JP5997153B2 - 荷電粒子検出器 - Google Patents
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Description
および汚染を低減させることに関する。
1)2次粒子による衝撃に起因する検出器の損傷、および
2)2次粒子による衝撃によって起こる検出器上での材料の重合および検出器上への材料の付着に起因する検出器の汚染。
一般的なタイプの2次電子検出器には以下のようなものがある。
表I.さまざまな検出システム構成ならびに対応する検出器および電気接続
1次荷電粒子ビームをターゲットの表面に集束させる荷電粒子カラムであり、この荷電粒子ビームとターゲットとの衝突がターゲットからの2次粒子の放出を引き起こす荷電粒子カラムと、
荷電粒子検出器アセンブリと
を備え、荷電粒子検出器アセンブリが、
電気信号を生成する検出器であり、この電気信号が検出器に衝突した荷電粒子の数に対応する検出器と、
荷電粒子検出器とターゲットの表面との間に配置された少なくとも1つの格子であり、ターゲットから検出器へ荷電粒子を移動させる少なくとも1つの格子と、
2次荷電粒子を偏向させて、荷電粒子検出器に衝突する荷電粒子の最大電流密度を低減させ、それによって荷電粒子検出器の耐用寿命を延ばす場の源と
を含む荷電粒子システムを含む。
荷電粒子ビームをターゲットの表面に集束させる荷電粒子カラムであり、荷電粒子ビームとターゲットとの衝突がターゲットからの2次粒子の放出を引き起こす荷電粒子カラムを提供すること、
ターゲットから放出された2次粒子の一部を捕集する2次粒子検出器を提供すること、
2次荷電粒子を偏向させて、荷電粒子検出器に衝突する荷電粒子の最大電流密度を低減させ、それによって荷電粒子検出器の耐用寿命を延ばす場を提供すること
を含む方法を含む。
1次荷電粒子ビームをターゲットの表面に集束させる荷電粒子カラムと、
荷電粒子検出器アセンブリと
を備え、荷電粒子検出器アセンブリが、
電気信号を生成する検出器であり、この電気信号が検出器に衝突した荷電粒子の数に対応する検出器と、
2次荷電粒子を偏向させて、荷電粒子検出器に衝突する荷電粒子の最大電流密度を低減させ、それによって荷電粒子検出器の耐用寿命を延ばす場の源と
を含む荷電粒子システムを含む。
Claims (12)
- 1次荷電粒子ビームをターゲットの表面に集束させる荷電粒子カラムであり、前記1次荷電粒子ビームと前記ターゲットとの衝突が前記ターゲットからの2次荷電粒子の放出を引き起こす荷電粒子カラムと、
荷電粒子検出器アセンブリと
を備え、前記荷電粒子検出器アセンブリが、
電気信号を生成する検出器であり、前記電気信号が前記検出器に衝突した荷電粒子の数に対応する検出器と、
前記検出器と前記ターゲットの表面との間に配置された少なくとも1つの抵抗格子であり、前記ターゲットから前記検出器へ2次荷電粒子を移動させ、動作中に、異なる電位が前記少なくとも1つの抵抗格子の異なる部位において維持されて、前記衝突する粒子をより均一に前記検出器全体にわたって分散させることにより、前記2次荷電粒子を偏向させて、前記検出器に衝突する前記2次荷電粒子の最大電流密度を低減させる放射状の場を提供し、それによって前記検出器の耐用寿命を延ばす少なくとも1つの抵抗格子と
を含む
荷電粒子システム。 - 前記少なくとも1つの抵抗格子は、前記荷電粒子カラムの軸から遠ざかる方向へ前記2次荷電粒子を偏向させるように構成された、請求項1に記載の荷電粒子システム。
- 前記荷電粒子検出器が、マルチチャンネル・プレートおよび捕集陽極;PINダイオード;またはシンチレータによって放出された光を光電子増倍管内へ伝送するように構成された光学的光結合手段が前記シンチレータと前記光電子増倍管の間に配置されたシンチレータ−光電子増倍管を含む、請求項1に記載の荷電粒子システム。
- 前記荷電粒子ビームが電子ビームまたは集束イオン・ビームであり、前記少なくとも1つの抵抗格子の電圧および前記荷電粒子検出器の電圧が、2次電子を捕集するように構成された、請求項1に記載の荷電粒子システム。
- 前記荷電粒子ビームが集束イオン・ビームであり、前記少なくとも1つの抵抗格子の電圧および前記荷電粒子検出器の電圧が、2次イオンを捕集するように構成された、請求項1に記載の荷電粒子システム。
- 前記荷電粒子ビームが集束イオン・ビームであり、前記少なくとも1つの抵抗格子は、2次イオンの捕集を容易にするように構成された、請求項1に記載の荷電粒子システム。
- 前記少なくとも1つの抵抗格子は、前記カラムの光軸からの前記2次荷電粒子の相対位置が維持されるような態様で前記2次荷電粒子を偏向させるように構成された、請求項1に記載の荷電粒子システム。
- 荷電粒子システム内の2次粒子検出器の損傷または汚染の速度を低下させる方法であって、
荷電粒子ビームをターゲットの表面に集束させる荷電粒子カラムであり、前記荷電粒子ビームと前記ターゲットとの衝突が前記ターゲットからの2次荷電粒子の放出を引き起こす荷電粒子カラムを提供すること、
前記ターゲットから放出された前記2次荷電粒子の一部を捕集する2次粒子検出器を提供すること、
前記2次粒子検出器と前記ターゲットの表面との間に配置された少なくとも1つの抵抗格子であり、前記ターゲットから前記2次粒子検出器へ2次荷電粒子を移動させ、動作中に、異なる電位が前記少なくとも1つの抵抗格子の異なる部位において維持されて、前記衝突する粒子をより均一に前記検出器全体にわたって分散させることにより、前記2次荷電粒子を偏向させて、前記2次粒子検出器に衝突する前記2次荷電粒子の最大電流密度を低減させる放射状の場を提供し、それによって前記2次粒子検出器の耐用寿命を延ばす、少なくとも1つの抵抗格子を提供すること
を含む方法。 - 少なくとも1つの抵抗格子を提供することが抵抗格子を提供することを含み、
放射状の場を提供することが、前記抵抗格子の1つの部分に対する第1の電圧および前記抵抗格子の第2の部分に対する第2の電圧を提供することを含み、前記第1の電圧と前記第2の電圧とが等しくない、請求項8に記載の方法。 - 2次荷電粒子検出器を提供することが、マルチチャンネル・プレートおよび捕集陽極;PINダイオード;またはシンチレータによって放出された光を光電子増倍管内へ伝送するように構成された光学的光結合手段が前記シンチレータと前記光電子増倍管の間に配置されたシンチレータ−光電子増倍管を提供することを含む、請求項8に記載の方法。
- 荷電粒子カラムを提供することが、電子ビームまたは集束イオン・ビームを提供することを含み、前記2次粒子捕集器が2次電子を捕集する、請求項8に記載の方法。
- 荷電粒子カラムを提供することが集束イオン・ビームを提供することを含み、前記2次粒子捕集器が2次イオンを捕集する、請求項8に記載の方法。
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