JP6028770B2 - 温度センサ - Google Patents

温度センサ Download PDF

Info

Publication number
JP6028770B2
JP6028770B2 JP2014152724A JP2014152724A JP6028770B2 JP 6028770 B2 JP6028770 B2 JP 6028770B2 JP 2014152724 A JP2014152724 A JP 2014152724A JP 2014152724 A JP2014152724 A JP 2014152724A JP 6028770 B2 JP6028770 B2 JP 6028770B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature sensor
glass
modulus
sealing body
young
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014152724A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016031258A (ja
Inventor
元樹 佐藤
元樹 佐藤
堀 恒円
恒円 堀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2014152724A priority Critical patent/JP6028770B2/ja
Priority to US14/810,596 priority patent/US9945732B2/en
Publication of JP2016031258A publication Critical patent/JP2016031258A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6028770B2 publication Critical patent/JP6028770B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K1/00Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
    • G01K1/08Protective devices, e.g. casings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/16Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)

Description

本発明は、温度センサに関する。
自動車をはじめ種々の装置には、特許文献1に示されたような温度センサが用いられている。特許文献1の温度センサは、温度を検出するサーミスタ素子と、セラミック材料からなるタブレットと、ガラス材料からなるガラス封止部とを有している。ガラス封止部は、サーミスタ素子の周囲を覆うと共に、タブレットの端面に接合されている。
特開2013−72769号公報
しかしながら、特許文献1の温度センサには以下の課題がある。
特許文献1の温度センサにおいては、セラミック材料からなるタブレットと、ガラス材料からなるガラス封止体という線膨張係数の異なる2つの部品を接合している。そのため、温度センサにおいて、温度変化が生じるとタブレットとガラス封止体との間に熱応力が生じるおそれがある。
本発明は、かかる背景に鑑みてなされたものであり、熱応力の発生を抑制することができる温度センサを提供しようとするものである。
本発明の一態様は、温度を検出するための感温素子と、
該感温素子と電気的に接続された一対の素子電極線と、
上記感温素子と上記一対の素子電極線の一部とを覆うガラス封止体と、
上記一対の素子電極線をそれぞれ挿通する一対の挿通孔を備えたタブレットとを備えており、
上記ガラス封止体は、上記感温素子を覆う封止部と、上記封止部を形成する材料のヤング率よりも小さいヤング率を有する材料からなり上記タブレットにおける上記ガラス封止体と接合される接合面と上記封止部との間の少なくとも一部を繋ぐ低ヤング率層とを有していることを特徴とする温度センサにある。
上記温度センサにおいては、上記ガラス封止体が上記低ヤング率層を形成することにより、上記ガラス封止体と上記タブレットとの間における熱応力を抑制することができる。すなわち、上記低ヤング率層は、上記ガラス封止体に比べて、ヤング率の小さい材料、つまり弾性の大きい材料によって形成されている。したがって、上記ガラス封止体と上記タブレットとの間に線膨張差が生じても、上記低ヤング率層が変形することにより、両者の間に生じる熱応力を緩和することができる。
以上のごとく、上記温度センサによれば、熱衝撃に対する強度を向上することができる。
