JP6028770B2 - 温度センサ - Google Patents
温度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6028770B2 JP6028770B2 JP2014152724A JP2014152724A JP6028770B2 JP 6028770 B2 JP6028770 B2 JP 6028770B2 JP 2014152724 A JP2014152724 A JP 2014152724A JP 2014152724 A JP2014152724 A JP 2014152724A JP 6028770 B2 JP6028770 B2 JP 6028770B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature sensor
- glass
- modulus
- sealing body
- young
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 60
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 50
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 12
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 12
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 claims description 4
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 claims description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 4
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052839 forsterite Inorganic materials 0.000 description 2
- HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N magnesium orthosilicate Chemical compound [Mg+2].[Mg+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011195 cermet Substances 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K1/00—Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
- G01K1/08—Protective devices, e.g. casings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Description
特許文献1の温度センサにおいては、セラミック材料からなるタブレットと、ガラス材料からなるガラス封止体という線膨張係数の異なる2つの部品を接合している。そのため、温度センサにおいて、温度変化が生じるとタブレットとガラス封止体との間に熱応力が生じるおそれがある。
該感温素子と電気的に接続された一対の素子電極線と、
上記感温素子と上記一対の素子電極線の一部とを覆うガラス封止体と、
上記一対の素子電極線をそれぞれ挿通する一対の挿通孔を備えたタブレットとを備えており、
上記ガラス封止体は、上記感温素子を覆う封止部と、上記封止部を形成する材料のヤング率よりも小さいヤング率を有する材料からなり上記タブレットにおける上記ガラス封止体と接合される接合面と上記封止部との間の少なくとも一部を繋ぐ低ヤング率層とを有していることを特徴とする温度センサにある。
上記温度センサにかかる実施例について、図1〜図3を参照して説明する。
図1〜図3に示すごとく、温度センサ1は、温度を検出するための感温素子2と、感温素子2と電気的に接続された一対の素子電極線21と、感温素子2と一対の素子電極線21の一部とを覆うガラス封止体3と、一対の素子電極線21をそれぞれ挿通する一対の挿通孔41を備えたタブレット4とを備えている。ガラス封止体3は、感温素子2を覆う封止部31と、封止部31を形成する材料のヤング率よりも小さいヤング率を有する材料からなりタブレット4におけるガラス封止体3と接合される接合面42の全面に接合される低ヤング率層32とを有している。
図1及び図2に示すごとく、本例において、一対の素子電極線21の軸方向Xにおける感温素子2が配置された側を先端側とし、感温素子2から一対の素子電極線21が延びる方向を基端側とする。
また、図1〜図3に示す温度センサ1において、低ヤング率層32及び一対の挿通孔41の形状は誇張して描いたものである(図4〜図6も同様である)。
封止部31は、鉛を含有せず、かつ酸化ホウ素を添加した無鉛ホウケイ酸ガラスによって形成されている。また、封止部31における線膨張係数αgは、αg=8.5×10−6/℃であり、ヤング率E1は、81GPaに設定してある。封止部31は、感温素子2と、一対の素子電極線21の先端側とを覆うように形成されている。尚、封止部31の外周表面311と感温素子2との間の封止部厚さtは、0.4mm≦t≦3mmの関係を満たしている。
本例の温度センサ1においては、ガラス封止体3が低ヤング率層32を形成することにより、ガラス封止体3とタブレット4との間における熱応力を抑制することができる。すなわち、低ヤング率層32は、ガラス封止体3に比べて、ヤング率の小さい材料、つまり弾性の大きい材料によって形成されている。したがって、ガラス封止体3とタブレット4との間に線膨張差が生じても、低ヤング率層32が変形することにより、両者の間に生じる熱応力を緩和することができる。
本例は、図4及び図5に示すごとく、実施例1における温度センサの構造を一部変更したものである。
図4に示した温度センサ1においては、低ヤング率層32がタブレット4の外周縁421に沿うように円環状に形成されている。
また、図5に示した温度センサ1においては、低ヤング率層32がタブレット4の一対の挿通孔41の周囲から、一対の素子電極線21の周囲を覆うように形成されている。
その他の構成は実施例1と同様である。尚、本例又は本例に関する図面において用いた符号のうち、実施例1において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り、実施例1と同様の構成要素等を表す。
また、本例においても実施例1と同様の作用効果を得ることができる。
本例は、図6に示すごとく、実施例1における温度センサの構造を一部変更したものである。
本例の温度センサ1において、低ヤング率層32における軸方向の厚さは、約1mmとなるように形成されている。また、低ヤング率層32の内部には、複数の気泡321が形成されている。
その他の構成は実施例1と同様である。尚、本例又は本例に関する図面において用いた符号のうち、実施例1において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り、実施例1と同様の構成要素等を表す。
また、本例においても実施例1と同様の作用効果を得ることができる。
2 感温素子
21 素子電極線
3 ガラス封止体
31 封止部
32 低ヤング率層
4 タブレット
41 挿通孔
42 接合面
Claims (7)
- 温度を検出するための感温素子(2)と、
該感温素子(2)と電気的に接続された一対の素子電極線(21)と、
上記感温素子(2)と上記一対の素子電極線(21)の一部とを覆うガラス封止体(3)と、
上記一対の素子電極線(21)をそれぞれ挿通する一対の挿通孔(41)を備えたタブレット(4)とを備えており、
上記ガラス封止体(3)は、上記感温素子(2)を覆う封止部(31)と、上記封止部(31)を形成する材料のヤング率よりも小さいヤング率を有する材料からなり上記タブレット(4)における上記ガラス封止体(3)と接合される接合面(42)と上記封止部(31)と間の少なくとも一部を繋ぐ低ヤング率層(32)とを有していることを特徴とする温度センサ(1)。 - 上記低ヤング率層(32)は、上記タブレット(4)の上記接合面(42)の全面に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の温度センサ(1)。
- 上記低ヤング率層(32)を形成する材料のヤング率が50GPa以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の温度センサ(1)。
- 上記低ヤング率層(32)は、鉛を含有する鉛ガラスによって形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の温度センサ(1)。
- 上記ガラス封止体(3)は、ガラスに酸化ホウ素を添加したホウケイ酸ガラスによって形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の温度センサ(1)。
- 上記ガラス封止体(3)は、鉛を含有しない無鉛ガラスによって形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の温度センサ(1)。
- 上記一対の素子電極線(21)は、白金又はイリジウムを含有した白金合金によって形成されており、白金合金におけるイリジウムの含有量Aは、0wt%<A≦20wt%であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の温度センサ(1)。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014152724A JP6028770B2 (ja) | 2014-07-28 | 2014-07-28 | 温度センサ |
US14/810,596 US9945732B2 (en) | 2014-07-28 | 2015-07-28 | Temperature sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014152724A JP6028770B2 (ja) | 2014-07-28 | 2014-07-28 | 温度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016031258A JP2016031258A (ja) | 2016-03-07 |
JP6028770B2 true JP6028770B2 (ja) | 2016-11-16 |
Family
ID=55166534
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014152724A Active JP6028770B2 (ja) | 2014-07-28 | 2014-07-28 | 温度センサ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9945732B2 (ja) |
JP (1) | JP6028770B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6292148B2 (ja) | 2014-07-31 | 2018-03-14 | 株式会社デンソー | 温度センサ |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5861457A (ja) * | 1981-10-07 | 1983-04-12 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | pH計センサ |
JPH01191026A (ja) * | 1988-01-27 | 1989-08-01 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 湯中等で用いるサーミスタの耐冷熱衝撃構造 |
JP3806434B2 (ja) * | 2004-04-01 | 2006-08-09 | 株式会社芝浦電子 | 高温用サーミスタ |
JP2009092487A (ja) * | 2007-10-08 | 2009-04-30 | Denso Corp | 温度センサ及びその製造方法 |
JP5346867B2 (ja) * | 2010-04-09 | 2013-11-20 | 日本特殊陶業株式会社 | サーミスタ素子及び温度センサ |
JP5304718B2 (ja) * | 2010-04-26 | 2013-10-02 | 株式会社デンソー | 温度センサ |
JP5847517B2 (ja) | 2011-09-28 | 2016-01-20 | 株式会社芝浦電子 | 水素充填システム |
JP2013189332A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 焼結体、焼結体の製造方法および温度センサ |
JP2016029357A (ja) | 2014-07-24 | 2016-03-03 | 株式会社デンソー | 温度センサ |
JP6292148B2 (ja) | 2014-07-31 | 2018-03-14 | 株式会社デンソー | 温度センサ |
-
2014
- 2014-07-28 JP JP2014152724A patent/JP6028770B2/ja active Active
-
2015
- 2015-07-28 US US14/810,596 patent/US9945732B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160025574A1 (en) | 2016-01-28 |
JP2016031258A (ja) | 2016-03-07 |
US9945732B2 (en) | 2018-04-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9228987B2 (en) | Gas sensor | |
US9156676B2 (en) | Sensor with isolated diaphragm | |
JP4760558B2 (ja) | 温度センサ | |
JP6028770B2 (ja) | 温度センサ | |
JP5618310B1 (ja) | 高温用温度センサ | |
US20200149977A1 (en) | Rapid response sensor housing | |
JP5205180B2 (ja) | 温度センサ用感温体 | |
JP2016029357A (ja) | 温度センサ | |
JP6292148B2 (ja) | 温度センサ | |
JP5651670B2 (ja) | 圧力検知ユニット | |
JP6239899B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP2021156692A (ja) | ガス濃度センサ | |
JPWO2017073274A1 (ja) | 圧力検出装置 | |
JP5859133B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2010025760A (ja) | 半導体センサ | |
JPWO2018025434A1 (ja) | 圧力センサおよび圧力センサモジュール | |
JP2011247670A (ja) | 疲労度検出ひずみゲージ | |
JP6761438B2 (ja) | 温度センサ | |
JP2010147227A (ja) | 電子デバイスパッケージ | |
JP6752556B2 (ja) | 熱電対の取り付け構造及び熱電対の取り付け方法 | |
JP2010210549A (ja) | 温度センサ | |
JP5767196B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP5955049B2 (ja) | マイクロガスセンサ | |
TWM507059U (zh) | 改良式薄膜熱敏電阻 | |
JP2016100535A5 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160909 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160920 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161003 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6028770 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |