JP6031980B2 - タッチスクリーン - Google Patents

Description

本発明はタッチスクリーンに関する。

タッチパネルは、指などによるタッチを検出して、タッチされた位置の位置座標を特定する装置である。タッチパネルは、優れたユーザーインターフェース手段の１つとして注目されている。抵抗膜方式、静電容量方式などの種々の方式のタッチパネルが製品化されている。

一般に、タッチパネルは、タッチセンサが内蔵されるタッチスクリーンと、タッチスクリーンからの信号に基づいてタッチされた位置座標を特定する検出装置とから構成される。

静電容量方式のタッチパネルの１つとして、投射型静電容量（Ｐｒｏｊｅｃｔｅｄ Ｃａｐａｃｉｔｉｖｅ）方式のタッチパネルがある（例えば特許文献１参照）。

投射型静電容量方式のタッチパネルは、タッチセンサが内蔵されるタッチスクリーンの前面側を、厚さが数ｍｍ程度のガラス板などの保護板で覆った場合でも、タッチの検出が可能である。

この方式のタッチパネルは、保護板を前面に配置できるので堅牢性に優れる。また、手袋装着時でもタッチの検出が可能である。また、可動部を有さないので長寿命である。

投射型静電容量方式のタッチパネルは、例えば、第１電極を構成する、行方向に延びて設けられる複数の行方向配線と、第２電極を構成する、列方向に延びて設けられる複数の列方向配線との間の電界変化、即ちクロス容量の変化を検出することで、タッチされた位置座標を特定する。この検出方式は、一般に相互容量検出方式と呼ばれる（例えば特許文献２参照）。

また、タッチスクリーンを表示装置に装着した場合、タッチスクリーンに備わる行方向配線および列方向配線により、表示装置の表示エリアが覆われる。配線の配置に応じて、表示光の透過が不均一となったり、外光の反射率が不均一となるため、モアレ現象が発生したり、配線が視認されるなどすることがあった。ユーザに高品質な映像を提供するためには、配線が視認されにくいなど、ユーザにタッチスクリーンの存在を感じさせにくいタッチスクリーンがより好ましい。

特開２０１２−１０３７６１号公報 特表２００３−５２６８３１号公報 特願２０１２−２１１７５４号明細書

上述の投射型静電容量方式のタッチパネルは、第１電極と第２電極との電界結合が大きい場合、指などの指示体でタッチしたときに、クロス容量の変化が生じにくく、検出感度を大きくとれない問題があった。検出感度を小さくすると、誤検出が起こりやすくなる。

本発明は以上の課題を解決するためになされたものであり、行方向配線と列方向配線の間のクロス容量が小さく、かつ指示体によりタッチしたときのクロス容量の変化が大きいタッチスクリーンの提供を目的とする。また、視認性を向上させたタッチスクリーンの提供を副次的な目的とする。

本発明に係るタッチスクリーンは、行方向配線と列方向配線の上下２層からなる配線パターンで覆われたタッチスクリーンであって、行方向配線もしくは列方向配線は、交差部分において線幅が狭くなっており、行方向配線もしくは列方向配線は、行方向配線と列方向配線が平面視接する領域に隣接して設けられたフローティング電極を備え、当該フローティング電極は周囲の配線から絶縁されていることを特徴とする。

本発明によれば、フローティング電極を設けることにより、行方向配線と列方向配線の間にフローティング電極の幅だけ間隔を設けることが可能である。よって、フローティング電極を設けることにより、行方向配線と列方向配線の間のクロス容量を低減させることが可能である。また、さらに、タッチスクリーンをタッチした際のクロス容量の変化量を増大させることが可能である。よって、フローティング電極を設けない場合と比較して、タッチ検出感度を高めることができる。

実施の形態１に係るタッチスクリーンの斜視図である。 実施の形態１に係るタッチスクリーンの平面図である。 実施の形態１に係るタッチスクリーンの下部電極の平面図である。 図３における領域Ａの拡大図である。 実施の形態１に係るタッチスクリーンの上部電極の平面図である。 実施の形態１に係るタッチスクリーンの下部電極および上部電極の平面図である。 検出感度とフローティング電極幅の関係を示す図である。 フローティング電極を備えないタッチスクリーンの下部電極および上部電極の平面図である。 最適フローティング電極幅と透明基板の厚さの関係を示す図である。 フローティング電極の断線部とクロス容量比の関係を示す図である。 実施の形態２に係るタッチスクリーンの下部電極の平面図である。 図１１における領域Ｂの拡大図である。 実施の形態２に係るタッチスクリーンの上部電極の平面図である。 図１３における領域Ｃの拡大図である。 実施の形態２に係るタッチスクリーンの下部電極および上部電極の平面図である。 実施の形態３に係るタッチスクリーンにおける配線の単位パターンを示す図である。 実施の形態３に係るタッチスクリーンの下部電極の平面図である。 図１７における領域Ｄの拡大図である。 実施の形態３に係るタッチスクリーンの上部電極の平面図である。 図１９における領域Ｅの拡大図である。 実施の形態３に係るタッチスクリーンの下部電極および上部電極の平面図である。 実施の形態４に係るタッチスクリーンの下部電極および上部電極の平面図である。 比較例における領域Ｆ、Ｇ相当領域における拡大図である。 比較例に係るタッチスクリーンの断面図である。 実施の形態４に係るタッチスクリーンの断面図である。 層間絶縁膜の膜厚と見映えとの関係を示す図である。 実施の形態５に係るタッチスクリーンの領域Ｆ、Ｊの拡大図である。 実施の形態５に係るタッチスクリーンの断面図である。 実施の形態６に係るタッチスクリーンの断面図である。

＜実施の形態１＞
＜構成＞
まず、図１および図２を用いて、本実施の形態のタッチスクリーン１の層構造について説明する。本実施の形態におけるタッチスクリーン１は、投影型静電容量方式のタッチスクリーンである。

図１は、本実施の形態のタッチスクリーン１の層構造の斜視図である。タッチスクリーン１の上面層は、透明なガラス材料または透明な樹脂からなる透明基板１０である。透明基板１０の裏面には、上部電極３０が形成される。

また、透明基板１０の裏面には、上部電極３０を被覆する様に、層間絶縁膜１１が形成される。層間絶縁膜１１は、シリコン窒化膜またはシリコン酸化膜等の透明な絶縁膜である。層間絶縁膜１１の裏面には、下部電極２０が形成される。

また、層間絶縁膜１１の裏面には、下部電極２０を被覆する様に、保護膜１２が形成される。保護膜１２は、保護膜１２は、層間絶縁膜１１と同様に、シリコン窒化膜などの透光性を有する絶縁性の膜である。

上部電極３０は、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）等の透明配線材料もしくはアルミニウム等の金属配線材料からなる複数本の列方向配線３１を備える。また、下部電極２０は、列方向配線３１と同じ素材からなる複数本の行方向配線２１を備える。

なお、図１および図２において、図示の便宜上、列方向配線３１および行方向配線２１は、後述するメッシュ状の構造を有する様に図示されていない。

本実施の形態では、列方向配線３１および行方向配線２１を、アルミニウム系合金層とその窒化層の多層構造とした。これによって、配線抵抗を小さくでき、かつ検出可能エリアの光の透過率を向上させることができる。

また、列方向配線３１を行方向配線２１の上層に配置したが、これらの位置関係を逆にして、行方向配線２１を列方向配線３１の上層に配置してもよい。

使用者は、タッチスクリーン１の表面となる透明基板１０に指などの支持体でタッチして操作を行う。透明基板１０に指示体が触れると、透明基板１０下部の行方向配線２１と列方向配線３１との間のクロス容量が変化する。この容量変化を検出することで、検出可能エリア内のどの位置においてタッチされたかを特定することが可能である。

図２は、本実施の形態のタッチスクリーン１の平面図である。タッチスクリーン１の検出可能エリアは、横方向（行方向）に伸びる複数の行方向配線２１と、その手前側に平面視重なり、縦方向（列方向）に伸びる複数の列方向配線３１から構成される。

行方向配線２１の各々は、引き出し線Ｒ１〜Ｒ６によって、外部の配線と接続するための端子８に接続される。また、列方向配線３１の各々も同様に、引き出し線Ｃ１〜Ｃ８によって、外部の配線と接続するための端子８に接続される。

引き出し線Ｒ４，Ｒ５は、検出可能エリアの外周に沿って配置される。また、引き出し線Ｒ３，Ｒ６は、検出可能エリアの外周に沿って配置され、引き出し線Ｒ４もしくは引き出し線Ｒ５に達してからは、引き出し線Ｒ４，Ｒ５に沿って配置される。このように、引き出し線Ｒ１〜Ｒ６は、検出可能エリアの外周側に詰めて配置される。また、引き出し線Ｃ１〜Ｃ８も同様に、端子８に近い引き出し線から順に、検出可能エリアの外周側に詰めて配置される。

このように、引き出し線Ｒ１〜Ｒ６，Ｃ１〜Ｃ８をなるべく検出可能エリアの外周側に詰めて配置することで、タッチスクリーン１が装着される表示装置と、引き出し配線間のフリンジ容量を抑制することができる。よって、このような引き出し配線の配置とすることで、タッチスクリーン１が装着される表示装置から発生する電磁ノイズが引き出し配線に与える影響を低減することができる。

また、列方向配線３１の引き出し線Ｃ８と、行方向配線２１の引き出し線Ｒ６が並走する部分おいては、引き出し配線間に、グランド等の基準電位が与えられたダミー引き出し配線４０が設けられる。

このようにダミー引き出し配線４０を設けることによって、引き出し線Ｃ８と引き出し線Ｒ６の間のクロス容量を大幅に低減できるため、この部分に指などの指示体のタッチがあった場合でも誤検出を防止することができる。

次に図３〜６を用いて、行方向配線２１および列方向配線３１の詳細な構造を説明する。図３は、行方向配線２１と列方向配線３１が平面視で重なる領域周辺を拡大した下部電極２０の平面図である。図４は、図３における領域Ａの拡大図である。また、図５は、行方向配線２１と列方向配線３１が平面視で重なる領域周辺を拡大した上部電極３０の平面図である。また、図６は、行方向配線２１と列方向配線３１が平面視で重なる領域の平面図である。なお、図３〜６において、横方向を行方向、縦方向を列方向とする。なお、図３〜６は、配線パターンを模式的に示すものであり、配線の太さや間隔は、実際とは異なる。

図３に示す様に、下部電極２０を構成する行方向配線２１は、メッシュ状の配線で形成される。メッシュ状の配線は、行方向から４５°傾いた方向に延在する導線と、行方向から反対方向に４５°傾いた方向に延在する導線の繰り返しで構成される。

図３において、行方向配線２１の中央部から列方向に延びる空白領域は、平面視で列方向配線３１が配置される領域である。また、図３の中央部分において、行方向配線２１のメッシュの間隔が大きくなっている領域は、列方向配線３１と平面視で重なる領域である。

本実施の形態において、行方向配線２１は、列方向配線３１との交差部分において、線幅が狭くなっている。行方向配線２１は、行方向配線２１と列方向配線３１とが接する領域、即ち行方向配線２１の幅が狭くなって列方向配線３１と接する領域に隣接するフローティング電極２１ａを備える。

フローティング電極２１ａは、行方向配線２１と同様のメッシュ状の配線で形成される。フローティング電極２１ａは、断線部２１ｃにより周囲の配線から絶縁されている。

フローティング電極２１ａは、フローティング電極２１ａを分断する断線部２１ｂを備える。断線部２１ｂは、長手方向、即ち列方向に延びて形成される。

図４に、図３における領域Ａの拡大図を示す。断線部２１ｃにより、行方向配線２１とフローティング電極２１ａが断線されている。また、断線部２１ｂにより、フローティング電極２１ａが長手方向、即ち列方向に分断されて、断線されている。

このように、フローティング電極２１ａを設けることによって、行方向配線２１と列方向配線３１は、フローティング電極２１ａの行方向の幅Lだけ平面視で隔てられる。

図５に示す様に、上部電極３０は、列方向配線３１と、断線部配線３２とで構成される。列方向配線３１は、行方向配線２１と同様のメッシュ状の配線で形成される。図５において、列方向配線３１のメッシュ間隔が大きい領域は、行方向配線２１と平面視で重なる領域である。

また、図５において、断線部配線３２は、図４における断線部２１ｂ，２１ｃを平面視で埋めるように形成されている。断線部配線３２を設けることによって、断線部２１ｂ，２１ｃを表示光が透過して、断線部２１ｂ，２１ｃ目視されることを防止することができる。

図６に、行方向配線２１と列方向配線３１が平面視重なる領域周辺を示す。図６において、図の見易さのために、断線部配線３２は図示していない。

行方向配線２１と列方向配線３１が平面視重なる領域において、行方向配線２１および列方向配線３１のメッシュ間隔は、他の部分の２倍の間隔となっている。行方向配線２１と列方向配線３１が平面視重なる部分においては、行方向配線２１のメッシュと列方向配線３１のメッシュは相補的にずれて重なっている。行方向、列方向のメッシュのずれる間隔は、それぞれＰ１、Ｐ２である。

このように、行方向配線２１と列方向配線３１が平面視重なる領域におけるメッシュ間隔を、他の配線部分のメッシュ間隔と等しくすることによって、行方向配線２１と列方向配線３１が交差する部分の外光の反射率を均一化して、目視されることを抑制することができる。

