JP6016710B2 - ターボ圧縮機およびそれを用いたターボ冷凍機 - Google Patents

Description

本発明は、羽根車が設けられている回転軸を磁気軸受により支持しているターボ圧縮機およびそれを用いたターボ冷凍機に関するものである。

ターボ圧縮機において、圧縮機内部での高圧側から低圧側への冷媒ガスの漏れ量を低減するため、様々なシール構造が採用されている。特許文献１には、羽根車の背面とケーシング側の静止壁間の隙間を、回転時に径方向に拡径される一方のシール部に設けられた環状突起と、それに対向する他方のシール部間において、一方のシール部を相対的に硬質となし、互いに接触しても軟質な部品が削れて磨耗や変形しないようにして実質的にゼロにできるようにしたものが開示されている。

しかし、羽根車を設けた回転軸をラジアル磁気軸受およびスラスト磁気軸受により支持しているターボ圧縮機の場合、ラジアル磁気軸受の軸受隙間が転がり軸受等に比べて大きくされているため、停止時の状態においてシール部の接触を回避するとともに、組立の容易性を確保するために、シール隙間を軸受隙間の小さい転がり軸受等を用いたものに比べて大きくしておく必要があり、シール部での漏れが相対的に増加してしまうという問題があった。

一方、特許文献２には、回転軸を磁気軸受により支持した遠心圧縮機において、羽根車とケーシング側に設けられたシュラウドとの間の軸方向隙間を制御するため、リング状のシュラウドを軸方向に移動可能に設け、羽根車とシュラウド間の軸方向隙間を変位センサで検出して初期隙間と比較し、電磁石の吸引力でシュラウドを駆動することにより、両者間の軸方向隙間を最適な初期隙間に制御できるようにしたものが開示されている。

特開２００４−２４５２１１号公報 特開平６−２７２６９８号公報

しかしながら、上記特許文献１，２に開示されたものでは、軸受隙間が大きくなる磁気軸受を用いて回転軸を支持するターボ圧縮機において、羽根車の背面とケーシングとの間のシール隙間を小さくし、その隙間からのガス漏れを低減して圧縮機の効率を向上させるには限界があった。つまり、特許文献１に開示されているように、シール部を回転軸と平行方向に設けたものでは、ラジアル磁気軸受の軸受隙間が大きくなることから、径方向に形成されるシール隙間を小さくすることは困難であった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、スラスト磁気軸受が持つ回転軸の軸方向位置制御機能を用い、羽根車の背面側のケーシングとの間のシール隙間を可及的に小さくしてガス漏れを低減し、圧縮効率の向上を図ったターボ圧縮機およびそれを用いたターボ冷凍機を提供することを目的とする。

上記した課題を解決するために、本発明のターボ圧縮機およびそれを用いたターボ冷凍機は、以下の手段を採用する。
すなわち、本発明にかかるターボ圧縮機は、羽根車が設けられた回転軸がラジアル磁気軸受およびスラスト磁気軸受を介して支持されているターボ圧縮機において、前記羽根車の背面側における回転部分とケーシング間のシール部を、前記ケーシングの静止壁を挟んで反羽根車側の固定シール面と、その固定シール面に対向する前記羽根車側に設けられた回転部材の回転シール面間においてラジアル方向に形成するとともに、前記スラスト磁気軸受による前記回転軸の軸方向位置制御機能を用い、前記羽根車または前記回転軸の軸方向位置を検出してその位置を制御し、前記シール部のスラスト方向隙間を前記ラジアル磁気軸受の軸受隙間に対応した過渡運転時の隙間と、それよりも小さい定常運転時の隙間とに切換える制御部を備えていることを特徴とする。

