JP6059250B2 - 液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置 - Google Patents
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Description
まず、図1及び図2に基づいて本実施例1の吐出ノズル洗浄装置の構成を説明する。
Claims (10)
- 液滴吐出装置の吐出ノズルを洗浄液で洗浄する液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置において、
洗浄ステージに形成された洗浄液流路と、
前記洗浄液流路に洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、
前記洗浄液流路に供給した洗浄液に前記吐出ノズルを浸して洗浄する動作を制御する洗浄制御手段とを備え、
前記洗浄ステージの上面に前記洗浄液流路から洗浄液が該上面に溢れ出すことを防止するための撥液処理が施されている、液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置であって、
前記洗浄ステージに設けられ、前記吐出ノズルの洗浄時に前記洗浄液流路に供給した洗浄液に超音波振動を付与する超音波発振器と、
前記吐出ノズルの先端部を撮像するカメラと、
前記カメラの撮像画像を処理して前記吐出ノズルの汚れ付着状況を画像認識する画像処理装置とを備え、
前記洗浄制御手段は、前記吐出ノズルの洗浄前に前記画像処理装置で画像認識した前記吐出ノズルの汚れ付着状況に基づいて前記吐出ノズルの洗浄を行う洗浄時間と前記超音波発振器の超音波振動強度の少なくとも一方を変更して前記吐出ノズルを洗浄することを特徴とする液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置。 - 前記吐出ノズルは、複数本列設され、
前記洗浄制御手段は、前記複数本の吐出ノズルの洗浄前に前記画像処理装置で画像認識した前記各吐出ノズルの汚れ付着状況に基づいて、汚れ無しと画像認識した前記吐出ノズルについては洗浄を行わず、汚れ有りと画像認識した前記吐出ノズルについてのみ洗浄することを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置。 - 前記複数本の吐出ノズルの配列を前記洗浄液流路と交差させて、前記複数本の吐出ノズルを1本ずつ前記洗浄液流路内の洗浄液に浸して洗浄するように構成されていることを特徴とする請求項2に記載の液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置。
- 前記洗浄液流路に送風する送風装置を備え、
前記洗浄制御手段は、前記吐出ノズルの洗浄後に前記送風装置を運転して前記洗浄液流路に送風して該洗浄液流路から洗浄液を排出することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置。 - 前記洗浄液流路から洗浄液を吸引するポンプを備え、
前記洗浄制御手段は、前記洗浄液流路から洗浄液を排出した後、前記ポンプを運転して前記洗浄液流路に残留した洗浄液を吸引することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置。 - 前記洗浄液流路に送風する送風装置と、
前記洗浄液流路から洗浄液を吸引するポンプとを備え、
前記洗浄制御手段は、前記吐出ノズルの洗浄後に前記送風装置を運転して前記洗浄液流路に送風して該洗浄液流路から洗浄液を排出した後、前記ポンプを運転して前記洗浄液流路に残留した洗浄液を吸引することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置。 - 前記洗浄制御手段は、前記ポンプを運転して前記洗浄液流路に残留した洗浄液を吸引した後、前記送風装置を運転して前記洗浄液流路に送風して該洗浄液流路の内面や前記吐出ノズルに付着した洗浄液を吹き飛ばすことを特徴とする請求項6に記載の液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置。
- 前記洗浄液流路の内面に、洗浄液を流れやすくするための親液処理が施されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置。
- 前記液滴吐出装置のヘッドには複数の吐出ノズルが列設され、
前記洗浄制御手段は、洗浄時に前記複数の吐出ノズルの配列を前記洗浄液流路と交差させて前記複数の吐出ノズルを個別に洗浄することを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置。 - 前記液滴吐出装置のヘッドには複数の吐出ノズルが列設され、
前記洗浄制御手段は、洗浄時に前記複数の吐出ノズルの配列を前記洗浄液流路と平行にして前記複数の吐出ノズルを一括して洗浄することを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の液滴吐出装置の吐出ノズル洗浄装置。
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