なお、本実施の形態では、行方向配線２１および列方向配線３１のメッシュを構成する導線の幅は３μｍであり、断線部の断線間隔は１０μｍである。また、本実施の形態では、透明基板１０の厚みは０．９ｍｍであり、フローティング電極２１ａの行方向の幅Ｌは８００μｍである。また、メッシュの行方向の間隔Ｐ１および列方向の間隔Ｐ２は、２００μｍである。

＜シミュレーション結果＞
フローティング電極２１ａを設けたことによる検出感度向上の効果について説明する。図７は、フローティング電極２１ａの行方向の幅（以下、フローティング電極幅Ｌと呼ぶ）と透明基板の厚みを変化させたときの検出感度をシミュレーションにより計算した結果である。

検出感度とは、指などの指示体が透明基板１０にタッチしたときのクロス容量の変化量と、タッチが無いときのクロス容量の比をとったものである。

図７の縦軸の検出感度相対値とは、透明基板の厚みを一定として、フローティング電極幅がゼロの場合の検出感度との比である。

なお、フローティング電極幅Ｌがゼロとは、図８に示す様に、行方向配線２１がフローティング部２１ａを備えない場合を意味する。

図７から、透明基板の厚みを一定とした場合、検出感度相対値は、フローティング電極幅Lに対してある値で最大値をとることがわかる。また、最大値を与えるフローティング電極幅Lは、透明基板の厚みにより異なることもわかる。

図９に、最大値を与えるフローティング電極幅Ｌを最適フローティング電極幅として、透明基板１０の厚みと、最適フローティング電極幅の関係を調べた結果を示す。透明基板１０の厚みに比例して最適フローティング電極幅が増大していることがわかる。

本実施の形態では、透明基板１０の厚みが０．９ｍｍ、フローティング電極幅Ｌが８００μｍである。よって、図７から、本実施の形態におけるタッチスクリーン１は、フローティング電極２１ａを備えない場合と比較して、検出感度が２倍程度高まっていることがわかる。フローティング電極幅Ｌは、図９に基づいて決定するのが好ましい。

図１０に、フローティング電極２１ａに備わる断線部２１ｂが延びる方向および段千部２２１ｂの個数と、クロス容量の関係を示す。なお、図１０におけるクロス容量の相対値とは、フローティング電極２１ａに断線部２１ｂを設けない場合とのクロス容量との比である。

本実施の形態では、１本の断線部２１ｂが、フローティング電極２１ａの長手方向、即ち列方向に延びて設けられる。図１０から、フローティング電極２１ａに断線部２１ｂを設けない場合と比べて、本実施の形態は、クロス容量がおよそ半分に低減されていることがわかる。また、断線部２１ｂの本数を増やすと、クロス容量をより低減できることもわかる。

また、図１０から、断線部２１ｂをフローティング電極２１ａの短手方向、即ち行方向に延ばして設けた場合には、列方向に延ばして設けた場合と比較して、クロス容量を低減する効果が小さいことがわかる。よって、断線部２１ｂをフローティング電極２１ａの長手方向に延ばして設けるのが好ましい。

本実施の形態の様に、行方向配線２１および列方向配線３１をメッシュ状の配線とすることによって、少ない配線面積で、広い検出可能エリアを覆うことが可能である。また、行方向配線２１および列方向配線３１をメッシュ状の配線とすることによって、配線の寄生容量を低減し、モアレ減少の発生も抑えることができる。

ただし、行方向配線２１および列方向配線３１の材料、導線幅、メッシュ間隔は、本実施の形態に限定されるものではない。

行方向配線２１および列方向配線３１の材料としては、ＩＴＯやグラフェン等の透明導線性材料もしくは、アルミニウム、クロム、銅、銀等の金属材料を用いることができる。また、アルミニウム、クロム、銅、銀等の合金、または、これら合金上に窒化アルミニウム等を形成した多層構造としても良い。また、導線幅とメッシュ間隔も、タッチスクリーンの用途等に応じて、本実施の形態とは異なる値としても良い。

なお、本実施の形態では、断線部２１ｂの本数を１本としたが、さらに本数を増やすことも可能である。

また、本実施の形態では、フローティング電極２１ａが、行方向配線２１に備わる構成としたが、フローティング電極２１ａが、列方向配線３１に備わる構成としても良い。この様な構成とした場合であっても、行方向配線２１と列方向配線３１の間に平面視で行方向に間隔を設けることが可能である。

本発明の効果を確認するために、本実施の形態におけるタッチスクリーン１と、図８に示す配線構造を持つタッチスクリーンのそれぞれに、相互容量型の検出回路を装着して指によるタッチ検出を行った。本実施の形態におけるタッチスクリーン１では、タッチ位置の座標が正しく検出された。一方、図８に示す配線構造を持つタッチスクリーンでは、クロス容量が大きいために、検出回路のダイナミックレンジを超えてしまい、タッチ位置の座標が正しく検出されなかった。

＜効果＞
本実施の形態におけるタッチスクリーン１は、行方向配線２１と列方向配線３１の上下２層からなる配線パターンで覆われたタッチスクリーン１であって、行方向配線２１もしくは列方向配線３１は、交差部分において線幅が狭くなっており、行方向配線２１もしくは列方向配線３１は、行方向配線２１と列方向配線３１が平面視で接する領域に隣接して設けられたフローティング電極２１ａを備え、フローティング電極２１ａは周囲の配線から絶縁されていることを特徴とする。

従って、フローティング電極２１ａを設けることにより、行方向配線２１と列方向配線３１間にフローティング電極２１ａの行方向の幅だけ間隔を設けることが可能である。よって、フローティング電極２１を設けることにより、行方向配線２１と列方向配線３１の間のクロス容量を低減させることが可能である。また、さらに、透明基板１０をタッチした際のクロス容量の変化量を増大させることが可能である。よって、フローティング電極２１ａを設けない場合と比較して、タッチ検出感度を高めることができる。

また、本実施の形態におけるタッチスクリーン１において、フローティング電極２１ａは、フローティング電極２１ａを分断する断線部２１ｂを備え、断線部２１ｂは、フローティング電極２１ａの長手方向に延びて形成されることを特徴とする。

従って、フローティング電極２１ａに断線部２１ｂを設けてフローティング電極２１ａを分断することにより、行方向配線２１と列方向配線３１間のクロス容量をより低減させることが可能であるため、さらにタッチ検出感度を高めることができる。特に、断線部２１ｂを、フローティング電極２１ａの長手方向に延びて形成することによって、効果的にクロス容量を低減させることが可能である。

また、本実施の形態におけるタッチスクリーン１において、行方向配線２１および列方向配線３１の配線はメッシュ状であり、行方向配線２１のメッシュと列方向配線３１のメッシュが、平面視で相補的にずれて配置されることを特徴とする。

従って、行方向配線２１と列方向配線３１が平面視で重なる領域において、行方向配線２１のメッシュと列方向配線３１のメッシュを、平面視で相補的にずれて配置することによって、外光の反射率が均一化されるため、行方向配線２１と列方向配線３１の交差部分が視認されることを抑制することが可能である。

＜実施の形態２＞
＜構成＞
実施の形態１では、行方向配線２１もしくは列方向配線３１が形成される領域において、これらの配線が平面視で重なる領域を除いて、行方向配線２１または列方向配線３１のどちらかが配置されていた。

よって、行方向配線２１と列方向配線３１とでは、配線が形成される層の深さが異なるため、行方向配線２１と列方向配線３１とでは反射率が異なり、配線が視認されやすかった。

本実施の形態では、行方向配線２１の上層の上部電極３０に行方向ダミー配線３３をさらに配置し、かつ、列方向配線３１の下層の下部電極に列方向ダミー配線２２をさらに配置する。

さらに、本実施の形態におけるタッチスクリーンは、行方向配線２１のメッシュと、行方向ダミー配線３３のメッシュが相補的にずれて重なることを特徴とする。また、本実施の形態におけるタッチスクリーンは、列方向配線３１のメッシュと、列方向ダミー配線２２のメッシュが相補的にずれて重なることを特徴とする。

このような構成とすることで、行方向配線２１と列方向配線３１との外光の反射率の違いを軽減して、反射率を均一化することが可能である。

図１１〜１５を用いて、本実施の形態におけるタッチスクリーンの行方向配線２１および列方向配線３１の詳細な構造を説明する。

図１１は、行方向配線２１と列方向配線３１が平面視で重なる領域周辺における下部電極２０の平面図である。下部電極２０は、行方向配線２１と列方向ダミー配線２２とから構成される。列方向ダミー配線２２は、平面視で、列方向配線３１と重なる領域に形成されている。また、実施の形態１と同様、行方向配線２１は、フローティング電極２１ａを備える。フローティング電極２１ａについては、実施の形態１と同様なため、説明を省略する。

行方向配線２１および列方向ダミー配線２２のメッシュ間隔は、実施の形態１の２倍であるとする。つまり、列方向間隔Ｐ３と行方間隔Ｐ４は、それぞれ、図３におけるＰ１、Ｐ２の２倍である。行方向配線２１、フローティング電極２１ａ、列方向ダミー配線２２は、断線部２１ｃにより相互に断線されている。

図１２は、図１１における領域Ｂの拡大図である。図１１における破線は、列方向配線３１の配置を示す。図１２において、断線部２１ｂ，２１ｃの各々には、後述する行方向ダミー配線３３の断線部３３ａの間隔を平面視で埋めるように、導線が形成されている。

図１３は、行方向配線２１と列方向配線３１が平面視重なる領域周辺における上部電極３０の平面図である。上部電極３０は、列方向配線３１と行方向ダミー配線３３とから構成される。

行方向ダミー配線３３は、平面視で、行方向配線２１と重なる領域に形成されている。列方向配線３１と行方向ダミー配線３３とは、断線部３３ａにより断線されている。また、行方向ダミー配線３３には、下部電極２０の断線部２１ｂ，２１ｃに対応する位置に、断線部３３ａが設けられている。

列方向配線３１および行方向ダミー配線３３のメッシュ間隔は、実施の形態１の２倍であるとする。つまり、列方向間隔Ｐ３と行方間隔Ｐ４は、それぞれ、図５におけるＰ１、Ｐ２の２倍である。列方向配線３１と行方向ダミー配線３３は、断線部３３ａにより断線されている。

図１４は、図１３における領域Ｃの拡大図である。図１３における破線は、行方向配線２１の配置を示す。図１３において、断線部３３ａの各々には、行方向配線２１の断線部２１ｂ，２１ｃの間隔を平面視で埋めるように、導線が形成されている。

図１５に、下部電極２０および上部電極３０の平面図を示す。図１５に示すように、下部電極２０に形成される行方向配線２１の上層の上部電極３０には、行方向ダミー配線３３が形成されている。また、上部電極３０に形成される列方向配線３１の下層の下部電極２０には、列方向ダミー配線２２が形成される。なお、図１５において、図の見易さのために、断線部３３ａは図示していない。

また、行方向配線２１のメッシュと、行方向ダミー配線３３のメッシュは、相補的にずれて重なるように配置されている。同様に、列方向配線３１のメッシュと、列方向ダミー配線２２のメッシュは、相補的にずれて重なるように配置されている。

以上の構成とすることによって、行方向配線２１の領域と、列方向配線３１の領域における反射率が均一化されるため、行方向配線２１の領域および列方向配線３１が視認されることを抑制することができる。

また、本実施の形態においては、図１２および図１４に示したように、断線部３３ａの断線間隔を埋めるように、断線部２１ｂ，２１ｃに導線を配置し、かつ、断線部２１ｂ，２１ｃの断線間隔を埋めるように、断線部３３ａに導線を配置した。

このような構成とすることで、タッチスクリーンを表示装置前面に装着した場合に、表示光が断線部２１ｂ，２１ｃ，３３ａを通過することを防止することができるため、断線部２１ｂ，２１ｃ，３３ａが視認されにくくなり好ましい。

なお、本実施の形態では、実施の形態１と同じく、行方向配線２１および列方向配線３１のメッシュを構成する導線の幅は３μｍであり、断線部２１ｂ，２１ｃ，３３ａの断線間隔は１０μｍである。また、透明基板１０の厚みは０．９ｍｍであり、フローティング電極２１ａの行方向の幅Ｌは８００μｍである。また、図１１および図１３におけるメッシュ間隔Ｐ３、Ｐ４は４００μｍであり、図１５におけるメッシュ間隔Ｐ１、Ｐ２は２００μｍである。

本発明の効果を確認するために、本実施の形態におけるタッチスクリーンと、実施の形態１におけるタッチスクリーンを作製し、それぞれに相互容量型の検出回路を装着して、指によるタッチ検出を行った。本実施の形態におけるタッチスクリーンでも、実施の形態１におけるタッチスクリーンと同じく、タッチ位置の位置座標を正確に検出することができた。

また、視認性を確認するために、室内照度１０００ｌｕｘの下で実施の形態におけるタッチスクリーンと、実施の形態１におけるタッチスクリーンと目視したところ、実施の形態１におけるタッチスクリーンでは、下部電極２０と上部電極３０が目視されたが、本実施の形態におけるタッチスクリーンではそれらが目視されなかった。

＜効果＞
本実施の形態におけるタッチスクリーンは、平面視で列方向配線３１と同じ領域内に、行方向配線２１と同じ層に形成されるメッシュ状の列方向ダミー配線２２と、平面視で行方向配線２１と同じ領域内に、列方向配線３１と同じ層に形成されるメッシュ状の行方向ダミー配線３３とを備え、列方向配線３１のメッシュと列方向ダミー配線のメッシュ２２が、平面視で相補的にずれて配置され、行方向配線２１のメッシュと行方向ダミー配線３３のメッシュが、平面視で相補的にずれて配置されることを特徴とする。

従って、行方向配線２１の上層に行方向ダミー配線３３を設け、列方向配線３１の下層に列方向ダミー配線２２を設け、かつ上下層の配線のメッシュを平面視で相補的にずれて配置することによって、行方向配線２１と列方向配線３１との外光の反射率の違いを軽減して、反射率を均一化することが可能である。

よって、実施の形態１で述べた効果に加えて、外光の反射率が均一化されるため、行方向配線２１および列方向配線３１が視認されることを抑制することが可能である。

＜実施の形態３＞
＜構成＞
本実施の形態におけるタッチスクリーンの下部電極２０および上部電極３０の構成は、実施の形態２（図１５）における配線の単位パターンを、円弧状とした点が異なる。

図１６に、本実施の形態における行方向配線２１、列方向配線３１、行方向ダミー配線３３および列方向ダミー配線２２に共通する単位パターンを示す。

本実施の形態における配線の単位パターンは、互いに交差するＳ字状の配線と、Ｓ字状の配線の交差点を中心とした円状の配線により構成される。Ｓ字状の配線を構成する円弧の半径はｒであり、円状の配線の半径はＲである。

なお、単位パターンの行方向の間隔Ｐ１および列方向の間隔Ｐ２を２００μｍとした。また、円弧の半径rを１００μｍ、円状の配線の半径Ｒを８０μｍとした。

図１７に、行方向配線２１と列方向配線３１が平面視で重なる領域周辺における下部電極２０の平面図を示す。図１７は、図１１の配線の単位パターンを、図１６に示した円弧状の単位パターンで置き換えたものである。

断線部２１ｃによって、行方向配線２１、フローティング電極２１ａ、列方向ダミー配線２２のそれぞれの領域が分離されて、断線されている。また、各フローティング電極２１ａは、３本の断線部２１ｂによって、長手方向、即ち列方向に分離されて断線されている。それ以外の構成は図１１と同じであるため、説明を省略する。また、図１８は、図１７における領域Ｄの拡大図である。

図１９に、行方向配線２１と列方向配線３１が平面視で重なる領域周辺における上部電極３０の平面図を示す。図１９は、図１３のメッシュ状の配線の単位パターンを、図１６に示した円弧状の単位パターンで置き換えたものである。それ以外の構成は図１３と同じであるため、説明を省略する。また、図２０は、図１９における領域Ｅの拡大図である。

図２１に、行方向配線２１と列方向配線３１が平面視で重なる領域周辺における下部電極２０と上部電極３０の平面図を示す。なお、図２１において、図の見易さのために断線部３３ａは省略されている。図２１は、図１５において、配線の単位パターンを、図１６の単位パターンに置き代えたものである。また、図１５では、フローティング電極２１ａを列方向に分断する断線部２１bは１本であったが、図２１では３本である。それ以外の構成は図１５と同じであるため、説明を省略する。

なお、本実施の形態において、配線を構成する導線の幅は３μｍ、断線部２１ｂ，２１ｃ，３３ａの断線幅は、１０μｍである。

なお、本実施の形態において、単位パターンのＳ字状配線を、行方向に対して４５°傾いた方向および行方向に対して反対方向に４５°傾いた方向に延びるように設けたが、行方向および列方向に延びるように設けても良い。

本発明の効果を確認するために、本実施の形態におけるタッチスクリーンと、実施の形態２におけるタッチスクリーンを作製し、それぞれに相互容量型の検出回路を装着して、指によるタッチ検出を行った。本実施の形態におけるタッチスクリーンでも、実施の形態２におけるタッチスクリーンと同じく、タッチ位置の位置座標を正確に検出することができた。

また、タッチスクリーンの視認性を確認するために、照度８００００ｌｕｘの直射日光下で、本実施の形態におけるタッチスクリーンと、実施の形態２におけるタッチスクリーンを目視したところ、本実施の形態におけるタッチスクリーンは、配線の反射光によるギラツキがより軽減されていた。これは、配線の単位パターンを円弧状としたことで、様々な方向に反射光が反射されるためである。

＜効果＞
本実施の形態におけるタッチスクリーンにおいて、メッシュ状の配線は、単位パターンの繰り返しで構成され、当該単位パターンは、少なくとも一部に円弧状の配線を含むことを特徴とする。

従って、実施の形態２で述べた効果に加えて、単位パターンの一部を円弧状の配線にすることによって、単位パターンが直線状である場合と比較して、様々な方向に外光を散乱させることができるため、外光の反射によるギラツキを抑制することが可能である。

また、本実施の形態におけるタッチスクリーンにおいて、メッシュ状の配線は、単位パターンで構成され、当該単位パターンは、全ての配線が円弧状の配線により形成されることを特徴とする。

従って、全ての配線を円弧状とすることによって、より効果的に、様々な方向に外光を散乱させることができるため、外光の反射によるギラツキをより抑制することが可能である。

また、本実施の形態におけるタッチスクリーンにおいて、メッシュ状の配線は、単位パターンで構成され、当該単位パターンは、互いに交差するＳ字状の配線と、当該Ｓ字状配線の交差点を中心とした円状の配線とを備えることを特徴とする。

従って、円状の配線によって、さらに効果的に、様々な方向に外光を散乱させることができるため、外光の反射によるギラツキをさらに抑制することが可能である。

なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。

＜実施の形態４＞
実施の形態１の形態においては各配線層の深さの違いに起因する反射光の違いが生じて表示不良を引き起こしうるため、その対策として、実施の形態２においては行方向配線２１の上層の上部電極３０として行方向ダミー配線３３をさらに配置し、かつ、列方向配線３１の下層に下部電極２０として列方向ダミー配線２２をさらに配置した。ここで、行方向ダミー配線３３のメッシュと列方向ダミー配線２２のメッシュとは、各々、行方向配線２１のメッシュと列方向配線３１のメッシュと相補的にずれて重なることにより、行方向配線２１と列方向配線３１との外光の反射率を均一化できる効果を奏していた。

しかし、実施の形態２の形態においても、照度８００００ｌｕｘの直射日光下で目視したところ、行方向配線２１、列方向配線３１、フローティング電極２１ａそれぞれがブロックパターンのように視認されるという表示品質の低下が生じる場合があった。特に、フローティング電極２１ａが、ブロックパターンとして視認されやすい。

発明者がその原因を鋭意解析したところ、以下のようなメカニズムの推定に至った。すなわち、実施の形態２のように、断線部３３ａの断線間隔を埋めるように断線部２１ｂ、２１ｃに導線を配置し、かつ、断線部２１ｂ、２１ｃの断線間隔を埋めるように断線部３３ａに導線を配置した構造は、外光の反射率を均一化することにより断線部の視認を低減する効果を奏するが、上層の導線が下層の導線を乗り上げる際に生じる段差による反射光を均一化するとは限らないのである。

後で詳細に説明するが、行方向配線２１や列方向配線３１において下部電極２０を上部電極３０が乗り上げる際に生じる段差の数よりも、フローティング電極２１ａにおける同様の段差の数の方が多い構造の場合、フローティング電極２１ａは他の領域に比べてより反射光が視認されやすくなる。

（比較例）
従来の問題点を明確にするために、実施の形態４に係るタッチスクリーンの構造の説明の前にまず比較例における構造について説明する。図２２に、下部電極２０および上部電極３０の平面図を示す。図２２は実施の形態２で用いた図１５と基本的に同じ図面であるが、拡大図として図示した領域として領域Ｆ、Ｇ、Ｊを規定している。ここで、領域Ｆとは、断線部２１ｂにより分割されたフローティング電極２１ａを含む領域である。また、領域Ｇは行方向配線２１と列方向配線３１とが平面視で相補的にずれて重なる領域である。さらに、領域Ｊは行方向配線２１と行方向ダミー配線３３とが平面視で相補的にずれて配置される領域である。

また、タッチスクリーン１は、透明なガラスや樹脂からなる透明基板１０と、透明基板１０の上に形成された下部電極２０と、透明基板１０の上に下部電極２０を覆うように形成された層間絶縁膜１１と、層間絶縁膜１１の上に形成された上部電極２０と、層間絶縁膜１１の上に上部電極３０を覆うように形成された保護膜１２とを備える点は、実施の形態２や３と同様である。

次に、比較例におけるタッチパネルの拡大図である図２３について説明する。図２３（ａ）は、図２２に示すタッチスクリーンの領域Ｆに相当する領域における拡大図である。同様に、図２３（ｂ）は、図２２に示すタッチスクリーンの領域Ｇに相当する領域における拡大図である。また、両方の図とも図１２と同様に、実線は下部電極２０と同層であり、点線は上部電極３０と同層であることを示している。

次に、図２３における断面構造を示した図２４について説明する。図２４（ａ）は、図２３（ａ）に示すＦ１−Ｆ２領域の断面の一部を示した図である。図２４（ｂ）は、図２３（ａ）に示すＦ３−Ｆ４領域の断面の一部を示した図である。図２４（ｃ）は、図２３（ｂ）に示すＧ１−Ｇ２領域の断面の一部を示した図である。図２４（ｄ）は、図２３（ｂ）に示すＧ３−Ｇ４領域の断面の一部を示した図である。また、行方向配線２１と列方向配線３１の構造は、領域Ｇと同一であるため、構造に関する説明を省略する。

図２４（ａ）と（ｂ）では、行方向配線２０と同じ層に形成される第１フローティング電極と列方向配線３０と同じ層に形成される第２フローティング電極とが交差している状況を示している。なお、これ以降、特に行方向配線２０と同じ層に形成される第１フローティング電極のことをフローティング電極２１ａと称呼し、列方向配線３０と同じ層に形成される第２フローティング電極はフローティング電極３１ａと称呼して区別することとする。また、実施の形態２と同様に、フローティング電極２１ａとフローティング電極３１ａとはメッシュ状で互いに平面視で相補的にずれており交差部を有する。さらに、フローティング電極２１ａのうち、特に断線部２１ｂにおける部分を断線部フローティング電極２１ａと称呼することがある。同様に、フローティング電極３１ａのうち、特に断線部３３ａにおける部分を断線部フローティング電極３１ａと称呼することがある。

図２４（ａ）において、フローティング電極２１ａは断線部２１ｂを介して分断されている。より詳しくは、断線部フローティング電極２１ａの両端にそれぞれ離間部を介して端部を有するフローティング電極２１ａが形成されている。それらを覆うようにして形成される層間絶縁膜１１上に断線部フローティング電極３１ａが形成されている。断線部フローティング電極２１ａの線分としての方向は、その両端にあるフローティング電極２１ａの線分としての方向とは異なっており、フローティング電極３１ａ（図２４に記載の断線部フローティング電極３１ａを除く）の線分としての方向と同じ方向である。また、同様に図２４に記載の断線部フローティング電極３１ａの線分としての方向は、図２４に記載のフローティング電極２１ａ（図２４中央に記載の断線部フローティング電極２１ａを除く）の線分としての方向と同じ方向である。これにより相補的に継ぎ目の無いメッシュが形成される。なお、このような構造に関連する内容は特開２０１０−２７７３９２号公報にも記載がある。

ここで、断線部フローティング電極３１ａは断線部２１ｂで途切れている箇所を横断するように形成されているため、断線部フローティング電極３１ａは下層のフローティング電極２１ａに乗り上げる部位を有することになる。図２４（ａ）ではこの部位を段差Ｈとして示しているが、合計４箇所生じることとなる。具体的には、断線部フローティング電極２１ａの両端で２箇所、断線部フローティング電極２１ａの両端とそれぞれ離間部を介した端部を有するフローティング電極２１ａの当該端部で２箇所の計４箇所である。

一方、図２４（ｂ）では、断線部フローティング電極２１ａの上層に層間絶縁膜１１を介して断線部フローティング電極３１ａが交差するように形成されており、断線部フローティング電極３１ａの両端で離間部を介して形成されるフローティング電極３１ａが各々、断線部フローティング電極２１ａの両端の２箇所に乗り上げている。これにより、断線部フローティング電極２１ａの両端２箇所で段差Ｈが生じている。ここで、図２４（ａ）と図２４（ｂ）とは図２３で示すようにフローティング電極２１ａとフローティング電極３１ａとの一つの交差部をＦ１−Ｆ２、Ｆ３−Ｆ４で見た断面図であるため、結局一つの交差部における段差Ｈの数は計６箇所となる。

図２４（ｃ）（ｄ）は行方向配線２１と列方向配線３１とが単純に交差している状況を示している。図２４（ｄ）に示すように、一つの交差部での段差Ｈの数は計２箇所となる。したがって、領域Ｇよりも領域Ｆの方が一つの交差部における段差Ｈの数が多いことになる。段差Ｈが多いと段差Ｈの側面部からの反射光も増大するため、結果的に領域Ｇと領域Ｆとの間で反射光量の差異が生じ、ブロックパターンとして視認されやすくなる。
＜構成＞

本実施の形態４におけるタッチスクリーンの構成は、実施の形態２及び３における層間絶縁膜１１の表面が平坦化されて形成されていることを特徴とする。層間絶縁膜１１の表面を平坦化することにより、上部電極３０やフローティング電極３１ａが下部電極２０やフローティング電極２１ａを乗り上げる段差Ｈ自体を無くすことができる。層間絶縁膜１１の表面を平坦化するには、例えばＳＯＧを塗布した後に焼成してもよいし、絶縁膜を形成した後にエッチバック等の手段により表面を平坦化してもよい。