本発明によれば、羽根車の背面側における回転部分（羽根車の背面または回転軸の外周面等）とケーシング間のシール部を、ケーシングの静止壁を挟んで反羽根車側の固定シール面と、その固定シール面に対向する羽根車側に設けられた回転部材の回転シール面間においてラジアル方向に形成していることから、羽根車、すなわち回転軸を軸方向に移動することにより、シール隙間を可変することができる一方、スラスト磁気軸受による回転軸の軸方向位置制御機能を用いて回転軸の軸方向位置を制御できることから、圧縮機の運転状態に応じて、該シール部のスラスト方向隙間をラジアル磁気軸受の軸受隙間に対応した過渡運転時の隙間と、それよりも小さい定常運転時の隙間とに切換えることができる。従って、定常運転時以外は、該シール部が接触することのない磁気軸受が停止時の隙間に対応した大きいシール隙間とし、定常運転時には、ガス漏れを低減できる最小限の小さいシール隙間として運転することができ、当該シール部からのガス漏れを低減して、ターボ圧縮機の圧縮効率を向上することができる。

さらに、本発明のターボ圧縮機は、上記のターボ圧縮機において、前記シール部が、ラジアル方向に沿う鉛直面とされた前記固定シール面と前記回転シール面との間に形成され、前記ケーシングの前記静止壁の前記羽根車の背面と対向する面または前記回転部材の背面と対向する面に、前記羽根車または前記回転軸の軸方向位置を検出する検出手段が設置されていることを特徴とする。

本発明によれば、シール部が、ラジアル方向に沿う鉛直面とされた固定シール面と回転シール面との間に形成され、ケーシングの静止壁の羽根車の背面と対向する面または回転部材の背面と対向する面に、羽根車または回転軸の軸方向位置を検出する検出手段が設置されているため、羽根車の後方側にシール部を鉛直ラジアル方向に形成することで、シール部を軸方向の狭いスペースに納めて設けることができ、また、ケーシングの静止壁の羽根車の背面と対向する面または回転部材の背面と対向する面に、羽根車または回転軸の軸方向位置を検出する手段を設置することにより、羽根車または回転軸の近くでその軸方向位置を検出することができる。従って、圧縮機をその軸方向寸法を小さくして小型化することができるとともに、羽根車または回転軸の軸方向位置の検出精度を向上し、シール隙間の制御性を安定化することにより、ターボ圧縮機を高性能化することができる。

さらに、本発明のターボ圧縮機は、上記のターボ圧縮機において、前記シール部が、ラジアル方向に対して傾斜面とされた前記固定シール面と前記回転シール面との間に形成され、前記ケーシングの前記静止壁の前記羽根車の背面と対向する面または前記回転部材の背面と対向する面に、前記羽根車または前記回転軸の軸方向位置を検出する検出手段が設置されていることを特徴とする。

本発明によれば、シール部が、ラジアル方向に対して傾斜面とされた固定シール面と回転シール面との間に形成され、ケーシングの静止壁の羽根車の背面と対向する面または回転部材の背面と対向する面に、羽根車または回転軸の軸方向位置を検出する検出手段が設けられているため、羽根車の後方側にシール部をラジアル方向に斜めに形成することによって、シール部を軸方向の狭いスペースに納めて設けることができ、また、ケーシングの静止壁の羽根車の背面と対向する面または回転部材に対向する面に、羽根車または回転軸の軸方向位置を検出する手段を設置することにより、羽根車または回転軸の近くでその軸方向位置を検出することができる。従って、圧縮機をその軸方向寸法を小さくして小型化することができるとともに、羽根車または回転軸の軸方向位置の検出精度を向上し、シール隙間の制御性を安定化することにより、ターボ圧縮機を高性能化することができる。

さらに、本発明のターボ圧縮機は、上記のターボ圧縮機において、前記ラジアル方向に対して傾斜面とされた前記固定シール面または前記回転シール面の一方が、階段状の面とされていることを特徴とする。

本発明によれば、ラジアル方向に対して傾斜面とされた固定シール面または回転シール面の一方が、階段状の面とされているため、ラジアル方向に対して十分な隙間を確保しながら、羽根車および回転軸の軸方向への移動量を小さくしてスラスト方向隙間を詰めることができる。従って、スラスト磁気軸受による回転軸の軸方向移動量を小さくでき、シール隙間を増減する際の制御性を向上することができる。

さらに、本発明のターボ圧縮機は、上述のいずれかのターボ圧縮機において、前記羽根車がオープン型の羽根車の場合、前記羽根車と前記ケーシング側に設けられたシュラウド間に形成される隙間が、また、前記羽根車がクローズ型の羽根車の場合、前記羽根車側のシュラウドと前記ケーシング間に形成される隙間が、前記羽根車の背面側の前記シール部の隙間制御と同時に過渡運転時の隙間と定常運転時の隙間とに切換可能とされていることを特徴とする。

