JP2013180371A - ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、加工物 - Google Patents
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Abstract
【課題】 給電子の接触によるワイヤへの電圧印加を安定して行わせること。
【解決手段】 ワイヤに電圧を供給するための給電子と、前記給電子と、前記ワイヤが巻かれたメインローラとの間に、ワイヤを保持するためのサブガイドと、を備えることを備えることを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】 ワイヤに電圧を供給するための給電子と、前記給電子と、前記ワイヤが巻かれたメインローラとの間に、ワイヤを保持するためのサブガイドと、を備えることを備えることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、加工物に関する。
近年、半導体材料や太陽電池材料、硬質材料等の被加工材料を、放電加工により、短時間で同時に複数切り出す方法が開発されている。
たとえば、ワイヤ放電加工装置は、当該被加工材料を薄板状に切り出すために、給電子を介してワイヤに電圧を印加しながら走行させ、そのワイヤに当該被加工材料を近づけることで放電現象を発生させ、当該被加工材料を放電加工するものである。
特許文献1には、硬質材料のワイヤガイドを被加工材料の加工部位に設置して、加工部のワイヤに張りを与えることが記載されている。
特許文献1には、硬質材料のワイヤガイドを被加工材料の加工部位に設置して、加工部のワイヤに張りを与えることが記載されている。
しかしながら、従来、ワイヤガイドにより加工部位のワイヤに張りを与えることができるものの、ワイヤに電圧を印加する給電子には、張りを与えられていないため、ワイヤの走行により、ワイヤが給電子から離れる方向へ移動し、ワイヤと給電子との接触が途切れてしまう場合があり、そのような場合には、ワイヤへの電圧印加が出来なくなり、加工面の不良やワイヤの断線などが発生し得る。
また、ワイヤと給電子との摩擦がある以上、ワイヤ、及び/又は給電子に摩耗が発生する。
また、ワイヤと給電子との摩擦がある以上、ワイヤ、及び/又は給電子に摩耗が発生する。
そのため、例えば、ワイヤと給電子との摩擦によりワイヤが摩耗すると、ワイヤ径が縮小し、ワイヤが断線してしまう場合がある。ワイヤが断線してしまった場合は、新しいワイヤに張り替えなければならないため、放電加工が中断されてしまう。
また、例えば、ワイヤと給電子との摩擦により給電子が摩耗すると、ワイヤと給電子との接触が途切れてしまう場合があり、そのような場合には、ワイヤへの電圧印加が途切れてしまう。ワイヤへの電圧印加が途切れてしまうと、ワイヤと被加工物との間での放電も途切れてしまい、ワイヤと被加工物とが直接接触する場合がある。このとき、ワイヤはローラにより走行しているため、ワイヤと被加工物とが直接接触してしまうと、ワイヤが断線してしまい、結果として、放電加工が中断されてしまう。
このように、給電子の摩耗によるワイヤの断線の発生リスクを考慮して、給電子の交換等のメンテナンスを行わなければならない。
このように、給電子の摩耗によるワイヤの断線の発生リスクを考慮して、給電子の交換等のメンテナンスを行わなければならない。
さらに、給電子の摩耗によるワイヤの断線の発生リスクは、給電子が取り付けられた方向(給電子がワイヤに向かっている方向)の位置(給電子の取付位置)に応じて異なるため、例えば、複数の給電子を複数のワイヤに接触させるマルチワイヤ放電加工装置において、各給電子の取付位置がそれぞれ異なる場合には、それぞれの給電子の摩耗の深さが異なり、給電子の交換頻度にばらつきが生じてしまう。その結果、給電子の補充管理に支障をきたすおそれもある。
本発明は、給電子の接触によるワイヤへの電圧印加を安定して行わせる仕組みを提供することを目的とする。
本発明のワイヤ放電加工装置は、ワイヤに電圧を供給するための給電子と、前記給電子と、前記ワイヤが巻かれたメインローラとの間に、ワイヤを保持するためのサブガイドと、を備えることを備えることを特徴とする。
また、本発明は、ワイヤ放電加工装置によるワイヤ放電加工方法であって、給電子が、ワイヤに電圧を供給し、サブガイドが、前記給電子と、前記ワイヤが巻かれたメインローラとの間に設けられ、前記ワイヤを保持することを特徴とする。
また、本発明は、当該ワイヤ放電加工方法により、サブガイドで保持されたワイヤにより、被加工物を放電加工されることにより加工された加工物を特徴とする。
