JP5999904B2 - バルブ一体型エジェクタ - Google Patents
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Description
エジェクタ1は、加圧エア(加圧流体の一例)を制御するバルブ2がエジェクタ本体3に一体に設けられている。エジェクタ1は、カバーブロック11とシリンダブロック12とノズルブロック13とディフューザブロック14が図示しないボルトを用いて直列一体に連結され、外観を構成されている。尚、カバーブロック11とシリンダブロック12によりバルブブロック10が構成されている。
エジェクタ1は、バルブ2とノズル13cとディフューザ14cと排出ポート14bが同軸上に設けられている。そして、エジェクタ1は、バルブ2とノズル13cとディフューザ14cと排出ポート14bの軸線に対して直交する方向に、操作ポート12aと給気ポート13aと吸入ポート14aが設けられている。
一方、ピストン室21の第2室21bには、操作ポート12aが連通流路12bを介して連通している。シリンダブロック12には、操作ポート12aと連通流路12bが形成されると共に、ダイアフラム弁体24の背室に連通するように呼吸孔12cが形成されている。
エジェクタ1は、操作エアが操作ポート12aに供給されない場合には、図2に示すように、バルブ2が圧縮ばね25のばね力によってダイアフラム弁体24が弁座13dに当接している。そのため、給気ポート13aから弁室23へ供給された加圧エアがノズル13cへ供給されず、ノズル13cとディフューザ14cとの間に負圧が生じない。よって、エジェクタ1は、吸入ポート14aから薬液を吸い込んで排出することができない。
枚葉洗浄機50Aは、通常、複数の洗浄槽51を備えるが、図4には図面をわかりやすく説明するために洗浄槽51を1個だけの図を記載している。枚葉洗浄機50Aは、搬入されたウエハWを回転可能に保持する機能を有する洗浄槽51と、洗浄槽51に搬入されたウエハWに洗浄液を供給する洗浄液供給管52と、洗浄槽51に溜まった洗浄液を排液する排液管56を備える。
一方、排液管56には、洗浄槽51に溜まった洗浄液を吸い出して排液タンク55へ排出するために、エジェクタ1が配設されている。この場合、エジェクタ1は、操作エア供給源64に接続する配管66が操作ポート12aに接続され、加圧エア供給源61に接続する配管63が給気ポート13aに接続され、洗浄槽51側の排液管56aが吸入ポート14aに接続され、排液タンク55側の排液管56bが排出ポート14bに接続される。
枚葉洗浄機50Aは、待機状態の間、ポンプ57の駆動を停止し、制御バルブ53,58を弁閉状態としている。また、枚葉洗浄機50Aは、分岐配管59と排液管56のエジェクタ1に操作エアを供給せず、加圧エア供給源61から加圧エアのみを供給している。つまり、枚葉洗浄機50Aは、エジェクタ1に洗浄液の排出動作を行わせない状態で、待機している。
例えば、上記実施形態では、エジェクタ1を枚葉洗浄機50Aに適用したが、薬液を排出する他の種類の装置にエジェクタ1を適宜適用できることは言うまでもない。
例えば、上記実施形態では、第1〜第4ブロック11,12,13,14の材質を樹脂としたが、第1〜第4ブロック11,12,13,14の材質を金属としても良い。また、材質を金属とした場合には、その表面や流路面に耐腐食コーティングを施すようにしても良い。
例えば、上記実施形態では、バルブ2をエアオペレイトバルブ機構にしたが、バルブ2を電磁弁機構にしても良い。
例えば、洗浄槽51の数が一つ又は数個で少ない場合には、図5に示すように、洗浄槽51の底に排液バルブ54を設け、排液バルブ54の開閉により排液タンク55への洗浄液の排液を制御するようにしても良い。
例えば、上記実施形態では、加圧流体の一例として加圧エアを挙げたが、加圧流体を水などの流体や蒸気などの気体としても良い。
例えば、上記実施形態の枚葉洗浄機50Aは、操作エア供給源64と加圧エア供給源61が各エジェクタ1に共通に用いられているが、操作エア供給源と加圧エア供給源をエジェクタ1毎に設けても良い。
2 バルブ
3 エジェクタ本体
10 バルブブロック
11 カバーブロック
12 シリンダブロック
12a 操作ポート
13 ノズルブロック
13a 給気ポート
14 ディフューザブロック
14a 吸入ポート
14b 排出ポート
23 弁室
24 ダイアフラム弁体
31 吸入室
Claims (3)
- 加圧流体を噴出するノズルと、前記ノズルと同軸上に設けられたディフューザと、前記ディフューザに連通する排出ポートと、前記ノズルと前記ディフューザとの間に形成される吸入室と、薬液を吸い込んで前記吸入室へ供給する吸入ポートと、を備え、前記ノズルから前記ディフューザへ加圧流体を噴出して前記ノズルと前記ディフューザとの間に負圧を生じさせることにより、吸入ポートから前記吸入室へ前記薬液を吸い込み、前記加圧流体と前記薬液を前記ディフューザを介して排出ポートへ排出するエジェクタにおいて、
前記ノズルに供給される前記加圧流体を制御するバルブが一体に設けられ、
前記ノズルが、前記バルブの弁座と同軸上に設けられ、前記吸入室に突出していること、
前記バルブを収納するバルブブロックと、
前記弁座と前記ノズルが設けられたノズルブロックと、
前記ディフューザ及び前記排出ポートが設けられたディフューザブロックとが、直列一体に連結され、
前記バルブブロックと前記ノズルブロックとの間に、前記弁座に当接又は離間する弁体を収納する弁室が形成され、
前記ノズルブロックと前記ディフューザブロックとの間に、前記吸入室が形成されている
ことを特徴とするバルブ一体型エジェクタ。 - 請求項1に記載するバルブ一体型エジェクタにおいて、
前記バルブがエアオペレイトバルブである
ことを特徴とするバルブ一体型エジェクタ。 - 請求項2に記載するバルブ一体型エジェクタにおいて、
前記加圧流体を供給する給気ポートと前記吸入ポートと前記エアオペレイトバルブに操作エアを供給する操作ポートが、同一側面に設けられている
ことを特徴とするバルブ一体型エジェクタ。
Priority Applications (1)
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JP2012007916A JP5999904B2 (ja) | 2012-01-18 | 2012-01-18 | バルブ一体型エジェクタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012007916A JP5999904B2 (ja) | 2012-01-18 | 2012-01-18 | バルブ一体型エジェクタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013147972A JP2013147972A (ja) | 2013-08-01 |
JP5999904B2 true JP5999904B2 (ja) | 2016-09-28 |
Family
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Family Applications (1)
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JP2012007916A Active JP5999904B2 (ja) | 2012-01-18 | 2012-01-18 | バルブ一体型エジェクタ |
Country Status (1)
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