本発明によれば、羽根車がオープン型の羽根車の場合、羽根車とケーシング側に設けられたシュラウド間に形成される隙間が、また、羽根車がクローズ型の羽根車の場合、羽根車側のシュラウドとケーシング間に形成される隙間が、羽根車の背面側のシール部の隙間制御と同時に過渡運転時の隙間と定常運転時の隙間とに切換可能とされているため、羽根車の背面側のシール部の隙間だけでなく、シュラウド側の隙間をも同様に過渡運転時の隙間と定常運転時の隙間とに切換えることにより、過渡運転時、羽根車とシュラウドとの接触を防止できるとともに、定常運転時にその隙間を小さくし、シュラウド側の隙間からのガス漏れを低減することができる。従って、ターボ圧縮機の効率を一段と向上することができる。

さらに、本発明にかかるターボ冷凍機は、ターボ圧縮機、凝縮器、絞り装置、蒸発器から構成されるターボ冷凍機において、前記ターボ圧縮機が、上述のいずれかのターボ圧縮機とされていることを特徴とする。

本発明によれば、ターボ圧縮機、凝縮器、絞り装置、蒸発器から構成されるターボ冷凍機のターボ圧縮機が上述のいずれかのターボ圧縮機とされているため、高効率化された圧縮機を搭載することにより、ターボ冷凍機として能力の向上（ＣＯＰの向上）や安全運転領域の拡大を図ることができ、従って、ターボ冷凍機をより高性能化することができる。

本発明のターボ圧縮機およびターボ冷凍機によると、羽根車、すなわち回転軸を軸方向に移動することにより、シール隙間を可変することができる一方、スラスト磁気軸受による回転軸の軸方向位置制御機能を用いて回転軸の軸方向位置を制御できることから、圧縮機の運転状態に応じて、シール部のスラスト方向隙間をラジアル磁気軸受の軸受隙間に対応した過渡運転時の隙間と、それよりも小さい定常運転時の隙間とに切換えることができるため、定常運転時以外は、シール部が接触することのない磁気軸受が停止時の隙間に対応した大きいシール隙間とし、定常運転時には、シール隙間を最小限の小さい隙間として運転することができ、当該シール部からのガス漏れを低減し、ターボ圧縮機の圧縮効率を向上することができる。

本発明の第１実施形態に係るターボ圧縮機の全体構成図である。 図１に示すターボ圧縮機の要部の拡大断面図である。 本発明の第２実施形態に係るターボ圧縮機の要部の拡大断面図である。 図３に示すターボ圧縮機の変形例の拡大断面図である。

以下に、本発明にかかる実施形態について、図面を参照して説明する。
［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態について、図１および図２を用いて説明する。
図１には、本発明の第１実施形態に係るターボ圧縮機の全体構成図、図２には、その要部の拡大断面図が示されている。
ターボ圧縮機１は、ターボ冷凍機、ターボヒートポンプ等（以下、総称してターボ冷凍機という。）に適用されるものであり、凝縮器、絞り装置、蒸発器と共に公知の冷凍サイクルを構成し、低圧の冷媒ガスを高圧の冷媒ガスに圧縮することによって冷凍サイクル内を循環させる機能を担うものである。

ここでのターボ圧縮機１は、モータ２により回転され、２段の羽根車３，４を回転する回転軸５が、ケーシング６側に設置された前後一対のラジアル磁気軸受７，８と、互いに対向配置された一対のスラスト磁気軸受９，１０とによって支持されたターボ圧縮機１とされている。モータ２は、ロータ２Ａとステータ２Ｂを備え、ケーシング６のモータ室６Ａ側の中央部位に固定設置されており、そのロータ２Ａに回転軸５の略中央部が固定連結された構成とされている。