本発明によれば、給電子の接触によるワイヤへの電圧印加を安定して行わせることができる。
以下、添付図面を参照して、本発明を好適な実施形態に従って詳細に説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係るマルチワイヤ放電加工装置1を前方から見た外観図である。尚、図1に示す各機構の構成は一例であり、目的や用途に応じて様々な構成例があることは言うまでもない。
マルチワイヤ放電加工装置1は、電源ユニット14と電線(電圧印加線)を介して接続されており、電源ユニット14から供給される電力により作動する。
マルチワイヤ放電加工装置1は、電源ユニット14と電線(電圧印加線)を介して接続されており、電源ユニット14から供給される電力により作動する。
マルチワイヤ放電加工装置1は、図1に示すように、マルチワイヤ放電加工装置1の土台として機能するブロック15と、ブロック15の上部の中に設置されている、ブロック2と、ワーク送り装置3と、接着部4と、シリコンインゴット5と、加工液漕6と、メインローラ8と、ワイヤ7と、メインローラ9と、給電ユニット10と、給電子11と、サブガイド12と、サブガイド13とを備え、更に、図2に示すように、サブガイド位置調整部18と、給電子位置調整部17と、サブガイド位置調整部19と、を備えている。
図2は、図1に示す点線16枠内の拡大図である。
ブロック2は、ワーク送り装置3と接合されている。また、ワーク送り装置3は、シリコンインゴット5(ワーク)と接着部4により接着(接合)されている。
本実施例では、加工材料(ワーク)として、シリコンインゴット5を例に説明する。
図2は、図1に示す点線16枠内の拡大図である。
ブロック2は、ワーク送り装置3と接合されている。また、ワーク送り装置3は、シリコンインゴット5(ワーク)と接着部4により接着(接合)されている。
本実施例では、加工材料(ワーク)として、シリコンインゴット5を例に説明する。
接着部4は、ワーク送り装置3と、シリコンインゴット5(ワーク)とを接着(接合)するためのものであれば何でもよく、例えば、電導性の接着剤が用いられる。
ワーク送り装置3は、接着部4により接着(接合)されているシリコンインゴット5を上下方向に移動する機構を備えた装置であり、ワーク送り装置3が下方向に移動することにより、シリコンインゴット5をワイヤ7に近づけることが可能となる。
加工液漕6は、加工液を溜めるための容器である。加工液は、例えば、抵抗値が高い脱イオン水である。ワイヤ7と、シリコンインゴット5との間に、加工液を設けられることにより、ワイヤ7と、シリコンインゴット5との間で放電が起き、シリコンインゴット5を削ることが可能となる。
メインローラ8、9には、ワイヤ7を取り付けるための溝が複数列形成されており、その溝にワイヤ7が取り付けられている。そして、メインローラ8、9が右又は左回転することにより、ワイヤ7が走行する。
また、図2に示すように、ワイヤ7は、メインローラ8、9に取り付けられ、メインローラ8、9の上側、及び下側にワイヤ列を形成している。
また、図2に示すように、ワイヤ7は、メインローラ8、9に取り付けられ、メインローラ8、9の上側、及び下側にワイヤ列を形成している。
また、ワイヤ7は、伝導体であり、電源ユニット14から電圧が供給された給電ユニット10の給電子11と、ワイヤ7とが接触することにより、当該供給された電圧が給電子11からワイヤ7に印加される。(給電子11がワイヤ7に電圧を印加している。)
そして、ワイヤ7と、シリコンインゴット5との間で放電が起き、シリコンインゴット5を削り(放電加工を行い)、薄板状のシリコン(シリコンウエハ)を作成することが可能となる。
図2に示すように、給電ユニット10が備える給電子11がワイヤ7に接触している位置の両端に設けているサブガイド12、13は、ワイヤ7を取り付けるための溝が複数列形成されており、その溝にワイヤ7が取り付けられている。サブガイド12、13も、メインローラ8、9と同様に回転することにより、ワイヤ7の走行を補助する。
また、図2に示すように、サブガイド12、13は、メインローラ8、9との間に設けられた下側のワイヤを押し上げる位置に設けられている。
また、図2に示すように、サブガイド12、13は、メインローラ8、9との間に設けられた下側のワイヤを押し上げる位置に設けられている。
また、図2に示すように、給電ユニット10、及び/又は給電子11は、メインローラ8、9との間に設けられた下側のワイヤを押し下げる位置に設けられている。
