JP6048148B2 - Coating composition for touch panel, coating film and touch panel - Google Patents
Coating composition for touch panel, coating film and touch panel Download PDFInfo
- Publication number
- JP6048148B2 JP6048148B2 JP2012553789A JP2012553789A JP6048148B2 JP 6048148 B2 JP6048148 B2 JP 6048148B2 JP 2012553789 A JP2012553789 A JP 2012553789A JP 2012553789 A JP2012553789 A JP 2012553789A JP 6048148 B2 JP6048148 B2 JP 6048148B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent electrode
- film
- metal
- touch panel
- coating composition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 158
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 148
- 239000008199 coating composition Substances 0.000 title claims description 142
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 115
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 115
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 101
- -1 methacryloxy group Chemical group 0.000 claims description 77
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 claims description 63
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 52
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 44
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 34
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 34
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 27
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 24
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 20
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 19
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 claims description 17
- SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 2-methylpentane-2,4-diol Chemical compound CC(O)CC(C)(C)O SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 claims description 16
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 14
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 9
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 8
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims description 6
- 229940051250 hexylene glycol Drugs 0.000 claims description 6
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M (z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical compound C\C([O-])=C\C(C)=O POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M 0.000 claims description 5
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 150000001447 alkali salts Chemical class 0.000 claims description 5
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 4
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims description 4
- WDJHALXBUFZDSR-UHFFFAOYSA-N Acetoacetic acid Natural products CC(=O)CC(O)=O WDJHALXBUFZDSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 claims description 3
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- WOWBFOBYOAGEEA-UHFFFAOYSA-N diafenthiuron Chemical compound CC(C)C1=C(NC(=S)NC(C)(C)C)C(C(C)C)=CC(OC=2C=CC=CC=2)=C1 WOWBFOBYOAGEEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001960 metal nitrate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 claims description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 2
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 2
- WDJHALXBUFZDSR-UHFFFAOYSA-M acetoacetate Chemical compound CC(=O)CC([O-])=O WDJHALXBUFZDSR-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 2
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims description 2
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 125000001951 carbamoylamino group Chemical group C(N)(=O)N* 0.000 claims description 2
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 claims description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910001510 metal chloride Inorganic materials 0.000 claims description 2
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 362
- 238000000034 method Methods 0.000 description 67
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 48
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 47
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 37
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 31
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 24
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 description 23
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 22
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 18
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 18
- VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N titanium(IV) isopropoxide Chemical compound CC(C)O[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 15
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 13
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 11
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 11
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 11
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 11
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 10
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 9
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 9
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 9
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 9
- GPAAEXYTRXIWHR-UHFFFAOYSA-N (1-methylpiperidin-1-ium-1-yl)methanesulfonate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C[N+]1(C)CCCCC1 GPAAEXYTRXIWHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 8
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 description 7
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 7
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 5
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical class [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 4
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 4
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 4
- CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N triethoxy(methyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)OCC CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 4
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- BTANRVKWQNVYAZ-UHFFFAOYSA-N butan-2-ol Chemical compound CCC(C)O BTANRVKWQNVYAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 3
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 3
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 3
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 3
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 3
- 238000002454 metastable transfer emission spectrometry Methods 0.000 description 3
- 238000011085 pressure filtration Methods 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KBQVDAIIQCXKPI-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C=C KBQVDAIIQCXKPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 2
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- YHWCPXVTRSHPNY-UHFFFAOYSA-N butan-1-olate;titanium(4+) Chemical compound [Ti+4].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-] YHWCPXVTRSHPNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012461 cellulose resin Substances 0.000 description 2
- HSJPMRKMPBAUAU-UHFFFAOYSA-N cerium(3+);trinitrate Chemical compound [Ce+3].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O HSJPMRKMPBAUAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 2
- ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N isobutanol Chemical compound CC(C)CO ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 2
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 2
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 2
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 2
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N (3-aminopropyl)triethoxysilane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IKYAJDOSWUATPI-UHFFFAOYSA-N 3-[dimethoxy(methyl)silyl]propane-1-thiol Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCS IKYAJDOSWUATPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNDZQQSKSQTQQD-UHFFFAOYSA-N 3-methylcyclohex-2-en-1-ol Chemical compound CC1=CC(O)CCC1 XNDZQQSKSQTQQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- URDOJQUSEUXVRP-UHFFFAOYSA-N 3-triethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCOC(=O)C(C)=C URDOJQUSEUXVRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDQWJFXZTAWJST-UHFFFAOYSA-N 3-triethoxysilylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCOC(=O)C=C XDQWJFXZTAWJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVNLBBGBASVLLI-UHFFFAOYSA-N 3-triethoxysilylpropylurea Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCNC(N)=O LVNLBBGBASVLLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N Tert-Butanol Chemical compound CC(C)(C)O DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 125000003668 acetyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(=O)O[*] 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N aluminium isopropoxide Chemical compound [Al+3].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JPUHCPXFQIXLMW-UHFFFAOYSA-N aluminium triethoxide Chemical compound CCO[Al](OCC)OCC JPUHCPXFQIXLMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- BSDOQSMQCZQLDV-UHFFFAOYSA-N butan-1-olate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-] BSDOQSMQCZQLDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDQSJQSWAWPGKG-UHFFFAOYSA-N butane-1,1-diol Chemical compound CCCC(O)O CDQSJQSWAWPGKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 150000003841 chloride salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 238000010835 comparative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N diphenyl ether Chemical compound C=1C=CC=CC=1OC1=CC=CC=C1 USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N dipropyl ether Chemical compound CCCOCCC POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SZXQTJUDPRGNJN-UHFFFAOYSA-N dipropylene glycol Chemical compound OCCCOCCCO SZXQTJUDPRGNJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- ASBGGHMVAMBCOR-UHFFFAOYSA-N ethanolate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CC[O-].CC[O-].CC[O-].CC[O-] ASBGGHMVAMBCOR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- REOJLIXKJWXUGB-UHFFFAOYSA-N mofebutazone Chemical group O=C1C(CCCC)C(=O)NN1C1=CC=CC=C1 REOJLIXKJWXUGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- DTSBBUTWIOVIBV-UHFFFAOYSA-N molybdenum niobium Chemical compound [Nb].[Mo] DTSBBUTWIOVIBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- YPJKMVATUPSWOH-UHFFFAOYSA-N nitrooxidanyl Chemical compound [O][N+]([O-])=O YPJKMVATUPSWOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003891 oxalate salts Chemical class 0.000 description 1
- UWJJYHHHVWZFEP-UHFFFAOYSA-N pentane-1,1-diol Chemical compound CCCCC(O)O UWJJYHHHVWZFEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 238000006068 polycondensation reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- LJTHRDIGXSIYMM-UHFFFAOYSA-N propan-1-olate tantalum(5+) Chemical compound [Ta+5].CCC[O-].CCC[O-].CCC[O-].CCC[O-].CCC[O-] LJTHRDIGXSIYMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HKJYVRJHDIPMQB-UHFFFAOYSA-N propan-1-olate;titanium(4+) Chemical compound CCCO[Ti](OCCC)(OCCC)OCCC HKJYVRJHDIPMQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XPGAWFIWCWKDDL-UHFFFAOYSA-N propan-1-olate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CCC[O-].CCC[O-].CCC[O-].CCC[O-] XPGAWFIWCWKDDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 125000005372 silanol group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- UQMOLLPKNHFRAC-UHFFFAOYSA-N tetrabutyl silicate Chemical compound CCCCO[Si](OCCCC)(OCCCC)OCCCC UQMOLLPKNHFRAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N tetramethyl orthosilicate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)OC LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZQZCOBSUOFHDEE-UHFFFAOYSA-N tetrapropyl silicate Chemical compound CCCO[Si](OCCC)(OCCC)OCCC ZQZCOBSUOFHDEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- JMXKSZRRTHPKDL-UHFFFAOYSA-N titanium ethoxide Chemical compound [Ti+4].CC[O-].CC[O-].CC[O-].CC[O-] JMXKSZRRTHPKDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005809 transesterification reaction Methods 0.000 description 1
- YZVRVDPMGYFCGL-UHFFFAOYSA-N triacetyloxysilyl acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](OC(C)=O)(OC(C)=O)OC(C)=O YZVRVDPMGYFCGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYWQGROTKMBNKN-UHFFFAOYSA-N tributoxyalumane Chemical compound [Al+3].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-] MYWQGROTKMBNKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FZMJEGJVKFTGMU-UHFFFAOYSA-N triethoxy(octadecyl)silane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC[Si](OCC)(OCC)OCC FZMJEGJVKFTGMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G77/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
- C08G77/48—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which at least two but not all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
- C08G77/58—Metal-containing linkages
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D183/00—Coating compositions based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon, with or without sulfur, nitrogen, oxygen, or carbon only; Coating compositions based on derivatives of such polymers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D183/00—Coating compositions based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon, with or without sulfur, nitrogen, oxygen, or carbon only; Coating compositions based on derivatives of such polymers
- C09D183/14—Coating compositions based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon, with or without sulfur, nitrogen, oxygen, or carbon only; Coating compositions based on derivatives of such polymers in which at least two but not all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D185/00—Coating compositions based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing atoms other than silicon, sulfur, nitrogen, oxygen, and carbon; Coating compositions based on derivatives of such polymers
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0445—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using two or more layers of sensing electrodes, e.g. using two layers of electrodes separated by a dielectric layer
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0446—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a grid-like structure of electrodes in at least two directions, e.g. using row and column electrodes
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04112—Electrode mesh in capacitive digitiser: electrode for touch sensing is formed of a mesh of very fine, normally metallic, interconnected lines that are almost invisible to see. This provides a quite large but transparent electrode surface, without need for ITO or similar transparent conductive material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Position Input By Displaying (AREA)
Description
本発明は、タッチパネル用コーティング組成物、そのコーティング組成物から形成されたコート膜、およびそのコート膜を有するタッチパネルに関する。 The present invention relates to a coating composition for a touch panel, a coating film formed from the coating composition, and a touch panel having the coating film.
従来から、ガラス、セラミック、金属、プラスチック等の基材表面に、種々の目的で無機被膜を形成することが行なわれている。基材表面に無機被膜を形成させることで、基材に電気的特性、光学的特性、化学的特性、機械的特性などを付与することが可能となる。したがって、これらの無機被膜は、導電膜、絶縁膜、光線の選択透過または吸収膜、アルカリ溶出防止膜、耐薬品膜、ハードコート膜などとして実用化されている。 Conventionally, inorganic coatings have been formed for various purposes on the surface of a substrate such as glass, ceramic, metal, and plastic. By forming an inorganic coating on the surface of the substrate, it is possible to impart electrical properties, optical properties, chemical properties, mechanical properties, and the like to the substrate. Therefore, these inorganic coatings have been put into practical use as conductive films, insulating films, selective transmission or absorption films of light rays, alkali elution prevention films, chemical resistant films, hard coat films, and the like.
このような無機被膜を形成させる方法としては、CVD(Chemical Vapor Deposition)、PVD(Physical Vapor Deposition)、スパッタリングなどの気相法、またはアルコキシド化合物などを用いた液相法が挙げられる。 Examples of a method for forming such an inorganic coating include a vapor phase method such as CVD (Chemical Vapor Deposition), PVD (Physical Vapor Deposition), and sputtering, or a liquid phase method using an alkoxide compound.
一般に、気相法は、真空蒸着装置のような高価で大規模な装置が必要となる。また、成膜可能な基材の大きさや形状が制限されるという問題もある。一方、アルコキシド化合物などを用いた液相法としては、いわゆるゾル−ゲル法が知られている。この方法は、大面積への塗布や、パターニングへの対応が可能であるなどの利点を有する。このため、液相法による無機被膜は、電子デバイスにおけるコート膜として盛んに用いられるようになっている(例えば、特許文献1参照。)。特に、最近では、タッチパネルへの適用が検討されている。 In general, the vapor phase method requires an expensive and large-scale apparatus such as a vacuum deposition apparatus. There is also a problem that the size and shape of the base material on which the film can be formed are limited. On the other hand, as a liquid phase method using an alkoxide compound or the like, a so-called sol-gel method is known. This method has advantages such as application to a large area and support for patterning. For this reason, the inorganic film by a liquid phase method is actively used as a coating film in an electronic device (for example, refer to Patent Document 1). In particular, recently, application to a touch panel has been studied.
近年、スマートフォンの普及とともに、携帯電話の表示画面が大型化している。このため、ディスプレイの表示を利用した入力操作が可能なタッチパネルの開発が盛んに行われている。タッチパネルによれば、押下げ式のスイッチなどの入力手段が不要となるので、表示画面の大型化が図れる。 In recent years, with the spread of smartphones, the display screen of mobile phones has become larger. For this reason, development of the touch panel which can perform input operation using the display of a display is performed actively. According to the touch panel, an input unit such as a push-down switch is not necessary, and the display screen can be enlarged.
タッチパネルは、指やペンなどが触れた操作領域の接触位置を検出する。この機能を利用して、タッチパネルは入力装置として用いられる。接触位置の検出方式には、抵抗膜方式や静電容量方式などがある。抵抗膜方式は、対向する2枚の基板を用いるのに対して、静電容量方式では、使用する基板を1枚にすることができる。このため、静電容量方式によれば、薄型のタッチパネルを構成することができ、携帯機器などに好適であることから、近年盛んに開発が進められている。 The touch panel detects a contact position of an operation area touched by a finger or a pen. Using this function, the touch panel is used as an input device. The contact position detection method includes a resistance film method and a capacitance method. The resistive film method uses two opposing substrates, whereas the capacitive method allows a single substrate to be used. For this reason, according to the electrostatic capacity method, a thin touch panel can be configured and is suitable for a portable device or the like, so that development has been actively promoted in recent years.
特許文献2には、静電容量方式のタッチパネルが開示されている。このタッチパネルでは、透明基板の一方の面に、X方向の座標を検出するための第1の透明電極と、Y方向の座標を検出するための第2の透明電極とを配置し、それぞれの交差部分に層間絶縁膜を介在させて導通しないようにしている。
タッチパネルは、液晶表示装置などの表示装置に組み込まれ、タッチ位置を検出可能なタッチパネル機能付き表示装置として使用される。タッチパネルを操作する者は、タッチパネルを通して表示装置を視認するため、透明電極には、光の透過特性に優れた部材が使用される。例えば、ITO(Indium Tin Oxide)などの無機材料が使用されている。また、層間絶縁膜としては、パターニングが可能で、絶縁性のアクリル材料などが用いられている。 The touch panel is incorporated in a display device such as a liquid crystal display device, and is used as a display device with a touch panel function capable of detecting a touch position. Since a person who operates the touch panel visually recognizes the display device through the touch panel, a member having excellent light transmission characteristics is used for the transparent electrode. For example, an inorganic material such as ITO (Indium Tin Oxide) is used. As the interlayer insulating film, patterning is possible, and an insulating acrylic material or the like is used.
上記したようなタッチパネルは、操作領域に指やペン先が実際に接触して押されることなどもあるため、強度と高い信頼性が求められる。そのため、層間絶縁膜を介して重畳する第1および第2の電極の上に保護膜を設ける検討がなされている。 The touch panel as described above is required to have strength and high reliability because a finger or a pen tip may be actually touched and pressed in the operation area. Therefore, studies have been made to provide a protective film on the first and second electrodes that overlap with each other via an interlayer insulating film.
保護膜としては、パターニング可能なアクリル材料が用いられている。しかしながら、アクリル材料は、有機材料であるため、保護膜としての硬度が十分ではない。また、透明電極にITOなどを用いた場合には、ITOに対する密着性が弱く、タッチパネルの信頼性を低下させる一因となる。さらに、アクリル材料は、フレキソ印刷などの印刷技術を利用した膜形成が困難である。そのため、膜形成にあたって、工程が複雑なフォトリソグラフィ技術の利用が必要となる。 As the protective film, a patternable acrylic material is used. However, since the acrylic material is an organic material, the hardness as a protective film is not sufficient. Moreover, when ITO etc. are used for a transparent electrode, the adhesiveness with respect to ITO is weak, and becomes a cause of reducing the reliability of a touch panel. Furthermore, it is difficult to form a film using an acrylic material using a printing technique such as flexographic printing. For this reason, it is necessary to use a photolithography technique with complicated processes in forming the film.
こうしたことから、保護膜として、アクリル膜の代わりに無機材料を成分とするコート膜の検討がなされている。無機材料を成分とする膜の場合、一般に硬度が高く、タッチパネルのコート膜として高い信頼性が期待できる。このため、無機材料を成分とするコート膜に対し、印刷技術を利用した膜形成が可能であることと、上記したアクリル材料などの有機材料の層間絶縁膜と高い密着性を示すことが求められている。 For these reasons, a coating film containing an inorganic material as a component instead of an acrylic film has been studied as a protective film. In the case of a film containing an inorganic material as a component, the hardness is generally high, and high reliability can be expected as a coating film for a touch panel. For this reason, it is required that a coating film using an inorganic material as a component can be formed using a printing technique and has high adhesion to an interlayer insulating film made of an organic material such as an acrylic material. ing.
また、静電容量方式のタッチパネルにおいては、ITOなどの透明電極が形成された領域と、透明電極の形成されていない領域とで、反射率に違いが生じる。これによって、透明電極のパターンが視認され、表示性を低下させるという問題があった。 Further, in a capacitive touch panel, a difference in reflectance occurs between a region where a transparent electrode such as ITO is formed and a region where a transparent electrode is not formed. As a result, there is a problem that the pattern of the transparent electrode is visually recognized and display properties are lowered.
上述のように、従来のタッチパネルでは、透明電極上の保護膜材料としてアクリル膜が用いられてきた。しかし、この場合、アクリル膜の屈折率特性については何ら考慮されていない。そのため、アクリル膜に透明電極パターンを目立たなくする効果は期待できない。したがって、アクリル膜に代えて無機材料を成分とするコート膜を用いる場合、このコート膜は、透明電極パターンを目立たなくするものであることが好ましい。具体的には、屈折率が考慮されたコート膜を用いることが好ましい。 As described above, in the conventional touch panel, an acrylic film has been used as a protective film material on the transparent electrode. However, in this case, no consideration is given to the refractive index characteristics of the acrylic film. Therefore, the effect of making the transparent electrode pattern inconspicuous in the acrylic film cannot be expected. Therefore, when a coat film containing an inorganic material as a component is used instead of the acrylic film, the coat film preferably makes the transparent electrode pattern inconspicuous. Specifically, it is preferable to use a coating film in which the refractive index is considered.
本発明は、こうした点に鑑みてなされたものである。すなわち、本発明の目的は、タッチパネルに適用されて、高い信頼性を実現できる、屈折率の制御されたコート膜、およびそうしたコート膜を形成できるコーティング組成物を提供することにある。 The present invention has been made in view of these points. That is, an object of the present invention is to provide a coating film with a controlled refractive index that can be applied to a touch panel to achieve high reliability, and a coating composition that can form such a coating film.
また、本発明の別の目的は、屈折率が制御され、高い信頼性を実現できるコート膜を電極上に有するタッチパネルを提供することにある。 Another object of the present invention is to provide a touch panel having a coating film on an electrode, the refractive index of which is controlled and high reliability can be realized.
本発明は、上記の目的を達成するためのものであり、下記を要旨とする。
1.基板の操作領域に透明電極のパターンを有するタッチパネルにおける透明電極の少なくとも一部の上にコート膜を形成するためのコーティング組成物であって、下記一般式(I)で示される第1の金属アルコキシドと、下記一般式(II)で示される第2の金属アルコキシドと、下記一般式(III)で示される金属塩と、有機溶媒と、水と、析出防止剤と、を含有し、且つ、第2の金属アルコキシドの含有量が、第1の金属アルコキシドと第2の金属アルコキシドとを合わせた全金属アルコキシドに対して、15〜80モル%であることを特徴とするタッチパネル用コーティング組成物。
M1(OR1)n (I)
(式中、M1は、珪素(Si)、チタン(Ti)、タンタル(Ta)、ジルコニウム(Zr)、ホウ素(B)、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)および亜鉛(Zn)よりなる群から選択された少なくとも1の金属を表し、R1は、炭素数1〜5のアルキル基を表し、nは、M1の価数2〜5を表す。)
R2 lM2(OR3)m−l (II)
(式中、M1は、珪素(Si)、チタン(Ti)、タンタル(Ta)、ジルコニウム(Zr)、ホウ素(B)、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)および亜鉛(Zn)よりなる群から選択された少なくとも1の金属を表す。R2は、メルカプト基、メタクリロキシ基、アクリロキシ基、またはウレイド基で置換されおり、且つ、ヘテロ原子を有していてもよい炭素数1〜20の炭化水素基を表す。R3は、炭素数1〜5のアルキル基を表す。mは、M2の価数2〜5を表し、lは、mの価数が3の場合1または2であり、mの価数が4の場合1〜3であり、mの価数が5の場合1〜4である。)
M3(X)k (III)
(式中、M3は、アルミニウム(Al)、インジウム(In)、亜鉛(Zn)、ジルコニウム(Zr)、ビスマス(Bi)、ランタン(La)、タンタル(Ta)、イットリウム(Y)およびセリウム(Ce)よりなる群から選択された少なくとも1の金属を表し、Xは、塩酸、硝酸、硫酸、酢酸、蓚酸、スファミン酸、スルホン酸、アセト酢酸若しくはアセチルアセトナートの残基、またはこれらの塩基性塩を表し、kはM3の価数を表す。)
The present invention is for achieving the above-mentioned object, and the gist thereof is as follows.
1. A coating composition for forming a coating film on at least a part of a transparent electrode in a touch panel having a transparent electrode pattern in an operation region of a substrate, the first metal alkoxide represented by the following general formula (I) And a second metal alkoxide represented by the following general formula (II), a metal salt represented by the following general formula (III), an organic solvent, water, and a precipitation inhibitor , the content of the second metal alkoxide, based on the total metal alkoxide combined first metal alkoxide and a second metal alkoxide, a touch panel for a coating composition, characterized in 15 to 80 mole% der Rukoto.
M 1 (OR 1 ) n (I)
(Wherein M 1 is a group consisting of silicon (Si), titanium (Ti), tantalum (Ta), zirconium (Zr), boron (B), aluminum (Al), magnesium (Mg) and zinc (Zn). R 1 represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and n represents a
R 2 l M 2 (OR 3 ) ml (II)
(Wherein M 1 is a group consisting of silicon (Si), titanium (Ti), tantalum (Ta), zirconium (Zr), boron (B), aluminum (Al), magnesium (Mg) and zinc (Zn). It represents at least one metal selected from .R 2 is main mercapto group, methacryloxy group, acryloxy group, were or are substituted with a ureido group, and, optionally
M 3 (X) k (III)
(Wherein M 3 represents aluminum (Al), indium (In), zinc (Zn), zirconium (Zr), bismuth (Bi), lanthanum (La), tantalum (Ta), yttrium (Y) and cerium ( Ce) represents at least one metal selected from the group consisting of: X is a residue of hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid, acetic acid, succinic acid, sfamic acid, sulfonic acid, acetoacetic acid or acetylacetonate, or their basicity Represents a salt, and k represents the valence of M 3. )
2.析出防止剤は、N−メチル−ピロリドン、エチレングリコール、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ヘキシレングリコールおよびこれらの誘導体よりなる群から選択された少なくとも1以上である上記1に記載のタッチパネル用コーティング組成物。 2 . 2. The touch panel as described in 1 above, wherein the precipitation inhibitor is at least one selected from the group consisting of N-methyl-pyrrolidone, ethylene glycol, dimethylformamide, dimethylacetamide, diethylene glycol, propylene glycol, hexylene glycol and derivatives thereof. Coating composition.
3.金属塩の金属原子(M3)と、第1の金属アルコキシドおよび第2の金属アルコキシドの金属原子(M1およびM2)とのモル比は、
0.01≦M3/(M1+M2+M3)≦0.7
である上記1または2に記載のタッチパネル用コーティング組成物。
4.第1の金属アルコキシドは、シリコンアルコキシドまたはその部分縮合物と、チタンアルコキシドとの混合物である上記1〜3のいずれかに記載のタッチパネル用コーティング組成物。
5.前記金属塩は、金属硝酸塩、金属硫酸塩、金属酢酸塩、金属塩化物、金属蓚酸塩、金属スファミン酸塩、金属スルホン酸塩、金属アセト酢酸塩、金属アセチルアセトナートまたはこれらの塩基性塩である請求項1〜4のいずれかに記載のタッチパネル用コーティング組成物。
6.前記有機溶媒は、アルキレングリコール類またはそのモノエーテル誘導体を含む上記1〜5のいずれかに記載のコーティング組成物。
7.上記1〜6のいずれかに記載のタッチパネル用コーティング組成物を用いて成膜されたコート膜。
8.屈折率が1.52〜1.70であり、膜厚が40nm〜170nmである上記7に記載のコート膜。
9.基板の操作領域に透明電極のパターンが形成されたタッチパネルであって、上記7又は8に記載のコート膜を前記透明電極のパターンの少なくとも一部の上に配したことを特徴とするタッチパネル。
10.前記透明電極パターンは、少なくとも2つの異なる方向の位置を検出するための第1の透明電極パターンと、第2の透明電極パターンとを有して構成され、
前記第1の透明電極パターンと前記第2の透明電極パターンの少なくとも一部は、前記基板の操作領域で重畳するとともに、この重畳する部分の前記第1の透明電極パターンと前記第2の透明電極パターンとの間には有機材料からなる膜が配置されており、
前記コート膜は、前記第1の透明電極パターンまたは前記第2の透明電極パターンの少なくとも一部とともに前記有機材料からなる膜の少なくとも一部を被覆するよう構成された請求項9に記載のタッチパネル。
11.前記第1の透明電極パターンと前記第2の透明電極パターンとが重畳する部分は、前記基板の操作領域に複数あり、これら複数の重畳する部分のそれぞれにおいて、前記重畳する部分の面積より大きい面積の前記有機材料からなる膜が配置されている上記10に記載のタッチパネル。
3. The molar ratio of the metal atom (M 3 ) of the metal salt to the metal atoms (M 1 and M 2 ) of the first metal alkoxide and the second metal alkoxide is:
0.01 ≦ M 3 / (M 1 + M 2 + M 3 ) ≦ 0.7
The coating composition for touch panels as described in 1 or 2 above.
4). 4. The touch panel coating composition according to any one of 1 to 3 , wherein the first metal alkoxide is a mixture of silicon alkoxide or a partial condensate thereof and titanium alkoxide.
5. The metal salt is a metal nitrate, metal sulfate, metal acetate, metal chloride, metal oxalate, metal sphamate, metal sulfonate, metal acetoacetate, metal acetylacetonate or a basic salt thereof. The coating composition for touchscreens in any one of Claims 1-4 .
6). The said organic solvent is a coating composition in any one of said 1-5 containing alkylene glycol or its monoether derivative.
7). The coating film formed into a film using the coating composition for touchscreens in any one of said 1-6 .
8). 8. The coating film according to 7 above, having a refractive index of 1.52 to 1.70 and a film thickness of 40 nm to 170 nm.
9. A touch panel in which a transparent electrode pattern is formed in an operation region of a substrate, wherein the coating film according to 7 or 8 is disposed on at least a part of the transparent electrode pattern.
10. The transparent electrode pattern includes a first transparent electrode pattern for detecting positions in at least two different directions, and a second transparent electrode pattern,
At least a part of the first transparent electrode pattern and the second transparent electrode pattern overlap each other in the operation region of the substrate, and the first transparent electrode pattern and the second transparent electrode in the overlapping part A film made of organic material is placed between the pattern and
The touch panel according to claim 9 , wherein the coating film is configured to cover at least a part of the film made of the organic material together with at least a part of the first transparent electrode pattern or the second transparent electrode pattern.
11. There are a plurality of overlapping portions of the first transparent electrode pattern and the second transparent electrode pattern in the operation region of the substrate, and each of the overlapping portions has an area larger than the area of the overlapping portion. 11. The touch panel as described in 10 above, wherein a film made of the organic material is arranged.
本発明によれば、タッチパネルに適用されて、高い信頼性を実現できる、屈折率の制御されたコート膜を形成できる、タッチパネル用のコーティング組成物が提供される。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the coating composition for touchscreens which can be applied to a touchscreen and can form the coating film with which the refractive index was controlled which can implement | achieve high reliability is provided.
また、本発明によれば、屈折率が制御され、高い強度を有し、タッチパネルのコート膜として好適なコート膜が提供される。 Moreover, according to this invention, a refractive index is controlled and it has high intensity | strength and the coating film suitable as a coating film of a touchscreen is provided.
本発明によれば、電極のパターンが目立つことが抑制され、高い信頼性を有するタッチパネルが提供される。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it is suppressed that the pattern of an electrode is conspicuous and the touch panel which has high reliability is provided.
<コーティング組成物>
本発明のコーティング組成物は、上記一般式(I)で示される第1の金属アルコキシドと、上記一般式(II)で示される第2の金属アルコキシドと、上記一般式(III)で示される金属塩と、有機溶媒と、水分と、析出防止剤と、を含有する。このコーティング組成物を成膜することによりタッチパネルに好適なコートが得られる。<Coating composition>
The coating composition of the present invention includes a first metal alkoxide represented by the above general formula (I), a second metal alkoxide represented by the above general formula (II), and a metal represented by the above general formula (III). Contains a salt, an organic solvent, moisture, and a precipitation inhibitor. A coating suitable for a touch panel can be obtained by depositing this coating composition.
本発明のコーティング組成物から得られるコート膜は、無機物である金属酸化物を主な成分とするものであり、アクリル材料などの有機材料からなるコート膜に比べて、硬度が高く、高い強度を有する。したがって、タッチパネルの電極用保護膜として好適である。また、タッチパネルにおいて透明電極パターンが視認される、いわゆる「電極パターン見え」現象を低減できるよう、屈折率が最適範囲に制御されている。その結果、このコート膜を用いたタッチパネルが適用される表示装置の表示性低下を防止することができる。 The coating film obtained from the coating composition of the present invention is mainly composed of an inorganic metal oxide, and has a higher hardness and higher strength than a coating film made of an organic material such as an acrylic material. Have. Therefore, it is suitable as a protective film for an electrode of a touch panel. Further, the refractive index is controlled within the optimum range so as to reduce the so-called “electrode pattern appearance” phenomenon in which the transparent electrode pattern is visually recognized on the touch panel. As a result, it is possible to prevent deterioration in display properties of a display device to which a touch panel using this coat film is applied.
本発明で得られるコート膜は、例えば、タッチパネルの基板の操作領域に配置される透明電極パターンが、2つの異なる方向の位置を検出するための2種類の透明電極パターンを有して構成されることがある。このとき、2種類の透明電極パターンが電気的に接続しないよう、それらの間にアクリルなどの有機材料からなる層間絶縁膜が配置される。こうした構成のタッチパネルの場合、コート膜は層間絶縁膜の上にも形成される。ここで、コート膜と層間絶縁膜の熱伸縮性の違いによって、コート膜にクラックが入り、タッチパネルの信頼性が低下するという問題があった。 The coating film obtained by the present invention is configured, for example, by including two types of transparent electrode patterns for detecting the positions in two different directions in the transparent electrode pattern arranged in the operation region of the touch panel substrate. Sometimes. At this time, an interlayer insulating film made of an organic material such as acrylic is disposed between the two transparent electrode patterns so as not to be electrically connected. In the case of the touch panel having such a configuration, the coat film is also formed on the interlayer insulating film. Here, due to the difference in thermal stretchability between the coat film and the interlayer insulating film, there is a problem that the coat film cracks and the reliability of the touch panel is lowered.
本発明のコーティング組成物では、タッチパネルのコート膜にクラックが発生しないよう、含有する成分の構造と組成について好ましく選択される。より詳しくは、本発明のコーティング組成物では、主成分である金属アルコキシドについて、コート膜の形成に好適となるような構造と組成の選択できる。 In the coating composition of this invention, it selects suitably about the structure and composition of the component to contain so that a crack may not generate | occur | produce in the coating film of a touch panel. More specifically, in the coating composition of the present invention, the metal alkoxide that is the main component can be selected in a structure and composition that are suitable for forming a coating film.
本発明のコーティング組成物は、下記一般式(I)で示される構造の第1の金属アルコキシドと、下記一般式(II)で示される構造の第2の金属アルコキシドとを含有する。
式(I)で示される金属アルコキシドとして、シリコンアルコキシドまたはその部分縮合物を用いる場合、一般式(IV)で示される化合物の1種若しくは2種以上の混合物または部分縮合物(好ましくは5量体以下)が用いられる。
より具体的には、シリコンアルコキシドとして、例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、テトラブトキシシラン、テトラアセトキシシランなどのテトラアルコキシシラン類などが用いられる。 More specifically, as the silicon alkoxide, for example, tetraalkoxysilanes such as tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetrapropoxysilane, tetrabutoxysilane, and tetraacetoxysilane are used.
また、式(I)で示される金属アルコキシドとして、チタンアルコキシドまたは部分縮合物を用いる場合、一般式(V)で示される化合物の1種または2種以上の混合物または部分縮合物(好ましくは5量体以下)が用いられる。
式(I)で示される金属アルコキシドとして、具体的には、チタンアルコキシドとして、チタニウムテトラエトキシド、チタニウムテトラプロポキシド、チタニウムテトラブトキシドなどのチタニウムテトラアルコキシド化合物またはチタニウムテトラ−n−ブトキシドテトラマーなどの部分縮合物などが用いられる。When a titanium alkoxide or a partial condensate is used as the metal alkoxide represented by the formula (I), one or a mixture of two or more compounds or a partial condensate of the compound represented by the general formula (V) (preferably 5 amounts) Body or less) is used.
As the metal alkoxide represented by the formula (I), specifically, as titanium alkoxide, a titanium tetraalkoxide compound such as titanium tetraethoxide, titanium tetrapropoxide, titanium tetrabutoxide or a portion such as titanium tetra-n-butoxide tetramer A condensate or the like is used.
式(I)で示される金属アルコキシドの他の例としては、ジルコニウムテトラエトキシド、ジルコニウムテトラプロポキシド、ジルコニウムテトラブトキシドなどのジルコニウムテトラアルコキシド化合物;アルミニウムトリブトキシド、アルミニウムトリイソプロポキシド、アルミニウムトリエトキシドなどのアルミニウムトリアルコキシド化合物;タンタリウムペンタプロポキシド、タンタリウムペンタブトキシドなどのタンタリウムペンタアルコキシド化合物などを挙げることができる。 Other examples of the metal alkoxide represented by the formula (I) include zirconium tetraalkoxide compounds such as zirconium tetraethoxide, zirconium tetrapropoxide, zirconium tetrabutoxide; aluminum tributoxide, aluminum triisopropoxide, aluminum triethoxide And aluminum trialkoxide compounds such as tantalum pentapropoxide and tantalum pentaalkoxide compounds such as tantalum pentataboxide.
第1の金属アルコキシドの含有量は、コーティング組成物に含まれる1の金属アルコキシドと第2の金属アルコキシドの合計量に対し、20モル%〜85モル%であることが好ましく、30モル%〜70モル%がより好ましい。 The content of the first metal alkoxide is preferably 20 mol% to 85 mol%, preferably 30 mol% to 70 mol%, based on the total amount of one metal alkoxide and second metal alkoxide contained in the coating composition. Mole% is more preferable.
上記式(II)で示される第2の金属アルコキシドは、上記第1の金属アルコキシドとともに、本発明のコーティング組成物に用いられる。コーティング組成物では、第2の金属アルコキシドを含むことにより、コート膜がアクリル材などの有機材料からなる膜上に形成される場合に、コート膜と有機膜との間の熱伸縮性の違いが緩和される。その結果、有機膜上に、コート膜が形成されることがあっても、コート膜にクラックが発生することが防止される。例えば、タッチパネルにおいて、上述した層間絶縁膜などにアクリル材料からなる有機膜が用いられ、その上にコート膜が形成されることがあっても、層間絶縁膜上のコート膜にクラックが発生することを防止できる。 The second metal alkoxide represented by the above formula (II) is used in the coating composition of the present invention together with the first metal alkoxide. In the coating composition, when the coating film is formed on a film made of an organic material such as an acrylic material by including the second metal alkoxide, there is a difference in thermal stretchability between the coating film and the organic film. Alleviated. As a result, even if a coat film may be formed on the organic film, it is possible to prevent cracks from occurring in the coat film. For example, in a touch panel, even when an organic film made of an acrylic material is used for the above-described interlayer insulating film and a coat film is formed on the organic film, a crack occurs in the coat film on the interlayer insulating film. Can be prevented.
第2の金属アルコキシドの含有量の含有量は、コーティング組成物に含まれる1の金属アルコキシドと第2の金属アルコキシドにの合計量に対し、80モル%〜15モル%好ましく、70%〜30モル%がより好ましい。R2の炭素数が3以下の場合、式(II)で示される金属アルコキシドの含有量を30%以上とし、R2の炭素数が4以上の場合、または、R2中にメルカプト基が含まれる場合、第2の金属アルコキシドの含有量が15%以上であることがより好ましく、また、75モル%以下がより好ましい。
第2の金属アルコキシドの含有量が15モル%未満である場合、上記した有機膜上で得られるコート膜にクラックが生じる場合がある。また、80モル%以上である場合、クラックは生じないものの、均一な塗布膜が得られないといった現象が起こる場合がある。このような含有量とすることにより、上記したコート膜でのクラック発生を抑制することができる。The content of the second metal alkoxide content is preferably 80 mol% to 15 mol%, preferably 70% to 30 mol, based on the total amount of one metal alkoxide and the second metal alkoxide contained in the coating composition. % Is more preferable. When the carbon number of R 2 is 3 or less, the content of the metal alkoxide represented by the formula (II) is 30% or more, and when the carbon number of R 2 is 4 or more, or a mercapto group is contained in R 2 In this case, the content of the second metal alkoxide is more preferably 15% or more, and more preferably 75 mol% or less.
When the content of the second metal alkoxide is less than 15 mol%, a crack may occur in the coating film obtained on the above-described organic film. On the other hand, if it is 80 mol% or more, cracks may not occur, but a phenomenon that a uniform coating film cannot be obtained may occur. By setting it as such content, crack generation | occurrence | production in an above-described coat film can be suppressed.
コーティング組成物に含まれる第1の金属アルコキシドと第2の金属アルコキシドの合計の含有量は、好ましくは0.5重量%〜20重量%であり、より好ましくは1重量%〜15重量%ある。この比率が大きい場合には、コーティング組成物の貯蔵安定性が悪くなるうえ、コート膜の膜厚制御が困難になる。一方、小さい場合には、得られるコート膜の厚みが薄くなり、所定の膜厚を得るために多数回の塗布が必要となる。 The total content of the first metal alkoxide and the second metal alkoxide contained in the coating composition is preferably 0.5 wt% to 20 wt%, more preferably 1 wt% to 15 wt%. When this ratio is large, the storage stability of the coating composition is deteriorated and it is difficult to control the film thickness of the coating film. On the other hand, when the thickness is small, the thickness of the resulting coating film becomes thin, and many coatings are required to obtain a predetermined film thickness.
式(II)に示される好ましい金属アルコキシドとしては、例えば、M2が珪素である場合、以下の化合物を挙げることができる。
例えば、γ−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプトメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリエトキシシランなどを挙げることができる。これらは、単独で、または、2種以上組み合わせて使用することができる。
As a preferable metal alkoxide represented by the formula (II), for example, when M 2 is silicon, the following compounds may be mentioned.
