JP6046402B2 - ねじり振動子及びねじり振動子の制御方法 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係るねじり振動子100の構成を示す平面図である。図2は、図1の一点鎖線の部分の断面図である。本実施形態に係るねじり振動子100は、可動電極120、枠体110、保持部材130、2つの第1固定電極140、及び第2固定電極150を備えている。保持部材130は、可動電極120を枠体110に取り付けており、かつ可動電極120の回転軸となる。2つの第1固定電極140は、可動電極120を介して互いに対向しており、可動電極120の回転軸と交わる方向に並んでいる。第2固定電極150は、可動電極120及び2つの第1固定電極140から絶縁されており、平面視における中心が保持部材130と重なっていない。そして厚さ方向において、第2固定電極150は、可動電極120と少なくとも一部が重なっており、かつ中心が、可動電極120の厚さ方向の中心と重なっていない。以下、詳細に説明する。
図6は、第2の実施形態に係るねじり振動子100の構成を示す平面図である。本実施形態に係るねじり振動子100は、第2固定電極150のレイアウトを除いて、第1の実施形態に係るねじり振動子100と同様の構成である。
110 枠体
120 可動電極
130 保持部材
140 第1固定電極
150 第2固定電極
200 制御部
310 基板
320 絶縁層
330 導電層
50 レジストパターン
52 レジストパターン
54 レジストパターン
Claims (6)
- 可動電極と、
枠体と、
前記可動電極を前記枠体に取り付け、前記可動電極の回転軸となる保持部材と、
前記可動電極を介して互いに対向しており、前記可動電極の回転軸と交わる方向に並んでいる2つの第1固定電極と、
前記可動電極及び前記2つの第1固定電極から絶縁されており、平面視における中心が前記保持部材と重なっていない第2固定電極と、
を備え、
前記可動電極は、第1面及び前記第1面とは反対側の第2面を有し、
前記第1固定電極は、第1面及び前記第1面とは反対側の第2面を有し、
前記第2固定電極は、第1面及び前記第1面とは反対側の第2面を有し、
厚さ方向において、
前記第2固定電極は、前記可動電極と少なくとも一部が重なっており、かつ中心が、前記可動電極の厚さ方向の中心と重なっておらず、
厚さ方向で見た場合、
前記可動電極の前記第1面と、前記第1固定電極の前記第1面と、前記第2固定電極の前記第1面とは同一面を形成しており、
前記可動電極の前記第2面と、前記第1固定電極の前記第2面とは同一面を形成しており、
前記可動電極の前記第2面と、前記第2固定電極の前記第2面とは同一面を形成していないねじり振動子。 - 請求項1に記載のねじり振動子において、
前記第2固定電極は、平面視において前記回転軸と重なっている部分がないねじり振動子。 - 請求項2に記載のねじり振動子において、
平面視において、前記第2固定電極は、前記保持部材を基準としたとき、一方の前記第1固定電極側にのみ設けられているねじり振動子。 - 請求項3に記載のねじり振動子において、
前記第2固定電極は、前記回転軸の長さ方向の中心に垂直に交わる線である基準線に対して、線対称となる位置に複数設けられているねじり振動子。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載のねじり振動子において、
前記可動電極の一面は鏡面であるねじり振動子。 - 可動電極と、
枠体と、
前記可動電極を前記枠体に取り付け、前記可動電極の回転軸となる保持部材と、
前記可動電極を介して互いに対向しており、前記可動電極の回転軸と交わる方向に並んでいる2つの第1固定電極と、
前記可動電極及び前記2つの第1固定電極から絶縁されており、平面視における中心が前記保持部材と重なっていない第2固定電極と、
を備え、
前記可動電極は、第1面及び前記第1面とは反対側の第2面を有し、
前記第1固定電極は、第1面及び前記第1面とは反対側の第2面を有し、
前記第2固定電極は、第1面及び前記第1面とは反対側の第2面を有し、
厚さ方向において、
前記第2固定電極は、前記可動電極と少なくとも一部が重なっており、かつ中心が、前記可動電極の厚さ方向の中心と重なっておらず、
厚さ方向で見た場合、
前記可動電極の前記第1面と、前記第1固定電極の前記第1面と、前記第2固定電極の前記第1面とは同一面を形成しており、
前記可動電極の前記第2面と、前記第1固定電極の前記第2面とは同一面を形成しており、
前記可動電極の前記第2面と、前記第2固定電極の前記第2面とは同一面を形成していないねじり振動子を準備し、
前記第2固定電極に電圧を印加することにより、前記可動電極を初動させ、その後、前記2つの第1固定電極に印加する電圧を制御することにより、前記可動電極の動きを制御する、ねじり振動子の制御方法。
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