第10のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、ゲート信号線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、後段のパルス出力回路と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタのゲート及び前記第8のトランジスタのゲートは、前段のパルス出力回路と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第1の配線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第2の配線と電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのゲートは、第3の配線と電気的に接続され、
    前記第9のトランジスタのゲートは、第4の配線と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第9のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第10のトランジスタのゲートとに、第1の電圧が入力され、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第4のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第6のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第8のトランジスタのソース又はドレインの他方とに、第2の電圧が入力されることを特徴とする半導体装置。
  2. 複数のパルス出力回路を有し、
    前記複数のパルス出力回路の一は、第1乃至第11のトランジスタを有し、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第6のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第8のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第4のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第6のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第9のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第7のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
    前記第10のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第1のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第10のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第3のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第10のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第11のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第8のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、ゲート信号線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、後段のパルス出力回路と電気的に接続され、
    前記第11のトランジスタのゲートは、後段のパルス出力回路と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタのゲート及び前記第8のトランジスタのゲートは、前段のパルス出力回路と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第1の配線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第2の配線と電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのゲートは、第3の配線と電気的に接続され、
    前記第9のトランジスタのゲートは、第4の配線と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第9のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第10のトランジスタのゲートと前記第11のトランジスタのソース又はドレインの他方とに、第1の電圧が入力され、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第4のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第6のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第8のトランジスタのソース又はドレインの他方とに、第2の電圧が入力されることを特徴とする半導体装置。
  3. 複数のパルス出力回路を有し、
    前記複数のパルス出力回路の一は、第1乃至第11のトランジスタを有し、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第6のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第8のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第4のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第6のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第9のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第7のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
    前記第10のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第1のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第10のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第3のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第10のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第11のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第8のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、ゲート信号線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、後段のパルス出力回路と電気的に接続され、
    前記第11のトランジスタのゲートは、リセット端子と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタのゲート及び前記第8のトランジスタのゲートは、前段のパルス出力回路と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第1の配線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第2の配線と電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのゲートは、第3の配線と電気的に接続され、
    前記第9のトランジスタのゲートは、第4の配線と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第9のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第10のトランジスタのゲートと前記第11のトランジスタのソース又はドレインの他方とに、第1の電圧が入力され、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第4のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第6のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第8のトランジスタのソース又はドレインの他方とに、第2の電圧が入力されることを特徴とする半導体装置。
  4. 複数のパルス出力回路を有し、
    前記複数のパルス出力回路の一は、第1乃至第12のトランジスタを有し、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第6のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第8のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第4のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第6のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第9のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第7のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
    前記第10のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第1のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第10のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第3のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
    前記第10のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第11のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第8のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第12のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第8のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、ゲート信号線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、後段のパルス出力回路と電気的に接続され、
    前記第11のトランジスタのゲートは、後段のパルス出力回路と電気的に接続され、
    前記第12のトランジスタのゲートは、リセット端子と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタのゲート及び前記第8のトランジスタのゲートは、前段のパルス出力回路と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第1の配線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第2の配線と電気的に接続され、
    前記第7のトランジスタのゲートは、第3の配線と電気的に接続され、
    前記第9のトランジスタのゲートは、第4の配線と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第9のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第10のトランジスタのゲートと前記第11のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第12のトランジスタのソース又はドレインの他方とに、第1の電圧が入力され、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第4のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第6のトランジスタのソース又はドレインの他方と前記第8のトランジスタのソース又はドレインの他方とに、第2の電圧が入力されることを特徴とする半導体装置。
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