本実施の形態４に係るタッチスクリーンの断面図を図２５に示す。図２５（ａ）は、図２２に示すタッチスクリーン１の領域Ｆの拡大図２３（ａ）に示すＦ１−Ｆ２領域の断面の一部を示した図である。図２５（ｂ）は、図２２に示すタッチスクリーン１の領域Ｆの拡大図２３（ａ）に示すＦ３−Ｆ４領域の断面の一部を示した図である。図２５（ｃ）は、図２２に示すタッチスクリーン１の領域Ｇの拡大図２３（ｂ）に示すＧ１−Ｇ２領域の断面の一部を示した図である。図２５（ｄ）は、図２２に示すタッチスクリーン１の領域Ｇの拡大図２３（ｂ）に示すＧ３−Ｇ４領域の断面の一部を示した図である。図２５（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）で示すように、フローティング電極２１ａや断線部フローティング電極２１ａを覆う層間絶縁膜１１の表面は平坦化されており、層間絶縁膜１１上のフローティング電極３１ａが乗り上げる部位を有さず段差Ｈも生じていない。そのため、段差Ｈに起因する反射光の不均一も生じないこととなり、視認性が向上する。

また、層間絶縁膜１１の厚みを最適化することによりより一層視認性を向上させることができる。ここで、０．３μｍの厚みを有する下部電極２０上に液状の絶縁材料を塗布することにより表面が平坦化された層間絶縁膜１１を形成する場合において、層間絶縁膜１１の厚みと視認性との関係を図２６に示す。層間絶縁膜の膜厚を１．５ｕｍ以上にすることにより、層間絶縁膜１１の表面はより平坦化されることがわかる。絶縁材料の粘度等にも影響されるが、層間絶縁膜１１の厚みは下部電極２０の厚みのおおむね３倍以上あると良く、５倍以上で効果は飽和することがわかる。

本実施の形態４に係るタッチスクリーン１は、透明なガラスや樹脂からなる透明基板１０と、透明基板１０の上に形成された下部電極２０と、透明基板１０の上に下部電極２０を覆うように形成されてその表面が平坦化された層間絶縁膜１１と、表面が平坦化された層間絶縁膜１１の上に形成された上部電極３０と、層間絶縁膜１１の上に上部電極３０を覆うように形成された保護膜１２とを備える。
＜効果＞

本発明によれば、下部電極２０を上部電極３０が乗り上げる際に生じる段差Ｈを抑制することにより、下部電極２０を上部電極３０が乗り上げる際に生じる段差Ｈでの反射光を抑えることができるので、段差Ｈによる反射光の不均一を生じうる実施の形態２、３の形態と比較して、視認性を向上させることができる。
＜実施の形態５＞
＜構成＞

本実施の形態５におけるタッチスクリーンの下部電極２０および上部電極３０の構成は、実施の形態４と同じく、実施の形態２及び３において生じうる段差Ｈによる反射光の不均一を改善するためのものであるが、実施の形態４のような平坦化膜を使用しないものである。具体的には、断線部２１ｂ、２１ｃ、３３ａにおいて、下部電極２０と上部電極３０が重ならない、もしくは、微小の隙間を空ける程度に導線を配置することで、層間絶縁膜１１の段差Ｈの数を低減するものである。これにより、上部電極３０を設ける際に生じる段差Ｈを抑制することができる。以下、図２８を用いてより具体的に説明する。

図２８の断面構造について説明する。図２８（ａ）は、図２２に示すタッチスクリーン１の領域Ｆの拡大図２７（ａ）に示すＦ５−Ｆ６領域の断面の一部を示した図である。図２８（ｂ）は、図２２に示すタッチスクリーン１の領域Ｆの拡大図２７（ａ）に示すＦ７−Ｆ８領域の断面の一部を示した図である。図２８（ｃ）は、図２２に示すタッチスクリーン１の領域Ｊの拡大図２７（ｂ）に示すＨ１−Ｈ２領域の断面の一部を示した図である。図２８（ｄ）は、図２２に示すタッチスクリーン１の領域Ｊの拡大図２７（ｂ）に示すＨ３−Ｈ４領域の断面の一部を示した図である。

図２８（ａ）では断線部フローティング電極３１ａが、断線部フローティング電極２１ａ上を横断するように形成されているため、断線部フローティング電極２１ａの両端部において２箇所の段差Ｈを生じている。ここで、断線部フローティング電極２１ａと離間部を介して端部を有するフローティング電極２１ａの端部には、断線部フローティング電極３１ａは乗り上げていない。言い換えれば、断線部フローティング電極２１ａの長さと各離間部の和である断線部２１ｂの範囲よりも断線部フローティング電極３１ａの長さの方が短い。したがって、断線部フローティング電極３１ａの両端には、いずれの電極も形成されずに光が透過する領域である微小な隙間が存在することとなる。また、先に説明した図２４（ａ）との相違点としては、図２４（ａ）においては、断線部フローティング電極２１ａの長さと各離間部の和である断線部２１ｂの範囲よりも断線部フローティング電極３１ａの長さの方が長い点がある。

図２８（ｂ）でも同様に、断線部フローティング電極３１ａの長さと各離間部の和である断線部３３ａの範囲よりも断線部フローティング電極２１ａの長さの方を短くしている。そのため、図２４（ｂ）では２箇所あった段差Ｈの数はここではゼロとなっている。断線部フローティング電極２１ａの両端には、いずれの電極も形成されずに光が透過する領域である微小な隙間が存在する点も図２８（ａ）と同様である。図２８（ａ）、（ｂ）から、実施の形態５に係るタッチパネルの領域Ｆ内の一つの交差部における段差Ｈの数は２箇所となり、図２４における６箇所から大幅に減らすことができる。これにより、段差Ｈに起因する反射光の増大を防止でき、視認性を向上することができる。

次に図２８（ｃ）を説明する。領域Ｊは下層の行方向配線２１と上層の行方向ダミー配線３３とが平面視で相補的にずれて重なっている領域である。図２８（ｃ）においては、行方向配線２１の上層の層間絶縁膜１１を介して行方向ダミー配線３３が形成されている。ここでは段差Ｈの数はゼロである。一方で、図２８（ｄ）では行方向配線２１のパターン端部に行方向ダミー配線３３が乗り上げている。したがって、領域Ｊ内の一つの交差部における段差Ｈの数は計２箇所である。図２８（ｃ）、（ｄ）においては行方向配線２１と行方向ダミー配線３３とが重なる領域Ｊについて説明したが、逆に列方向配線３１と列方向ダミー配線２２とが平面視で相補的に重なる領域においても段差Ｈの数を２箇所とすることができる。

一つの交差部における段差Ｈの数が２箇所というのは、領域Ｇの段差Ｈの数である２箇所と同じである。さらに、図２８（ａ）、（ｂ）に示す構造をとる場合、領域Ｆ内の交差部における段差Ｈの数も２箇所にすることができるため、領域ごとの段差Ｈの数の相違に起因する反射光の均一性を向上することができ、より一層視認性が向上することとなる。また、本実施の形態５では、断線部２１ｂ、２１ｃ、３３ａに微小の隙間が存在することになるが、表示光による断線部は目視では視認できないため、表示品質低下を起こすことはない。

なお、本実施の形態５に係るタッチスクリーン１においても、透明なガラスや樹脂からなる透明基板１０と、透明基板１０の上に形成された下部電極２０と、透明基板１０の上に下部電極２０を覆うように形成された層間絶縁膜１１と、層間絶縁膜１１の上に形成された上部電極２０と、層間絶縁膜１１の上に上部電極３０を覆うように形成された保護膜１２とを備えることは実施の形態２や３と同様である。
＜効果＞

本実施の形態５におけるタッチスクリーンにおいては、図２８（ａ）、（ｂ）に示すように、断線部２１ｂ、２１ｃ、３３ａにおいて、下部電極２０と上部電極３０が重ならない、もしくは、微小の隙間を空ける程度に導線を配置することを特徴とする。したがって、実施の形態２及び３と関連する図２４（ａ）、（ｂ）で示した段差Ｈの数を低減することができ、これにより反射光による表示品質低下を抑制でき、視認性を向上させることが可能である。
＜実施の形態６＞
＜構成＞

実施の形態５の領域Ｊでは、図２８（ｃ）（ｄ）に示すように、一つの交差部について段差Ｈの数が２箇所生じていた。しかし、実施の形態５の領域Ｆで示した微小の隙間を設けることにより、領域Ｊ内の交差部の段差Ｈの数も低減させることも可能である。図２９において、領域Ｊ内の一つの交差部あたりの段差Ｈの数を２箇所からゼロに低減した構造を示す。図２９（ａ）は、図２２に示すタッチスクリーン１の領域Ｊの拡大図２７（ｂ）に示すＨ１−Ｈ２領域の断面の一部を示した図である。図２９（ｂ）は、図２２に示すタッチスクリーン１の領域Ｊの拡大図２７（ｂ）に示すＨ３−Ｈ４領域の断面の一部を示した図である。

図２９（ａ）は図２８（ｃ）と同じであるため説明を省略するが、段差Ｈの数はゼロである。一方、図２９（ｂ）では実施の形態５の領域Ｆで示した微小の隙間を設けている。すなわち、行方向配線２１の上層にある行方向ダミー配線３３は断線部３３ａで分断されており、しかも下層の行方向配線２１に乗り上げる部位を有さない。したがって、行方向ダミー配線３３が乗り上げる段差Hの数もゼロになる。

これにより、図２４（ｄ）における段差Ｈの数をより低減することができ、反射光による表示品質低下を抑制でき、視認性を向上させることが可能である。また、この構造やそれに伴う効果については、列方向配線３１と列方向ダミー配線２２とが平面視で相補的に重なる領域においても同様であるため、説明は省略する。

本実施の形態６でも実施の形態５と同様、断線部２１ｂ、２１ｃ、３３ａに微小の隙間が存在することになるが、表示光による断線部目視は視認できないため、表示品質低下を起こすことはない。なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。

例えば、上層と下層とは適宜入れ替えても良い。また、上部電極３０が下部電極２０を乗り上げる際には交差部の中央に対して対称性を有している場合のみ説明したため、段差Hの数は常に偶数であったが偶数以外でもよい。例えば、一方のみ乗り上げて他の一方は乗り上げないようにすることにより段差Hの数を奇数とすることも可能である。段差Ｈの数を奇数とした場合、両方とも乗り上げない構造に比べて、断線部近辺の微小な隙間が低減することになるので、隙間の光漏れと段差Ｈの反射光との問題を両方解決できる最適な構造をとることができる。

１ タッチスクリーン、１０ 透明基板、１１ 層間絶縁膜、１２ 保護膜、
２０ 下部電極、２１ 行方向配線、２１ａ フローティング電極、２１ｂ，２１ｃ、３３ａ 断線部、３０ 上部電極、３１ 列方向配線、３１ａ フローティング電極、３３ 行方向ダミー配線

Claims (4)

1. 行方向配線と列方向配線の上下２層からなるメッシュ状の配線パターンで覆われたタッチスクリーンであって、
   前記行方向配線もしくは前記列方向配線は、交差部分において線幅が狭くなっており、
   前記行方向配線もしくは前記列方向配線は、
   前記行方向配線と前記列方向配線が平面視で接する領域に隣接して設けられたフローティング電極を備え、
   前記フローティング電極は周囲の配線から絶縁されて、前記フローティング電極を分断する断線部を備え、かつ、前記フローティング電極は
   前記行方向配線と同じ層に形成される前記メッシュ状の第１フローティング電極と、
   前記列方向配線と同じ層に形成される前記メッシュ状の第２フローティング電極とを備え、
   平面視で列方向配線と同じ領域内に、前記行方向配線と同じ層に形成される前記メッシュ状の列方向ダミー配線と、
   平面視で行方向配線と同じ領域内に、前記列方向配線と同じ層に形成される前記メッシュ状の行方向ダミー配線と、
   を備え、
   前記行方向配線のメッシュと前記列方向配線のメッシュが、平面視で相補的にずれて配置され、
   前記列方向配線のメッシュと前記列方向ダミー配線のメッシュが、平面視で相補的にずれて配置され、
   前記行方向配線のメッシュと前記行方向ダミー配線のメッシュが、平面視で相補的にずれて配置され、
   前記第１フローティング電極のメッシュと前記第２フローティング電極のメッシュが、平面視で相補的にずれて配置され
   ていることを特徴とするタッチスクリーン。
2. 前記行方向配線と前記列方向配線との間には層間絶縁膜が形成されており、
   前記層間絶縁膜の表面は平坦化されている
   ことを特徴とする、請求項１に記載のタッチスクリーン。
3. 前記断線部においては、
   前記第１フローティング電極と前記第２フローティング電極のうち、より上層にある一方は、より下層にある他方に乗り上げる部位を有さない
   ことを特徴とする、請求項１に記載のタッチスクリーン。
4. 前記断線部における一つの交差部において、
   前記第１フローティング電極と前記第２フローティング電極のうち、より上層にある一方が、より下層にある他方に乗り上げる段差の数と、
   前記行方向配線と前記列方向配線とが平面視で重なる領域における一つの交差部において、
   前記行方向配線と前記列方向配線のうち、より上層にある一方の配線が、より下層にある他方の配線に乗り上げる段差の数と、
   平面視で前記列方向配線と同じ領域における一つの交差部において、
   前記列方向配線と前記列方向ダミー配線のうち、より上層にある一方の配線が、より下層にある他方の配線に乗り上げる段差の数と、
   平面視で前記行方向配線と同じ領域における一つの交差部において、
   前記行方向配線と前記行方向ダミー配線のうち、より上層にある一方の配線が、より下層にある他方の配線に乗り上げる段差の数とが相等しい
   ことを特徴とする、請求項１に記載のタッチスクリーン。

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