このように、メインローラ8、9に下方向のワイヤ列の直下には、サブガイド12、13が配置されることにより、給電子11に押されたワイヤ7が下方向に逃げないようにワイヤが保持されている。
以上のように、サブガイド12、13を設けることで、走行するワイヤ7のブレを低減させることができ、走行するワイヤ7と、給電子11とが安定して接触し電圧をワイヤ7に供給させることができるようになる。そのため、シリコンインゴット5の放電加工の不良やワイヤ7の断線を低減させることが可能となる。
また、図2に示すように、サブガイド12には、当該サブガイド12の設置位置を調整するためのサブガイド位置調整部18を備えている。また、サブガイド13には、当該サブガイド13の設置位置を調整するためのサブガイド位置調整部19を備えている。
また、図2に示すように、給電ユニット10及び/又は給電子11の設置位置を調整するための給電子位置調整部17を備えている。
サブガイド位置調整部18、19、及び、給電子位置調整部17については、後で、図面を用いて説明する。
次に、図3を用いて、ワイヤ7と、給電子11と、サブガイド12、13との構成について、説明する。
図3は、ワイヤ7と、給電子11と、サブガイド12、13との関係を示す図である。
図3に示す通り、サブガイド12、13には、ワイヤ7を取り付けるための溝が設けられており、これらの溝にワイヤ7が取り付けられている。そして、サブガイド12と、サブガイド13との間に、給電子11を設けている。この給電子11は、ワイヤ7と接触するように配置されている。
図3に示すように、サブガイド12、13が、給電子11の両側にそれぞれ設けられている。
図3に示すように、サブガイド12、13が、給電子11の両側にそれぞれ設けられている。
図3に示すように、ワイヤ7は、複数のワイヤ(マルチワイヤ)から構成されており、複数のワイヤに対して、1つの給電子11が接触するように給電子11が設けられている。
次に、図4を用いて、図2のサブガイド12、13、及び、サブガイド位置調整部18、19について説明する。
図4は、サブガイド12、13、及び、サブガイド位置調整部18、19を示す図である。
サブガイド位置調整部18、19は、図4に示すように、それぞれ、ブラケットA、ブラケットB、ブラケットC、ブラケットB調整ネジ410、ストッパー411、ネジ405、ネジ406、ネジ401、ネジ402、ネジ403、ネジ404、ブラケットC調整ネジ409、ネジ407、ネジ408から構成されている。
ブラケットAは、ネジ405とネジ406とにより、ブロック15(ベース)と締結されている。
また、ブラケットBは、ネジ403とネジ404とにより、ブラケットAと締結されている。
また、ブラケットCは、ネジ401とネジ402とにより、ブラケットBと締結されている。
また、サブガイド12、13は、ネジ407とネジ408とにより、ブラケットCと締結されている。
また、ブラケットAは、ブラケットBを水平方向に移動(調整)することが可能なブラケットB調整ネジ410と、ブラケットBをブラケットA上の所定の位置に設置するためのストッパー411とを設けている。
ブラケットB調整ネジ410は、ブラケットBを水平方向に調整するように設けられたネジであって、ブラケットAとブラケットBとを締結する。
ブラケットBを水平方向に調整するためには、ネジ403、ネジ404を緩めて、ブラケットB調整ネジ410を回転させることで、ブラケットBを水平方向に移動(調整)することが可能となる。
また、ブラケットCは、ブラケットCを垂直方向に移動(調整)することが可能なブラケットC調整ネジ409を設けている。
ブラケットC調整ネジ409は、ブラケットCを垂直方向に調整するように設けられたネジであって、ブラケットCとブラケットBとを締結する。
ブラケットC調整ネジ409は、本発明のガイド上下調整部の適用例であり、サブガイドの位置を上下方向に移動することができる。
ブラケットC調整ネジ409は、ブラケットCを垂直方向に調整するように設けられたネジであって、ブラケットCとブラケットBとを締結する。
ブラケットC調整ネジ409は、本発明のガイド上下調整部の適用例であり、サブガイドの位置を上下方向に移動することができる。
ブラケットCを垂直方向に調整するためには、ネジ401、ネジ402を緩めて、ブラケットC調整ネジ409を回転させることで、ブラケットCを垂直方向に移動(調整)することが可能となる。
図5は、ブラケットC調整ネジ409を回転させることで、ブラケットCを垂直方向(上下方向)に移動(調整)すること示した、サブガイド12、13、及び、サブガイド位置調整部18、19を示す図である。