For example, gamma - methacryloxypropyltrimethoxysilane, .gamma.-mercaptopropyltrimethoxysilane, .gamma.-mercaptopropyl triethoxysilane emissions, gamma - methacryloxypropyl methyl dimethoxy silane, .gamma.-methacryloxypropyl methyl diethoxy silane, .gamma. mercaptopropylmethyldimethoxysilane, .gamma.-mercapto methyl diethoxy Sila down, 3 - methacryloxypropyl trimethoxy silane, 3-methacryloxypropyl triethoxysilane, 3-acryloxy propyl trimethoxy silane, 3-acryloxy propyl triethoxysilane etc. emissions can be mentioned. These can be used alone or in combination of two or more.
本発明のコーティング組成物に含有される金属塩としては、下記一般式(III)で示される。
式(III)で示される金属塩のうち、特に、硝酸塩、塩化物塩、蓚酸塩またはその塩基性塩が好ましい。この内、入手の容易性と、コーティング組成物の貯蔵安定性の点から、アルミニウム、インジウム、またはセリウムの硝酸塩がより好ましい。The metal salt contained in the coating composition of the present invention is represented by the following general formula (III).
Of the metal salts represented by the formula (III), nitrates, chloride salts, oxalates or basic salts thereof are particularly preferable. Of these, aluminum, indium, or cerium nitrate is more preferred from the viewpoint of availability and storage stability of the coating composition.
本発明のコーティング組成物には、有機溶媒が含有される。該有機溶媒は、コーティング組成物からその塗膜を形成しコート膜を得る場合、コーティング組成物の粘度を調整し、塗布性を改善するためのもので、コーティング組成物中の有機溶媒の含有量は、コーティング組成物に含まれる全金属アルコキシドに対し、80重量%〜99.5重量%であることが好ましく、85重量%〜99重量%がより好ましい。有機溶媒の含有量が少ない場合には、得られるコート膜の厚みが薄くなり、所定の膜厚を得るために多数回の塗布が必要となる。一方、多い場合には、コーティング組成物の貯蔵安定性が悪くなるうえ、コート膜の膜厚の制御が困難になる。 The coating composition of the present invention contains an organic solvent. The organic solvent is for adjusting the viscosity of the coating composition and improving the coating property when forming a coating film from the coating composition to obtain a coating film. Content of the organic solvent in the coating composition Is preferably 80 wt% to 99.5 wt%, more preferably 85 wt% to 99 wt%, based on the total metal alkoxide contained in the coating composition. When the content of the organic solvent is small, the thickness of the resulting coating film is reduced, and many coatings are required to obtain a predetermined film thickness. On the other hand, when the amount is large, the storage stability of the coating composition is deteriorated and it is difficult to control the thickness of the coating film.
コーティング組成物に用いられる有機溶媒としては、メタノール、エタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、1−ブタノール、2−ブタノール、2−メチル−1−プロパノール、2−メチル−2−プロパノールなどのアルコール類;酢酸エチルエステルなどのエステル類;エチレングリコールなどのグリコール類、またはそれらのエステル誘導体;ジエチルエーテルなどのエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類;ベンゼン、トルエンなどの芳香族炭化水素類などが挙げられる。これらは、単独または組み合わせて用いられる。 Examples of the organic solvent used in the coating composition include alcohols such as methanol, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, 1-butanol, 2-butanol, 2-methyl-1-propanol, and 2-methyl-2-propanol. Esters such as ethyl acetate; glycols such as ethylene glycol; or ester derivatives thereof; ethers such as diethyl ether; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as benzene and toluene; Is mentioned. These are used alone or in combination.
コーティング組成物中に、チタンアルコシド成分を含む場合、有機溶媒中に含まれるアルキレングリコール類またはそのモノエーテルとしては、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ヘキシレングリコール、またはそれらのモノメチル、モノエチル、モノプロピル、モノブチル若しくはモノフェニルエーテルなどが挙げられる。 When the coating composition contains a titanium alkoxide component, the alkylene glycol or monoether thereof contained in the organic solvent is, for example, ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol, hexylene glycol, or their monomethyl, monoethyl , Monopropyl, monobutyl or monophenyl ether.
コーティング組成物に用いられる有機溶媒に含まれるグリコール類またはそのモノエーテルは、チタンアルコキシドに対してモル比が1未満であると、チタンアルコキシドの安定性に効果が少なく、コーティング用組成物の貯蔵安定性が悪くなる。一方。グリコール類またはそのモノエーテルを多量に用いることは何ら問題でない。例えば、コーティング組成物に用いられる有機溶媒の全てが、上述のグリコール類またはそのモノエーテルであっても差支えない。しかし、コーティング組成物がチタンアルコキシドを含まない場合には、上述したグリコールおよび/またはそのモノエーテルを特に含む必要はない。 When the molar ratio of the glycols or monoethers contained in the organic solvent used in the coating composition is less than 1 with respect to the titanium alkoxide, the stability of the titanium alkoxide is small, and the storage stability of the coating composition is reduced. Sexuality gets worse. on the other hand. It is not a problem to use a large amount of glycols or monoethers thereof. For example, all of the organic solvents used in the coating composition can be the above-described glycols or monoethers thereof. However, when the coating composition does not contain a titanium alkoxide, it is not necessary to specifically contain the above-mentioned glycol and / or its monoether.
コーティング組成物は、析出防止剤を含有するのが好ましい。析出防止剤は、コーティング組成物から塗布被膜を形成する際に、塗膜中に金属塩が析出するのを防止する。析出防止剤としては、N−メチル−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール若しくはヘキシレングリコール、またはそれらの誘導体などが挙げられる。なかでも、N−メチル−ピロリドン、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ヘキシレングリコールまたはそれらの誘導体がより好ましい。析出防止剤は、少なくとも1種以上使用できる。 The coating composition preferably contains a precipitation inhibitor. The anti-deposition agent prevents the metal salt from precipitating in the coating film when a coating film is formed from the coating composition. Examples of the precipitation inhibitor include N-methyl-pyrrolidone, dimethylformamide, dimethylacetamide, ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol, hexylene glycol, and derivatives thereof. Of these, N-methyl-pyrrolidone, ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol, hexylene glycol or derivatives thereof are more preferable. At least one kind of precipitation inhibitor can be used.
コーティング組成物中における析出防止剤の含有量は、上記金属塩の金属を金属酸化物に換算して、下記を満足する比率(重量比)で用いられるのが好ましい。
(析出防止剤/金属酸化物)≧1
上記比率が1未満であると、塗布被膜を形成時における金属塩の析出防止効果が小さくなる。一方、析出防止剤を多量に用いることは、コーティング組成物に何ら影響を与えないが、200以下であるのが好ましい。The content of the precipitation inhibitor in the coating composition is preferably used at a ratio (weight ratio) satisfying the following, when the metal of the metal salt is converted into a metal oxide.
(Precipitation inhibitor / metal oxide) ≧ 1
When the ratio is less than 1, the effect of preventing precipitation of the metal salt at the time of forming the coating film is reduced. On the other hand, the use of a large amount of precipitation inhibitor does not affect the coating composition at all, but is preferably 200 or less.
析出防止剤には、金属アルコキシド、特に、シリコンアルコキシド、チタンアルコキシド、または、シリコンアルコキシドとチタンアルコキシドが、金属塩の存在下で加水分解・縮合反応する際に添加されていてもよく、加水分解・縮合反応の終了後に添加されていてもよい。 In the precipitation inhibitor, metal alkoxide, particularly silicon alkoxide, titanium alkoxide, or silicon alkoxide and titanium alkoxide may be added during hydrolysis / condensation reaction in the presence of a metal salt. It may be added after completion of the condensation reaction.
一方、コーティング組成物に含まれる金属塩の含有量は、上記第1及び第2の金属アルコキシドを構成する金属原子(M1およびM2)と上記金属塩の金属原子(M3)の合計の含有比率が、下記を満足する比率(モル比)であるのが好ましい。
0.01≦M3/(M1+M2+M3)≦0.7
この比率が0.01より小さいと、得られる被膜の機械的強度が十分でないため好ましくない。一方、0.7を越えると、ガラス基板や透明電極などの基材に対するコート膜の密着性が低下する。さらに、450℃以下の低温で焼成した場合、得られるコート膜の耐薬品性が低下する傾向にもある。なかでも、この比率は、0.01〜0.6であるのがより好ましい。On the other hand, the content of the metal salt contained in the coating composition is the sum of the metal atoms (M 1 and M 2 ) constituting the first and second metal alkoxides and the metal atom (M 3 ) of the metal salt. The content ratio is preferably a ratio (molar ratio) that satisfies the following.
0.01 ≦ M 3 / (M 1 + M 2 + M 3 ) ≦ 0.7
If this ratio is less than 0.01, the mechanical strength of the resulting coating is not sufficient, which is not preferable. On the other hand, when it exceeds 0.7, the adhesion of the coating film to a substrate such as a glass substrate or a transparent electrode is lowered. Furthermore, when baked at a low temperature of 450 ° C. or lower, the chemical resistance of the resulting coating film tends to be lowered. Especially, it is more preferable that this ratio is 0.01 to 0.6.
本発明のコーティング組成物においては、本発明の効果を損なわない限りにおいて、上記した成分以外のその他の成分、例えば、無機微粒子、メタロキサンオリゴマー、メタロキサンポリマー、レベリング剤、界面活性剤等の成分が含まれていてもよい。
無機微粒子としては、シリカ微粒子、アルミナ微粒子、チタニア微粒子、フッ化マグネシウム微粒子等の微粒子が好ましく、これらの無機微粒子のコロイド溶液が特に好ましい。このコロイド溶液は、無機微粒子粉を分散媒に分散したものでもよいし、市販品のコロイド溶液であってもよい。In the coating composition of the present invention, other components than the above-described components, for example, inorganic fine particles, metalloxane oligomers, metalloxane polymers, leveling agents, surfactants and the like, as long as the effects of the present invention are not impaired. May be included.
As the inorganic fine particles, fine particles such as silica fine particles, alumina fine particles, titania fine particles, and magnesium fluoride fine particles are preferable, and a colloid solution of these inorganic fine particles is particularly preferable. This colloidal solution may be a dispersion of inorganic fine particle powder in a dispersion medium or a commercially available colloidal solution.
本発明においては、無機微粒子を含有させることにより、形成される硬化被膜の表面形状やその他の機能を付与することが可能となる。無機微粒子としては、その平均粒子径が0.001〜0.2μmであることが好ましく、更に好ましくは0.001〜0.1μmである。無機微粒子の平均粒子径が0.2μmを超える場合には、調製される塗布液を用いて形成される硬化被膜の透明性が低下する場合がある。
無機微粒子の分散媒としては、水及び有機溶剤を挙げることができる。コロイド溶液としては、被膜形成用塗布液の安定性の観点から、pH又はpKaが1〜10に調整されていることが好ましく、より好ましくは2〜7である。In the present invention, the inclusion of inorganic fine particles makes it possible to impart the surface shape of the formed cured film and other functions. The inorganic fine particles preferably have an average particle size of 0.001 to 0.2 μm, more preferably 0.001 to 0.1 μm. When the average particle diameter of the inorganic fine particles exceeds 0.2 μm, the transparency of the cured film formed using the prepared coating liquid may be lowered.
Examples of the dispersion medium for the inorganic fine particles include water and organic solvents. As a colloidal solution, it is preferable that pH or pKa is adjusted to 1-10, More preferably, it is 2-7 from a stability viewpoint of the coating liquid for film formation.
コロイド溶液の分散媒に用いる有機溶剤としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ペンタンジオール、2−メチル−2,4−ペンタンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、エチレングリコールモノプロピルエーテル等のアルコール類;メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド類;酢酸エチル、酢酸ブチル、γ−ブチロラクトン等のエステル類;テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン等のエ−テル類を挙げることができる。これらの中で、アルコール類及びケトン類が好ましい。これら有機溶剤は、単独でまたは2種以上を混合して分散媒として使用することができる。 Organic solvents used for the dispersion medium of the colloidal solution include methanol, ethanol, propanol, butanol, ethylene glycol, propylene glycol, butanediol, pentanediol, 2-methyl-2,4-pentanediol, diethylene glycol, dipropylene glycol, ethylene Alcohols such as glycol monopropyl ether; ketones such as methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; amides such as dimethylformamide, dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone; ethyl acetate and butyl acetate And esters such as γ-butyrolactone; ethers such as tetrahydrofuran and 1,4-dioxane. Of these, alcohols and ketones are preferred. These organic solvents can be used alone or in admixture of two or more as a dispersion medium.
本発明のコーティング組成物中の固形分濃度は、上記の金属アルコキシドと金属塩を金属酸化物として換算した場合、0.5重量%〜20重量%の範囲であることが好ましい。固形分が20重量%を越えると、コーティング組成物の貯蔵安定性が悪くなるうえ、コート膜の膜厚制御が困難になる。一方、固形分が0.5重量%より少ない場合では、得られるコート膜の厚みが薄くなり、所定の膜厚を得るために多数回の塗布が必要となる。なかでも、固形分濃度は、1重量%〜15重量%であるのがより好ましい。 The solid content concentration in the coating composition of the present invention is preferably in the range of 0.5 wt% to 20 wt% when the metal alkoxide and metal salt are converted as metal oxides. When the solid content exceeds 20% by weight, the storage stability of the coating composition is deteriorated and it is difficult to control the thickness of the coating film. On the other hand, when the solid content is less than 0.5% by weight, the resulting coating film is thin, and many coatings are required to obtain a predetermined film thickness. Especially, it is more preferable that solid content concentration is 1 to 15 weight%.
本発明のコーティング組成物には、上記の第1及び第2の金属アルコキシドを上記金属塩の存在下で加水分解し、縮合物を得るために水が含有される。かかる水の量は、上記の第1及び第2の金属アルコキシドの総モルに対して、2〜24モルにするのが好ましい。この(水の量(モル)/(金属アルコキシドの総モル数)の比率が2以下の場合には、金属アルコキシドの加水分解が不十分となって、成膜性を低下させたり、得られるコート膜の強度を低下させたりするので好ましくない。また、上記比率が24より多い場合は、重縮合が進行し続けるため、貯蔵安定性を低下させるので好ましくない。なかでも、このモル比は、2〜20であるのがより好ましい。 The coating composition of the present invention contains water in order to hydrolyze the first and second metal alkoxides in the presence of the metal salt to obtain a condensate. The amount of water is preferably 2 to 24 moles relative to the total moles of the first and second metal alkoxides. When the ratio of (amount of water (mole) / (total number of moles of metal alkoxide) is 2 or less, hydrolysis of the metal alkoxide becomes insufficient, resulting in a decrease in film formability or a coat obtained. It is not preferable because the strength of the film is decreased, and when the ratio is more than 24, polycondensation continues to proceed, so that storage stability is decreased. More preferably, it is ~ 20.
なお、コーティング組成物に含有される金属塩が含水塩の場合には、その含水分が加水分解反応に関与するため、コーティング組成物に含有させる水の量には、この金属塩の含水分を考慮する必要がある。例えば、共存する金属塩がアルミニウム塩の含水塩の場合には、その含水分が反応に関与するため、加水分解に用いる水の量に対してアルミニウム塩の含水分を考慮する必要がある。 In addition, when the metal salt contained in the coating composition is a hydrate salt, the moisture content is involved in the hydrolysis reaction, so the amount of water contained in the coating composition includes the moisture content of the metal salt. It is necessary to consider. For example, when the coexisting metal salt is a hydrated salt of an aluminum salt, it is necessary to consider the moisture content of the aluminum salt with respect to the amount of water used for hydrolysis because the moisture content is involved in the reaction.
本発明のコーティング組成物は、タッチパネルに好適なコート膜を形成することができる。このコート膜は、無機物である金属酸化物を主な成分とするコート膜であり、アクリル材料などの有機材料の膜に比べて高い強度を有する。そして、後述するタッチパネルにおいて、電極の保護膜として適用される。コート膜は、適度な熱伸縮特性を備えているので、タッチパネルを構成する有機膜上に形成されてもクラックの発生が最小限に抑制される。また、透明電極パターンが視認されることによる表示装置の表示性の低下が低減されるよう、屈折率が最適な範囲に制御されている。 The coating composition of the present invention can form a coating film suitable for a touch panel. This coat film is a coat film containing an inorganic metal oxide as a main component, and has higher strength than a film made of an organic material such as an acrylic material. And in the touch panel mentioned later, it applies as a protective film of an electrode. Since the coat film has an appropriate thermal expansion / contraction characteristic, even if it is formed on the organic film constituting the touch panel, generation of cracks is suppressed to a minimum. In addition, the refractive index is controlled in an optimal range so that a decrease in display performance of the display device due to the visual recognition of the transparent electrode pattern is reduced.
コート膜の屈折率の制御については、コーティング組成物の組成を制御することで実現することができる。すなわち、本発明におけるコート膜は、上記のコーティング組成物に含有される金属アルコキシドを加水分解・縮合させて製造されるものであり、金属アルコキシドの組成を選択することにより、形成するコート膜の屈折率を所定の範囲内で調整することが可能である。例えば、金属アルコキシドとして、シリコンアルコキシドとチタンアルコキシドを選択した場合、その混合比率を調整することにより、後述する所定の範囲内で、具体的には1.45〜2.1程度の範囲内で、得られるコート膜の屈折率を調整することが可能である。 Control of the refractive index of the coating film can be realized by controlling the composition of the coating composition. That is, the coating film in the present invention is produced by hydrolyzing and condensing the metal alkoxide contained in the coating composition described above. By selecting the composition of the metal alkoxide, the coating film to be formed is refracted. It is possible to adjust the rate within a predetermined range. For example, when silicon alkoxide and titanium alkoxide are selected as the metal alkoxide, by adjusting the mixing ratio thereof, within a predetermined range described below, specifically within a range of about 1.45 to 2.1, It is possible to adjust the refractive index of the resulting coating film.
すなわち、コーティング組成物を塗布して成膜し、好ましくは乾燥した後、焼成した後に形成されるコート膜において、要求される屈折率が決められている場合、その屈折率を実現するよう、金属アルコキシド、例えば、シリコンアルコキシドとチタンアルコキシドの組成モル比を決めることが可能である。例えば、シリコンアルコキシドのみを加水分解することによって得られるコーティング組成物からのコート膜の屈折率は、1.45程度の値である。そして、チタンアルコキシドのみを加水分解して得られるコーティング組成物からのコート膜の屈折率は、2.1程度の値である。したがって、コート膜の屈折率を1.45〜2.1程度までの間で特定の値に設定したい場合、その屈折率値を実現するよう、シリコンアルコキシドとチタンアルコキシドを所定の割合で用いてコーティング組成物を製造することが可能である。 That is, when a required refractive index is determined in a coating film formed by applying a coating composition and forming a film, preferably after drying and baking, a metal is formed so as to realize the refractive index. It is possible to determine the composition molar ratio of alkoxide, for example, silicon alkoxide and titanium alkoxide. For example, the refractive index of a coating film from a coating composition obtained by hydrolyzing only silicon alkoxide is a value of about 1.45. And the refractive index of the coating film from the coating composition obtained by hydrolyzing only a titanium alkoxide is a value of about 2.1. Therefore, when it is desired to set the refractive index of the coating film to a specific value between about 1.45 and 2.1, coating is performed using silicon alkoxide and titanium alkoxide at a predetermined ratio so as to realize the refractive index value. It is possible to produce a composition.
また、他の金属アルコキシドを用いることによっても、得られるコート膜の屈折率の調整は可能である。さらに、本発明におけるコート膜の屈折率については、組成条件以外に、成膜条件を選択することで調整することも可能である。こうすることで、コート膜の高い硬度を実現するとともに、所望の屈折率値を実現することが可能である。 The refractive index of the resulting coating film can also be adjusted by using other metal alkoxides. Furthermore, the refractive index of the coating film in the present invention can be adjusted by selecting film forming conditions in addition to the composition conditions. In this way, it is possible to realize a high hardness of the coating film and a desired refractive index value.
本発明のコーティング組成物からコート膜を得る場合、上記のように、コーティング組成物の塗膜を、好ましくは乾燥し、次いで、焼成される。乾燥は、室温〜150℃で行うことが好ましく、40〜120℃で行うことがより好ましい。また、乾燥時間は30秒〜10分程度が好ましく、1〜8分程度がより好ましい。乾燥方法としては、ホットプレートや熱風循環式オーブンなどを用いることが好ましい。
焼成は、タッチパネルの他の構成部材の耐熱性を考慮して、100℃〜300℃ので行うのが好ましく、150℃〜250℃で行うのがより好ましい。また、焼成時間は5分以上が好ましく、15分以上がより好ましい。焼成方法としては、ホットプレート、熱循環式オーブン、赤外線オーブンなどを用いるのが好ましい。
コーティング組成物の塗膜を焼成してコート膜を製造する場合、焼成温度により得られるコート膜の屈折率は変動する。この場合、焼成温度を高くするほど、コート膜の屈折率を高くできる。したがって、焼成温度を適度な値に選択することで、得られるコート膜の屈折率の調整が可能である。When obtaining a coated film from the coating composition of the present invention, the coating film of the coating composition is preferably dried and then baked as described above. Drying is preferably performed at room temperature to 150 ° C, and more preferably at 40 to 120 ° C. The drying time is preferably about 30 seconds to 10 minutes, and more preferably about 1 to 8 minutes. As a drying method, it is preferable to use a hot plate, a hot air circulating oven, or the like.
The firing is preferably performed at 100 ° C. to 300 ° C., more preferably 150 ° C. to 250 ° C. in consideration of the heat resistance of the other components of the touch panel. The firing time is preferably 5 minutes or more, and more preferably 15 minutes or more. As a baking method, it is preferable to use a hot plate, a thermal circulation oven, an infrared oven, or the like.
When a coating film is produced by baking a coating film of the coating composition, the refractive index of the coating film obtained varies depending on the baking temperature. In this case, the higher the baking temperature, the higher the refractive index of the coating film. Therefore, the refractive index of the resulting coating film can be adjusted by selecting an appropriate baking temperature.
また、コーティング組成物からコート膜を得る場合、焼成前に塗膜に紫外線(UV)を照射すると、得られるコート膜の屈折率が変動する。具体的には、紫外線照射量を多くするほど、コート膜の屈折率を高くすることができる。したがって、所望の屈折率を実現するため紫外線照射の有無を選択することが可能である。特に、コーティング組成物に含有され金属アルコキシドが、チタンアルコキシド、ジルコニウムアルコキシドまたはタンタルアルコキシドを含む場合、焼成前の塗膜への紫外線(UV)照射により、得られるコート膜の屈折率が変動し、紫外線照射量を多くするほど、コート膜の屈折率を高くすることができる。尚、コート膜において、組成等の条件選択により所望の屈折率が実現できる場合は、紫外線照射は行わなくてもよい。 Moreover, when obtaining a coat film from a coating composition, if the coating film is irradiated with ultraviolet rays (UV) before firing, the refractive index of the resulting coat film varies. Specifically, the refractive index of the coat film can be increased as the amount of ultraviolet irradiation is increased. Therefore, it is possible to select the presence or absence of ultraviolet irradiation in order to achieve a desired refractive index. In particular, when the metal alkoxide contained in the coating composition contains titanium alkoxide, zirconium alkoxide, or tantalum alkoxide, the refractive index of the resulting coating film fluctuates due to ultraviolet (UV) irradiation to the coating before firing, and ultraviolet rays The higher the irradiation amount, the higher the refractive index of the coat film. In the coating film, when a desired refractive index can be realized by selecting conditions such as composition, ultraviolet irradiation is not necessary.
紫外線照射を行う場合は、その照射量を選択することで、コート膜の屈折率を調整することが可能である。コート膜において、所望の屈折率を得るために紫外線照射が必要な場合は、例えば、高圧水銀ランプを使用することができる。高圧水銀ランプを使用した場合365nm換算で、全光照射1000mJ/cm2以上の照射量が好ましく、3000mJ/cm2〜10000mJ/cm2の照射量がより好ましい。紫外線の光源としては、高圧水銀ランプのほかに、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、エキシマランプなどを用いることができる。高圧水銀ランプを使用した場合以外の光源を用いる場合は、上記高圧水銀ランプを使用した場合と同量の積算光量が照射されればよい。紫外線照射を行う場合、乾燥工程と焼成工程の間に紫外線照射工程を行うこともできる。When ultraviolet irradiation is performed, the refractive index of the coating film can be adjusted by selecting the irradiation amount. When the coating film needs to be irradiated with ultraviolet rays in order to obtain a desired refractive index, for example, a high-pressure mercury lamp can be used. In 365nm terms when using a high-pressure mercury lamp, total light irradiation 1000 mJ / cm 2 or more dose are preferred and the dose of 3000mJ / cm 2 ~10000mJ /
コーティング組成物に、特にチタンアルコキシド成分を含む場合、室温保存下で徐々に粘度が上昇するという性質を有する。これによる実用上大きな問題となる懸念は無いものの、コート膜の厚みを精密に制御する場合には、温度などに対する慎重な管理が好ましい。尚、こうした粘度の上昇は、コーティング組成物中のチタンアルコキシドの組成比率が多くなるにしたがって顕著となる。これは、チタンアルコキシドがシリコンアルコキシドなどに対して加水分解速度が大きく、縮合反応が速いためと考えられる。 In particular, when the coating composition contains a titanium alkoxide component, the coating composition has the property of gradually increasing the viscosity under storage at room temperature. Although there is no concern that this will cause a serious problem in practice, careful control over temperature and the like is preferable when the thickness of the coating film is precisely controlled. Such an increase in viscosity becomes more significant as the composition ratio of titanium alkoxide in the coating composition increases. This is presumably because titanium alkoxide has a higher hydrolysis rate than silicon alkoxide and the like, and the condensation reaction is fast.
コーティング組成物が、チタンアルコキシド成分を含む場合において、粘度変化を少なくするためには、次の2つの製法(1)と製法(2)が好ましい。
(1)チタンアルコキシドを金属塩の存在下、加水分解する際に、予めグリコール類とチタンアルコキシドを充分混合した後、必要に応じて、シリコンアルコキシドと混合し、有機溶媒の存在下で加水分解する。こうすることにより、粘度変化の小さいコーティング組成物が得られる。この(1)の製法が有効なのは、チタンアルコキシドをグリコール類と混合した際に発熱があることから、チタンアルコキシドのアルコキシ基と、グリコール類との間でエステル交換反応が起こり、加水分解・縮合反応に対して安定化されるためと考えられる。In the case where the coating composition contains a titanium alkoxide component, the following two production methods (1) and (2) are preferable in order to reduce the viscosity change.
(1) When hydrolyzing titanium alkoxide in the presence of a metal salt, after sufficiently mixing glycols and titanium alkoxide in advance, if necessary, it is mixed with silicon alkoxide and hydrolyzed in the presence of an organic solvent. . By doing so, a coating composition having a small viscosity change can be obtained. The production method of (1) is effective because when titanium alkoxide is mixed with glycols, heat is generated, so transesterification occurs between the alkoxy group of titanium alkoxide and glycols, resulting in hydrolysis / condensation reaction. This is thought to be because of stabilization.
(2)予めシリコンアルコキシドを金属塩の存在下で加水分解反応させた後、グリコール類と混合したチタンアルコキシド溶液に混合して縮合反応を行い、コーティング組成物を得る。こうすることにより、粘度変化の小さいコーティング組成物が得られる。
この(2)の製法が有効なのは、次の理由によると考えられる。すなわち、シリコンアルコキシドの加水分解反応は速い速度で行われるが、その後の縮合反応はチタンアルコキシドに比較して遅い。そのため、加水分解反応を終えた後、速やかにチタンアルコキシドを加えると、加水分解反応したシリコンアルコキシドのシラノール基と、チタンアルコキシドとが均一に反応する。これにより、チタンアルコキシドの縮合反応性を、加水分解されたシリコンアルコキシドが安定化させると考えられる。(2) A silicon alkoxide is preliminarily hydrolyzed in the presence of a metal salt and then mixed with a titanium alkoxide solution mixed with glycols to perform a condensation reaction to obtain a coating composition. By doing so, a coating composition having a small viscosity change can be obtained.
The reason why the production method (2) is effective is considered to be as follows. That is, the hydrolysis reaction of silicon alkoxide is performed at a high rate, but the subsequent condensation reaction is slower than titanium alkoxide. Therefore, when titanium alkoxide is added quickly after finishing the hydrolysis reaction, the silanol group of the hydrolyzed silicon alkoxide and the titanium alkoxide react uniformly. Thereby, it is thought that the hydrolyzed silicon alkoxide stabilizes the condensation reactivity of titanium alkoxide.
予め加水分解されたシリコンアルコキシドと、チタンアルコキシドとを混合する方法は、既に試みられている。しかし、反応に用いられる有機溶媒にグリコール類が含まれていない場合には、貯蔵安定性に優れたコーティング組成物が得られない。また、2)に示した方法は、大きな加水分解速度を有する他の金属アルコキシドとシリコンアルコキシドとからコーティング組成物を得る場合にも有用である。 Attempts have already been made to mix pre-hydrolyzed silicon alkoxide and titanium alkoxide. However, when the organic solvent used for the reaction does not contain glycols, a coating composition having excellent storage stability cannot be obtained. The method shown in 2) is also useful when a coating composition is obtained from another metal alkoxide having a high hydrolysis rate and silicon alkoxide.
本発明のコーティング組成物は、一般に行われている塗布法を適用して、塗膜を成膜し、その後、コート膜とされる。塗布法としては、例えば、ディップコート法、スピンコート法、スプレーコート法、刷毛塗り法、ロール転写法、スクリーン印刷法、インクジェット法またはフレキソ印刷法などが用いられる。この内、パターン印刷に好適なインクジェット法とフレキソ印刷法が特に好ましい。 The coating composition of the present invention is formed by applying a commonly applied coating method to form a coating film and then forming a coating film. As the coating method, for example, a dip coating method, a spin coating method, a spray coating method, a brush coating method, a roll transfer method, a screen printing method, an ink jet method, or a flexographic printing method is used. Of these, the inkjet method and flexographic printing method suitable for pattern printing are particularly preferred.
<コート膜>
本発明のコート膜は、上述した本発明のコーティング組成物を用いて形成される。そして、タッチパネルの電極保護膜として、後述する本発明のタッチパネルに適用される。
本発明のコート膜は、無機物である金属酸化物を成分として含むコート膜であり、アクリル材料などの有機材料からなるコート膜に比べて硬度が高く、高い強度を有する。すなわち、機械的強度に優れ、指などによる多数回の押圧から透明電極を保護する。<Coating film>
The coating film of the present invention is formed using the above-described coating composition of the present invention. And it applies to the touch panel of this invention mentioned later as an electrode protective film of a touch panel.
The coat film of the present invention is a coat film containing a metal oxide that is an inorganic substance as a component, and has higher hardness and higher strength than a coat film made of an organic material such as an acrylic material. That is, it excels in mechanical strength and protects the transparent electrode from multiple pressings with a finger or the like.
タッチパネルが有機材料からなる膜を用いて構成される場合、例えば、タッチパネルの電極間に配置される層間絶縁膜がアクリルなどの有機材料から構成される場合には、本発明のコート膜が特に有効である。すなわち、有機材料からなる膜上に本発明のコート膜が形成されても、有機膜との熱伸縮性に違いによってクラックを生じないよう、成分組成の選択がなされている。 When the touch panel is formed using a film made of an organic material, for example, when the interlayer insulating film disposed between the electrodes of the touch panel is formed of an organic material such as acrylic, the coating film of the present invention is particularly effective. It is. That is, even if the coating film of the present invention is formed on a film made of an organic material, the component composition is selected so that cracks do not occur due to the difference in thermal stretchability with the organic film.
また、本発明のコート膜は、後述するタッチパネルの電極の保護膜としても好適である。すなわち、このコート膜によれば、透明電極パターンが視認される現象(電極パターン見え現象)を抑制することができる。したがって、このコート膜を用いて形成されたタッチパネルによれば、表示装置の表示性の低下を低減することが可能である。 Further, the coating film of the present invention is also suitable as a protective film for an electrode of a touch panel described later. That is, according to this coat film, it is possible to suppress a phenomenon in which the transparent electrode pattern is visually recognized (electrode pattern appearance phenomenon). Therefore, according to the touch panel formed using this coat film, it is possible to reduce the deterioration in display properties of the display device.
タッチパネルで透明電極パターンが視認される原因は、基板の操作領域にある透明電極パターンの屈折率と基板の屈折率とが異なることにある。タッチパネルの透明電極パターンは、通常、無機の金属酸化物であるITO(酸化インジウムスズ(Indium Tin Oxide)からなる。ITOの屈折率は、1.8〜2.1程度である。一方、ガラス基板の屈折率は1.4〜1.5前後であるので、ITOの屈折率と大きく異なる。かかる屈折率の違いは、透明電極パターンが形成された領域と、形成されていない領域との間に、光反射特性の違いを生じさせる。すなわち、干渉を伴う界面反射特性が、透明電極パターンの形成された領域と、形成されない領域とで異なることにより、画面表示において電極パターンを目立たせる結果となる。 The reason why the transparent electrode pattern is visually recognized on the touch panel is that the refractive index of the transparent electrode pattern in the operation region of the substrate is different from the refractive index of the substrate. The transparent electrode pattern of the touch panel is usually made of ITO (Indium Tin Oxide) which is an inorganic metal oxide. The refractive index of ITO is about 1.8 to 2.1. Is approximately 1.4 to 1.5, and thus is significantly different from the refractive index of ITO, which is different between the region where the transparent electrode pattern is formed and the region where the transparent electrode pattern is not formed. In other words, the difference in the light reflection characteristic is caused between the area where the transparent electrode pattern is formed and the area where the transparent electrode pattern is not formed, thereby making the electrode pattern stand out in the screen display. .
そこで、本発明者は、透明電極パターンを目立たなくするため鋭意検討を重ねた結果、基板上に配置された透明電極パターンの上に、屈折率と膜厚とが所望の範囲内となるように制御された層を設けることが有効であることを見出した。具体的には、透明電極パターンの保護層の屈折率と膜厚とを最適範囲に制御することで、タッチパネルにおける意図しない透明電極パターンの視認を抑えられることが分かった。 Therefore, as a result of intensive studies to make the transparent electrode pattern inconspicuous, the inventor has such that the refractive index and the film thickness are within a desired range on the transparent electrode pattern arranged on the substrate. It has been found that providing a controlled layer is effective. Specifically, it was found that by controlling the refractive index and the film thickness of the protective layer of the transparent electrode pattern within the optimum range, it is possible to suppress the unintended viewing of the transparent electrode pattern on the touch panel.
本発明のコート膜では、特に、透明電極パターンが視認される現象を抑えようとする場合、屈折率が1.50〜1.70の範囲内、好ましくは1.52〜1.70の範囲内となるよう制御される。屈折率の制御法については、上述のように、コーティング組成物の成分組成を制御する他、成膜方法の制御によっても実現される。
コート膜の形成方法としては、本発明のコーティング組成物に、フレキソ印刷など一般に行われている塗布法を適用して、タッチパネルの電極上に塗膜を成膜し、その後、コート膜とする方法が挙げられる。In the coating film of the present invention, particularly when the phenomenon of the transparent electrode pattern being visually recognized is to be suppressed, the refractive index is in the range of 1.50 to 1.70, preferably in the range of 1.52 to 1.70. It is controlled to become. As described above, the refractive index control method can be realized by controlling the component composition of the coating composition and also by controlling the film forming method.
As a method for forming the coating film, a coating method is applied to the coating composition of the present invention by applying a commonly applied coating method such as flexographic printing to form a coating film on the electrode of the touch panel, and then forming the coating film. Is mentioned.
<タッチパネル>
次に、本発明のコート膜を有するタッチパネルについて説明する。
図1および図2は、本発明のタッチパネルの構成を説明する図である。図1は、タッチパネルの構造を模式的に示す平面図である。図2は、図1のA1−A1’線に沿う断面図である。<Touch panel>
Next, a touch panel having the coating film of the present invention will be described.
1 and 2 are diagrams for explaining the configuration of the touch panel of the present invention. FIG. 1 is a plan view schematically showing the structure of the touch panel. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line A1-A1 ′ of FIG.
図1に示すように、タッチパネル1は、透明な基板2を用いて構成され、基板2の操作領域に透明電極のパターンが形成されている。具体的には、基板2の操作領域において、Y方向に伸びる第1の透明電極3と、X方向に伸びる第2の透明電極4とを有する。第1の透明電極3と第2の透明電極4は、基板2の同一面に設けられた同一層から形成される。
As shown in FIG. 1, the
基板2は、ガラス、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、トリアセチルセルロース樹脂などの透明材料を用いて構成される。特に、コート膜5の形成に好適な耐熱性と耐薬品性能を備えた材料を選択することが好ましい。基板2の厚みは、ガラスを用いた場合には、例えば0.1mm〜2mm程度であり、樹脂フィルムを用いた場合には、例えば10μm〜2000μm程度である。
The
図1において、第1の透明電極3と第2の透明電極4は、それぞれ複数のパッド部21を構成要素としている。各パッド部21は、それぞれが平面的に隔離され、且つ、各パッド部21間の隙間が少なくなるように配置される。すなわち、X軸方向に列をなすパッド部21と、Y軸方向に列をなすパッド部21とは、これらが互いに交差する領域が可能な限り小さくなるようにして、操作領域の全体に配置される。パッド部21は、例えば、菱形、矩形および六角形などの多角形形状とすることができ、これらは、例えば、互い違いまたは直列状に配置される。また、分離(離間)した電極の本数も図1の例に限られるものではなく、操作領域の大きさと要求される検出位置の精度に応じて決定される。
In FIG. 1, each of the first
複数のパッド部21を連ねて構成される第1の透明電極3と第2の透明電極4は、タッチパネル1の操作領域に相当する位置に形成されている。第1の透明電極3は、X方向に沿った複数の領域に分離して設けられており、X方向の座標を検出する。第2の透明電極4は、Y方向に沿った複数の領域に分離して設けられており、Y方向の座標を検出する。このような構造とすることで、タッチ位置検出の精度を高めることができる。
The first
第1の透明電極3および第2の透明電極4には、少なくとも可視光に対する透過率が高く、導電性を有する透明電極材料を用いて形成される。このような導電性を有する透明電極材料としては、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)またはZnO(酸化亜鉛)などが挙げられる。ITOを用いる場合には、十分な導電性を確保できるよう、厚さを10nm〜200nmとすることが好ましい。
The first
第1の透明電極3と第2の透明電極4は、例えば、次のようにして形成される。
まず、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スプレー法、ディップ法またはCVD法などの中から、下地となる基板2の材質を考慮して選択した方法によって透明導電膜を成膜する。次に、上記透明導電膜を、フォトリソグラフィ技術を用いてパターニングする。または、有機溶剤に上記材料からなる導電性フィラーなどを分散させた塗料を用い、印刷法によって所望のパターンを形成してもよい。For example, the first
First, a transparent conductive film is formed by a method selected from sputtering, vacuum deposition, ion plating, spraying, dipping, CVD, or the like in consideration of the material of the
透明電極の形成工程では、膜厚を精度よく制御できることが好ましい。したがって、形成にあたっては、所望の膜厚を実現し、透明性に優れた低抵抗の膜を形成できる方法を選択することが好ましい。 In the transparent electrode forming step, it is preferable that the film thickness can be accurately controlled. Therefore, it is preferable to select a method capable of forming a desired film thickness and forming a low-resistance film excellent in transparency.