回転軸５の後端部には、スラストディスク１１が固定設置され、このスラストディスク１１を挟んで、一対のスラスト磁気軸受９，１０が所定のギャップを介して対向配置されている。この一対のスラスト磁気軸受９，１０は、コイルに供給される電流により磁気吸引力を発生し、その中央にスラストディスク１１を位置せしめることにより、回転軸５にかかるスラスト荷重を支持する構成とされている。従って、各コイルに供給される電流の分配を調節し、スラストディスク１１に対する各軸受９，１０の磁気吸引力を制御することにより、回転軸５の軸方向支持位置を任意の位置に制御できるものである。

ケーシング６の圧縮室６Ｂ側には、１段羽根車（単に、羽根車と称することもある。）３が配置された低段側圧縮部１２と、２段羽根車（単に、羽根車と称することもある。）４が配置された高段側圧縮部１３とからなる２段圧縮機構が内蔵され、吸入口１４から入口ベーン１５を介して吸込んだ低圧冷媒ガスを低段側圧縮部１２により圧縮し、その吐出ガスを高段側圧縮部１３により吸込み、高圧冷媒ガスに２段圧縮する構成とされている。各羽根車３，４は、回転軸５の前端側に直結され、モータ２によって回転駆動されるようになっている。

また、１段羽根車３および２段羽根車４は、シュラウド１６，１７が各羽根車３，４から分離され、それがケーシング６側に設けられた、いわゆるオープン型の羽根車とされており、このシュラウド１６，１７と各羽根車３，４間には、微小のシール隙間Ｓ（図２参照）が形成されている。同様に、１段羽根車３および２段羽根車４のハブ側の背面あるいは回転軸５の外周とケーシング６に設けられた静止壁６Ｃとの間にもシール部１８が設けられ、微小のシール隙間Ｔ（図２参照）が形成されている。なお、図２においては、２段羽根車４側のみが示されており、１段羽根車３側は省略されているが、１段羽根車３側にも同様のシール隙間Ｓ，Ｔが形成され、同様のシール部１８が設けられるものとする。

シール部１８は、本実施形態の場合、羽根車４のハブ側の背面とそれに対向する静止壁６Ｃ側の対向面の間ではなく、静止壁６Ｃを挟んで反羽根車４側に形成された固定シール面１９と、その固定シール面１９と対向するように、羽根車４側に設けられている回転部材２０に形成された回転シール面２１との間においてラジアル方向に形成されている。ここでは、固定シール面１９および回転シール面２１は、ラジアル方向に沿う鉛直面とされている。

このシール部１８の隙間Ｔは、ラジアル磁気軸受７，８が停止時に回転軸５が軸受隙間分だけ下方に落ちてもシール部１８のシール面同士が接触せず、また組立の容易性が確保されるようにラジアル方向に十分大きくされ、かつ回転軸５を前方側に移動することによりスラスト方向の隙間（以下、シール部１８のシール隙間Ｔとは、このスラスト方向の隙間を意味するものとする。）を制御（詰める）することが可能なように設定されている。なお、ラジアル磁気軸受７，８により回転軸５を支持しているターボ圧縮機１では、ラジアル磁気軸受７，８が故障時や停止時に回転軸５を支えるための補助軸受２２（図２参照）をラジアル磁気軸受７，８の近くに設置している。この補助軸受２２には、転がり軸受が用いられている。

回転軸５を上記の如くラジアル磁気軸受７，８およびスラスト磁気軸受９，１０で支持しているターボ圧縮機１では、磁気軸受の軸受剛性が転がり軸受等に比べて低く、軸受隙間（最大稼働隙間）が大きくされていることから、シール部１８のシール隙間Ｔや羽根車３，４とシュラウド１６，１７のシール隙間Ｓが互いの接触を避けるために、大きく設定される傾向があった。しかるに、これらのシール隙間ＴおよびＳは、圧縮ガスの漏れに影響し、圧縮効率を左右するため、可及的に小さくすることが望ましい。

そこで、本実施形態においては、上記シール隙間Ｔ，Ｓを出来るだけ小さくしてガス漏れを低減するため、回転軸５の軸方向位置を制御し、シール隙間Ｔ，Ｓを停止時あるいは過渡運転時の隙間Ｔ１，Ｓ１と、それよりも小さい定常運転時の隙間Ｔ２，Ｓ２と、に切換えできるようにしている。ここで、過渡運転時の隙間Ｔ１，Ｓ１は、例えば０．１ｍｍであり、定常運転時の隙間Ｔ２，Ｓ２は、例えば０．０２ｍｍである。このような隙間制御を可能とするため、回転軸５の軸方向位置を検知する手段であるギャップセンサ（スラスト方向変位センサ）２３を羽根車４のハブ側の背面と対向するケーシング６の静止壁６Ｃもしくは回転部材２０の背面と対向するブロック体２４の対向面に設けている。