実施例1における、温度センサを示す説明図。 図1における、II−II矢視断面図。 図1における、III−III矢視断面図。 実施例2における、温度センサの一例を示す説明図(図1における、III−III矢視断面図相当)。 実施例2における、温度センサの他の例を示す説明図(図1における、III−III矢視断面図相当)。 実施例3における、温度センサを示す説明図。
上記温度センサにおいて、上記低ヤング率層は、上記タブレットの上記接合面の全面に形成されていることが好ましい。この場合には、上記低ヤング率層の形成範囲を拡大することにより、上記温度センサに生じる熱応力をより低減することができる。
また、上記低ヤング率層を形成する材料のヤング率は、50GPa以上であることが好ましい。この場合には、上記低ヤング率層における、熱応力低減効果と強度とを確保することができる。また、上記低ヤング率層を形成する材料のヤング率は、100GPa以下であることがより好ましい。この場合には、上記低ヤング率層における弾性の低下を抑制することができる。
また、上記低ヤング率層は、鉛を含有する鉛ガラスによって形成されていることが好ましい。この場合には、上記ガラス封止体に上記低ヤング率層を容易に形成することができる。
また、上記ガラス封止体は、ガラスに酸化ホウ素を添加したホウケイ酸ガラスによって形成されていることが好ましい。この場合には、上記ガラス封止体の耐熱衝撃性能を向上し、上記ガラス封止体の損傷を抑制することができる。
また、上記ガラス封止体は、鉛を含有しない無鉛ガラスによって形成されていることが好ましい。この場合には、上記ガラス封止体の強度を容易に向上することができる。
(実施例1)
上記温度センサにかかる実施例について、図1〜図3を参照して説明する。
図1〜図3に示すごとく、温度センサ1は、温度を検出するための感温素子2と、感温素子2と電気的に接続された一対の素子電極線21と、感温素子2と一対の素子電極線21の一部とを覆うガラス封止体3と、一対の素子電極線21をそれぞれ挿通する一対の挿通孔41を備えたタブレット4とを備えている。ガラス封止体3は、感温素子2を覆う封止部31と、封止部31を形成する材料のヤング率よりも小さいヤング率を有する材料からなりタブレット4におけるガラス封止体3と接合される接合面42の全面に接合される低ヤング率層32とを有している。
以下、さらに詳細に説明する。
図1及び図2に示すごとく、本例において、一対の素子電極線21の軸方向Xにおける感温素子2が配置された側を先端側とし、感温素子2から一対の素子電極線21が延びる方向を基端側とする。
また、図1〜図3に示す温度センサ1において、低ヤング率層32及び一対の挿通孔41の形状は誇張して描いたものである(図4〜図6も同様である)。
本例の温度センサ1は、燃料電池自動車の水素タンクに用いられるものである。水素タンクへ水素を充填する際に、タンク内の温度を検出することにより、水素の充填速度を制御し、充填時間の短縮を図っている。
感温素子2は、測温抵抗体からなり、互いに平行に配設された一対の素子電極線21によって挟まれた状態で固定されている。
一対の素子電極線21は、白金合金からなり、軸方向Xに延びる円柱状に形成されている。白金合金は、Pt(白金)を基材として、Ir(イリジウム)を含有しており、Irの含有量Aは、A=20wt%とした。したがって、Irの含有量Aは、0wt%<A≦20wt%の関係を満たしている。また、一対の素子電極線21における線膨張係数αrは、αr=8.4×10−6/℃であり、ヤング率E4は201GPaである。尚、本例においては、一対の素子電極線21を白金合金としたが、純白金によって形成してもよい。
タブレット4は、フォルステライトを基材とするセラミックス材料を略円柱状に形成したものであり、軸方向Xにおいて貫通形成された一対の挿通孔41を備えている。一対の挿通孔41は、素子電極線21の直径よりも一回り大きく形成されており、各挿通孔41にそれぞれ素子電極線21を挿通可能に構成されている。タブレット4におけるヤング率E3は、150GPaである。尚、タブレットの材料としては、フォルステライトが最も好ましいが、アルミナ、ムライト、ジルコニア、イットリア、サーメット、サファイア、ステアタイト等のセラミック材料を用いてもよい。
図1及び図2に示すごとく、ガラス封止体3は、感温素子2を覆う封止部31と、封止部31とタブレット4とを繋ぐ低ヤング率層32とを有している。
封止部31は、鉛を含有せず、かつ酸化ホウ素を添加した無鉛ホウケイ酸ガラスによって形成されている。また、封止部31における線膨張係数αgは、αg=8.5×10−6/℃であり、ヤング率E1は、81GPaに設定してある。封止部31は、感温素子2と、一対の素子電極線21の先端側とを覆うように形成されている。尚、封止部31の外周表面311と感温素子2との間の封止部厚さtは、0.4mm≦t≦3mmの関係を満たしている。
低ヤング率層32は、鉛を含有する鉛ガラスからなり、タブレット4におけるガラス封止体3との接合面42の全面に略円板状に形成されている。軸方向における低ヤング率層32の厚さは、0.2mmとなるように形成してある。本例においては、一対の挿通孔41の内周縁411から一対の素子電極線21の外周までの範囲においても低ヤング率層32が形成されている。また、低ヤング率層32のヤング率E2は、52GPaに設定してある。したがって、封止部31のヤング率E1と低ヤング率層32のヤング率E2とは、E1>E2の関係を有している。
次に、本例の作用効果について説明する。
本例の温度センサ1においては、ガラス封止体3が低ヤング率層32を形成することにより、ガラス封止体3とタブレット4との間における熱応力を抑制することができる。すなわち、低ヤング率層32は、ガラス封止体3に比べて、ヤング率の小さい材料、つまり弾性の大きい材料によって形成されている。したがって、ガラス封止体3とタブレット4との間に線膨張差が生じても、低ヤング率層32が変形することにより、両者の間に生じる熱応力を緩和することができる。
温度センサ1において、低ヤング率層32は、ガラス封止体3の封止部31とタブレット4の接合面42の全面に形成されている。そのため、低ヤング率層32において、封止部31とタブレット4との間に生じる線膨張差を効率良く緩和し、温度センサ1に生じる熱応力をより低減することができる。
また、低ヤング率層32を形成する材料のヤング率は50GPa以上である。そのため、低ヤング率層32における、熱応力低減効果と強度とを確保することができる。
また、低ヤング率層32は、鉛を含有する鉛ガラスによって形成されている。そのため、ガラス封止体3に低ヤング率層32を容易に形成することができる。
また、ガラス封止体3は、ガラスに酸化ホウ素を添加したホウケイ酸ガラスによって形成されている。そのため、ガラス封止体3の耐熱衝撃性能を向上し、ガラス封止体3の損傷を抑制することができる。
また、ガラス封止体3は、鉛を含有しない無鉛ガラスによって形成されている。そのため、ガラス封止体3の強度を容易に向上することができる。
また、一対の素子電極線21は、イリジウムを含有した白金合金によって形成されており、イリジウムの含有量Aは、0wt%<A≦20wt%である。そのため、ガラス封止体3の線膨張係数と、一対の素子電極線21における線膨張係数とを近づけ、線膨張差によるガラス封止体3の損傷を抑制することができる。また、一対の素子電極線21の強度を容易に向上することができる。
以上のごとく、本例の温度センサ1によれば、熱衝撃に対する強度を向上することができる。
(実施例2)
本例は、図4及び図5に示すごとく、実施例1における温度センサの構造を一部変更したものである。
図4に示した温度センサ1においては、低ヤング率層32がタブレット4の外周縁421に沿うように円環状に形成されている。
また、図5に示した温度センサ1においては、低ヤング率層32がタブレット4の一対の挿通孔41の周囲から、一対の素子電極線21の周囲を覆うように形成されている。
その他の構成は実施例1と同様である。尚、本例又は本例に関する図面において用いた符号のうち、実施例1において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り、実施例1と同様の構成要素等を表す。
本例においては、ガラス封止体3とタブレット4との間において、特に熱応力が生じやすいタブレット4の外周縁421及び挿通孔41の内周縁411にそれぞれ低ヤング率層32を形成してある。これにより、低ヤング率層32の形成範囲を小さくしながら、熱応力を効果的に抑制することができる。尚、必要に応じて、図4及び図5に示すごとく、タブレット4の外周縁421及び挿通孔41の内周縁411にそれぞれ低ヤング率層32を形成してもよいし、これらを組み合わせてもよい。
また、本例においても実施例1と同様の作用効果を得ることができる。
(実施例3)
本例は、図6に示すごとく、実施例1における温度センサの構造を一部変更したものである。
本例の温度センサ1において、低ヤング率層32における軸方向の厚さは、約1mmとなるように形成されている。また、低ヤング率層32の内部には、複数の気泡321が形成されている。
その他の構成は実施例1と同様である。尚、本例又は本例に関する図面において用いた符号のうち、実施例1において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り、実施例1と同様の構成要素等を表す。
本例の温度センサ1においては、低ヤング率層32の内部に複数の気泡を形成することにより、低ヤング率層32におけるヤング率をより低下させることができる。これにより、低ヤング率層32によって、より効果的に熱応力を低減することができる。
また、本例においても実施例1と同様の作用効果を得ることができる。
1 温度センサ
2 感温素子
21 素子電極線
3 ガラス封止体
31 封止部
32 低ヤング率層
4 タブレット
41 挿通孔
42 接合面

Claims (7)

  1. 温度を検出するための感温素子(2)と、
    該感温素子(2)と電気的に接続された一対の素子電極線(21)と、
    上記感温素子(2)と上記一対の素子電極線(21)の一部とを覆うガラス封止体(3)と、
    上記一対の素子電極線(21)をそれぞれ挿通する一対の挿通孔(41)を備えたタブレット(4)とを備えており、
    上記ガラス封止体(3)は、上記感温素子(2)を覆う封止部(31)と、上記封止部(31)を形成する材料のヤング率よりも小さいヤング率を有する材料からなり上記タブレット(4)における上記ガラス封止体(3)と接合される接合面(42)と上記封止部(31)と間の少なくとも一部を繋ぐ低ヤング率層(32)とを有していることを特徴とする温度センサ(1)。
  2. 上記低ヤング率層(32)は、上記タブレット(4)の上記接合面(42)の全面に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の温度センサ(1)。
  3. 上記低ヤング率層(32)を形成する材料のヤング率が50GPa以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の温度センサ(1)。
  4. 上記低ヤング率層(32)は、鉛を含有する鉛ガラスによって形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の温度センサ(1)。
  5. 上記ガラス封止体(3)は、ガラスに酸化ホウ素を添加したホウケイ酸ガラスによって形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の温度センサ(1)。
  6. 上記ガラス封止体(3)は、鉛を含有しない無鉛ガラスによって形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の温度センサ(1)。
  7. 上記一対の素子電極線(21)は、白金又はイリジウムを含有した白金合金によって形成されており、白金合金におけるイリジウムの含有量Aは、0wt%<A≦20wt%であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の温度センサ(1)。
JP2014152724A 2014-07-28 2014-07-28 温度センサ Active JP6028770B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014152724A JP6028770B2 (ja) 2014-07-28 2014-07-28 温度センサ
US14/810,596 US9945732B2 (en) 2014-07-28 2015-07-28 Temperature sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014152724A JP6028770B2 (ja) 2014-07-28 2014-07-28 温度センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016031258A JP2016031258A (ja) 2016-03-07
JP6028770B2 true JP6028770B2 (ja) 2016-11-16

Family

ID=55166534

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014152724A Active JP6028770B2 (ja) 2014-07-28 2014-07-28 温度センサ

Country Status (2)

Country Link
US (1) US9945732B2 (ja)
JP (1) JP6028770B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6292148B2 (ja) 2014-07-31 2018-03-14 株式会社デンソー 温度センサ

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5861457A (ja) * 1981-10-07 1983-04-12 Yokogawa Hokushin Electric Corp pH計センサ
JPH01191026A (ja) * 1988-01-27 1989-08-01 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 湯中等で用いるサーミスタの耐冷熱衝撃構造
JP3806434B2 (ja) * 2004-04-01 2006-08-09 株式会社芝浦電子 高温用サーミスタ
JP2009092487A (ja) * 2007-10-08 2009-04-30 Denso Corp 温度センサ及びその製造方法
JP5346867B2 (ja) * 2010-04-09 2013-11-20 日本特殊陶業株式会社 サーミスタ素子及び温度センサ
JP5304718B2 (ja) * 2010-04-26 2013-10-02 株式会社デンソー 温度センサ
JP5847517B2 (ja) 2011-09-28 2016-01-20 株式会社芝浦電子 水素充填システム
JP2013189332A (ja) * 2012-03-13 2013-09-26 Ngk Spark Plug Co Ltd 焼結体、焼結体の製造方法および温度センサ
JP2016029357A (ja) 2014-07-24 2016-03-03 株式会社デンソー 温度センサ
JP6292148B2 (ja) 2014-07-31 2018-03-14 株式会社デンソー 温度センサ

Also Published As

Publication number Publication date
US20160025574A1 (en) 2016-01-28
US9945732B2 (en) 2018-04-17
JP2016031258A (ja) 2016-03-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9228987B2 (en) Gas sensor
US9156676B2 (en) Sensor with isolated diaphragm
JP6256605B2 (ja) 圧電デバイス
JP4760558B2 (ja) 温度センサ
JP6028770B2 (ja) 温度センサ
JP5618310B1 (ja) 高温用温度センサ
JP5205180B2 (ja) 温度センサ用感温体
JP2016029357A (ja) 温度センサ
JP6292148B2 (ja) 温度センサ
JP5651670B2 (ja) 圧力検知ユニット
CN107076619B (zh) 快速响应传感器外壳
JPWO2017073274A1 (ja) 圧力検出装置
JP6239899B2 (ja) ガスセンサ
JP2010025760A (ja) 半導体センサ
JPWO2018025434A1 (ja) 圧力センサおよび圧力センサモジュール
JP2011247670A (ja) 疲労度検出ひずみゲージ
JP6761438B2 (ja) 温度センサ
JP6752556B2 (ja) 熱電対の取り付け構造及び熱電対の取り付け方法
JP2010210549A (ja) 温度センサ
JP5955049B2 (ja) マイクロガスセンサ
TWM507059U (zh) 改良式薄膜熱敏電阻
JP6265052B2 (ja) 物理量センサ
JP2016100535A5 (ja)
JP2016217964A (ja) 薄膜ガスセンサ
JP2021156692A (ja) ガス濃度センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160909

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160920

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20161003

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6028770

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250