図1および図2に示すように、第1の透明電極3と第2の透明電極4とは、基板2の同一面上に形成されており、同一層をなしている。このため、第1の透明電極3と第2の透明電極4とは、複数の箇所で交差しており、交差部18を形成している。
As shown in FIGS. 1 and 2, the first
本発明では、交差部18において、第1の透明電極3と第2の透明電極4の一方が他方と接触しないよう分断されている。すなわち、図2に示すように、複数の交差部18のいずれにおいても、第2の透明電極4は繋がっているが、第1の透明電極3は分断されている。そして、第1の透明電極3の分断箇所を接続させるために、架橋電極20が設けられている。架橋電極20と第2の透明電極4の間には、絶縁性物質からなる層間絶縁膜19が設けられている。以下、図1および図2を参照して、さらに詳述する。
In the present invention, at the
図2に示すように、交差部18における第2の透明電極4の上には、光透過性の層間絶縁膜19が形成されている。層間絶縁膜19の形成には、感光性アクリル樹脂などの有機材料を用いる。感光性アクリル樹脂を用いる場合は、フォトリソグラフィ法を利用して、交差部18における第2の透明電極4の上にのみアクリル膜が形成された構造とする。尚、SiO2などの無機材料を用いることもできる。SiO2を用いる場合、例えば、マスクを用いたスパッタリング法によって、同様の構造を形成することができる。パターニング性を考慮する場合、層間絶縁膜19にはアクリル膜を使用することが好ましい。As shown in FIG. 2, a light transmissive
層間絶縁膜19の上層には、架橋電極20が設けられている。架橋電極20は、交差部18で分断されている第1の透明電極3同士を電気的に接続するものであり、光透過性の材料によって形成されることが好ましい。架橋電極20を設けることで、第1の透明電極3をY方向に電気的に接続することができる。
A bridging
図1に示すように、第1の透明電極3と第2の透明電極4は、菱形のパッド部21を縦または横に複数並べた形状をしている。第2の透明電極4において、交差部18に位置する接続部分は、第2の透明電極4の菱形のパッド部21より幅の狭い形状になっている。また、架橋電極20も、菱形のパッド部21より幅の狭い形状で短冊状に形成されている。
As shown in FIG. 1, the first
図1および図2に示すように、本発明のタッチパネル1においては、第1の透明電極3と第2の透明電極4の上に、保護膜として、上述した本発明のコート膜5が形成されている。そして、タッチパネル1の操作領域に相当する部分における透明電極の形成領域と非形成領域とを被覆している。コート膜5は、高硬度であり、無機材料からなる第1の透明電極3および第2の透明電極4との密着性に優れる。
As shown in FIGS. 1 and 2, in the
本発明のコート膜5の形成には、上述した本発明のコーティング組成物が用いられる。具体的には、上述した式(I)と式(II)に示した金属アルコキシドをアルミニウム塩の存在下に有機溶媒中で加水分解・縮合し、さらに析出防止剤を添加して得られるコーティング組成物が用いられる。
The coating composition of the present invention described above is used for forming the
タッチパネル1においては、第1の透明電極3と第2の透明電極4の各透明電極パターンが見立たないよう、コート膜5の屈折率と膜厚とを選択することができる。具体的には、コート膜5の屈折率は、1.50より大きくて1.70以下の範囲内であることが好ましく、膜厚は、40nm〜170nmの範囲内であることが好ましい。コート膜5の屈折率が、1.50より大きくて1.60より小さい場合、膜厚は、60nm〜150nmの範囲内であることがより好ましい。また、コート膜5の屈折率が、1.60以上で1.70以下の範囲内である場合、膜厚は、40nm〜170nmの範囲内であることがより好ましい。
In the
タッチパネル1においては、例えば、コート膜5は、シリコンアルコキシドとチタンアルコキシドとを含むコーティング組成物から形成されたものであり、屈折率は1.52、膜厚は100nmである。
In the
図2に示すように、タッチパネル1は、第1の透明電極3などが形成された面と、ディスプレイパネル10の視認側の最上位層とを、アクリル系光硬化性樹脂などを用いた接着層9を介して重ね合わせることで、1つの表示装置とすることができる。ここで、接着層9は、コート膜5の上に設けられる。
As shown in FIG. 2, the
上記の表示装置は、タッチパネル1と、ディスプレイパネル10とを有し、必要に応じて、バックライトを有することができる。図2では、詳細を省略しているが、ディスプレイパネル10は、公知の表示装置と同様の構成とすることができる。例えば、液晶表示装置の場合、ディスプレイパネル10は、2枚の透明基板の間に液晶層が挟持された構造とすることができる。各透明基板の液晶層に接する側とは反対の側には、それぞれ偏光板を設けることができる。また、各透明基板には、液晶の状態を制御するためにセグメント電極やコモン電極を形成することができる。そして、液晶層は、各透明基板とシール材とによって封止される。
Said display apparatus has the
図1に示すように、タッチパネル1において、第1の透明電極3と第2の透明電極4の端部には、それぞれ端子(図示されない)が設けられており、その端子から複数の引き出し配線11が引き出される。引き出し配線11は、銀、アルミニウム、クロム、銅またはモリブデンの他、Mo-Nb(モリブデン-ニオブ)合金などのこれら金属を含む合金などを使用した不透明な金属配線とすることができる。引き出し配線11は、第1の透明電極3と第2の透明電極4への電圧印加や、タッチ位置を検出する制御回路(図示されない)に接続される。
As shown in FIG. 1, in the
以上の構成を有するタッチパネル1では、複数の第1の透明電極3および第2の透明電極4に順次電圧を印加して電荷を与える。操作領域のいずれかの箇所に導電体である指が触れると、指先と、第1の透明電極3および第2の透明電極4との間の静電容量結合によってコンデンサが形成される。したがって、指先の接触位置における電荷の変化を捉えることで、いずれの箇所に指が触れたのかを検出することができる。
In the
また、タッチパネル1は、制御回路(図示されない)の制御により、第1の透明電極3と第2の透明電極4のいずれか一方に選択的に電圧を印加することもできる。この場合、電圧が印加された透明電極上には電界が形成され、この状態で指などが触れると、接触位置は人の体の静電容量を介して接地されることになる。その結果、対象となる第1の透明電極3または第2の透明電極4の端子(図示されない)と、接触位置との間に、抵抗値の変化が生じる。この抵抗値は、接触位置と、対象となる第1の透明電極3または第2の透明電極4の端子との距離に比例するため、接触位置と、対象となる第1の透明電極3または第2の透明電極4の端子との間に流れる電流値を制御回路が検出することで、接触位置の座標を求めることができる。
The
本発明のタッチパネル1では、第1および第2の透明電極3、4上に設けられたコート膜5の効果により、操作領域において透明電極パターンが目立つことが抑制されている。
In the
次に、本発明のタッチパネル1の製造方法について説明する。
図3(a)〜(d)は、本発明の第1の例であるタッチパネルの製造方法を示す工程断面図である。Next, the manufacturing method of the
3A to 3D are process cross-sectional views illustrating a method for manufacturing a touch panel as a first example of the present invention.
まず、ガラス基板などの透明な基板2を準備する。基板2は、必要に応じて所望の形状にカットし、洗浄する。次いで、基板2の一面に透明導電膜を形成する。なお、基板2と透明導電膜の間にSiOx、SiNx、SiONなどの中間層が形成される場合もある。透明導電膜は、例えばITOであり、スパッタ法や真空蒸着法などを用いて10〜200nmの厚さで成膜する。次いで、透明導電膜の上層側に感光性樹脂などからなるエッチングマスクを形成した状態で、透明導電膜をエッチングし、第1の透明電極3および第2の透明電極4をパターニング形成する。エッチングマスクを除することにより、図3(a)に示すような、透明電極パターンの形成された透明導電膜基板14が得られる。
First, a
ここで、透明導電膜基板14の交差部18において、第2の透明電極4は接続部分を介して繋がっているが、第1の透明電極3は分断されている。
Here, at the intersecting
次に、第1の透明電極3および第2の透明電極4が設けられている側に、感光性の樹脂を塗布した後に露光現像することによって、第2の透明電極4の接続部分に層間絶縁膜19を形成する(図3(b))。層間絶縁膜19を形成するための感光性樹脂としては、透明性を有するものが用いられる。例えば、アクリル樹脂などが使用可能である。尚、SiO2を用いて層間絶縁膜19を形成する場合には、マスクを用いたスパッタリング法によって、同様の構造とすることができる。但し、パターニング性を考慮した場合、アクリル樹脂の使用が好ましい。Next, a photosensitive resin is applied to the side on which the first
次に、層間絶縁膜19の上に透明導電膜を形成した後、この透明導電膜の表面に感光性樹脂からなるエッチングマスクを形成した状態で、透明導電膜をエッチングする。その後、エッチングマスクを除去し、第1の透明電極3の分断部分を繋ぐよう、層間絶縁膜19の上層に架橋電極20を形成する。これにより、図3(c)に示す構造が得られる。層間絶縁膜19の上に形成される透明導電膜としては、例えば、ITO膜が挙げられる。その場合、架橋電極20はITOにより形成される。
Next, after forming a transparent conductive film on the
尚、前述した引き出し配線11については、後の工程で銀インクなどを使用して形成される。しかし、上記工程で透明導電膜をエッチングする際に、第1の透明電極3および第2の透明電極4の外周縁の各々に沿うように透明導電膜を残し、引き出し配線11を形成することも可能である。
The
次に、第1の透明電極3、第2の透明電極4および架橋電極20の上に、金属酸化物層形成用のコーティング組成物をフレキソ印刷により塗布する。ここで、コーティング組成物は、金属アルコキシドを金属塩(例えば、アルミニウム塩)の存在下に有機溶媒中で加水分解・縮合し、さらに析出防止剤を添加して得られるものである。次いで、コーティング組成物の塗膜が形成された基板2を40〜150℃(例えば、60℃)の、例えばホットプレート上で乾燥する。その後、100〜300℃(例えば、250℃)の、例えばオーブン内で加熱して、第1の透明電極3、第2の透明電極4および架橋電極20の上に金属酸化物層5を形成する。これにより、図3(d)に示すタッチパネル基板30が得られる。尚、基板2上の塗膜を、例えばホットプレート上で乾燥した後、この塗膜に紫外線を照射してから、オーブン内で加熱してもよい。
Next, a coating composition for forming a metal oxide layer is applied on the first
こうして得られた本発明のコート膜5は、無機の金属酸化物を主な成分として硬度が高く、高い強度を有する。加えて、有機膜である層間絶縁膜19上であっても内部にクラックを発生させることは無い。
The
次いで、第1の透明電極3と第2の透明電極4の端部の端子(図示されない)から銀インクなどで引き出し配線11を形成してタッチパネル1とする。タッチパネル1は、引き出し配線11を介して、タッチパネルの制御回路(図示されない)に接続される。
Next, a lead-
完成したタッチパネル1は、アクリル系透明接着剤などの接着層9を介して、ディスプレイパネル10の前面に取り付けられる。このとき、必要に応じて、基板2やディスプレイパネル10の角にアライメントマークを設けて位置合わせを行う。
The completed
ディスプレイパネル10に取り付けられたタッチパネル1では、コート膜5が設けられていることにより、高信頼性が実現される。そして、第1の透明電極3および第2の透明電極4の透明電極パターンが、タッチパネル1の操作領域で目立つことを抑制することができる。
In the
図4は、本発明のタッチパネルの別の例の概略構成を示す断面図である。図4に示すように、タッチパネル101は、透明な基板102を有する。基板102の操作領域に透明電極のパターンが形成されている。すなわち、基板102の上層には2つの異なる方向の位置をそれぞれ検出するための第1の透明電極103と第2の透明電極104とが設けられている。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of another example of the touch panel of the present invention. As illustrated in FIG. 4, the
第1の透明電極103および第2の透明電極104は、少なくとも可視光に対する透過率が高く、導電性を有する透明電極材料を用いて形成される。このような導電性を有する透明電極材料としては、例えば、ITOまたはZnOなどを用いることができる。ITOを用いる場合には、十分な導電性を確保できるよう、厚さを10〜200nmとすることが好ましい。
The first
第1の透明電極103と第2の透明電極104は、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スプレー法、ディップ法またはCVD法などから、下地となる透明な基板102や後述するオーバーコート層107を考慮して最適な方法を選択して形成される。
The first
例えば、面状に形成した透明電極を、フォトリソグラフィ技術を利用してエッチング法でパターニングする方法、あるいは、有機溶剤に上記材料からなる導電性フィラーなどを分散した塗料を用い、印刷法により直接、所望のパターンに形成する方法などがある。透明電極の形成工程では、膜厚を精度良く制御できることが好ましい。したがって、形成にあたっては、所望の膜厚を実現し、透明性に優れた低抵抗の膜を形成できる方法を選択することが好ましい。 For example, a transparent electrode formed in a planar shape is patterned by an etching method using photolithography technology, or a coating material in which a conductive filler made of the above material is dispersed in an organic solvent, and directly by a printing method. There is a method of forming a desired pattern. In the transparent electrode forming step, it is preferable that the film thickness can be accurately controlled. Therefore, it is preferable to select a method capable of forming a desired film thickness and forming a low-resistance film excellent in transparency.
図4に示すように、第1の透明電極103は基板102の上に配置される。そして、第1の透明電極103の上には、本発明のコート膜105が形成されている。コート膜105の形成には、上述した本発明のコーティング組成物が用いられる。そして、コート膜105は、タッチパネル101の操作領域に相当する部分の第1の透明電極103の形成領域と非形成の領域を被覆している。
As shown in FIG. 4, the first
コート膜105の上には、オーバーコート層107が設けられている。オーバーコート層107は、透明性の高いアクリル樹脂から形成された、有機材料からなる膜である。
An
図4に示すように、第2の透明電極104はオーバーコート層107の上に配置される。第2の透明電極104の上には本発明のコート膜106が形成されている。コート膜106の形成には、上述した本発明のコーティング組成物が用いられる。そして、コート膜106は、タッチパネル101の操作領域に相当する部分の透明電極の形成領域と非形成の領域を被覆している。コート膜105、106は、硬度が高く、第1の透明電極103および第2の透明電極104との密着性に優れる。そして、本発明のコート膜106は、無機の金属酸化物を主な成分とするが、オーバーコート層107上でクラックを発生させることは無い。すなわち、コート膜106は、第2の透明電極104とともに有機材料からなる膜であるオーバーコート層107を被覆するよう形成されても、内部にクラックを発生させることが無い。
As shown in FIG. 4, the second
タッチパネル101においては、第1の透明電極103と第2の透明電極104の各透明電極パターンが見立たないように、コート膜105、106の屈折率と膜厚とを選択することができる。具体的には、コート膜105、106の屈折率は1.50より大きく1.70以下の範囲内であることが好ましく、膜厚は40nm〜170nmの範囲内であることが好ましい。そして、コート膜105、106の屈折率が1.50より大きく1.60より小さい場合、膜厚は60nm〜150nmの範囲内であることがより好ましい。また、コート膜105、106の屈折率が1.60以上で1.70以下の範囲内である場合、膜厚は40nm〜170nmの範囲内であることがより好ましい。
In the
タッチパネル101においては、例えば、第1の透明電極103および第2の透明電極104は、それぞれ膜厚28nmのITOからなる。この場合、コート膜105、106は、それぞれ、シリコンアルコキシドとチタンアルコキシドとを含む本発明のコーティング組成物から形成されたものであり、屈折率は1.52、膜厚は100nmである。
In the
図4に示すように、コート膜106の上には、アクリル系の透明接着剤からなる接着層108が設けられている。タッチパネル101は、この接着層108を介して、ディスプレイパネル110が取り付けられている。
As shown in FIG. 4, an
以上の構成を有するタッチパネル101では、操作領域のいずれかの箇所に導電体である指が触れると、指先と、第1の透明電極103および第2の透明電極104との間の静電容量結合によってコンデンサが形成される。したがって、指先の接触位置における電荷の変化を捉えることで、いずれの箇所に指が触れたかを検出することができる。
In the
タッチパネル101では、第1の透明電極103と第2の透明電極104の上に設けられたコート膜105、106の効果により、高信頼性が実現される。そして、操作領域において透明電極パターンが目立つことを抑制することも可能である。
In the
図5および図6は、本発明のタッチパネルのさらに別の例の構造を示す図である。図5は本発明のタッチパネルのさらに別の例の構造を模式的に示す平面図である。図6は図5のB1−B1’線に沿う断面図である。 5 and 6 are diagrams showing the structure of still another example of the touch panel of the present invention. FIG. 5 is a plan view schematically showing the structure of still another example of the touch panel of the present invention. 6 is a cross-sectional view taken along line B1-B1 'of FIG.
図5に示すように、タッチパネル201は、透明な基板202を用いて構成され、基板202の操作領域に透明電極パターンが形成されている。すなわち、基板202の一面に形成されたX方向の座標を検出するための第1の透明電極203と、基板202の他面に形成されたY方向の座標を検出するための第2の透明電極204とを有する。尚、以下の説明においては、基板202の一方の面が上方、基板202の他方の面が下方になる。そして、この場合、基板202の他方の面がディスプレイパネル210に装着される側の面となる。
As shown in FIG. 5, the
基板202は誘電体基板である。基板202の材料としては、ガラス、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、トリアセチルセルロース樹脂などの透明材料が使用される。特に、本発明のコート膜205、206の形成に好適な耐熱性と耐薬品性能を備えた材料を選択することが好ましい。基板202の厚みは、ガラスであれば約0.1mm〜2mmとすることができ、樹脂フィルムであれば10μm〜2000μmとすることができる。
The
図5に示すように、第1の透明電極203と第2の透明電極204は、それぞれ細長い長方形の電極からなる。第1の透明電極203はY方向に伸び、第2の透明電極204はX方向に伸び、それぞれストライプ状に一定間隔で配設されている。また、第1の透明電極203と第2の透明電極204は、互いに直交するように配設されており、全体として格子状となっている。
As shown in FIG. 5, each of the first
第1の透明電極203および第2の透明電極204は、少なくとも可視光に対する透過率が高く、導電性を有する透明電極材料を用いて形成される。このような導電性を有する透明電極材料としては、例えば、ITOまたはZnOなどを用いることができる。ITOを用いる場合には、十分な導電性を確保できるよう、厚さを10〜200nmとすることが好ましい。
The first
第1の透明電極203と第2の透明電極204は、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スプレー法、ディップ法またはCVD法などから、下地となる透明な基板202を考慮して最適な方法を選択して形成される。
The first
例えば、面状に形成した透明電極をフォトリソグラフィ技術を利用してエッチング法でパターニングする方法、あるいは、有機溶剤に上記材料からなる導電性フィラーなどを分散した塗料を用い、印刷法により直接、所望のパターンに形成する方法などがある。透明電極の形成工程では、膜厚を精度良く制御できることが重要となる。したがって、形成にあたっては、所望の膜厚を実現し、透明性に優れた低抵抗の膜を形成できる方法を選択することが好ましい。 For example, a transparent electrode formed in a planar shape is patterned by an etching method using photolithography, or directly by a printing method using a paint in which a conductive filler made of the above material is dispersed in an organic solvent. There is a method of forming the pattern. In the transparent electrode forming step, it is important to be able to control the film thickness with high accuracy. Therefore, it is preferable to select a method capable of forming a desired film thickness and forming a low-resistance film excellent in transparency.
