JP4227531B2 - ヒンジ構造 - Google Patents
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Description
2≦W≦4・・・(1)
7≦T≦13・・・(2)
各条件(1)、(2)の上限を超えると硬いバネ性能をもった構造になるため、所定の印加電圧に対してミラー面の傾きが小さくなり好ましくない。また、下限を下回ると柔らかいバネ性能をもった構造になるが、強度が低下し、壊れやすくなり好ましくない。
20≦L≦40・・・(3)
各条件(3)の上限を超えると柔らかいバネ性能をもった構造になるが、全体寸法が大きくなり好ましくない。また、下限を下回ると硬いバネ性能をもった構造になるため、所定の印加電圧に対してミラー面の傾きが小さくなり好ましくない。
4≦S≦8・・・(4)
各条件(4)の上限を超えると柔らかいバネ性能をもった構造になるが、全体寸法が大きくなり好ましくない。また、下限を下回ると硬いバネ性能をもった構造になるため、所定の印加電圧に対してミラー面の傾きが小さくなり好ましくない。
2≦W≦4・・・(1)
7≦T≦13・・・(2)
本実施形態の第一ヒンジ構造12Xは、幅3μm、厚み10μmの線状体により構成される。このように各条件(1)、(2)を満たすような線状体により構成することにより、第一ヒンジ構造12Xにより高いバネ性能を持たせることができる。
20≦L≦40・・・(3)
本実施形態の第一ヒンジ構造12Xは、中央部CLの長さLを30μmに設計される。このように条件(3)を満たすような長さを持つ線分状に中央部Cを設計することにより、第一ヒンジ構造12Xを、大きな振れ角を保証しつつも強度ある構成にすることができる。
4≦S≦8・・・(4)
本実施形態の第一ヒンジ構造12Xは、間隔Sを6μmに設計される。このように条件(4)を満たす間隔が形成されるように二つの延出部E1、E2を構成することにより、第一ヒンジ構造12Xにより高いバネ性能を持たせることができる。
2 上部基板
3 下部基板
4 スペーサ
11 ミラー面
12 フレーム
12X、12Y ヒンジ構造
CL 中央部
E1、E2 延出部
T1〜T4 駆動電極
Claims (9)
- 少なくとも一つの軸に対して回動自在に構成されたミラー面を持つマイクロミラー装置におけるヒンジ構造であって、
一方の端部は前記軸に対して回動される面に結合され、他方の端部は前記軸に対して非回動である面に結合される一本の線状体からなり、
前記線状体は、前記軸上に位置する線分状の中央部と、該中央部を囲むように該中央部の両端から前記線状体の各端部まで、同一方向回りに延出する一対の延出部と、からなり、
前記一対の延出部は、互いの間に形成される間隔が略等しくなるように形成され、前記軸に対して複数の平行する部分を含むことを特徴とするヒンジ構造。 - 少なくとも一つの軸に対して回動自在に構成されたミラー面を持つマイクロミラー装置におけるヒンジ構造であって、
一方の端部は前記軸に対して回動される面に結合され、他方の端部は前記軸に対して非回動である面に結合される一本の線状体からなり、
前記線状体は、
前記軸上に位置する線分状の中央部と、
該中央部の一端から前記一方の端部まで該中央部を囲むように、時計回りまたは反時計回りのいずれかに延出する第一の延出部と、
該中央部の他端から前記他方の端部まで該中央部を囲むように、前記第一の延出部の回りと同一回りに延出する第二の延出部と、からなり、
前記各延出部は、互いの間に形成される間隔が略等しくなるように形成され、前記軸に対して複数の平行する部分を含むこと特徴とするヒンジ構造。 - 請求項1または請求項2に記載のヒンジ構造において、
前記各延出部は、前記中央部を中心とした所定の四角形を描くように複数回連続して折り曲げられていることを特徴とするヒンジ構造。 - 請求項3に記載のヒンジ構造において、
前記所定の四角形は、略長方形であることを特徴とするヒンジ構造。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載のヒンジ構造において、
前記線状体の幅W(単位:μm)が以下の条件(1)、
2≦W≦4・・・(1)
を満たすことを特徴とするヒンジ構造。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載のヒンジ構造において、
前記線状体の厚みT(単位:μm)が以下の条件(2)、
7≦T≦13・・・(2)
を満たすことを特徴とするヒンジ構造。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載のヒンジ構造において、
前記中央部の長さL(単位:μm)が以下の条件(3)、
20≦L≦40・・・(3)
を満たすことを特徴とするヒンジ構造。 - 請求項1から請求項7のいずれかに記載のヒンジ構造において、
前記各延出部によって形成される間隔S(単位:μm)が以下の条件(4)、
4≦S≦8・・・(4)
を満たすことを特徴とするヒンジ構造。 - 前記一方の端部および他方の端部の両方は、前記軸と直交する方向で前記各面に結合されることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のヒンジ構造。
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