図5に示すように、ブラケットC調整ネジ409を回転させ、ブラケットCを垂直方向に移動(調整)することにより、ブラケットCにネジ407、408により締結されたサブガイド12、13を、垂直方向(上下方向)に移動(調整)することができる。そのため、サブガイド12、13の溝に取り付けられたワイヤ7を、サブガイド12、13により、押し上げることができるように、サブガイド12、13の位置を調整することが可能となる。
図6は、ブラケットB調整ネジ410を回転させることで、ブラケットBを水平方向に移動(調整)すること示した、サブガイド12、13、及び、サブガイド位置調整部18、19を示す図である。
図6に示すように、ブラケットB調整ネジ410を回転させ、ブラケットBを水平方向に移動(調整)することにより、サブガイド12、13を、水平方向に移動(調整)することができる。
ブラケットB調整ネジ410は、本発明のガイド水平調整部の適用例であり、サブガイドの位置を水平方向に移動することができる。
ブラケットB調整ネジ410は、本発明のガイド水平調整部の適用例であり、サブガイドの位置を水平方向に移動することができる。
そのため、サブガイド12、13の溝に取り付けられたワイヤ7を、サブガイド12、13により、押し上げることができるように、サブガイド12、13の位置を調整することが可能となる。そのため、走行するワイヤ7を、サブガイド12、13の溝に適切に取り付けることができ、走行するワイヤ7のブレを低減させることができる。それゆえ、シリコンインゴット5の放電加工の不良やワイヤ7の断線を低減させることが可能となる。
また、ワイヤ7を走行させるメインローラ8、9が、磨耗等により交換する必要がある場合、又は、ワイヤ7が摩耗等により交換する必要がある場合、再度、メインローラ8、9にワイヤ7を巻きつけなければならない。その際、メインローラ8、9、及び/又はメインローラ8、9へのワイヤ7の取り付け誤差により、交換前のワイヤ7と交換後のワイヤ7との取り付け位置が異なる場合がある。このような場合に、サブガイド12、13の位置を垂直方向、及び水平方向に調整することが可能なサブガイド位置調整部を設けることで、その取り付け誤差を吸収し、補正することができるようになる。
また、サブガイド12、13についても、摩耗等により交換が必要な場合がある。そのため、サブガイド12、13を交換する際は、ブラケットBとブラケットAとを締結していたネジ403、ネジ404を外し、ブラケットBをブラケットAから取り外す。そして、ネジ407、ネジ408を外すことで、サブガイド12、13を交換することが可能なる。
このとき、ブラケットC調整ネジ409は、サブガイド12、13を交換する前に、ブラケットC調整ネジ409により既に垂直方向に調整されていたサブガイド12、13の位置を保持している。
そのため、再度、サブガイド12、13を交換した後に、ブラケットBを、ネジ403、ネジ404でブラケットAに締結すれさえすれば、交換後のサブガイド12、13の位置(垂直方向の位置)を、交換前のサブガイド12、13の位置(垂直方向の位置)に設置することができ、すなわち、ブラケットC調整ネジ409を再度調整する必要が無くなり、交換後のサブガイド12、13の位置(垂直方向の位置)を、交換前のサブガイド12、13の位置(垂直方向の位置)に容易に設置することが可能となる。
さらに、ブラケットAは、ブラケットB調整ネジ410により、水平方向に調整したブラケットBの位置を保持するために、ストッパー411を設けている。
すなわち、ストッパー411は、ブラケットAとブラケットBとの間の水平方向の調整後の距離だけ、ブラケットAからブラケットBの水平方向に飛び出ている突起部を有する。それゆえ、ストッパー411の突起部は、ブラケットB調整ネジ410により、ブラケットAとブラケットBとの間の水平方向の位置関係を保持している。
サブガイド12、13を交換する際は、ブラケットBとブラケットAとを締結していたネジ403、ネジ404を外し、ブラケットBをブラケットAから取り外す。そして、ネジ407、ネジ408を外すことで、サブガイド12、13を交換する。
そして、サブガイド12、13を交換し、ブラケットBを、ストッパー411の突起部に接するように配置して、ネジ403、404でブラケットBとブラケットAとを締結することにより、交換後のサブガイド12、13の位置(水平方向の位置)を、交換前のサブガイド12、13の位置(水平方向の位置)に設置することができるようになる。
よって、ブラケットB調整ネジ410を再度調整する必要が無くなり、交換後のサブガイド12、13の位置(水平方向の位置)を、交換前のサブガイド12、13の位置(水平方向の位置)に容易に設置することが可能となる。
このように、ストッパー411を設けたことにより、サブガイド12、13の位置を調整した後にサブガイドを取り外した場合でも、その取り外し前と同じ位置に交換後のサブガイドを容易に設置することができるようになる。
図7は、ネジ403とネジ404とを外し、ブラケットBとブラケットAとの締結を解除した場合の、サブガイド12、13、及び、サブガイド位置調整部18、19を示す図である。
図7に示すように、ブラケットBとブラケットAとを締結していたネジ403、ネジ404を外し、ブラケットBをブラケットAから取り外す。この場合、ブラケットC調整ネジ409は、サブガイド12、13を交換する前に、ブラケットC調整ネジ409により既に垂直方向に調整されていたサブガイド12、13の位置を保持している。また、ストッパー411(の突起部)は、ブラケットB調整ネジ410により、ブラケットAとブラケットBとの間の水平方向の位置関係を保持している。それゆえ、サブガイド12、13の位置を調整した後にサブガイドを取り外した場合でも、その取り外し前と同じ位置に交換後のサブガイドを容易に設置することができる。
次に、図8を用いて、図2に示す給電子位置調整部17、給電ユニット10、給電子11について説明する。
図8は、図2に示す給電子位置調整部17、給電ユニット10、給電子11の詳細な構成を示す図である。
図8に示すように、給電子位置調整部17は、水平位置調整部801と、上下位置調整部802と、ブロック808と、ブロック809とから構成される。また、給電子位置調整部17は、ブロック15(ベース)と、ネジ803、804により、締結されている。
ブロック808とブロック809は、ネジ807、ネジ806とにより締結されている。
ブロック808は、水平位置調整部801により、水平方向に移動可能なブロックであり、上下位置調整部802により、上下方向(垂直方向)に移動可能なブロックである。
水平位置調整部801は、本発明である、給電ユニットの位置を水平方向に移動するための水平調整部の適用例である。
また、上下位置調整部802は、本発明である、給電ユニットの位置を上下方向に移動するための上下調整部の適用例である。
ブロック809には、給電ユニット10が接着されている。それゆえ、ブロック808が、水平方向、及び/又は上下方向(垂直方向)に移動することにより、ブロック808に締結されているブロック809と共に、ブロック809に接着されている給電ユニット10が水平方向、及び/又は上下方向(垂直方向)に移動することとなる。
給電ユニット10は、図8に示すように、ブロック810、ばね811、給電子11、管812を備えている。給電ユニット10の、より詳細な構成については、図9を用いて、後で説明する。
本実施例では、弾性体の例として、ばね811を用いて説明するが、ばね811ではなく、ゴムなどの他の弾性体を用いてもよい。
管812は、エアコンプレッサ813と導通して接続されており、エアコンプレッサ813から送られる圧縮されたエアが管812を通り、給電ユニット内に送られる。これにより、給電子11と給電ユニット10との間の隙間から加工液が、給電ユニット10内に入ってくることを防止することができるようになる。
次に、図9を用いて、給電ユニット10の詳細な構成について説明する。
図9は、給電ユニット10の詳細な構成を示す図である。
給電ユニット10は、図9に示すように、図8で説明した各構成に加え、ブロック908(902)、ねじ907、ブロック906、ブロック905、シャフト903を備えている。
ブロック905は、ブロック906と接合されており、ブロック906は、ブロック908(902)と接合されている。ブロック908の内部には、給電ユニット10内部の空間に導通している管812を備えている。
また、ブロック908(902)は、ブロック810(901)と接合されている。
ブロック810、ブロック908、ブロック906、ブロック905の内部の空間に、シャフト903を有し、シャフト903は、ねじ907により給電子11と締結され、給電子11と接着されている。
シャフト903は、伝導体であり、電源ユニット14から供給される電圧が電圧印加線805を介して供給される。そして、電圧印加線805から供給された電圧は、シャフト903を通して、給電子11に印加され、給電子11とワイヤ7とが接触することで、給電子11からワイヤ7に印加される。
シャフト903は、ブロック810、908、906の内側に設けられている。
シャフト903は、ワイヤ7に電圧を供給するための給電子11を装着可能である。
図9に示すように、ブロック810の支点Aとシャフトの支点Bとの間に円形のコイル状のばね811を備えている。このように、ばね811は、ブロック908、906と、シャフト903とを支点A、Bとして設けられている。
そのため、給電子11を下から上に向かって押すと、ばねにより給電子11が上方向に移動させることができる。また、下から上に向かって押すことを止めると、ばねの力により、給電子11が下方向に移動する。
すなわち、給電子11は、ワイヤ7により下から上に向かって押されると共に、ばね811の力によりワイヤ7の方向へ押し出され、給電子11はワイヤ7に押し付けられることとなる。
ばね811は、本発明の弾性体の適用例である。シャフト903からワイヤ7の方向に弾性力が働くように設けられている。すなわち、ばね811は、ばねによる弾性力により、シャフト903を、シャフト903からワイヤ7の方向に、押し出し可能に配置されている。また、ばね811は、シャフト903とブロック908、906との間に設けられている
また、ブロック810とシャフト903との間の面(スライド面A)により、シャフト903が、ばねの伸び縮みにより、左右にずれることを防ぎ、さらに、ブロック906、及びブロック905と給電子11との間の面(スライド面B)により、シャフト903が、ばねの伸び縮みにより、左右にずれることを防ぐことができる。
このように、スライド面A、及び、スライド面Bにより、シャフト903、及び給電子11が、ばねの伸び縮みにより、ずれることを防ぎ、ワイヤ7と給電子11とを安定して接触させることができる。
ばねの弾性力により、シャフト903を、シャフト903からワイヤ7の方向に、押し出すことにより、シャフト903に装着可能な給電子11をワイヤ7に接触させ、給電子11から電圧をワイヤ7に供給する。そして、ワイヤ7と、被加工物としてのシリコンインゴット5との間で放電加工を行い、シリコンインゴット5をスライス(加工)して、加工物としてのシリコンウエハを形成させる。
ブロック810は、シャフト903と接触し(スライド面A)、シャフト903が押し出される方向に支持するための第1のスライド部を備えている。
また、ブロック906、905は、給電子11と接触し(スライド面B)、給電子11が押し出される方向に支持するための第2のスライド部を備えている。
また、図9の右側に、シャフト903と給電子11とを取り外した図を示す。
シャフト903は、図9に示すように、ねじ穴909を備えている。ねじ穴909に付いていたねじ907を取り外すことで、すなわち、給電子11の窪み910にはまっていたねじ907と取り外すことで、シャフト903と給電子11とを取り外すことができる。このように、シャフト903に対して、給電子11は、着脱可能になっている。
また、給電子11が、ばね811により上下に移動可能であるため、スライド面Bに加工水が入り込み、給電ユニット10内に加工水が入り込む可能性がある。
そのため、エアコンプレッサ813から管812を介して送られてくるエア(空気)を、ブロック810及びシャフト903及び給電子11と、ブロック908及びブロック906及びブロック905との間の空間に流すことで、スライド面Bから給電ユニット10内に加工水が入り込むことを低減させることが可能となる。
このように、給電ユニット10は、エアコンプレッサ813と導通可能な管812を備えており、エアコンプレッサ813から空気の気体が管812を通して給電ユニット10内に導入される。
図13は、給電ユニット10の詳細な構成と、給電ユニット10の断面Aの断面図とを示す図である。
図13の左側に、図9の左側に示す図(給電ユニット10の詳細な構成を示す図)と同様の図を示す。
図13の左側に示す給電ユニット10の断面Aの断面図を、図13の右側に示す。
図13の右側の図のように、断面Aの中心には、シャフト903があり、その周りに、ブロック810が設けられている。そして、その周りに、円形状のばね811があり、さらにその周りにブロック908(902)が設けられている。
次に、図10を用いて、水平位置調整部801を操作することによる給電ユニット10の水平方向への移動について説明する。
水平位置調整部801のつまみを回転することにより、水平位置調整部801が水平方向に移動する。そして、水平位置調整部801が水平方向に移動することに伴い、ブロック808が同様に水平方向に移動し、給電ユニット10が水平方向に移動する。
これにより、給電ユニット10が備える給電子11が所望のワイヤ7に接触するように配置させることが可能となる。
次に、図11、図12を用いて、上下位置調整部802を操作することによる給電ユニット10の上下方向への移動について説明する。
上下位置調整部802のつまみを回転することにより、上下位置調整部802が上下方向に移動する。そして、上下位置調整部802が上下方向に移動することに伴い、ブロック808が同様に上下方向に移動し、給電ユニット10が上下方向に移動する。
これにより、給電ユニット10が備える給電子11が所望のワイヤ7に接触させることが可能となる。
また、上下位置調整部802により、ワイヤ7の方向(下の方向)に、給電子11を移動させることで、給電子11とワイヤ7とが接触し、さらに、図12に示すように、上下位置調整部802により、給電子11を距離Aだけ下降させると、ばね811も同様に距離Aに対応する分のたわみを持つ。
これにより、シャフト903をそのたわみ分押し付け、且つ、給電子11がワイヤ7を押し付ける状態となる。
図12の左側は、ばね11のたわみがない状態を示す図であり、図12の右側は、ばね811にたわみがある状態を示す図である。
以上のように、ワイヤ7が走行中に給電子11が磨耗しても、その分だけバネのたわみが開放されることで、給電子11とワイヤ7が接触している状態を長い期間、保つことが可能となる。
さらに、ばね811のたわみ量を多く調整することで、給電子11も長くすることができ、ワイヤ7の走行による給電子11の磨耗が、長時間続いたとしても、給電子11の交換頻度を少なくすることが可能となる。
以上、本実施形態のマルチワイヤ放電加工装置1(ワイヤ放電加工装置)によれば、給電子の接触によるワイヤへの電圧印加を安定して行わせると共に、給電子に係るメンテナンス作業を軽減させることができる。
また、本実施形態のマルチワイヤ放電加工装置1(ワイヤ放電加工装置)により、以下の効果を奏することが可能となる。
本実施形態のマルチワイヤ放電加工装置1(ワイヤ放電加工装置)によれば、ワイヤと給電子がバネ力により一定の接触圧を保ったまま、ワイヤに電圧が印加されることで、安定した放電現象を得ることができる。
また、ワイヤに対し、バネが圧縮した長さ分の給電子は、ワイヤとの摩擦で磨耗が進行してもバネ力の開放とともにワイヤ押し当て方向に突き出てくるため、給電子の使用幅を広く取ることができ、交換頻度が減少されたとともに、作業者によるワイヤと給電子の初期接触位置ばらつきが解消され、計画的な給電子補充が可能となる。
ワイヤに電圧を印加する給電子とワイヤが巻かれたメインローラの間に、ワイヤを保持する溝が形成されたサブガイドを配置し、給電子で押されたワイヤが下方へ逃げることを抑制させることで給電子へのワイヤ押し付け力を保つことができるようになる。
ワイヤを走行させるメインローラを磨耗等により交換しワイヤを巻きつけた場合、メインローラの取り付け誤差により、交換前のワイヤと交換後のワイヤ位置が異なる。サブガイドはワイヤ位置に対してその溝位置を合わせることとなるため、その調整を容易に行えるように、ワイヤとサブガイドが直角及び平行に調整できる調整ネジを設けている。
また、調整ネジでサブガイドを直角及び平行に調整した後、メインローラはそのままで、サブガイドを取り外した場合でも、その取り外し前と同じ位置に復元できるようストッパーを設けている。
サブガイドを配置した場合、給電子がワイヤを押さえた際のワイヤのたわみの起点となる距離が短くなり、ワイヤのたわみが少なくなる。これにより、ワイヤのたわみ反力が高くなり、給電子でのワイヤの押し付け力が高くなり、給電子とワイヤとを安定して接触させることができる。
給電子に対するワイヤの位置変化が生じても、給電子とワイヤが常に一定に接触できるようワイヤを保持するサブガイドを設け、サブガイド、及び/又はメインローラの交換によるサブガイドとのワイヤ位置の変化が生じても簡単にワイヤの位置を合わせることが出来、且つ、サブガイドの磨耗によりサブガイドの交換を行っても、交換前のサブガイド位置へ戻すことが出来るようになる。
サブガイドを配置した場合、給電子がワイヤを押さえた際のワイヤのたわみの起点となる距離が短くなり、ワイヤのたわみが少なくなる。これにより、ワイヤのたわみ反力が高くなり、給電子でのワイヤの押し付け力が高くなる。
スライドガイドにより、サブガイドがワイヤに対して水平あるいは直角にスライドすることで、調整速度が速くなるとともに、ワイヤに対して斜めに取り付くことがなく、溝の偏磨耗も防止することが出来る。