図5および図6に示すように、第1の透明電極203の上には、コート膜205が形成されている。コート膜205は、タッチパネル201の操作領域に相当する部分の透明電極の形成領域と非形成の領域を被覆している。また、図6に示すように、第2の透明電極204上(図では下側になる)にもコート膜206が形成されている。コート膜206は、タッチパネル201の操作領域に相当する部分の透明電極の形成領域と非形成の領域を被覆している。コート膜205、206は、硬度が高く、第1の透明電極203および第2の透明電極204との密着性に優れる。
As shown in FIGS. 5 and 6, a
コート膜205、206の形成には、金属アルコキシドをアルミニウム塩の存在下に有機溶媒中で加水分解・縮合し、さらに析出防止剤を添加して得られる、上述の本発明のコーティング組成物が用いられる。
For the formation of the coating
タッチパネル201においては、第1の透明電極203と第2の透明電極204の各透明電極パターンが見立たないように、コート膜205、206の屈折率と膜厚が選択することができる。具体的には、コート膜205、206の屈折率はそれぞれ1.50より大きく1.70以下の範囲内であることが好ましく、膜厚はそれぞれ40nm〜170nmの範囲内であることが好ましい。そして、コート膜205、206の屈折率が1.50より大きく1.60より小さい場合、膜厚は60nm〜150nmの範囲内であることがより好ましい。また、コート膜205、206の屈折率が1.60以上で1.70以下の範囲内である場合、膜厚は40nm〜170nmの範囲内であることがより好ましい。
In the
タッチパネル201においては、例えば、第1の透明電極203および第2の透明電極204は、それぞれ膜厚28nmのITOからなる。この場合、コート膜205、206は、それぞれ、シリコンアルコキシドとチタンアルコキシドとを用いて調製されたコーティング組成物から形成されたものであり、屈折率は1.52、膜厚は100nmである。
In the
図6に示すように、基板202の一方の面には、アクリル系の透明接着剤からなる接着層208が設けられている。また、接着層208の上には、透明な樹脂から構成されたカバーフィルム207が接着されている。尚、図5では、カバーフィルム207を省略している。
As shown in FIG. 6, an adhesive layer 208 made of an acrylic transparent adhesive is provided on one surface of the
カバーフィルム207は、第1の透明電極203およびコート膜205の保護膜として機能する。尚、カバーフィルム207の代わりに、透明樹脂をコーティングしても良い。この場合は、接着層208を不要とすることができる。
基板202の他方の面には、アクリル系の透明接着剤からなる接着層209を介して、ディスプレイパネル110が取り付けられている。The
The display panel 110 is attached to the other surface of the
図6では詳細を省略しているが、ディスプレイパネル210は、公知の表示装置と同様の構成とすることができる。例えば、液晶表示装置の場合、ディスプレイパネル210は、2枚の透明基板の間に液晶層が挟持された構造とすることができる。各透明基板の液晶層に接する側とは反対の側には、それぞれ偏光板を設けることができる。また、各透明基板には、液晶の状態を制御するためにセグメント電極やコモン電極を形成することができる。そして、液晶層は、各透明基板とシール材とによって封止される。
Although details are omitted in FIG. 6, the
タッチパネル201においては、第1の透明電極3と第2の透明電極4の端部には、それぞれ端子(図示されない)が設けられており、その端子から複数の引き出し配線(図示されない)が引き出される。引き出し配線は、銀、アルミニウム、クロム、銅またはこれらを含む合金などを使用した不透明な金属配線とすることができる。引き出し配線は、第1の透明電極203と第2の透明電極204への電圧印加や、タッチ位置を検出する制御回路(図示されない)に接続される。
In the
以上の構成を有するタッチパネル201では、操作領域のいずれかの箇所に導電体である指が触れると、指先と、第1の透明電極203および第2の透明電極204との間の静電容量結合によってコンデンサが形成される。したがって、指先の接触位置における電荷の変化を捉えることで、いずれの箇所に指が触れたかを検出することができる。
In the
タッチパネル201では、第1の透明電極203と第2の透明電極204の上に設けられたコート膜205、206の効果により、操作領域において透明電極パターンが目立つことが抑制されている。
In the
以上のように、本実施形態のタッチパネルのさらに別の例では、上記した例と異なり、層間絶縁膜やオーバーコート層など、アクリル樹脂などからなる有機膜の上に本発明のコート膜を設ける構造とはなっていない。本発明のコート膜はこうしたタッチパネルの例に対しても、高強度の電極の保護膜として有効に機能する。そして、透明電極パターンが目立つことを防止する。 As described above, in another example of the touch panel of the present embodiment, unlike the above example, a structure in which the coating film of the present invention is provided on an organic film made of an acrylic resin, such as an interlayer insulating film or an overcoat layer. It is not. The coating film of the present invention effectively functions as a protective film for high-strength electrodes even for such touch panel examples. And it prevents that a transparent electrode pattern stands out.
以上、本発明のタッチパネルについて説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。ITOなどの透明電極を用いる多様なタイプのタッチパネルに対し、その透明電極上に保護膜として、本発明のコート膜を適用することが可能である。そして、高信頼性を実現する。併せて、透明電極が目立つことを抑制することもできる。そのとき、本発明のコート膜は、タッチパネル内に設けられた各種の有機膜上に形成されても、内部にクラックなど発生させることが無い。 The touch panel of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the above embodiment. For various types of touch panels using transparent electrodes such as ITO, the coating film of the present invention can be applied as a protective film on the transparent electrodes. And high reliability is realized. In addition, the conspicuousness of the transparent electrode can be suppressed. At that time, even if the coating film of the present invention is formed on various organic films provided in the touch panel, cracks and the like are not generated inside.
以下、実施例にしたがって本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated in more detail according to an Example, this invention is not limited to these.
[実施例で用いる略記号]
以下の実施例などで用いる略記号の意味は、次の通りである。
TEOS:テトラエトキシシラン
C18:オクタデシルトリエトキシシラン
MPS:γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン
GPS:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
UPS:γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン
APS:γ−アミノプロピルトリエトキシシラン
ACPS:γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン
MPMS:γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン
MTES:メチルトリエトキシシラン
TIPT:テトライソプロポキシチタン
AN:硝酸アルミニウム九水和物
EG:エチレングリコール
HG:2−メチル−2,4−ペンタンジオール(別称:へキシレングリコール)
BCS:2−ブトキシエタノール(別称:ブチルセロソルブ)
IPA:2−プロパノール[Abbreviations used in Examples]
The meanings of the abbreviations used in the following examples are as follows.
TEOS: tetraethoxysilane C18: octadecyltriethoxysilane MPS: γ-mercaptopropyltrimethoxysilane GPS: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane UPS: γ-ureidopropyltriethoxysilane APS: γ-aminopropyltriethoxysilane ACPS : Γ-acryloxypropyltrimethoxysilane MPMS: γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane MTES: methyltriethoxysilane TIPT: tetraisopropoxytitanium AN: aluminum nitrate nonahydrate EG: ethylene glycol HG: 2-methyl-2 , 4-Pentanediol (also known as hexylene glycol)
BCS: 2-butoxyethanol (also known as butyl cellosolve)
IPA: 2-propanol
<合成例1>(コーティング組成物K1の合成)
200mLフラスコ中にAN 12.7g、水3.0gを加えて攪拌し、ANを溶解した。そこに、EG 13.6g、HG 38.8g、BCS 36.8g、TEOS 21.7g、GPS 10.6gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、A1液を得た。<Synthesis Example 1> (Synthesis of Coating Composition K1)
In a 200 mL flask, 12.7 g of AN and 3.0 g of water were added and stirred to dissolve AN. EG 13.6g, HG 38.8g, BCS 36.8g, TEOS 21.7g, GPS 10.6g was put there, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions, and obtained A1 liquid.
300mL容量のフラスコ中に、チタンアルコキシドとしてTIPT 4.7gを入れ、そこにHG 58.2gを加え、室温条件下で30分間撹拌して、A2液を得た。
次いで、上述のA1液とA2液とを混合し、室温条件下で30分間撹拌した。これにより、コーティング組成物K1を得た。In a 300 mL volumetric flask, 4.7 g of TIPT was put as titanium alkoxide, 58.2 g of HG was added thereto, and the mixture was stirred for 30 minutes at room temperature to obtain A2 liquid.
Subsequently, the above-mentioned A1 liquid and A2 liquid were mixed, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions. This obtained coating composition K1.
<合成例2>(コーティング組成物K2の合成)
200mLフラスコ中にAN 12.7g、水3.0gを加えて攪拌し、ANを溶解した。そこに、EG 13.7g、HG 39.2g、BCS 37.3g、TEOS 21.7g、MPS 8.8gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、B1液を得た。<Synthesis Example 2> (Synthesis of Coating Composition K2)
In a 200 mL flask, 12.7 g of AN and 3.0 g of water were added and stirred to dissolve AN. EG 13.7g, HG 39.2g, BCS 37.3g, TEOS 21.7g, MPS 8.8g was put there, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions, and obtained B1 liquid.
300mL容量のフラスコ中に、チタンアルコキシドとしてTIPT 4.7gを入れ、そこにHG 58.9gを加え、室温条件下で30分間撹拌して、B2液を得た。
次いで、上述のB1液とB2液とを混合し、室温条件下で30分間撹拌した。これにより、コーティング組成物K2を得た。In a 300 mL volumetric flask, 4.7 g of TIPT was added as titanium alkoxide, 58.9 g of HG was added thereto, and the mixture was stirred for 30 minutes at room temperature to obtain B2 liquid.
Subsequently, the above-mentioned B1 liquid and B2 liquid were mixed, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions. This obtained coating composition K2.
<合成例3>(コーティング組成物K3の合成)
200mLフラスコ中にAN 12.7g、水3.0gを加えて攪拌し、ANを溶解した。そこに、EG 13.6g、HG 38.8g、BCS 36.9g、TEOS 21.7g、ACPS 10.5gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、C1液を得た。<Synthesis Example 3> (Synthesis of Coating Composition K3)
In a 200 mL flask, 12.7 g of AN and 3.0 g of water were added and stirred to dissolve AN. EG 13.6g, HG 38.8g, BCS 36.9g, TEOS 21.7g, ACPS 10.5g was put there, and it stirred under room temperature conditions for 30 minutes, and obtained C1 liquid.
300mL容量のフラスコ中に、チタンアルコキシドとしてTIPT 4.7gを入れ、そこにHG 58.2gを加え、室温条件下で30分間撹拌して、C2液を得た。
次いで、上述のC1液とC2液とを混合し、室温条件下で30分間撹拌した。これにより、コーティング組成物K3を得た。In a 300 mL volumetric flask, 4.7 g of TIPT as titanium alkoxide was added, 58.2 g of HG was added thereto, and the mixture was stirred at room temperature for 30 minutes to obtain C2 solution.
Subsequently, the above-mentioned C1 liquid and C2 liquid were mixed, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions. This obtained coating composition K3.
<合成例4>(コーティング組成物K4の合成)
200mLフラスコ中にAN 12.7g、水3.0gを加えて攪拌し、ANを溶解した。そこに、EG 13.5g、HG 38.6g、BCS 36.7g、TEOS 21.7g、MPMS 11.1gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、D1液を得た。<Synthesis Example 4> (Synthesis of Coating Composition K4)
In a 200 mL flask, 12.7 g of AN and 3.0 g of water were added and stirred to dissolve AN. EG 13.5g, HG 38.6g, BCS 36.7g, TEOS 21.7g, MPMS 11.1g was put there, and it stirred under room temperature conditions for 30 minutes, and obtained D1 liquid.
300mLフラスコ中にTIPT 4.7g、HG 57.9gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、D2液を得た。
次いで、上述のD1液とD2液とを混合し、室温条件下で30分間撹拌した。これにより、コーティング組成物K4を得た。In a 300 mL flask, 4.7 g of TIPT and 57.9 g of HG were added and stirred for 30 minutes at room temperature to obtain a D2 solution.
Subsequently, the above-mentioned D1 liquid and D2 liquid were mixed, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions. This obtained coating composition K4.
<合成例5>(コーティング組成物K5の合成)
200mLフラスコ中にAN 12.7g、水3.0gを加えて攪拌し、ANを溶解した。そこに、EG 13.9g、HG 39.7g、BCS 37.7g、TEOS 15.5g、MTES 13.3gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、E1液を得た。<Synthesis Example 5> (Synthesis of Coating Composition K5)
In a 200 mL flask, 12.7 g of AN and 3.0 g of water were added and stirred to dissolve AN. EG 13.9g, HG 39.7g, BCS 37.7g, TEOS 15.5g, MTES 13.3g was put there, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions, and obtained E1 liquid.
300mLフラスコ中にTIPT 4.7g、HG 59.5gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、E2液を得た。
次いで、上述のE1液とE2液とを混合し、室温条件下で30分間撹拌した。これにより、コーティング組成物K5を得た。In a 300 mL flask, 4.7 g of TIPT and 59.5 g of HG were added and stirred for 30 minutes at room temperature to obtain a liquid E2.
Subsequently, the above-mentioned E1 liquid and E2 liquid were mixed, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions. This obtained coating composition K5.
<合成例6>(コーティング組成物K6の合成)
200mLフラスコ中にAN 12.7g、水3.0gを加えて攪拌し、ANを溶解した。そこに、EG 13.4g、HG 38.3g、BCS 36.4g、TEOS 21.7g、MPMS 9.3g、C18 3.1gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、F1液を得た。<Synthesis Example 6> (Synthesis of Coating Composition K6)
In a 200 mL flask, 12.7 g of AN and 3.0 g of water were added and stirred to dissolve AN. EG 13.4g, HG 38.3g, BCS 36.4g, TEOS 21.7g, MPMS 9.3g, C18 3.1g was put there, and it stirred for 30 minutes at room temperature conditions, and obtained F1 liquid .
300mLフラスコ中にTIPT 4.7g、HG 57.4gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、F2液を得た。
次いで、上述のF1液とF2液とを混合し、室温条件下で30分間撹拌した。これにより、コーティング組成物K6を得た。In a 300 mL flask, 4.7 g of TIPT and 57.4 g of HG were added and stirred for 30 minutes at room temperature to obtain an F2 solution.
Subsequently, the above-mentioned F1 liquid and F2 liquid were mixed, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions. This obtained coating composition K6.
<合成例7>(コーティング組成物K7の合成)
200mLフラスコ中にAN 12.7g、水3.0gを加えて攪拌し、ANを溶解した。そこに、EG 13.5g、HG 38.6g、BCS 36.7g、TEOS 15.5g、APS 1.7g、ACPS 6.7g、GPS 8.8gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、G1液を得た。<Synthesis Example 7> (Synthesis of Coating Composition K7)
In a 200 mL flask, 12.7 g of AN and 3.0 g of water were added and stirred to dissolve AN. EG 13.5g, HG 38.6g, BCS 36.7g, TEOS 15.5g, APS 1.7g, ACPS 6.7g, GPS 8.8g was put there, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions. G1 liquid was obtained.
300mLフラスコ中にTIPT 4.7g、HG 57.9gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、G2液を得た。
次いで、上述のG1液とG2液とを混合し、室温条件下で30分間撹拌した。これにより、コーティング組成物K7を得た。In a 300 mL flask, 4.7 g of TIPT and 57.9 g of HG were added and stirred for 30 minutes at room temperature to obtain a G2 solution.
Subsequently, the above-mentioned G1 liquid and G2 liquid were mixed, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions. This obtained coating composition K7.
<合成例8>(コーティング組成物K8の合成)
200mLフラスコ中にAN 12.7g、水3.0gを加えて攪拌し、ANを溶解した。そこに、EG 13.5g、HG 38.5g、BCS 36.6g、TEOS 15.5g、MPS 1.5g、ACPS 10.5g、UPS 5.9gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、H1液を得た。<Synthesis Example 8> (Synthesis of Coating Composition K8)
In a 200 mL flask, 12.7 g of AN and 3.0 g of water were added and stirred to dissolve AN. EG 13.5g, HG 38.5g, BCS 36.6g, TEOS 15.5g, MPS 1.5g, ACPS 10.5g, UPS 5.9g was put there, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions, An H1 solution was obtained.
300mLフラスコ中にTIPT 4.7g、HG 57.7gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、H2液を得た。
次いで、上述のH1液とH2液とを混合し、室温条件下で30分間撹拌した。これにより、コーティング組成物K8を得た。In a 300 mL flask, 4.7 g of TIPT and 57.7 g of HG were added and stirred for 30 minutes at room temperature to obtain an H2 solution.
Subsequently, the above-mentioned H1 liquid and H2 liquid were mixed, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions. This obtained coating composition K8.
<合成例9>(コーティング組成物K9の合成)
200mLフラスコ中にAN 13.1g、水3.1gを加えて攪拌し、ANを溶解した。そこに、EG 13.3g、HG 95.2g、BCS 36.2g、TEOS 16.3g、MPMS 22.8gを入れ、室温条件下で30分攪拌した。これにより、コーティング組成物K9を得た。<Synthesis Example 9> (Synthesis of Coating Composition K9)
In a 200 mL flask, 13.1 g of AN and 3.1 g of water were added and stirred to dissolve AN. EG 13.3g, HG 95.2g, BCS 36.2g, TEOS 16.3g, MPMS 22.8g was put there, and it stirred under room temperature conditions for 30 minutes. This obtained coating composition K9.
<合成例10>(コーティング組成物K10の合成)
200mLフラスコ中にAN 12.1g、水2.8gを加えて攪拌し、ANを溶解した。そこに、EG 13.5g、HG 56.7g、BCS 36.8g、TEOS 13.7g、MPMS 10.9gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、I1液を得た。<Synthesis Example 10> (Synthesis of Coating Composition K10)
In a 200 mL flask, 12.1 g of AN and 2.8 g of water were added and stirred to dissolve AN. EG 13.5g, HG 56.7g, BCS 36.8g, TEOS 13.7g, MPMS 10.9g was put there, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions, and obtained I1 liquid.
300mLフラスコ中にTIPT 13.4g、HG 40.1gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、I2液を得た。
次いで、上述のI1液とI2液とを混合し、室温条件下で30分間撹拌した。これにより、コーティング組成物K10を得た。In a 300 mL flask, 13.4 g of TIPT and 40.1 g of HG were put, and stirred for 30 minutes at room temperature to obtain a liquid I2.
Subsequently, the above-mentioned I1 liquid and I2 liquid were mixed and stirred for 30 minutes at room temperature. This obtained coating composition K10.
<合成例11>(コーティング組成物K11の合成)
200mLフラスコ中にAN 11.8g、水2.8gを加えて攪拌し、ANを溶解した。そこに、EG 13.6g、HG 44.8g、BCS 36.8g、TEOS 10.5g、MPMS 10.3gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、J1液を得た。<Synthesis Example 11> (Synthesis of Coating Composition K11)
In a 200 mL flask, 11.8 g of AN and 2.8 g of water were added and stirred to dissolve AN. EG 13.6g, HG 44.8g, BCS 36.8g, TEOS 10.5g, MPMS 10.3g was put there, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions, and obtained J1 liquid.
300mLフラスコ中にTIPT 17.4g、HG 52.1gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、J2液を得た。
次いで、上述のJ1液とJ2液とを混合し、室温条件下で30分間撹拌した。これにより、コーティング組成物K11を得た。In a 300 mL flask, 17.4 g of TIPT and 52.1 g of HG were put, and stirred for 30 minutes at room temperature to obtain a solution J2.
Subsequently, the above-mentioned J1 liquid and J2 liquid were mixed, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions. This obtained coating composition K11.
<合成例12>(コーティング組成物K12の合成)
200mLフラスコ中にAN 11.5g、水2.7gを加えて攪拌し、ANを溶解した。そこに、EG 13.6g、HG 33.5g、BCS 36.9g、TEOS 7.2g、MPMS 10.0gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、L1液を得た。<Synthesis Example 12> (Synthesis of Coating Composition K12)
In a 200 mL flask, 11.5 g of AN and 2.7 g of water were added and stirred to dissolve AN. EG 13.6g, HG 33.5g, BCS 36.9g, TEOS 7.2g, and MPMS 10.0g were put there, and it stirred under room temperature conditions for 30 minutes, and obtained L1 liquid.
300mLフラスコ中にTIPT 21.2g、HG 63.6gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、L2液を得た。
次いで、上述のL1液とL2液とを混合し、室温条件下で30分間撹拌した。これにより、コーティング組成物K12を得た。In a 300 mL flask, 21.2 g of TIPT and 63.6 g of HG were put, and stirred at room temperature for 30 minutes to obtain a liquid L2.
Subsequently, the above-mentioned L1 liquid and L2 liquid were mixed, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions. This obtained coating composition K12.
<合成例13>(コーティング組成物K13の合成)
200mLフラスコ中にAN 12.7g、水3.0gを加えて攪拌し、ANを溶解した。そこに、EG 13.7g、HG 39.1g、BCS 37.1g、TEOS 31.1gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、M1液を得た。<Synthesis Example 13> (Synthesis of Coating Composition K13)
In a 200 mL flask, 12.7 g of AN and 3.0 g of water were added and stirred to dissolve AN. EG 13.7g, HG 39.1g, BCS 37.1g, and TEOS 31.1g were put there, and it stirred under room temperature conditions for 30 minutes, and obtained M1 liquid.
300mLフラスコ中にTIPT 4.7g、HG 58.6gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、M2液を得た。
次いで、上述のM1液とM2液とを混合し、室温条件下で30分間撹拌した。これにより、コーティング組成物K13を得た。コーティング組成物K13には、上述した一般式(II)で示される構造の金属アルコキシドは含有されていない。In a 300 mL flask, 4.7 g of TIPT and 58.6 g of HG were placed, and stirred at room temperature for 30 minutes to obtain a liquid M2.
Subsequently, the above-mentioned M1 liquid and M2 liquid were mixed, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions. This obtained coating composition K13. The coating composition K13 does not contain the metal alkoxide having the structure represented by the general formula (II).
<合成例14>(コーティング組成物K14の合成)
200mLフラスコ中にAN 12.7g、水3.0gを加えて攪拌し、ANを溶解した。そこに、EG 13.7g、HG 39.2g、BCS 37.3g、TEOS 28.0g、MTES 2.7gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、N1液を得た。<Synthesis Example 14> (Synthesis of Coating Composition K14)
In a 200 mL flask, 12.7 g of AN and 3.0 g of water were added and stirred to dissolve AN. EG 13.7g, HG 39.2g, BCS 37.3g, TEOS 28.0g, and MTES 2.7g were put there, and it stirred under room temperature conditions for 30 minutes, and obtained N1 liquid.
300mLフラスコ中にTIPT 4.7g、HG 58.8gを入れ、室温条件下で30分攪拌して、N2液を得た。
次いで、上述のN1液とN2液とを混合し、室温条件下で30分間撹拌した。これにより、コーティング組成物K14を得た。
コーティング組成物K13には、上記した合成例1〜合成例12のコーティング組成物K1〜K12に比べ、上述した一般式(II)で示される構造の金属アルコキシドが少量しか含有されていないことになる。In a 300 mL flask, 4.7 g of TIPT and 58.8 g of HG were put, and stirred for 30 minutes at room temperature to obtain N2 liquid.
Subsequently, the above-mentioned N1 liquid and N2 liquid were mixed, and it stirred for 30 minutes under room temperature conditions. This obtained coating composition K14.
Compared with the coating compositions K1 to K12 of Synthesis Examples 1 to 12 described above, the coating composition K13 contains only a small amount of the metal alkoxide having the structure represented by the general formula (II). .
<合成例15>(コーティング組成物K15の合成)
200mLフラスコ中にAN 12.7g、水3.0gを加えて攪拌し、ANを溶解した。そこに、IPA 145.6g、TEOS 15.5g、MPMS 18.5g、TIPT 4.7gを入れ、室温条件下で30分攪拌した。これにより、コーティング組成物K15を得た。<Synthesis Example 15> (Synthesis of Coating Composition K15)
In a 200 mL flask, 12.7 g of AN and 3.0 g of water were added and stirred to dissolve AN. IPA 145.6g, TEOS 15.5g, MPMS 18.5g, and TIPT 4.7g were put there, and it stirred under room temperature conditions for 30 minutes. This obtained coating composition K15.
<安定性の評価>
上述した合成例によるコーティング組成物について、コーティング組成物K1〜K12及びK15を、それぞれ、参考例1、実施例2〜4、参考例5、実施例6〜12及び比較例1として、安定性の評価を行った。
安定性の評価方法は、合成したコーティング組成物(K1〜K12、K15)を用い、孔径0.5マイクロメートルのメンブランフィルタで加圧濾過したのち、室温条件下にて1週間放置する。次いで、シリコン基板(100)にスピンコーティングにて成膜したとき、シリコン基板上の塗膜に異物が観察されないものを○評価とし、異物が観察されるものを×評価とした。上記の評価結果を表1に示す。
<Evaluation of stability>
About the coating composition by the synthesis example mentioned above, coating composition K1-K12 and K15 are made into stability of Reference Example 1 , Examples 2-4 , Reference Example 5, Examples 6-12, and Comparative Example 1, respectively. Evaluation was performed.
As a method for evaluating stability, the synthesized coating composition (K1 to K12, K15) is used, subjected to pressure filtration with a membrane filter having a pore diameter of 0.5 μm, and then allowed to stand at room temperature for one week. Subsequently, when a film was formed on the silicon substrate (100) by spin coating, the case where no foreign matter was observed on the coating film on the silicon substrate was evaluated as “Good”, and the case where foreign matter was observed was evaluated as “X”. The evaluation results are shown in Table 1.
<コート膜の成膜方法I>
上述した合成例によるコーティング組成物を用いて、孔径0.5μmのメンブランフィルタで加圧濾過し、基板上にスピンコート法により塗膜を形成する。この基板を60℃に設定されたホットプレート上で3分間加熱し乾燥する。次いで、紫外線照射装置(アイグラフィックス社製 UB 011−3A型)を使用し、高圧水銀ランプ(入力電源1000W)を用いて50mW/cm2(波長365nm換算)の光強度で2分間紫外線照射する。紫外線照射量は6000mJ/cm2となる。紫外線照射の後、250℃に設定された熱風循環式オーブン内に移し、30分間焼成する。こうして、基板上にコート膜を成膜する。<Method I for Coating Film I>
Using the coating composition according to the synthesis example described above, pressure filtration is performed with a membrane filter having a pore size of 0.5 μm, and a coating film is formed on the substrate by spin coating. The substrate is heated for 3 minutes on a hot plate set to 60 ° C. and dried. Next, using an ultraviolet irradiation device (UB011-3A type manufactured by Eye Graphics Co., Ltd.), using a high-pressure mercury lamp (input power supply 1000 W), ultraviolet irradiation is performed for 2 minutes at a light intensity of 50 mW / cm 2 (wavelength 365 nm conversion). . The amount of ultraviolet irradiation is 6000 mJ / cm 2 . After the ultraviolet irradiation, it is transferred into a hot air circulation oven set at 250 ° C. and baked for 30 minutes. Thus, a coat film is formed on the substrate.
<コート膜の成膜方法II>
上述した合成例によるコーティング組成物を用いて、孔径0.5μmのメンブランフィルタで加圧濾過し、基板上にスピンコート法により塗膜を形成する。この基板を60℃に設定されたホットプレート上で3分間加熱し乾燥する。次いで、250℃に設定された熱風循環式オーブン内に移し、30分間焼成する。こうして、基板上にコート膜を成膜する。<Method II of Coating Film Formation>
Using the coating composition according to the synthesis example described above, pressure filtration is performed with a membrane filter having a pore size of 0.5 μm, and a coating film is formed on the substrate by spin coating. The substrate is heated for 3 minutes on a hot plate set to 60 ° C. and dried. Next, it is transferred into a hot air circulation oven set at 250 ° C. and baked for 30 minutes. Thus, a coat film is formed on the substrate.
以上、本実施例のコーティング組成物を用いて本実施例のコート膜を成膜する方法について説明した。次に、本実施例のコート膜の評価について説明する。このとき、上述した合成例によるコーティング組成物K1〜K8を用い、適当な基板上に、上記成膜方法Iにより成膜されたコート膜(KL1〜KL8)をコート膜の参考例13、実施例14〜16、参考例17、実施例18〜20とする。そして、上述した合成例によるコーティング組成物K9〜K12を用い、適当な基板上、上記成膜方法IIにより成膜されたコート膜(KL9〜KL12)を本発明のコート膜の実施例21〜24とする。また、上述した合成例によるコーティング組成物K13を用い、適当な基板上に、上記成膜方法IIにより成膜されたコート膜(KM2)をコート膜の比較例2とする。
The method for forming the coating film of this example using the coating composition of this example has been described above. Next, the evaluation of the coating film of this example will be described. At this time, with the coating composition K1~K8 by synthesis examples described above, on a suitable substrate, the film forming method in Reference Example co over preparative film coat film deposited (KL1~KL8) by I 13, It is set as Examples 14-16, Reference Example 17, and Examples 18-20 . Then, the coating films (KL9 to KL12) formed by the above-described film forming method II on the appropriate substrate using the coating compositions K9 to K12 according to the synthesis examples described above are used as the coating films according to the
<屈折率の評価>
基板には、シリコン基板(100)を用いた。上述したように、このシリコン基板上に、成膜方法Iにより成膜された参考例13、実施例14〜16、参考例17、実施例18〜20のコート膜、成膜方法IIにより成膜された実施例21〜24のコート膜、成膜方法IIにより成膜された比較例2および比較例3のコート膜を形成し、屈折率の評価を行った。評価方法は、エリプソメータ(溝尻光学工業所社製、DVA−FLVW)を使用し、波長633nmにおける屈折率を測定することにより行った。
各コート膜の評価結果を、各コート膜形成に使用したコーティング組成物とともに、下記の表2に示す。
<Evaluation of refractive index>
A silicon substrate (100) was used as the substrate. As described above, the coating film of Reference Example 13, Examples 14 to 16, Reference Example 17, and Examples 18 to 20 formed on the silicon substrate by the film forming method I, and formed by the film forming method II. The coated films of Examples 21 to 24 and the coated films of Comparative Example 2 and Comparative Example 3 formed by the film forming method II were formed, and the refractive index was evaluated. The evaluation method was performed by measuring the refractive index at a wavelength of 633 nm using an ellipsometer (DVA-FLVW, manufactured by Mizoji Optical Co., Ltd.).
The evaluation results of each coat film are shown in Table 2 below together with the coating composition used for forming each coat film.
<クラック評価>
ガラス基板上に、膜厚2μmのアクリル膜を形成した。アクリル膜の形成は、次のようにして行った。まず、アクリル材料組成物を、孔径0.5μmのメンブランフィルタで加圧濾過し、ガラス基板全面にスピンコート法により塗膜を形成した。次いで、この基板をホットプレート上で2分間加熱乾燥した後、熱風循環式オーブン内に移し、30分間焼成した。これにより、ガラス基板上にアクリル膜が形成された。<Crack evaluation>
An acrylic film having a thickness of 2 μm was formed on the glass substrate. The acrylic film was formed as follows. First, the acrylic material composition was filtered under pressure with a membrane filter having a pore size of 0.5 μm, and a coating film was formed on the entire surface of the glass substrate by a spin coating method. Next, this substrate was heated and dried for 2 minutes on a hot plate, then transferred to a hot-air circulating oven and baked for 30 minutes. As a result, an acrylic film was formed on the glass substrate.
上記のアクリル膜の上に、成膜方法Iまたは成膜方法IIにより、膜厚100nmの厚さでコート膜を形成する。
そして、アクリル膜の形成されたガラス基板上に、成膜方法Iにより成膜された参考例13、実施例14〜16、参考例17、実施例18〜20のコート膜、成膜方法IIにより成膜された実施例21〜24のコート膜、成膜方法IIにより成膜された比較例2のコート膜を形成し、コート膜のクラック評価を行った。
A coat film having a thickness of 100 nm is formed on the acrylic film by the film formation method I or the film formation method II.
And by the coating film of the reference example 13, Examples 14-16, Reference example 17, and Examples 18-20 formed by the film-forming method I on the glass substrate in which the acrylic film was formed, by the film-forming method II The formed coating films of Examples 21 to 24 and the coating film of Comparative Example 2 formed by the film forming method II were formed, and the coating film was evaluated for cracks.
クラック評価の評価基準については、基板上のコート膜において、クラックを生じないものを◎評価とし、面内は生じないがエッジのみクラックが生じるものを○評価とし、全面にクラックが生じるものを×評価とした。
評価の結果、比較例2のコート膜に比べ、参考例13、実施例14〜16、参考例17、実施例18〜24のコート膜は、クラックの発生において改善が見られることが分かった。
Regarding the evaluation criteria for crack evaluation, in the coating film on the substrate, those that do not cause cracks are evaluated as ◎, those that do not occur in the plane but cracks only at the edges are evaluated as ○, and those that cause cracks on the entire surface are × It was evaluated.
As a result of the evaluation, it was found that the coating films of Reference Example 13, Examples 14 to 16, Reference Example 17, and Examples 18 to 24 were improved in the generation of cracks as compared with the coating film of Comparative Example 2.
<透明導電膜基板>
基板上にパターニングされた透明導電膜が成膜された透明導電膜基板を準備する。基板にはガラス基板を用い、透明導電膜にはITOを用いる。この透明導電膜基板としては、上述した本発明のタッチパネル1に使用した透明導電膜基板14の使用が可能である。ここでは、ITOの膜厚は28nmとした。<Transparent conductive film substrate>
A transparent conductive film substrate on which a patterned transparent conductive film is formed on a substrate is prepared. A glass substrate is used as the substrate, and ITO is used as the transparent conductive film. As this transparent conductive film substrate, the transparent
<タッチパネルの作製>
ITOの膜厚が28nmである上記の透明導電膜基板上に、実施例20のコート膜KL8を100nmの膜厚で成膜した基板を作製した。この基板上に光学接着剤を塗布し、0.7mmの素ガラスを貼り合わせた。次いで、紫外線照射装置(アイグラフィックス社製 UB 011−3A型)を使用し、高圧水銀ランプ(入力電源1000W)を用いて、50mW/cm2(波長365nm換算)の光強度で80秒間紫外線照射した。これにより、光学接着剤を硬化させて、特性評価用のタッチパネルとして実施例25のタッチパネルを作製した。<Production of touch panel>
A substrate in which the coating film KL8 of Example 20 was formed to a thickness of 100 nm on the transparent conductive film substrate having a thickness of ITO of 28 nm was produced. An optical adhesive was applied onto the substrate, and 0.7 mm of raw glass was bonded. Next, UV irradiation is performed for 80 seconds at a light intensity of 50 mW / cm 2 (converted to a wavelength of 365 nm) using a high-pressure mercury lamp (input power supply 1000 W) using an ultraviolet irradiation device (UB011-3A type manufactured by Eye Graphics Co., Ltd.). did. Thereby, the optical adhesive was hardened and the touch panel of Example 25 was produced as a touch panel for characteristic evaluation.
次に、コート膜として、実施例20のKL8に代えて、実施例22のコート膜KL10を用いた以外は上記と同様の作製方法により、実施例26のタッチパネルを作製した。また、コート膜として、実施例20のKL8に代えて、実施例23のコート膜KL11を用いた以外は上記と同様の作製方法により、実施例27のタッチパネルを作製した。また、コート膜として、実施例20のKL8に代えて、実施例24のコート膜KL12を用いた以外は上記と同様の作製方法により、実施例28のタッチパネルを作製した。 Next, a touch panel of Example 26 was produced by the same production method as above except that the coat film KL10 of Example 22 was used instead of KL8 of Example 20. Further, a touch panel of Example 27 was produced by the same production method as described above except that the coat film KL11 of Example 23 was used instead of KL8 of Example 20. Further, a touch panel of Example 28 was produced by the same production method as above except that the coat film KL12 of Example 24 was used instead of KL8 of Example 20.
さらに、上記透明導電膜基板上に、コーティング組成物K12を用いて、上記成膜方法Iによりコート膜を成膜し、それ以外は上記実施例25の場合と同様にして、実施例29のタッチパネルを作製した。尚、コーティング組成物K12を用いて成膜方法Iにより成膜したコート膜について、上記と同様の評価方法により測定した屈折率は、1.70であった。 Further, on the transparent conductive film substrate, a coating film was formed by the film forming method I using the coating composition K12, and the rest was the same as in the case of Example 25, and the touch panel of Example 29 was used. Was made. In addition, the refractive index measured with the evaluation method similar to the above about the coating film formed into a film by the film-forming method I using coating composition K12 was 1.70.
そして、比較評価用に、コート膜として、実施例20のKL8に代えて、比較例2のコート膜KM2を用いた以外は上記と同様の作製方法により、比較例3のタッチパネルを作製した。また、上述した透明導電膜基板を用い、コート膜を成膜せず、それ以外は上記と同様の作製方法により、比較例4のタッチパネルを作製した。したがって、比較例4の評価用のタッチパネルは透明電極上にコート膜が形成されていない。 Then, for comparative evaluation, a touch panel of Comparative Example 3 was produced by the same production method as described above except that the coat film KM2 of Comparative Example 2 was used instead of KL8 of Example 20 as the coat film. Moreover, the touchscreen of the comparative example 4 was produced by the production method similar to the above except that the transparent conductive film substrate described above was used and no coating film was formed. Therefore, the evaluation touch panel of Comparative Example 4 has no coating film formed on the transparent electrode.
<電極パターン見え評価>
実施例25〜実施例29および比較例3、4の評価用のタッチパネルを用い、ITOの電極パターンが目立つかどうかの評価をする、電極パターン見えの評価を行った。<Evaluation of electrode pattern appearance>
Using the evaluation touch panels of Example 25 to Example 29 and Comparative Examples 3 and 4, evaluation of whether the electrode pattern of ITO is conspicuous was performed, and evaluation of the appearance of the electrode pattern was performed.
評価方法としては、各タッチパネルを黒い布の上に置き、上部からライトを照らした状態で、目視にて観察を行った。そして、比較例4のタッチパネルにおいて、透明電極パターンが見えることを確認した上、他のタッチパネルを観察する。それらの観察の結果、透明電極パターンが見えないものを◎評価とした。そして、透明電極パターンは見えるが、その程度が、コート膜を有しない比較例4のタッチパネルに比べ改善されているものを○評価とし、比較例4のタッチパネルに比べ改善のされていないものを×評価とした。
実施例25〜実施例29並びに比較例3、4の評価用のタッチパネルについて、電極パターン見え評価の結果をまとめ、表3に示す。As an evaluation method, each touch panel was placed on a black cloth and visually observed with the light illuminated from above. And in the touch panel of the comparative example 4, after confirming that a transparent electrode pattern is visible, another touch panel is observed. As a result of these observations, a transparent electrode pattern that could not be seen was evaluated as ◎. And although the transparent electrode pattern can be seen, the degree of improvement compared to the touch panel of Comparative Example 4 that does not have a coating film is evaluated as “Good”, and the one that is not improved compared to the touch panel of Comparative Example 4 is × It was evaluated.
Table 3 shows the results of the electrode pattern appearance evaluation for the evaluation touch panels of Examples 25 to 29 and Comparative Examples 3 and 4.
以上の評価の結果、表1より、コーティング組成物は金属硝酸塩および析出防止剤を含むことにより、安定性が向上することが分かった。
表2より、コーティング組成物に含有される金属アルコキシドの構造と組成を適切に制御することにより、それから形成されるコート膜は、アクリル樹脂などからなる有機薄膜上でもクラックが生じない、安定な膜として形成されることが分かった。As a result of the above evaluation, it was found from Table 1 that the stability of the coating composition was improved by including a metal nitrate and a precipitation inhibitor.
From Table 2, by controlling the structure and composition of the metal alkoxide contained in the coating composition appropriately, the coating film formed therefrom is a stable film that does not crack even on an organic thin film made of an acrylic resin or the like. Was found to be formed.
表3より、適切に制御された屈折率のコート膜を電極上に形成することにより、タッチパネルでは電極パターン見えを抑制できることが分かった。
本実施例のコート膜は、いずれも5H以上の硬度を示し、これは、一般的な有機アクリル材料が3H未満に比べて顕著に高い硬度である。From Table 3, it was found that the appearance of the electrode pattern can be suppressed on the touch panel by forming a coat film having an appropriately controlled refractive index on the electrode.
Each of the coating films of the present example has a hardness of 5H or more, which is significantly higher than that of a general organic acrylic material less than 3H.
本発明のコーティング組成物は、屈折率の制御された高い強度のコート膜を提供でき、そのコート膜を用いたタッチパネルでは、電極のパターンが目立つことがない。したがって、優れた見栄えと高い信頼性が求められる表示デバイス用のタッチパネルとして有用である。 The coating composition of the present invention can provide a high-strength coat film with a controlled refractive index, and the electrode pattern does not stand out on a touch panel using the coat film. Therefore, it is useful as a touch panel for a display device that requires excellent appearance and high reliability.
なお、2011年1月20日に出願された日本特許出願2011−010164号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。 In addition, the entire content of the specification, claims, drawings and abstract of Japanese Patent Application No. 2011-010164 filed on January 20, 2011 is cited here as disclosure of the specification of the present invention. Incorporated.
1、101、201 タッチパネル
2、102、202 基板
3、103、203 第1の透明電極
4、104、204 第2の透明電極
5、6、105、106、205、206 コート膜
9、108、208、209 接着層
10、110、210 ディスプレイパネル
11 引き出し配線
14 透明導電膜基板
18 交差部
19 層間絶縁膜
20 架橋電極
21 パッド部
30 タッチパネル基板
107 オーバーコート層
207 カバーフィルム1, 101, 201
Claims (11)
M1(OR1)n (I)
(式中、M1は、珪素(Si)、チタン(Ti)、タンタル(Ta)、ジルコニウム(Zr)、ホウ素(B)、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)および亜鉛(Zn)よりなる群から選択された少なくとも1の金属を表し、R1は、炭素数1〜5のアルキル基を表し、nは、M1の価数2〜5を表す。)
R2 lM2(OR3)m−l (II)
(式中、M1は、珪素(Si)、チタン(Ti)、タンタル(Ta)、ジルコニウム(Zr)、ホウ素(B)、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)および亜鉛(Zn)よりなる群から選択された少なくとも1の金属を表す。R2は、メルカプト基、メタクリロキシ基、アクリロキシ基、またはウレイド基で置換されており、且つ、ヘテロ原子を有していてもよい炭素数1〜20の炭化水素基を表す。R3は、炭素数1〜5のアルキル基を表す。mは、M2の価数2〜5を表し、lは、mの価数が3の場合1または2であり、mの価数が4の場合1〜3であり、mの価数が5の場合1〜4である。)
M3(X)k (III)
(式中、M3は、アルミニウム(Al)、インジウム(In)、亜鉛(Zn)、ジルコニウム(Zr)、ビスマス(Bi)、ランタン(La)、タンタル(Ta)、イットリウム(Y)およびセリウム(Ce)よりなる群から選択された少なくとも1の金属を表し、Xは、塩酸、硝酸、硫酸、酢酸、蓚酸、スファミン酸、スルホン酸、アセト酢酸若しくはアセチルアセトナートの残基、またはこれらの塩基性塩を表し、kはM3の価数を表す。) A coating composition for forming a coating film on at least a part of a transparent electrode in a touch panel having a transparent electrode pattern in an operation region of a substrate, the first metal alkoxide represented by the following general formula (I) And a second metal alkoxide represented by the following general formula (II), a metal salt represented by the following general formula (III), an organic solvent, water, and a precipitation inhibitor , the content of the second metal alkoxide, based on the total metal alkoxide combined first metal alkoxide and a second metal alkoxide, a touch panel for a coating composition, characterized in 15 to 80 mole% der Rukoto.
M 1 (OR 1 ) n (I)
(Wherein M 1 is a group consisting of silicon (Si), titanium (Ti), tantalum (Ta), zirconium (Zr), boron (B), aluminum (Al), magnesium (Mg) and zinc (Zn). R 1 represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and n represents a valence 2 to 5 of M 1 .
R 2 l M 2 (OR 3 ) ml (II)
(Wherein M 1 is a group consisting of silicon (Si), titanium (Ti), tantalum (Ta), zirconium (Zr), boron (B), aluminum (Al), magnesium (Mg) and zinc (Zn). It represents at least one metal selected from .R 2 is main mercapto group, methacryloxy group, acryloxy group, was or is substituted with a ureido group, and, carbon atoms which may have a hetero atom 1 R 3 represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, m represents a valence 2 to 5 of M 2 , and 1 represents 1 when m has a valence of 3. Or 2 when the valence of m is 4, and 1 to 4 when the valence of m is 5.
M 3 (X) k (III)
(Wherein M 3 represents aluminum (Al), indium (In), zinc (Zn), zirconium (Zr), bismuth (Bi), lanthanum (La), tantalum (Ta), yttrium (Y) and cerium ( Ce) represents at least one metal selected from the group consisting of: X is a residue of hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid, acetic acid, succinic acid, sfamic acid, sulfonic acid, acetoacetic acid or acetylacetonate, or their basicity Represents a salt, and k represents the valence of M 3. )
0.01≦M3/(M1+M2+M3)≦0.7
である請求項1または2に記載のタッチパネル用コーティング組成物。 The molar ratio of the metal atom (M 3 ) of the metal salt to the metal atoms (M 1 and M 2 ) of the first metal alkoxide and the second metal alkoxide is:
0.01 ≦ M 3 / (M 1 + M 2 + M 3 ) ≦ 0.7
The coating composition for a touch panel according to claim 1 or 2 .
The coating composition for a touch panel according to any one of claims 1 to 3 , wherein the first metal alkoxide is a mixture of silicon alkoxide or a partial condensate thereof and titanium alkoxide.
前記第1の透明電極パターンと前記第2の透明電極パターンの少なくとも一部は、前記基板の操作領域で重畳するとともに、この重畳する部分の前記第1の透明電極パターンと前記第2の透明電極パターンとの間には有機材料からなる膜が配置されており、
前記コート膜は、前記第1の透明電極パターンまたは前記第2の透明電極パターンの少なくとも一部とともに前記有機材料からなる膜の少なくとも一部を被覆するよう構成された請求項9に記載のタッチパネル。 The transparent electrode pattern includes a first transparent electrode pattern for detecting positions in at least two different directions, and a second transparent electrode pattern,
At least a part of the first transparent electrode pattern and the second transparent electrode pattern overlap each other in the operation region of the substrate, and the first transparent electrode pattern and the second transparent electrode in the overlapping part A film made of organic material is placed between the pattern and
The touch panel according to claim 9 , wherein the coating film is configured to cover at least a part of the film made of the organic material together with at least a part of the first transparent electrode pattern or the second transparent electrode pattern.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011010164 | 2011-01-20 | ||
JP2011010164 | 2011-01-20 | ||
PCT/JP2012/051251 WO2012099253A1 (en) | 2011-01-20 | 2012-01-20 | Coating composition for touch panels, coating film, and touch panel |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012099253A1 JPWO2012099253A1 (en) | 2014-06-30 |
JP6048148B2 true JP6048148B2 (en) | 2016-12-21 |
Family
ID=46515870
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012553789A Active JP6048148B2 (en) | 2011-01-20 | 2012-01-20 | Coating composition for touch panel, coating film and touch panel |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6048148B2 (en) |
KR (1) | KR101829495B1 (en) |
CN (1) | CN103443750B (en) |
TW (1) | TWI542648B (en) |
WO (1) | WO2012099253A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9579765B2 (en) | 2012-09-13 | 2017-02-28 | General Electric Technology Gmbh | Cleaning and grinding of sulfite sensor head |
Families Citing this family (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102190716B1 (en) * | 2012-06-14 | 2020-12-14 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | Coating fluid for metal oxide coating film and metal oxide coating film |
CN102827543B (en) * | 2012-08-16 | 2015-03-04 | 复旦大学 | Preparation method of resistive screen hardening liquid |
WO2014054748A1 (en) * | 2012-10-03 | 2014-04-10 | 日産化学工業株式会社 | Application liquid capable of fine application, for forming inorganic oxide coating film, and method for manufacturing fine inorganic oxide coating film |
JP6287846B2 (en) * | 2012-10-11 | 2018-03-07 | 日産化学工業株式会社 | Coating liquid for forming inorganic oxide film, inorganic oxide film, and display device |
US10444926B2 (en) | 2012-11-27 | 2019-10-15 | Guardian Glass, LLC | Transparent conductive coating for capacitive touch panel with additional functional film(s) |
US10222921B2 (en) | 2012-11-27 | 2019-03-05 | Guardian Glass, LLC | Transparent conductive coating for capacitive touch panel with silver having increased resistivity |
US9354755B2 (en) * | 2012-11-27 | 2016-05-31 | Guardian Industries Corp. | Projected capacitive touch panel with a silver-inclusive transparent conducting layer(s) |
US9921704B2 (en) | 2012-11-27 | 2018-03-20 | Guardian Glass, LLC | Transparent conductive coating for capacitive touch panel |
US10248274B2 (en) | 2012-11-27 | 2019-04-02 | Guardian Glass, LLC | Transparent conductive coating for capacitive touch panel and method of making same |
US10216347B2 (en) | 2012-11-27 | 2019-02-26 | Guardian Glass, LLC | Transparent conductive coating for capacitive touch panel with silver having adjusted resistance |
US9733779B2 (en) | 2012-11-27 | 2017-08-15 | Guardian Industries Corp. | Projected capacitive touch panel with silver-inclusive transparent conducting layer(s), and/or method of making the same |
US9557871B2 (en) | 2015-04-08 | 2017-01-31 | Guardian Industries Corp. | Transparent conductive coating for capacitive touch panel or the like |
US9921703B2 (en) | 2012-11-27 | 2018-03-20 | Guardian Glass, LLC | Transparent conductive coating for capacitive touch panel with additional functional film(s) |
KR101571202B1 (en) * | 2012-12-11 | 2015-11-23 | (주)엘지하우시스 | Coating composition for low refractive layer and transparent conductive film including the same |
TWI500703B (en) * | 2013-12-26 | 2015-09-21 | Chi Mei Corp | Photo-curing coating composition, photo-curing coating film and touch panel |
CN103729103B (en) * | 2014-01-26 | 2016-09-14 | 南通中尧机电制造有限公司 | A kind of organic capacitive touch screen |
CN103744570B (en) * | 2014-01-26 | 2016-09-14 | 南通中尧机电制造有限公司 | A kind of manufacture method of organic capacitive touch screen |
CN103729102B (en) * | 2014-01-26 | 2016-09-14 | 南通中尧机电制造有限公司 | A kind of organic capacitive touch screen |
CN106536651B (en) * | 2014-05-29 | 2019-12-20 | 日产化学工业株式会社 | Adhesive coating forming agent for alumina substrate or aluminum substrate |
KR102221910B1 (en) * | 2014-10-10 | 2021-03-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display device and method of manufacturing the same |
TWI512058B (en) * | 2014-12-25 | 2015-12-11 | Chi Mei Corp | Photo-curing coating composition, photo-curing coating film and touch panel |
KR102313971B1 (en) * | 2015-06-08 | 2021-10-18 | 엘지이노텍 주식회사 | Touch sensor |
US10133108B2 (en) | 2015-04-08 | 2018-11-20 | Guardian Glass, LLC | Vending machines with large area transparent touch electrode technology, and/or associated methods |
CN108139506B (en) * | 2015-07-31 | 2019-11-15 | 日产化学工业株式会社 | It is suitable for the glass substrate of cover glass of mobile display device etc. |
KR20190020023A (en) * | 2016-06-15 | 2019-02-27 | 브리즈번 머티리얼즈 테크놀로지 피티와이 엘티디 | Self-curing mixed-metal oxide |
JP6967081B2 (en) * | 2017-11-15 | 2021-11-17 | 富士フイルム株式会社 | Touch sensor and touch panel |
US10539864B2 (en) | 2018-02-08 | 2020-01-21 | Guardian Glass, LLC | Capacitive touch panel having diffuser and patterned electrode |
US11673903B2 (en) | 2018-04-11 | 2023-06-13 | Inpria Corporation | Monoalkyl tin compounds with low polyalkyl contamination, their compositions and methods |
US10787466B2 (en) | 2018-04-11 | 2020-09-29 | Inpria Corporation | Monoalkyl tin compounds with low polyalkyl contamination, their compositions and methods |
TW202404985A (en) | 2018-06-21 | 2024-02-01 | 美商英培雅股份有限公司 | Solution comprising a mixture of a solvent and a monoalkyl tin trialkoxide |
US11966158B2 (en) | 2019-01-30 | 2024-04-23 | Inpria Corporation | Monoalkyl tin trialkoxides and/or monoalkyl tin triamides with low metal contamination and/or particulate contamination, and corresponding methods |
US11498934B2 (en) | 2019-01-30 | 2022-11-15 | Inpria Corporation | Monoalkyl tin trialkoxides and/or monoalkyl tin triamides with particulate contamination and corresponding methods |
EP4430053A1 (en) * | 2021-11-08 | 2024-09-18 | Inpria Corporation | Stability-enhanced organotin photoresist compositions |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02258646A (en) * | 1988-12-15 | 1990-10-19 | Nissan Chem Ind Ltd | Coating composition and production thereof |
JPH05188363A (en) * | 1992-01-14 | 1993-07-30 | Nissan Chem Ind Ltd | Coating liquid for forming insulating film of liquid crystal display element |
JPH0633000A (en) * | 1992-07-17 | 1994-02-08 | Nissan Chem Ind Ltd | Coating solution for forming insulation film with high refractive index for liquid crystal display device |
JPH06242432A (en) * | 1993-02-18 | 1994-09-02 | Nissan Chem Ind Ltd | Coating solution for forming insulating film for liquid crystal display element |
JP2001235604A (en) * | 1999-12-14 | 2001-08-31 | Nissan Chem Ind Ltd | Antireflection film, method of forming antireflection film, and antireflection glass |
WO2007020781A1 (en) * | 2005-08-19 | 2007-02-22 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Method for producing coating liquid for film formation |
WO2010001949A1 (en) * | 2008-07-02 | 2010-01-07 | 出光興産株式会社 | Coating liquid, cured film, resin multilayer body, method for producing the cured film and method for producing the resin multilayer body |
JP2010028115A (en) * | 2008-07-21 | 2010-02-04 | Samsung Mobile Display Co Ltd | Display panel and manufacturing method thereof |
JP2010061425A (en) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Hitachi Displays Ltd | Touch panel and display device using the same |
JP2010160670A (en) * | 2009-01-08 | 2010-07-22 | Seiko Epson Corp | Method for manufacturing touch panel, touch panel, display and electronic apparatus |
WO2010150668A1 (en) * | 2009-06-23 | 2010-12-29 | ジオマテック株式会社 | Capacitance type input device and production method thereof |
-
2012
- 2012-01-20 JP JP2012553789A patent/JP6048148B2/en active Active
- 2012-01-20 KR KR1020137021707A patent/KR101829495B1/en active IP Right Grant
- 2012-01-20 TW TW101102659A patent/TWI542648B/en active
- 2012-01-20 WO PCT/JP2012/051251 patent/WO2012099253A1/en active Application Filing
- 2012-01-20 CN CN201280013782.1A patent/CN103443750B/en active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02258646A (en) * | 1988-12-15 | 1990-10-19 | Nissan Chem Ind Ltd | Coating composition and production thereof |
JPH05188363A (en) * | 1992-01-14 | 1993-07-30 | Nissan Chem Ind Ltd | Coating liquid for forming insulating film of liquid crystal display element |
JPH0633000A (en) * | 1992-07-17 | 1994-02-08 | Nissan Chem Ind Ltd | Coating solution for forming insulation film with high refractive index for liquid crystal display device |
JPH06242432A (en) * | 1993-02-18 | 1994-09-02 | Nissan Chem Ind Ltd | Coating solution for forming insulating film for liquid crystal display element |
JP2001235604A (en) * | 1999-12-14 | 2001-08-31 | Nissan Chem Ind Ltd | Antireflection film, method of forming antireflection film, and antireflection glass |
WO2007020781A1 (en) * | 2005-08-19 | 2007-02-22 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Method for producing coating liquid for film formation |
WO2010001949A1 (en) * | 2008-07-02 | 2010-01-07 | 出光興産株式会社 | Coating liquid, cured film, resin multilayer body, method for producing the cured film and method for producing the resin multilayer body |
JP2010028115A (en) * | 2008-07-21 | 2010-02-04 | Samsung Mobile Display Co Ltd | Display panel and manufacturing method thereof |
JP2010061425A (en) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Hitachi Displays Ltd | Touch panel and display device using the same |
JP2010160670A (en) * | 2009-01-08 | 2010-07-22 | Seiko Epson Corp | Method for manufacturing touch panel, touch panel, display and electronic apparatus |
WO2010150668A1 (en) * | 2009-06-23 | 2010-12-29 | ジオマテック株式会社 | Capacitance type input device and production method thereof |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9579765B2 (en) | 2012-09-13 | 2017-02-28 | General Electric Technology Gmbh | Cleaning and grinding of sulfite sensor head |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103443750A (en) | 2013-12-11 |
TWI542648B (en) | 2016-07-21 |
KR20140005250A (en) | 2014-01-14 |
CN103443750B (en) | 2017-02-15 |
WO2012099253A1 (en) | 2012-07-26 |
KR101829495B1 (en) | 2018-02-14 |
JPWO2012099253A1 (en) | 2014-06-30 |
TW201245345A (en) | 2012-11-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6048148B2 (en) | Coating composition for touch panel, coating film and touch panel | |
JP5920220B2 (en) | Capacitive touch panel manufacturing method | |
TWI595508B (en) | Transparent conductive film and image display device | |
KR101461341B1 (en) | Touch screen and method for preparing the same | |
JP6155537B2 (en) | CONDUCTIVE PATTERN LAMINATE, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND ELECTRONIC DEVICE AND TOUCH SCREEN CONTAINING CONDUCTIVE PATTERN LAMINATE | |
CN104163577B (en) | ITO electro-conductive glass and preparation method thereof | |
JP2010061425A (en) | Touch panel and display device using the same | |
KR20120092004A (en) | Touch screen and method for manufacturing the same | |
JP5292492B2 (en) | Touch panel and display device using the same | |
JP2013246610A (en) | Electrostatic capacitance type touch panel substrate, display device and method of manufacturing electrostatic capacitance type touch panel substrate | |
CN203299798U (en) | Capacitance touch control screen adopting copper plating conductive base material | |
JP6751271B2 (en) | Laminated body, touch panel, and patterning method for laminated body | |
CN207529361U (en) | A kind of capacitive touch screen | |
WO2013115333A1 (en) | Coating solution for metal oxide film and metal oxide film | |
TWI599624B (en) | A method for producing a finely-coated inorganic oxide film-forming coating solution and a fine inorganic oxide film | |
CN104583350A (en) | Coating fluid for metal oxide coating film and metal oxide coating film | |
CN107145001A (en) | A kind of touch-control display panel and preparation method thereof, display device | |
JPH1117386A (en) | Alternating field shielding film and manufacture thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151104 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20151228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160202 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160726 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160915 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161025 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161107 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6048148 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |