JP6056382B2 - 給電ユニット、ワイヤ放電加工装置、給電方法 - Google Patents
給電ユニット、ワイヤ放電加工装置、給電方法 Download PDFInfo
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Description
2 ブロック2
3 ワーク送り装置
4 接着部
5 シリコンインゴット
6 加工液漕
7 ワイヤ
8 メインローラ
9 メインローラ
10 給電ユニット
11 給電子
14 電源ユニット
15 ブロック
Claims (5)
- ワイヤに電圧を供給するための給電子を装着する給電ユニットであって、
前記給電子を装着するシャフトと、
前記シャフトが内部に設けられ、前記シャフトに装着される前記給電子が当該内部から外部に移動可能な口が設けられたブロックと、
前記ブロックの内部に設けられた、ガス供給装置からガスが供給される第1のガス室と、
前記ブロックの内部に設けられた、ガス供給装置からガスが供給される第2のガス室と、
を備え、
前記シャフトは、ガス供給装置からのガスの供給による前記第1のガス室内の圧力で、前記シャフトに装着された前記給電子を、前記口を介して前記ワイヤに押し当て、
前記第2のガス室は、ガス供給装置からガスが前記第2のガス室に供給されることにより、前記第2のガス室に供給されるガスを、前記口に設けられた前記給電子と前記ブロックとの隙間から、前記ブロックの外部に排出するように構成されていることを特徴とする給電ユニット。 - ガス供給装置から第2のガス室に供給するガスの流量を調整するための流量調整機構を更に備え、
前記流量調整機構は、前記第1のガス室内の圧力よりも前記第2のガス室内の圧力の方が低くなるように、ガス供給装置から前記第2のガス室に供給されるガスの流量を調整することを特徴とする請求項1に記載の給電ユニット。 - 前記シャフトは、ガス供給装置からのガスの供給による前記第1のガス室内の圧力で、前記シャフトに装着された前記給電子を、前記口を介して複数の前記ワイヤに押し当てることを特徴する請求項1又は2に記載の給電ユニット。
- 請求項1乃至3の何れか1項に記載の給電ユニットを備えることを特徴とするワイヤ放電加工装置。
- ワイヤに電圧を供給するための給電子を装着するシャフトと、
前記シャフトが内部に設けられ、前記シャフトに装着される前記給電子が当該内部から外部に移動可能な口が設けられたブロックと、
前記ブロックの内部に設けられた、ガス供給装置からガスが供給される第1のガス室と、
前記ブロックの内部に設けられた、ガス供給装置からガスが供給される第2のガス室と、
を備えた給電ユニットによる給電方法であって、
前記シャフトは、ガス供給装置からのガスの供給による前記第1のガス室内の圧力で、前記シャフトに装着された前記給電子を、前記口を介して前記ワイヤに押し当てることにより、前記ワイヤに電圧を供給し、
前記第2のガス室は、ガス供給装置からガスが前記第2のガス室に供給されることにより、前記第2のガス室に供給されるガスを、前記口に設けられた前記給電子と前記ブロックとの隙間から、前記ブロックの外部に排出することを特徴とする給電方法。
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