サブガイドを取り付けブラケットとともに取り外しても、ストッパーを基準に取り付けを行うことで、ワイヤに対するサブガイドの位置を調整する必要がなく、サブガイド交換作業の時間が短縮される。
1 マルチワイヤ放電加工装置
2 ブロック2
3 ワーク送り装置
4 接着部
5 シリコンインゴット
6 加工液漕
7 ワイヤ
8 メインローラ
9 メインローラ
10 給電ユニット
11 給電子
12 サブガイド
13 サブガイド
14 電源ユニット
15 ブロック
2 ブロック2
3 ワーク送り装置
4 接着部
5 シリコンインゴット
6 加工液漕
7 ワイヤ
8 メインローラ
9 メインローラ
10 給電ユニット
11 給電子
12 サブガイド
13 サブガイド
14 電源ユニット
15 ブロック
Claims (8)
- ワイヤに電圧を供給するための給電子と、
前記給電子と、前記ワイヤが巻かれたメインローラとの間に、ワイヤを保持するためのサブガイドと、
を備えることを備えることを特徴とするワイヤ放電加工装置。 - 前記サブガイドは、前記ワイヤを保持するための溝を備えていることを特徴とする請求項1に記載のワイヤ放電加工装置。
- 前記サブガイドが、前記給電子の両側にそれぞれ設けられている請求項1又は2に記載のワイヤ放電加工装置。
- 前記サブガイドの位置を水平方向に移動するためのガイド水平調整部と、
前記ガイド水平調整部により、前記サブガイドを水平方向に移動することを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載のワイヤ放電加工装置。 - 前記サブガイドの位置を上下方向に移動するためのガイド上下調整部と、
前記ガイド上下調整部により、前記サブガイドを上下方向に移動することを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載のワイヤ放電加工装置。 - 前記サブガイドを、所定の位置に設置するためのストッパーを更に備えることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載のワイヤ放電加工装置。
- ワイヤ放電加工装置によるワイヤ放電加工方法であって、
給電子が、ワイヤに電圧を供給し、
サブガイドが、前記給電子と、前記ワイヤが巻かれたメインローラとの間に設けられ、前記ワイヤを保持することを特徴とするワイヤ放電加工方法。 - 請求項7に記載のワイヤ放電加工方法により、サブガイドで保持されたワイヤにより、被加工物を放電加工されることにより加工された加工物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012045957A JP2013180371A (ja) | 2012-03-01 | 2012-03-01 | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、加工物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012045957A JP2013180371A (ja) | 2012-03-01 | 2012-03-01 | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、加工物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013180371A true JP2013180371A (ja) | 2013-09-12 |
Family
ID=49271405
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012045957A Pending JP2013180371A (ja) | 2012-03-01 | 2012-03-01 | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、加工物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013180371A (ja) |
-
2012
- 2012-03-01 JP JP2012045957A patent/JP2013180371A/ja active Pending
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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