CN101837225B - 一种防止异丙醇洗涤器堵塞的系统 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种防止异丙醇洗涤器(IPAscrubber)堵塞的系统。该系统包括：与异丙醇洗涤器连通的用于流入待洗涤流体入口以及与异丙醇洗涤器连通的用于流出待洗涤流体的出口；与异丙醇洗涤器中的联喷头连通的、用于稀释流入异丙醇洗涤器的稀释用流体的供液端；用于根据需要排出异丙醇洗涤器内的流体的排出端。本发明的优点在于取消了洗涤器内的内循环，将纯水直接供应至联喷头来稀释IPA，从而防止了IPA生菌，避免了产生的菌落堵塞供应泵，从而导致IPA停止供应，致使大量产品报废。

Description

一种防止异丙醇洗涤器堵塞的系统
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种防止异丙醇洗涤器(IPAscrubber)堵塞的系统。
背景技术
随着半导体技术的不断发展，中间步骤所需要的化学清洗用液体IPA正在逐渐也起着越来越重要的作用。在处理过程中，需要将高浓度的IPA稀释为低浓度的IPA，这就需要一种异丙醇洗涤器。
在现有的洗涤装置中，如图1所示，待洗涤的IPA(异丙醇)为蒸汽，从IPA进进入，供给到作为由纯水清洗的异丙醇洗涤器11内。经过洗涤后，通过将异丙醇洗涤器11内的异丙醇通过IPA出口排出，纯水通过供液端13攻入，从异丙醇洗涤器11底部被泵14抽出，从而循环使用排出。可以利用流量计测量纯水的流量。
但是，在传统的水洗过程，在异丙醇洗涤器(IPA scrubber)中，用纯水稀释抽至槽内的IPA浓度。在scrubber内循环过程中，纯水不与IPA同时供给，在IPA供给后，用水稀释IPA，这样以来，会产生大量粘稠状的菌落，该粘稠状的菌落会使供应的泵pump14堵塞，致使IPA的的稀释过程停止，引起大量产品的报废。
发明内容
本发明的目的在于提供一种防止异丙醇洗涤器堵塞的系统，该系统包括：
与异丙醇洗涤器连通的用于流入待洗涤流体入口以及与异丙醇洗涤器连通的用于流出待洗涤流体的出口；
与异丙醇洗涤器中的联喷头连通的、用于稀释流入异丙醇洗涤器的稀释用流体的供液端；
用于根据需要排出异丙醇洗涤器内的流体的排出端。
其中，待洗涤流体可以是异丙醇。
该系统还包括位于异丙醇洗涤器内的流体上方的滤网。
该系统还包括用于探测供液端和异丙醇洗涤器之间的管路内的稀释用流体的流量的流量计。
其中，异丙醇洗涤器接收的待洗涤流体和稀释用流体是以蒸汽态的形式进入异丙醇洗涤器。
其中，稀释用流体为纯水。
其中，排出端通过两条管路连接到异丙醇洗涤器，该两条管路为第一管路和第二管路，第一管路连接异丙醇洗涤器的底部，第二管路连接异丙醇洗涤器的侧面。
其中，第一管路上安装有控制管路连通和关闭的阀。
本发明的优点在于取消了洗涤器内的内循环，将纯水直接供应至联喷头来稀释IPA，从而防止了IPA生菌，避免了产生的菌落堵塞供应泵，从而导致IPA停止供应，致使大量产品报废。此外，本系统改善费用较为低廉，工艺简单，仅需更改一回路即可，对工业化大生产具有很强的帮助，提高企业经济效益。
附图说明
图1是用于清洗和干燥半导体晶片的常规清洗和干燥系统的示意图；
图2是根据本发明的具体实施例的用于清洗和干燥半导体晶片的清洗和干燥系统的示意图。
具体实施方式
图2是根据本发明的具体实施例的用于清洗和干燥半导体晶片的清洗和干燥系统的示意图。该防止异丙醇洗涤器堵塞的系统包括：
与异丙醇洗涤器11连通的用于流入异丙醇的入口IPA进以及与异丙醇洗涤器11连通的用于流出异丙醇的出口IPA出；与异丙醇洗涤器11中的联喷头13连通的、供应用于稀释流入异丙醇洗涤器的稀释用流体的供液端；用于根据需要排出异丙醇洗涤器11内的流体的排出端。当然，仍然有少量未清洗的气体从IPA出中排出。入口IPA进和出口IPA出位于该装置中具有滤网15，其位于异丙醇洗涤器内的流体上方，用于过滤部分IPA，滤网15由隔板格开。隔板仅隔开滤网，异丙醇洗涤器11仍然是连通的。可以利用流量计FSW12探测入口和异丙醇洗涤器11之间的管路内的流体的流量。
异丙醇洗涤器11接收的流体和稀释用流体可以是以蒸汽态的形式进入异丙醇洗涤器11的。稀释用流体为纯水，稀释后变为水雾。还可以包括转换开关。
利用该清洗和干燥系统清洗和干燥半导体晶片的操作步骤包括：
A.半导体晶片的定位：将若干半导体晶片架设在干燥槽中预设的位置，该位置由一可移动的滑杆控制，可方便的定位晶片在干燥槽中的位置。
B.异丙醇的喷入：该异丙醇为气体形式的，从异丙醇洗涤器11连通的异丙醇的入口IPA进流入。
C.纯水注入：将雾化形式的纯水由联喷头注入干燥箱内，而后，用纯水稀释异丙醇。
D、排出异丙醇：通过IPA出将稀释的IPA排出。
E、快速排水：通过设于下方的排水装置将剩余纯水快速排除。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非用来限定本发明的实施范围；如果不脱离本发明的精神和范围，对本发明进行修改或者等同替换的，均应涵盖在本发明的权利要求的保护范围当中。

Claims (8)

1.一种防止异丙醇洗涤器堵塞的系统，该系统包括：
与异丙醇洗涤器连通的用于喷入待洗涤流体入口以及与异丙醇洗涤器连通的用于流出待洗涤流体的出口；
与异丙醇洗涤器中的联喷头连通的、用于稀释流入异丙醇洗涤器的稀释用流体的供液端；
用于根据需要排出异丙醇洗涤器内的稀释用流体的排出端。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于待洗涤流体是气态异丙醇。
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于还包括位于异丙醇洗涤器内的流体上方的滤网。
4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于还包括用于探测供液端和异丙醇洗涤器之间的管路内的稀释用流体的流量的流量计。
5.根据权利要求1-4中的一个所述的系统，其特征在于异丙醇洗涤器接收的待洗涤流体和稀释用流体是以蒸汽态的形式进入异丙醇洗涤器。
6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于稀释用流体为纯水。
7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于排出端通过两条管路连接到异丙醇洗涤器，该两条管路为第一管路和第二管路，第一管路连接异丙醇洗涤器的底部，第二管路连接异丙醇洗涤器的侧面。
8.根据权利要求6所述的系统，其特征在于第一管路上安装有控制管路连通和关闭的阀。
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