JP6006961B2 - 超高圧水銀ランプおよびこれを備えた紫外線照射装置 - Google Patents
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Description
定電力制御電源に接続されて使用され、
密閉され所定の容積を備えるバルブ部を有し
前記バルブ部内に同軸上に対向するよう所定の電極間距離をもって配置される陽極および陰極を備え、
さらに200〜330Wのランプ定格を有する主に紫外線を放射する超高圧水銀ランプであって、
前記バルブ部内に、少なくとも水銀およびキセノンガスが封入され、
前記水銀の封入量が、前記容積1ccあたり30〜40mgの範囲であり、
前記キセノンガスの封入圧が、0.1〜5.0atmの範囲であり、
前記電極間距離は、2.2〜2.4mmの範囲であり、
点灯時のランプ電流値が5.0A〜7.0Aの範囲であることを特徴とする超高圧水銀ランプである。
本発明に係る第2の観点による超高圧水銀ランプは、そのランプ定格が200W〜330Wの範囲であることを前提とする。さらに、第3の観点による超高圧水銀ランプは、前記したランプ定格に応じた定電力電源により制御されることにより実現される。本発明者は多数の実証実施を繰り返し、以下に掲げる超高圧水銀ランプを構成する技術要素を特定するものである。
本発明に係る超高圧水銀ランプのバルブに封入される水銀量は、以下のとおり定義される。
超高圧水銀ランプのバルブ内に、一般的に封入されるキセノン、アルゴン、クリプトン等の希ガスのうち、本発明に係る超高圧水銀ランプが、キセノンガスを取り上げて封入する技術的意義を以下に述べる。
本発明に係る超高圧ランプのバルブに封入されるキセノンガスのガス圧は、以下のとおり定義される。すなわち、キセノンガスは、0.1atm〜5.0atmの範囲とすることがより好ましい。キセノンガス圧は、365nm付近の波長域の光強度を高める観点より見ると、前記した範囲においては封入圧が高いほど、光強度が高くなる傾向を示す。
電極間距離は、バルブ内に同軸上に対向して配設される陽極と陰極の両先端部間の距離を指す。
発明者は、多数の実証実施により、本発明に係る超高圧水銀ランプの点灯時電流値が、ランプの光強度維持率に大きな影響を及ぼすことを見出した。すなわち、本発明に係る点灯時電流値は、5.0A〜7.0Aの範囲に収まるよう超高圧水銀ランプを構成することが好ましい。定電力制御の電源を用いて、この超高圧水銀ランプを点灯する場合、上記した範囲の電流値における点灯を実現するようランプ点灯時電圧を水銀量、希ガス圧、電極間距離により制御することが必要である。
本発明に係る所定強度とは、周辺露光装置に搭載される光源に設けられる導光体の入射面における、周辺露光装置の作動に最小限求められる超高圧水銀ランプの紫外線強度であり、設計寿命内において維持されなければならない光強度である。
本発明に係る超高圧水銀ランプにおける光強度維持率とは、周辺露光装置に搭載される光源に設けられ超高圧水銀ランプの輝点を第一焦点とする集光楕円ミラーにおいて、その光を受光し外部の被照射物に光を伝導する導光体の入射面が設けられる第二焦点における、所定時間使用後、具体的には、設計寿命時間使用時点での365nm付近の波長域および/または248nm付近の波長域の紫外線強度とそれぞれの波長域における初期強度を比したものであり、高い光強度の維持率とは、一例として、3000時間経過後の365nm付近の波長域の場合、約72%(比較例1;約50%)であり、248nm付近の波長域の場合、約59%(比較例1:約32%)であることを意味する。
2.紫外線照射装置の構成(各実施形態に共通)
3.第一の実施形態
4.比較例1
5.比較例2
6.考察
7.第二の実施形態
8.第三の実施形態
9.第四の実施形態
10.第五の実施形態
11.ランプのまとめ
12.第六の実施形態(紫外線照射装置)
<1.超高圧水銀ランプの構成>
本発明に係る超高圧水銀ランプの全体構成を、その概略構成図である図1を用いて説明する。
次に、本発明に係る紫外線照射装置の全体構成を、その概略構成図である図2を用いて説明する。
本発明による超高圧水銀ランプとして、本実施形態に係るランプ30の構成は、以下のとおりである。
バルブ部容積あたりの水銀封入量:36mg/cc
封入キセノンガス圧:0.2atm
電極間距離:2.3mm
上記により構成されるランプ30を、紫外線照射装置100に取付け、電源制御部23よりランプ30に所定電力:約249Wを掛けて点灯させた。この点灯させたランプ30の点灯時電流値をクランプテスタ(CL220:横河メータ&インスルメンツ株式会社製)を用いて計測したこところ、その値は、6.3Aであった。
次に従来の技術に基づく超高圧水銀ランプの比較検証のため、ランプ50として以下の構成を用いた。このランプ50は、248nm付近の波長域の初期強度を重視して、水銀封入量を比較的少なくし、封入ガスとしてアルゴンガスを採用したものである。
バルブ部容積あたりの水銀封入量:30mg/cc
封入アルゴンガス圧:0.26atm
電極間距離:2.0mm
上記により構成されるランプ50を、紫外線照射装置100に取付け、電源制御部23よりランプ50に所定電力:250Wを掛けて点灯させた。
本発明の実証実施の過程において確認された比較例2をランプ51として以下の構成とした。
バルブ部容積あたりの水銀封入量:20mg/cc
封入アルゴンガス圧:0.26atm
電極間距離:2.3mm
上記により構成されるランプ51を、紫外線照射装置100に取付け、電源制御部23よりランプ51に所定電力:250Wを掛けて点灯させた。
ここで、第一の実施形態、比較例1、および比較例2の測定結果を対比すると、それぞれの波長域における3000時間経過後の紫外線強度の実測値に大きな差が観測された。第一の実施形態は、点灯開始時点の紫外線強度が248nm付近では比較例1および比較例2よりも、365nm付近では比較例1よりも低いにも拘わらず、3000時間後の紫外線強度は波長域の双方において比較例1および比較例2よりも高いことが観測された。