なお、シール隙間Ｔ，Ｓは、同じ大きさである必要はなく、羽根車３，４とシュラウド１６，１７間のシール隙間Ｓをシール隙間Ｔより大きく設定しておき、回転軸５の移動により同じ大きさだけ隙間を詰めることができるものとしてもよい。この場合、回転軸５を移動して詰めた後の隙間Ｔ２，Ｓ２の大きさは、Ｔ２＜Ｓ２となる。但し、以下の説明においては、シール隙間Ｔ，Ｓは、同じものとして説明する。

また、ギャップセンサ２３で検知した回転軸５の軸方向位置が、停止時あるいは過渡運転時の隙間Ｔ１，Ｓ１に対応した位置または定常運転時の隙間Ｔ２，Ｓ２と対応した位置となるように、スラスト磁気軸受９，１０に供給する電流を分配制御する制御部２５が設けられている。制御部２５は、下記のような停止時あるいは過渡運転時に、その条件を検知して各スラスト磁気軸受９，１０に対する電流値を制御し、回転軸５を軸方向に移動してシール隙間Ｔ，ＳをＴ１，Ｓ１に制御可能な構成とされている。
（１）停止時
（２）起動、停止制御中（動作中）
（３）異常検知直後から完全停止までの間
（４）不安定運転状態（サージング）の間

同様に、制御部２５は、定常運転条件（ここでは、ターボ圧縮機１が規定（指示）回転数に対し、実回転数が±１．０％以内の安定領域に入った状態であって、上記過渡運転条件（１）ないし（４）に該当しない場合）を検知した時、スラスト磁気軸受９，１０に対する電流値を制御し、回転軸５を軸方向前方側に移動してシール隙間Ｔ，ＳをＴ２，Ｓ２に制御可能な構成とされている。

制御部２５により、スラスト磁気軸受９，１０を介して回転軸５の軸方向位置を上記の如く制御するため、スラスト磁気軸受９，１０の設置位置に対応して一対のギャップセンサ（スラスト方向変位センサ）２６，２７が、スラストディスク１１を挟むように設置されている。また、上記の隙間制御のため、ここでは、スラスト磁気軸受９，１０とスラストディスク１１間のギャップを検知するギャップセンサ２６，２７を、それぞれ基準ギャップの０．３ｍｍに設置し、上記隙間Ｓ，Ｔを隙間Ｓ１，Ｔ１とする際、スラストディスク１１を基準位置に制御し、隙間Ｓ２，Ｔ２とする際、スラストディスク１１、すなわち回転軸５を前方側に０．１ｍｍ移動させ、各々のギャップが、前方側０．２ｍｍ、後方側０．４ｍｍとなる軸方向位置に支持する構成としている。

以上に説明の構成により、本実施形態によれば、以下の作用効果を奏する。
ターボ圧縮機１が運転されると、モータ２により回転軸５を介して１段羽根車３および２段羽根車４がそれぞれ回転される。これにより、吸入口１４から入口ベーン１５を介して低圧の冷媒ガスが低段側圧縮部１２に吸込まれて圧縮され、更にその吐出ガスが高段側圧縮部１３により吸込まれ、高圧の冷媒ガスに２段圧縮されてターボ圧縮機１から外部に吐出される。

ここで、ターボ圧縮機１が上記（１）ないし（４）の如く過渡運転時には、制御部２５によりスラスト磁気軸受９，１０に対する電流が等しく分配され、スラストディスク１１がスラスト磁気軸受９，１０の中間位置に制御され、回転軸５もそれに対応した位置とされる。回転軸５の軸方向位置は、ギャップセンサ２３，２６，２７等で検知され、設定された位置に制御される。これによって、各羽根車３，４の背面とケーシング６の静止壁６Ｃとの間のシール部１８のシール隙間Ｔおよび各羽根車３，４とシュラウド１６，１７間の隙間Ｓは、シール面同士の接触を避けるために大きめとされた隙間Ｔ１，Ｓ１とされることになる。これは過渡運転時における不安定な圧力変動等により、回転軸５の位置が変動され易いためである。

一方、ターボ圧縮機１の回転数が略目標の指示回転数に達し、定常運転状態に入ったことが検知されると、制御部２５は、各スラスト磁気軸受９，１０に対して供給する電流の分配値を変えることにより、スラストディスク１１および回転軸５を前方側に所定量だけ移動させる。これにより、各羽根車３，４の背面とケーシング６の静止壁６Ｃ間のシール部１８のシール隙間Ｔおよび各羽根車３，４とシュラウド１６，１７間の隙間Ｓは、隙間Ｔ１，Ｓ１よりも小さくされた隙間Ｔ２，Ｓ２に詰めた状態とされる。具体的には、隙間Ｔ，Ｓが０．１ｍｍから０．０２ｍｍとされ、それぞれの隙間Ｔ２，Ｓ２から低圧側に漏れる圧縮ガスの量を低減する。

斯くして、本実施形態によると、各羽根車３，４の背面とケーシング６間のシール部１８を、ケーシング６の静止壁６Ｃを挟んで反羽根車３，４側の固定シール面１９と、その固定シール面１９に対向する羽根車３，４側に設けられた回転部材２０の回転シール面２１間においてラジアル方向に形成していることから、各羽根車３，４、すなわち回転軸５を軸方向に移動することにより、シール隙間Ｔを可変することができる一方、スラスト磁気軸受９，１０による回転軸５の軸方向位置制御機能を用いて回転軸５の軸方向位置を制御できることから、ターボ圧縮機１の運転状態に応じて、シール部１８のスラスト方向隙間Ｔをラジアル磁気軸受６，７の軸受隙間に対応した過渡運転時の隙間Ｔ１と、それよりも小さい定常運転時Ｔ２の隙間とに切換えることができる。

このため、定常運転時以外の過渡運転時には、シール部１８の隙間Ｔを固定シール面１９と回転シール面２１とが接触することのないラジアル磁気軸受６，７が停止時の隙間に対応した大きいシール隙間Ｔ１とし、定常運転時には、ガス漏れを低減できる最小限の小さいシール隙間Ｔ２として運転することができる。従って、当該シール部１８からのガス漏れを低減し、ターボ圧縮機１の圧縮効率を向上することができる。

また、上記シール部１８が、ラジアル方向に沿う鉛直面とされた固定シール面１９と回転シール面２１との間に形成され、ケーシング６の静止壁６Ｃの各羽根車３，４の背面と対向する面または回転部材２０に対向する面に、各羽根車３，４または回転軸５の軸方向位置を検出するギャップセンサ（軸方向位置検出手段）２３が設けられているため、シール部１８を各羽根車３，４の後方側に鉛直ラジアル方向に形成することにより、シール部１８を軸方向の狭いスペースに納めて設けることができ、また、ケーシング６の静止壁６Ｃの羽根車３，４の背面と対向する面または回転部材２０に対向する面に、羽根車３，４または回転軸５の軸方向位置を検出するギャップセンサ２３を設置することにより、羽根車３，４または回転軸５の近くでその軸方向位置を検出することができる。

これによって、ターボ圧縮機１をその軸方向寸法を小さくして小型化することができるとともに、各羽根車３，４または回転軸５の軸方向位置の検出精度を向上し、シール隙間Ｔの制御性を安定化することにより、ターボ圧縮機１を高性能化することができる。

さらに、本実施形態においては、オープン型の羽根車３，４とケーシング６側に設けられたシュラウド１６，１７間に形成される隙間Ｓが、羽根車３，４の背面側のシール部１８の隙間制御と同時に過渡運転時の隙間Ｓ１と定常運転時の隙間Ｓ２とに切換可能とされている。このため、羽根車３，４の背面側のシール部１８の隙間Ｔだけでなく、シュラウド１６，１７側の隙間Ｓをも同様に過渡運転時の隙間Ｓ１と定常運転時の隙間Ｓ２とに切換えることにより、過渡運転時、羽根車３，４とシュラウド１６，１７との接触を防止できるとともに、定常運転時にその隙間Ｓを小さくし、シュラウド１６，１７側の隙間Ｓ２からのガス漏れを低減することができる。従って、ターボ圧縮機１の効率を一段と向上することができる。

また、ターボ冷凍機に対して、上述のように高効率化されたターボ圧縮機１を搭載することにより、ターボ冷凍機として能力の向上やＣＯＰの向上を図ることができ、ターボ冷凍機をより高性能化することができる。

なお、本実施形態では、羽根車３，４または回転軸５の軸方向位置を検出する手段としてギャップセンサ２３を羽根車３，４の背面と対向する静止壁６Ｃまたは回転部材２０の背面と対向するブロック体２４の対向面に設けているが、このギャップセンサ２３をスラストディスク１１の前後に設けた一対のギャップセンサ２６，２７等によって代替してもよい。この場合、ギャップセンサ２６，２７は、低段側圧縮部１２および高段側圧縮部１３から離れて設けられており、回転軸５の熱膨張による影響を受けることから、熱膨張による軸長変化を演算して検出値を補正することが望ましい。

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について、図３および図４を用いて説明する。
本実施形態は、上記した第１実施形態に対して、シール部１８の固定シール面１９Ａおよび回転シール面２１Ａを傾斜面としている点が異なる。その他の点については、第１実施形態と同様であるので説明は省略する。
本実施形態においては、図３に示されるように、シール部１８を構成するケーシング６の静止壁６Ｃ側に設けられる固定シール面１９Ａおよび回転部材２０側に設けられる回転シール面２１Ａを、ラジアル方向に対して後方側に向って円錐状に拡がった平行な傾斜面としている。このようなシール面とすることにより、ラジアル方向に十分な隙間を確保しながら、スラスト方向の隙間を小さく設定することができる。

また、上記の如く傾斜面とした固定シール面１９Ａ、回転シール面２１Ａの一方、ここでは回転シール面２１Ａを、図４に示されるように、階段状の回転シール面２１Ｃとしてもよい。

上記のように、シール部１８を、ラジアル方向に対して傾斜面とされた固定シール面１９Ａと回転シール面２１Ａとの間に形成し、ケーシング６の静止壁６Ｃの羽根車３，４の背面と対向する面または回転部材２０の背面と対向する面に、羽根車３，４または回転軸５の軸方向位置を検出するギャップセンサ（軸方向位置検出手段）２３を設けた構成とすることにより、羽根車３，４の後方にシール部１８をラジアル方向に斜めに形成し、シール部１８を軸方向の狭いスペースに納めて設けることができる。また、ケーシング６の静止壁６Ｃの羽根車３，４の背面と対向する面または回転部材２０に対向する面に、羽根車３，４または回転軸５の軸方向位置を検出するギャップセンサ（軸方向位置検出手段）２３を設置することにより、羽根車３，４または回転軸５の近くでその軸方向位置を検出することができる。

このため、ターボ圧縮機１をその軸方向寸法を小さくして小型化することができるとともに、羽根車３，４または回転軸５の軸方向位置の検出精度を向上し、シール隙間Ｔ，Ｓの制御性を安定化することにより、ターボ圧縮機１をより高性能化することができる。
特に、傾斜面とされた固定シール面１９Ａまたは回転シール面２１Ａの一方の回転シール面２１Ａを、階段状の回転シール面２１Ｂとすることにより、ラジアル方向に対して十分な隙間を確保しながら、羽根車３，４および回転軸５の軸方向への移動量を小さくしてスラスト方向隙間Ｔ，Ｓを詰めることができる。このため、スラスト磁気軸受９，１０による回転軸５の軸方向移動量を小さくでき、シール隙間Ｔ，Ｓを増減する際の制御性を向上することができる。

なお、本発明は、上記実施形態にかかる発明に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、適宜変形が可能である。例えば、上記実施形態では、シュラウド１６，１７が各羽根車３，４から分離され、それがケーシング６側に設けられているオープン型の羽根車３，４を用いたターボ圧縮機１の例について説明したが、本発明は、シュラウドが各羽根車側に設けられているクローズ型の羽根車を用いたターボ圧縮機にも同様に適用でき、上記実施形態と同様の作用効果を得ることができる。ただし、この場合のシュラウド側のシール隙間Ｓは、羽根車３，４のシュラウドと、ケーシング６との間の隙間となる。

また、上記実施形態では、羽根車を２段に設けた２段ターボ圧縮機の例について説明したが、単段ターボ圧縮機あるいは３段以上の多段ターボ圧縮機にも同様に適用できることは云うまでもない。さらに、上記実施形態では、スラストディスク１１を回転軸５の後方端に設けた例について説明したが、モータ２と高段側圧縮部１３との間等において、圧縮部に接近させて設置してもよい。また、上記した実施形態において例示したシール部１８の隙間Ｔおよび羽根車３，４とシュラウド１６，１７間の隙間Ｓの具体的設定値やギャップセンサ２６，２７の具体的設定値は、仮定の設定値であって、実際の設計値ではないことに留意されたい。

１ ターボ圧縮機
３ １段羽根車（羽根車）
４ ２段羽根車（羽根車）
５ 回転軸
６ ケーシング
６Ｃ 静止壁
７，８ ラジアル磁気軸受
９，１０ スラスト磁気軸受
１１ スラストディスク
１６，１７ シュラウド
１８ シール部
１９，１９Ａ 固定シール面
２０ 回転部材
２１，２１Ａ，２１Ｂ 回転シール面
２３ ギャップセンサ（軸方向位置検出手段）
２５ 制御部
２６，２７ ギャップセンサ
Ｔ 隙間（スラスト方向隙間）
Ｓ 羽根車とシュラウド間の隙間

Claims (6)

1. 羽根車が設けられた回転軸がラジアル磁気軸受およびスラスト磁気軸受を介して支持されているターボ圧縮機において、
   前記羽根車の背面側における回転部分とケーシング間のシール部を、前記ケーシングの静止壁を挟んで反羽根車側の固定シール面と、その固定シール面に対向する前記羽根車側に設けられた回転部材の回転シール面間においてラジアル方向に形成するとともに、
   前記スラスト磁気軸受による前記回転軸の軸方向位置制御機能を用い、前記羽根車または前記回転軸の軸方向位置を検出してその位置を制御し、前記シール部のスラスト方向隙間を前記ラジアル磁気軸受の軸受隙間に対応した過渡運転時の隙間と、それよりも小さい定常運転時の隙間とに切換える制御部を備えていることを特徴とするターボ圧縮機。
2. 前記シール部が、ラジアル方向に沿う鉛直面とされた前記固定シール面と前記回転シール面との間に形成され、前記ケーシングの前記静止壁の前記羽根車の背面と対向する面または前記回転部材の背面と対向する面に、前記羽根車または前記回転軸の軸方向位置を検出する検出手段が設置されていることを特徴とする請求項１に記載のターボ圧縮機。
3. 前記シール部が、ラジアル方向に対して傾斜面とされた前記固定シール面と前記回転シール面との間に形成され、前記ケーシングの前記静止壁の前記羽根車の背面と対向する面または前記回転部材の背面と対向する面に、前記羽根車または前記回転軸の軸方向位置を検出する検出手段が設置されていることを特徴とする請求項１に記載のターボ圧縮機。
4. 前記ラジアル方向に対して傾斜面とされた前記固定シール面または前記回転シール面の一方が、階段状の面とされていることを特徴とする請求項３に記載のターボ圧縮機。
5. 前記羽根車がオープン型の羽根車の場合、前記羽根車と前記ケーシング側に設けられたシュラウド間に形成される隙間が、また、前記羽根車がクローズ型の羽根車の場合、前記羽根車側のシュラウドと前記ケーシング間に形成される隙間が、前記羽根車の背面側の前記シール部の隙間制御と同時に過渡運転時の隙間と定常運転時の隙間とに切換可能とされていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のターボ圧縮機。
6. ターボ圧縮機、凝縮器、絞り装置、蒸発器から構成されるターボ冷凍機において、
   前記ターボ圧縮機が、請求項１ないし５のいずれかに記載のターボ圧縮機とされていることを特徴とするターボ冷凍機。
   

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