本発明による超高圧水銀ランプとして、この第二の実施形態に係るランプ31の構成は、以下のとおりである。このランプ31は、第一の実施形態におけるランプ30と比較して、キセノンガスの封入ガス圧を高くしている。
バルブ部容積あたりの水銀封入量:36mg/cc
封入キセノンガス圧:5.0atm
電極間距離:2.3mm
上記により構成されるランプ31を、紫外線照射装置100に取付け、電源制御部23よりランプ31に所定電力:250Wを掛けて点灯させた。
本発明による超高圧水銀ランプとしてこの第三の実施形態に係るランプ32の構成は、以下のとおりである。このランプ32は、第一の実施形態におけるランプ30と比較して、電極間距離を拡げている。
バルブ部容積あたりの水銀封入量:36mg/cc
封入キセノンガス圧:0.2atm
電極間距離:2.4mm
上記により構成されるランプ32を、紫外線照射装置100に取付け、電源制御部23よりランプ32に所定電力:250Wを掛けて点灯させた。
本発明による超高圧水銀ランプとしてこの第四の実施形態に係るランプ33の構成は、以下のとおりである。このランプ33は、第一の実施形態におけるランプ30と比較して、ランプ定格を増大して300Wとし、水銀封入量を増している。
バルブ部容積あたりの水銀封入量:40mg/cc
封入キセノンガス圧:0.2atm
電極間距離:2.3mm
上記により構成されるランプ33を、紫外線照射装置100に取付け、電源制御部23よりランプ33に所定電力:300Wを掛けて点灯させた。
本発明による超高圧水銀ランプとしてこの第五の実施形態に係るランプ34の構成は、以下のとおりである。このランプ34は、第一の実施形態におけるランプ30と比較して、ランプ定格を下げて200Wとしている。
バルブ部容積あたりの水銀封入量:36mg/cc
封入キセノンガス圧:0.2atm
電極間距離:2.3mm
上記により構成されるランプ34を、紫外線照射装置100に取付け、電源制御部23よりランプ34に所定電力:200Wを掛けて点灯させた。
従来は248nm付近および365nm付近の光強度を所定強度以上に長時間維持するための方法として、一般的に初期光強度を高める手法が取られてきたが光強度維持率の低下により十分な寿命延長の効果は得られなかった。今回、第一〜第五の実施形態および比較例1、2の結果から光強度維持率と電流値に相関があることが確認された(図19、図20)。この結果より電流値を7.0A以下とすることで3000時間経過後の光強度維持率を248nm付近においては約50%以上、365nm付近においては約60%以上で維持できることが可能であり、電流値7.0A以下を満たす範囲内で水銀封入量やキセノンガス封入圧、電極間距離の設定を行なうことで3000時間以上の長寿命化を実現できることが確認された。
本発明に係る紫外線照射装置を、第六の実施形態として以下説明する。この紫外線照射装置は、<2.紫外線照射装置の構成>による紫外線照射装置100のうち、定電力を供給するとした電源・制御部23を、供給電力を電圧又は電流により変動可能なものと置き換え、さらに点灯時間に応じて、適宜、供給電力を増減できるプログラム制御機能を加えて紫外線照射装置101とし、本発明による超高圧水銀ランプとして、第一の実施形態によるランプ30を取り付けて構成した。
11・・・・・・バルブ部
12a・・・・・陽極
12b・・・・・陰極
13・・・・・・封止部
14・・・・・・電気伝導箔
15・・・・・・外部リード
100・101・・・・紫外線照射装置
Claims (7)
- 定電力制御電源に接続されて使用され、
密閉され所定の容積を備えるバルブ部を有し
前記バルブ部内に同軸上に対向するよう所定の電極間距離をもって配置される陽極および陰極を備え、
さらに所定のランプ定格を有する主に紫外線を放射する超高圧水銀ランプであって、
前記バルブ部内に、少なくとも水銀およびキセノンガスが封入され、
前記水銀の封入量が、前記容積1ccあたり30〜40mgの範囲であり、
前記キセノンガスの封入圧が、0.1〜5.0atmの範囲であり、
前記電極間距離は、2.2〜2.4mmの範囲であり、
点灯時のランプ電流値が5.0A〜7.0Aの範囲であることを特徴とする超高圧水銀ランプ。 - 前記ランプ定格が200W〜330Wであることを特徴とする請求項1に記載の超高圧水銀ランプ。
- 前記ランプ定格に応じた定電力電源により制御されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の超高圧水銀ランプ。
- 前記紫外線は、その放射強度において、230nm〜290nmの波長域の光が、330nm〜400nmの波長域の光に対し、それぞれの波長域でのeV積算値の比において、40%以上であることを特徴とする請求項3に記載の超高圧水銀ランプ。
- 前記230nm〜290nmの波長域の光および前記330nm〜400nmの波長域の光の3000時間使用後の強度維持率が、前記230nm〜290nmの光において50%以上、前記330nm〜400nmの波長域の光において60%以上であることを特徴とする請求項4に記載の超高圧水銀ランプ。
- 230nm〜290nmの波長域の光および330nm〜400nmの波長域の光の3000時間使用後の強度維持率が、前記230nm〜290nmの光において50%以上、前記330nm〜400nmの波長域の光において60%以上であることを特徴とする請求項3に記載の超高圧水銀ランプ。
- 請求項1〜6のいずれかの超高圧水銀ランプを備えた紫外線照射装置。
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